JP2017005262A - 固体撮像装置 - Google Patents
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Abstract
Description
図1に本実施例の固体撮像装置の第1の基板と第2の基板との電気的接続部の断面の概念図を示す。ここでは基板の半導体部分を構成する主成分としてシリコンを用いた例を用いて説明するが、例えばガリウム、ヒ素などを主成分としてもよいし、SOI基板を用いてもよい。また基板は主成分として半導体材料により構成された部分と、半導体材料により構成された部分に接して配された絶縁層、配線層、光学部材を含む部分とを合わせて構成される。特に半導体材料により構成された部分を半導体基板とよぶ場合もある。また図1においては1画素の断面を示しており、実際は多数の画素が配されており、更に、列増幅部や垂直走査部、水平走査部などが設けられていてもよい。
図3に本実施例の電気的接続部の上面図を示す。本実施例の実施例1との違いは、一の第1の導電パターンと一の第2の導電パターンとの電気的接続部が複数設けられている点である。
図4に実施例2の変形例の電気的接続部の上面図を示す。本変形例の実施例2との違いは、第1の導電パターン及び第2の導電パターンのそれぞれが第1及び第2の方向の両者に延在する部分パターンを有する点である。
図5に本実施例の電気的接続部の上面図を示す。本実施例の実施例1、2との違いは、第2の導電パターンの形状である。具体的には第2の導電パターンのパターン形状として円形形状を用いた。
実施例1〜3の電気的接続部の構成を適用可能な固体撮像装置の1画素の等価回路図の例を示す。
図7に、第1の基板及び第2の基板の電気的接続部を含めた断面の概念図を示す。ここでは第1の基板に光電変換部、FD、転送部が配され、第2の基板に、画素増幅部、画素リセット部が配された構成を示す。そして電気的接続部はFDと画素増幅部のゲート、画素リセット部のソースとが接続されている。しかしながら電気的接続の例はこれに限られるものでは無い。
702 第1の基板
701 第2の基板
105 第1の導電パターン
106 第2の導電パターン
201 電気的接続部
Claims (1)
- 光電変換部とフローティングディフュージョンが配された第1の基板と、
前記フローティングディフュージョンとゲートが電気的に接続された画素増幅部が配された第2の基板と、を有する固体撮像装置であって、
前記第1の基板に配された第1の導電パターンと、
前記第2の基板に配された第2の導電パターンと、を有し、
前記第1の導電パターンは、第1の方向に延在し、前記第1の基板の最上配線層に配されている第1の部分パターンを有し、
前記第2の導電パターンは、前記第1の方向と平面視において交差する第2の方向に延在し、前記第2の基板の最上配線層に配されている第2の部分パターンを有し、前記第1の部分パターンの第1の電気的接続部と、前記第2の部分パターンの第2の電気的接続部は交差部で互いに接触しており、
前記第1の電気的接続部および前記第2の電気的接続部の長さは、前記第2の方向よりも前記第1の方向の方が長いことを特徴とする固体撮像装置。
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Citations (11)
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---|---|---|---|---|
JP2000156459A (ja) * | 1998-11-20 | 2000-06-06 | Matsushita Electronics Industry Corp | 半導体装置の製造方法 |
JP2002368085A (ja) * | 2001-06-12 | 2002-12-20 | Oki Electric Ind Co Ltd | 半導体素子およびその製造方法 |
JP2004186407A (ja) * | 2002-12-03 | 2004-07-02 | Canon Inc | 光電変換装置 |
JP2005026630A (ja) * | 2003-07-03 | 2005-01-27 | Nec Electronics Corp | 半導体装置及びその製造方法 |
JP2006049361A (ja) * | 2004-07-30 | 2006-02-16 | Sony Corp | 半導体モジュール及びmos型固体撮像装置 |
JP2006191081A (ja) * | 2004-12-30 | 2006-07-20 | Magnachip Semiconductor Ltd | 受光領域が拡張されたイメージセンサ及びその製造方法 |
JP2007158169A (ja) * | 2005-12-07 | 2007-06-21 | Fujitsu Ltd | 多層配線構造及びその製造方法 |
JP2007234725A (ja) * | 2006-02-28 | 2007-09-13 | Sony Corp | 固体撮像装置および固体撮像装置の製造方法 |
JP2008536330A (ja) * | 2005-04-13 | 2008-09-04 | シリコンファイル・テクノロジーズ・インコーポレイテッド | 3次元構造を有するイメージセンサの分離型単位画素及びその製造方法 |
JP2008277511A (ja) * | 2007-04-27 | 2008-11-13 | Fujifilm Corp | 撮像素子及び撮像装置 |
JP2010103533A (ja) * | 2008-10-21 | 2010-05-06 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co Ltd | ディッシング効果を低減する接合パッドの設計 |
-
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Patent Citations (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000156459A (ja) * | 1998-11-20 | 2000-06-06 | Matsushita Electronics Industry Corp | 半導体装置の製造方法 |
JP2002368085A (ja) * | 2001-06-12 | 2002-12-20 | Oki Electric Ind Co Ltd | 半導体素子およびその製造方法 |
JP2004186407A (ja) * | 2002-12-03 | 2004-07-02 | Canon Inc | 光電変換装置 |
JP2005026630A (ja) * | 2003-07-03 | 2005-01-27 | Nec Electronics Corp | 半導体装置及びその製造方法 |
JP2006049361A (ja) * | 2004-07-30 | 2006-02-16 | Sony Corp | 半導体モジュール及びmos型固体撮像装置 |
JP2006191081A (ja) * | 2004-12-30 | 2006-07-20 | Magnachip Semiconductor Ltd | 受光領域が拡張されたイメージセンサ及びその製造方法 |
JP2008536330A (ja) * | 2005-04-13 | 2008-09-04 | シリコンファイル・テクノロジーズ・インコーポレイテッド | 3次元構造を有するイメージセンサの分離型単位画素及びその製造方法 |
JP2007158169A (ja) * | 2005-12-07 | 2007-06-21 | Fujitsu Ltd | 多層配線構造及びその製造方法 |
JP2007234725A (ja) * | 2006-02-28 | 2007-09-13 | Sony Corp | 固体撮像装置および固体撮像装置の製造方法 |
JP2008277511A (ja) * | 2007-04-27 | 2008-11-13 | Fujifilm Corp | 撮像素子及び撮像装置 |
JP2010103533A (ja) * | 2008-10-21 | 2010-05-06 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co Ltd | ディッシング効果を低減する接合パッドの設計 |
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