JP2017001924A - コーティング膜つきガラス板 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ガラス板1と透明導電膜4との間に、低屈折率層2と中間屈折率層3とを、ガラス板1、低屈折率層2、中間屈折率層3、透明導電膜4、の順となるように含み、低屈折率層2の屈折率が、ガラス板1の屈折率よりも低く、中間屈折率層3の屈折率が、低屈折率層2の屈折率よりも高くかつ透明導電膜4の屈折率よりも低い、コーティング膜つきガラス板とする。低屈折率層2の厚みは5nm〜30mmが好ましく、中間屈折率層3の厚みは40〜100nmが好ましい。
【選択図】図1
Description
ガラス板と透明導電膜とを含むコーティング膜つきガラス板であって、
前記ガラス板と前記透明導電膜との間に、低屈折率層と中間屈折率層とを、前記ガラス板、前記低屈折率層、前記中間屈折率層、前記透明導電膜、の順となるように含み、
前記低屈折率層の屈折率が、前記ガラス板の屈折率よりも低く、
前記中間屈折率層の屈折率が、前記低屈折率層の屈折率よりも高くかつ前記透明導電膜の屈折率よりも低い、コーティング膜つきガラス板、を提供する。
オンラインCVD法を利用して、ガラスリボン上に低屈折率層、中間屈折率層及び透明導電膜をこの順で形成した。具体的には、フロートバス内がバス外よりもやや高圧に維持されるように、フロートバス空間内に98体積%の窒素と2体積%の水素とを供給した。フロートバス内を非酸化性雰囲気に保持した状態で、最上流側に位置する第1のコータから、モノシラン、エチレン、酸素及び窒素からなる混合ガスを供給し、ガラスリボン上に、アモルファス酸化ケイ素からなる低屈折率層(屈折率:1.45)を形成した。引き続き、第2のコータから、モノシラン、エチレン、ジメチル錫ジクロライド(蒸気)、酸素、水蒸気、窒素及びヘリウムからなる混合ガスを供給し、低屈折率層上にSnSiOxからなる中間屈折率層を形成した。さらに、下流側に設置したコータを使って、塩化第二スズ(蒸気)、水蒸気、塩化水素、酸素、窒素及びフッ化水素からなる混合ガスを供給し、中間屈折率層上に、SnO2:Fからなる透明導電膜(屈折率:2.0)を成膜し、コーティング膜つきガラス板を作製した。
オンラインCVD法を利用して、ガラスリボン上に中間屈折率層、低屈折率層及び透明導電膜をこの順で形成した。具体的には、フロートバス内がバス外よりもやや高圧に維持されるように、フロートバス空間内に98体積%の窒素と2体積%の水素とを供給した。フロートバス内を非酸化性雰囲気に保持した状態で、最上流側に位置する第1のコータから、ジメチル錫ジクロライド(蒸気)、酸素、水蒸気、窒素及びヘリウムからなる混合ガスを供給し、ガラスリボン上に、酸化錫からなる中間屈折率層を形成した。引き続き、第2のコータから、モノシラン、エチレン、酸素及び窒素からなる混合ガスを供給し、中間屈折率層上に酸化ケイ素からなる低屈折率層を形成した。さらに、下流側に設置したコータを使って、塩化第二スズ(蒸気)、水蒸気、塩化水素、窒素、酸素、ヘリウム及びフッ化水素からなる混合ガスを供給し、低屈折率層上に、SnO2:Fからなる透明導電膜を成膜し、コーティング膜つきガラス板を作製した。
低屈折率層を形成する工程を除いた以外はNo.1〜18と同様にして、コーティング膜つきガラス板を作製した。
透過率、反射率の測定は、透明導電膜の表面凹凸による光散乱が透過率及び反射率に与える影響を除去して行った。具体的には、透明導電膜の表面に屈折率マッチング液を塗布し、マッチング液に気泡が残らないように透明導電膜にカバーガラスを密着させた状態で測定した。屈折率マッチング液にはヨウ化メチレンを用いた。ヨウ化メチレンは屈折率が1.79以上であり、透明導電膜の屈折率と近似するため、屈折率マッチング液と透明導電膜との界面における光の散乱が除去できる。カバーガラスには、厚さ1mmの平板ガラス板「#7059」(コーニング社製)を用いた。このカバーガラスの透過率は充分に高く、屈折率マッチング液の厚みは十分に薄いので、透過率の測定値に影響を与えない。
ヘイズメータ「NDH2000」[日本電色工業(株)製]を用い、コーティング膜つきガラス板のガラス板側から光を入射させて、透明導電膜つきガラス板のヘイズ率を測定した。なお、ヘイズ率の測定波長範囲は380nm〜760nmである。
透明導電膜のシート抵抗は、(株)ダイアインスツルメント製「MCP−TESTER LORESTA−FP」を用いて測定した。シート抵抗の数値が低いほど、透明導電膜の導電性が優れることを意味する。
透明導電膜の耐剥離性は、PCT試験後に透明導電膜が剥離しているか否かを目視で観察することにより評価した。PCT試験は、恒温恒湿試験の一つであり、被試験体を所定の温度、湿度で所定の時間保持した前後での被試験体の変化を評価する試験である。プレッシャークッカー試験機「TPC−411」[タバイエスペック(株)製]にコーティング膜つきガラス板をセットし、温度125℃、相対湿度85%、圧力2気圧の恒湿恒温条件下で65時間保持した後、PCT試験を実施し、透明導電膜が剥離しているか否かを目視で観察した。
2 低屈折率層
3 中間屈折率層
4 透明導電膜
Claims (10)
- ガラス板と透明導電膜とを含むコーティング膜つきガラス板であって、
前記ガラス板と前記透明導電膜との間に、低屈折率層と中間屈折率層とを、前記ガラス板、前記低屈折率層、前記中間屈折率層、前記透明導電膜、の順となるように含み、
前記低屈折率層の屈折率が、前記ガラス板の屈折率よりも低く、
前記中間屈折率層の屈折率が、前記低屈折率層の屈折率よりも高くかつ前記透明導電膜の屈折率よりも低い、コーティング膜つきガラス板。 - 前記低屈折率層の厚みが5nm〜30nmであり、前記中間屈折率層の厚みが40nm〜100nmである、請求項1に記載のコーティング膜つきガラス板。
- 前記低屈折率層の屈折率が1.38〜1.51であり、前記中間屈折率層の屈折率が1.60〜1.90であり、前記透明導電膜の屈折率が1.8〜2.4である、請求項1又は2に記載のコーティング膜つきガラス板。
- 前記低屈折率層、前記中間屈折率層及び前記透明導電膜が、それぞれ主成分として金属酸化物を含み、前記中間屈折率層が、前記低屈折率層の主成分である金属酸化物と前記透明導電膜の主成分である金属酸化物との混合物から実質的になる、請求項1〜3のいずれか1項に記載のコーティング膜つきガラス板。
- 前記低屈折率層がアモルファスの酸化ケイ素から実質的になり、
前記中間屈折率層が酸化ケイ素と酸化錫との混合物を主成分とし、
前記透明導電膜はフッ素をドープした酸化錫を主成分とする、
請求項1〜4のいずれか1項に記載のコーティング膜つきガラス板。 - 前記中間屈折率層が酸化ケイ素と酸化錫との混合物を主成分とし、前記混合物におけるケイ素原子と錫原子の合計モル数に対する錫原子のモル数の比[Sn/(Sn+Si)]が0.3〜0.8である、請求項1〜5のいずれか1項に記載のコーティング膜つきガラス板。
- 前記ガラス板上に、前記低屈折率層、前記中間屈折率層、前記透明導電膜を、この順に直接積層した、請求項1〜6のいずれか1項に記載のコーティング膜つきガラス板。
- 前記低屈折率層の厚みが5nm〜30nmであり、前記中間屈折率層の厚みが40nm〜100nmであり、前記透明導電膜の厚みが600nm〜990nmである、請求項6に記載のコーティング膜つきガラス板。
- 請求項1〜8のいずれか1項に記載のコーティング膜つきガラス板を含む光電変換装置用基板であって、前記透明導電膜の厚みが600nm〜990nmである、光電変換装置用基板。
- 請求項1〜7のいずれか1項に記載のコーティング膜つきガラス板を含むLow−Eガラスであって、前記透明導電膜の厚みが250nm〜650nmであるLow−Eガラス。
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JP2015120279A JP2017001924A (ja) | 2015-06-15 | 2015-06-15 | コーティング膜つきガラス板 |
Applications Claiming Priority (1)
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JP2015120279A JP2017001924A (ja) | 2015-06-15 | 2015-06-15 | コーティング膜つきガラス板 |
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JP2017001924A true JP2017001924A (ja) | 2017-01-05 |
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Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2019176861A1 (ja) * | 2018-03-11 | 2019-09-19 | 日本板硝子株式会社 | 太陽電池パネル |
CN112851141A (zh) * | 2020-12-30 | 2021-05-28 | 漳州旗滨玻璃有限公司 | 一种硅基纳米复合膜阳光玻璃的制备方法 |
Citations (2)
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JPS61227946A (ja) * | 1985-03-30 | 1986-10-11 | Asahi Glass Co Ltd | 電導性ガラス |
JP2013520391A (ja) * | 2010-02-22 | 2013-06-06 | サン−ゴバン グラス フランス | 向上した機械的強度の層でコーティングしたガラス基材 |
-
2015
- 2015-06-15 JP JP2015120279A patent/JP2017001924A/ja active Pending
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