JP2016532141A - レンズアセンブリおよびそれを組み込んだ光学系 - Google Patents

Abstract

光学系は、レンズアセンブリ、および光源を備える。レンズアセンブリは、光源によって提供された光を透過および屈折するように位置決めされた光学レンズ、および光学レンズに連結されて、光源に対する光学レンズの位置を維持するレンズホルダーを備えている。光学レンズは、不連続な構成で光学レンズの円周に近接した位置に配置された結合剤によって、レンズホルダーに連結されている。光源は、レンズアセンブリの光学レンズに光を提供する。光学レンズに提供される光は、低強度領域によって互いに分離された複数の高強度領域を含む光学フットプリントを有し、結合剤は、その光の光学フットプリントの高強度領域から間隔をあけて結合剤が配置されるように、円周の向きに、光源に対して位置決めされている。

Description

関連出願の相互参照

本出願は、２０１３年１０月７日出願の米国特許出願第１４／０４７，２００号の優先権の利益を主張し、その内容は依拠され、全体として参照により本明細書に組み込まれる。

本明細書は、概して、光学レンズを光源に対して位置決めするためのレンズアセンブリに関する。

レンズシステムが、リソグラフィおよび半導体検査機器を含む、エンドユーザ向けの様々な応用で使用されている。これらの応用においては、製造オペレーションを行うために、光源からの光がレンズ素子に導かれる。しかし、いくつかの応用では、レンズ素子に導かれた光が、そのレンズ素子をレンズホルダーに連結するために位置決めされた結合剤を劣化させてしまうという傾向がありうる。結合剤の劣化は、機器の汚染および／または光源に対するレンズ素子の位置ずれにつながりうる。

したがって、その代わりとなるレンズアセンブリが望まれうる。

一実施形態においては、光学系は、レンズアセンブリおよび光源を備えている。レンズアセンブリは、光源によって提供された光を透過および屈折させるように位置決めされた光学レンズ、およびその光学レンズに連結されて、光源に対する光学レンズの位置を維持するレンズホルダーを備えている。光学レンズは、不連続な構成で光学レンズの円周に近接した位置に配置された結合剤によって、レンズホルダーに連結されている。光源は、レンズアセンブリの光学レンズに光を提供する。光学レンズに提供される光は、低強度領域によって互いに分離された複数の高強度領域を含む光学フットプリント（ｆｏｏｔｐｒｉｎｔ）を有し、結合剤は、その光の光学フットプリントの高強度領域から間隔をあけて結合剤が配置されるように、円周の向きに、光源に対して位置決めされている。

他の実施形態においては、レンズアセンブリは、光学レンズと、固定部およびその固定部に連結された支持部を有するレンズホルダーと、結合剤とを備える。レンズ支持部は、レリーフチャンネル（ｒｅｌｉｅｆ ｃｈａｎｎｅｌ）から間隔をあけて配置された複数の支持パッドを含む。結合剤は、複数の支持パッドのうちの少なくとも一部分と光学レンズとの間に位置決めされ、結果として、結合剤は、光学レンズをレンズホルダーに固定する。

ここに記載される実施形態のさらなる特徴および利点は、以下の詳細な記載で明らかにされ、部分的には、その記載から当業者には容易に明らかであるか、または、以下の詳細な記載、請求項および添付された図面を含むここに記載された実施形態を実施することによって理解されるだろう。

上述した概略的な記載および以下の詳細な記載の両方が、様々な実施形態を記載するものであり、請求された主題の性質および特徴を理解するための概観または枠組みを提供しようとするものであると解されるべきである。添付された図面は、様々な実施形態のさらなる理解を提供するために含められたものであり、明細書に組み込まれて、その部分を構成するものである。図面は、ここに記載された様々な実施形態を表し、その記載と共に、請求された主題の原理およびオペレーションを説明する役割を果たすものである。

図面に示された実施形態は、本来、例示的および代表的なものであって、請求項によって定義された発明の主題を限定しようとするものではない。例示的な実施形態の以下のような詳細な説明は、類似した構造が、類似した参照番号で示されている以下の図面と共に読まれた場合に理解しうるものである。

ここに示し、または記載された１つ以上の実施形態による、レンズホルダーに連結された光学レンズを有する光学系の破断前面図を概略的に示す。 ここに示し、または記載された１つ以上の実施形態による、レンズホルダーに連結された光学レンズを有するレンズアセンブリの上面図を概略的に示す。 ここに示し、または記載された１つ以上の実施形態による、レンズホルダーに連結された光学レンズを有するレンズアセンブリの図２のＡ‐Ａ線に沿った断面前面図を概略的に示す。 ここに示し、または記載された１つ以上の実施形態による、図３のＪ図に示されたレンズホルダーに連結された光学レンズを有するレンズアセンブリの詳細な断面前面図を概略的に示す。 ここに示し、または記載された１つ以上の実施形態による、レンズホルダーに連結された光学レンズを有するレンズアセンブリの上面図を概略的に示す。 ここに示し、または記載された１つ以上の実施形態による、レンズホルダーに連結された光学レンズを有するレンズアセンブリの図５のＢ‐Ｂ線に沿った断面前面図を概略的に示す。 ここに示し、または記載された１つ以上の実施形態による、レンズホルダーに連結された光学レンズを有するレンズアセンブリの上面図を概略的に示す。 ここに示し、または記載された１つ以上の実施形態による、レンズホルダーに連結された光学レンズを有するレンズアセンブリの図７のＣ‐Ｃ線に沿った断面前面図を概略的に示す。 ここに示し、または記載された１つ以上の実施形態による、レンズホルダーに連結された光学レンズを有するレンズアセンブリ、およびその光学レンズに投射された光学フットプリントを有する光の上面図を概略的に示す。 光学レンズの円周に亘って評価した、図９の光の強度の仮想プロットを概略的に示す。 ここに示し、または記載された１つ以上の実施形態による、レンズホルダーに連結された光学レンズを有するレンズアセンブリ、およびその光学レンズに投射された光学フットプリントを有する光の上面図を概略的に示す。 光学レンズの円周に亘って評価した、図１１の光の強度の仮想プロットを概略的に示す。

ここで、光学レンズおよびレンズホルダーを有するレンズアセンブリ、並びに光学レンズおよびレンズホルダーを有するレンズアセンブリを組み込んだ光学系の実施形態を詳細に記載する。光学系の一実施形態は、光学レンズおよびレンズホルダーを有するレンズアセンブリを組み込んだものである。光学レンズは、結合剤によってレンズホルダーに固定されている。結合剤は、不連続な構成で光学レンズの円周に近接した位置に配置されている。光学レンズおよびレンズホルダーを備えたレンズアセンブリは、その光学レンズに光を提供する光源と共に、光学系に組み込まれていてもよい。光源によって提供された光は、複数の高強度領域および複数の低強度領域を含む光学フットプリントを有する。レンズアセンブリは、結合剤がその光の光学フットプリントの高強度領域から間隔をあけて配置されるように、円周の向きに位置決めされている。これらの、および他の実施形態を、添付した図面を参照して、より詳細に記載する。

図１を詳細に参照すると、わかり易くするために構成要素のいくつかを破断して、光学系９０の一部分が概略的に表されている。図示の実施形態において、光学系９０は、光源９２、少なくとも１つのビーム形成素子９４、レンズアセンブリ１００、および部品搬送部９６を備えている。レンズアセンブリ１００は、レンズホルダー１１０および光学レンズ１３０を備えている。光源９２によって提供された光は、光を透過および屈折させる、レンズアセンブリ１００の光学レンズ１３０を通って、部品搬送部９６上に支持されたワークピース（ｗｏｒｋｐｉｅｃｅ）８０に向けられる。光学系９０は、例えばリソグラフィ処理において、例えばワークピース８０の検査またはワークピース８０の変更といった製造オペレーションをワークピース８０に対し行うために使用されてもよい。

図示の実施形態において、レンズアセンブリ１００に導かされた光は、その光学系が行おうとする製造オペレーションに対応する光学フットプリント７０を有する。図示の実施形態において、光源９２は、光がレンズアセンブリ１００に入射する前に少なくとも１つのビーム形成素子９４によって変更される、概して均一な光ビームを提供する。一実施形態において、少なくとも１つのビーム形成素子９４は、光学レンズ１３０と光源９２との間に位置決めされたレチクル（ｒｅｔｉｃｌｅ）９５であってもよい。他の実施形態においては、その少なくとも１つのビーム形成素子９４は、アポダイザー（ａｐｏｄｉｚｅｒ）または回折格子であってもよい。レチクル９５は、複数のマスクされた領域、および光源９２からの光がそれを通って向けられる複数のマスクされていない領域を有していてもよい。光源９２からの光は、レチクル９５を通り抜けた後、レチクル９５のマスクされていない領域に対応する複数の高強度領域、およびレチクル９５のマスクされた領域に対応する複数の低強度領域を含んでいる。他の実施形態において、少なくとも１つのビーム形成素子９４は、光源９２と光学レンズ１３０との間に位置決めされた回折光学素子９７を含む。これらの実施形態において、回折光学素子９７は、光源９２から投射された光を、回折光学素子９７から出射する光ビームが複数の高強度領域およびその高強度領域を互いに分離する複数の低強度領域を含むように、透過および屈折させてもよい。

さらに他の実施形態において、光源９２は、複数の高強度領域およびその高強度領域を互いに分離する複数の低強度領域を有する光を提供してもよい。

ここで、図２を参照すると、レンズアセンブリ１００の一実施形態が示されている。この実施形態において、レンズアセンブリ１００は、レンズホルダー１１０および光学レンズ１３０を備えている。図３の断面図に示されているように、レンズホルダー１１０は、固定部１１２およびレンズ支持部１１８を備えている。固定部１１２は、ここでは固定部１１２を通る貫通孔である複数の装着要素１１４を備えており、その複数の装着要素１１４は、レンズホルダー１１０を、その光学系中で、および／または、その光学系内の他のレンズホルダーに連結する固定位置を提供するものである。固定部１１２は、さらに、例えばキーおよび／またはキー溝といったクロッキング要素（ｃｌｏｃｋｉｎｇ ｅｌｅｍｅｎｔ）１１６を備えていてもよい。クロッキング要素１１６は、光学系９０の構成要素の位置合わせが維持できるように、隣接する、光学系９０の構成要素間での向きの基準となるものを提供してもよい。

図示の実施形態において、レンズ支持部１１８は、固定部１１２から半径方向の内向きに延伸している。図４に詳細に示されているように、レンズ支持部１１８は、平面部１２４および輪郭部１２６を備えていてもよい。本実施形態において、輪郭部１２６は、平面部１２４から半径方向の内向きに位置している。輪郭部１２６は、光学レンズ１３０がレンズ支持部１１８に結合剤１４０によって連結される位置において、光学レンズ１３０の概略形状に合うように形成されていてもよい。

図２および３を再び参照すると、光学レンズ１３０の取付け部１３４は、レンズ支持部１１８に結合剤１４０で連結されている。結合剤１４０は、光学レンズ１３０の円周の向きに配置された複数の位置に位置決めされている。結合剤１４０の領域は、結合剤１４０の領域間の中間の円周の位置で互いに分離されており、その結果、レンズアセンブリ１００は、結合剤１４０の領域間の円周の位置では、概して結合剤１４０がないものである。

結合剤１４０に適切な材料は、セメントおよび接着剤を含む、商品として入手可能な材料を含み、例としては、全体として参照により本明細書に組み込まれる米国特許第７，２３２，５９５号明細書および米国特許第７，２５６，２２１号明細書に記載されたものが挙げられる。レンズアセンブリ１００を組み立てる時には、結合剤１４０は、レンズホルダー１１０のレンズ支持部１１８に沿った望ましい位置に位置決めされていてもよい。光学レンズ１３０は挿入されて、クロッキング要素１１６を含む、レンズホルダー１１０の基準フィーチャー（ｄａｔｕｍ ｆｅａｔｕｒｅｓ）に対する位置に保持されてもよい。光学レンズ１３０は、結合剤１４０が乾燥または硬化する機会を有するまで、その位置に保持されていてもよく、それによって、光学レンズ１３０の、レンズホルダー１１０の基準フィーチャーに対する位置が維持される。これらの材料は、代表的なものでは、弾性率および熱膨張係数のオペレーション上の要求を満たし、ここに記載される光学系９０での使用によく適するものである。

しかしながら、従来から結合剤１４０として使用されている材料は、特定の光源によって照射された場合に劣化するという傾向がありうる。光源が、例えば深紫外線および極端紫外線の波長に対応する波長といった短波長の光を出射する場合に、劣化が特に激しくなりうる。短波長では、光源からのエネルギーが結合剤１４０の材料を分解するという傾向がある。材料の劣化は、結合剤１４０からの気体放出を引き起こし、それは光学系９０の汚染につながりうる。さらに、結合剤１４０の劣化は、結合剤１４０の引張強さおよび／または弾性にもマイナスの影響を与えうるものであり、その結果、レンズホルダー１１０の基準フィーチャーに対して光学レンズ１４０の位置を維持する結合剤１４０の性能を低下させうる。光学レンズ１３０とレンズホルダー１１０の基準フィーチャー間の位置ずれは、光学系９０の性能を低下させうる。

図２および３に示された実施形態において、レンズ支持部１１８は、レンズ支持部１１８の円周の向きに配置された複数の支持パッド１２０を備えている。複数の支持パッド１２０は、光学レンズ１３０の光軸１３２に対応する方向に支持パッド１２０から間隔をあけて配置されたレリーフチャンネル１２２によって、それぞれ互いに分離されている。支持パッド１２０およびレリーフチャンネル１２２は、光学レンズ１３０が連結される、レンズ支持部１１８に沿った不連続な装着面を提供する。本実施形態において、結合剤１４０は、光学レンズ１３０に接触するように、支持パッド１２０に沿って位置決めされている。概して、結合剤１４０は、レリーフチャンネル１２２に近接した位置には位置決めされず、その結果、光学レンズ１３０は、レリーフチャンネル１２２に近接した位置では、レンズホルダー１１０から分離されている。光学レンズ１３０とレンズホルダー１１０のレリーフチャンネル１２２との間の間隔は、流体が通りうる隙間を提供する。光学系９０のいくつかの実施形態では、パージガス（ｐｕｒｇｅ ｇａｓ）がレンズアセンブリ１００に導かれて、任意の汚染物質を洗い流すようにレリーフチャンネル１２２と光学レンズ１３０との間に生成された隙間を通って流れてもよい。

図２および３の実施形態は、３つの支持パッド１２０を、したがって、３つのレリーフチャンネル１２２および３つの結合剤１４０の領域をも組み込んだレンズホルダー１１０を示すものだが、レンズホルダー１１０は、光学系９０の設計および要求により決まるような任意の数の支持パッド１２０、レリーフチャンネル１２２、および結合剤１４０の領域を備えてもよいと解されるべきである。

ここで、図５および６を参照すると、レンズホルダー２１０および光学レンズ１３０を組み込んだレンズアセンブリ２００の他の実施形態が示されている。本実施形態において、レンズホルダー２１０は、固定部１１２およびレンズ支持部１１８を備えている。固定部１１２は、ここでは固定部１１２を通る貫通孔である複数の装着要素１１４を備えており、その複数の装着要素１１４は、光学系中でレンズホルダー２１０を連結する固定位置を提供するものである。固定部１１２は、さらに、例えばキーおよび／またはキー溝といったクロッキング要素１１６を備えていてもよい。クロッキング要素１１６は、光学系９０の構成要素の半径方向の位置合わせが維持されるように、隣接する、光学系９０の構成要素間での向きの基準となるものを提供してもよい。

本実施形態では、レンズ支持部１１８は、その円周に亘って連続した形状であってもよく、その結果、レンズ支持部１１８は円周の向きに途切れないものになる。光学レンズ１３０は、光学レンズ１３０の円周１３６に近接した位置に配置された離散領域に位置決めされた結合剤１４０によって、レンズ支持部１１８に連結される。結合剤１４０は、概して、その離散領域内にのみ位置決めされるように限定されてもよく、その結果、結合剤１４０は、隣接する領域間の位置には置かれない。

結合剤１４０がレンズホルダー１１０のレンズ支持部１１８と光学レンズ１３０との間の離散領域に位置決めされるので、また、結合剤１４０が厚みを有しうるので、光学レンズ１３０は、結合剤１４０によってレンズ支持部１１８の上方に位置決めされうる。これらの実施形態では、結合剤１４０の離散領域間の位置で、レンズ支持部１１８と光学レンズ１３０との間の間隙が、流体が通りうる隙間を提供してもよい。光学系９０のいくつかの実施形態では、パージガスがレンズアセンブリ２００に導かれて、任意の汚染物質を洗い流すように、結合剤１４０の離散領域から間隔をあけた位置でレンズ支持部１１８と光学レンズ１３０との間に生成された隙間を通って流れてもよい。

ここで、図７および８を参照すると、レンズホルダー３１０および光学レンズ１３０を組み込んだレンズアセンブリ３００の他の実施形態が示されている。本実施形態では、レンズホルダー３１０は、固定部１１２およびレンズ支持部１１８を備えている。固定部１１２は、ここでは固定部１１２を通る貫通孔である複数の装着要素１１４を備えており、その複数の装着要素１１４は、光学系中でレンズホルダー３１０を連結する取付け位置を提供するものである。固定部１１２は、さらに、例えばキーおよび／またはキー溝といったクロッキング要素１１６を備えていてもよい。クロッキング要素１１６は、光学系９０の構成要素の半径方向の位置合わせが維持されるように、隣接する、光学系９０の構成要素間での向きの基準となるものを提供してもよい。

本実施形態では、光学レンズ１３０は、光学レンズ１３０の円周１３６に配置された、結合剤１４０の複数の離散領域によって、レンズホルダー３１０に連結されている。結合剤１４０の離散領域は、光学レンズ１３０の光軸１３２を横切る光学レンズ１３０の半径方向に対応する、円周の向きに光学レンズ１３０およびレンズホルダー３１０と接触するように位置決めされている。レンズホルダー３１０の実施形態は、レリーフチャンネル３２４から概して半径方向に延伸する支持パッド３２２を備えていてもよい。しかしながら、レンズホルダー３１０の実施形態では、その代わりに、中断されないインターフェイス直径を含んでいてもよい。結合剤１４０の離散領域は、光学レンズ１３０をレンズホルダー３１０に連結するために、光学レンズ１３０とレンズホルダー３１０との間の光学レンズ１３０の円周１３６に位置決めされていてもよい。図示の実施形態において、結合剤１４０の離散領域は、レンズホルダー３１０の支持パッド３２２に近接して、かつ、レンズホルダー３１０のレリーフチャンネル３２４から間隔をあけて位置決めされていてもよい。

結合剤１４０がレンズホルダー３１０のレンズ支持部１１８と光学レンズ１３０との間の離散領域に位置決めされるので、また、 結合剤１４０が厚みを有しうるので、光学レンズ１３０は、結合剤１４０によってレンズ支持部１１８から半径方向の内向きに位置決めされうる。これらの実施形態では、結合剤１４０の離散領域間の位置で、レンズ支持部１１８と光学レンズ１３０との間の間隙が、流体が通りうる隙間を提供する。光学系９０のいくつかの実施形態では、パージガスがレンズアセンブリ３００に導かれて、任意の汚染物質を洗い流すように、結合剤１４０の離散領域から間隔をあけた位置でレンズ支持部１１８と光学レンズ１３０との間に生成された隙間を通って流れてもよい。

上記のようなレンズアセンブリ１００、２００、３００の実施形態において、結合剤１４０が置かれる位置を、光学レンズ１３０の円周１３６に近接した位置に配置された、いくつかの離散領域に限定することによって、レンズアセンブリ１００、２００、３００を通って向けられる光の高強度領域から間隔をあけて結合剤１４０が配置されるように、結合剤１４０が選択的に位置決めされてもよい。その光のパターンの高強度領域と接合剤１４０との間の間隔を維持することによって、レンズアセンブリ１００、２００、３００に入射する光による結合剤１４０の劣化を最小限にしうる。

ここで、図９から１２を参照すると、本開示の実施形態によるレンズアセンブリ１００を有する光学系９０の部分が示されている。これらの実施形態において、光源（不図示）は、複数の低強度領域７４によって互いに分離された複数の高強度領域７２を含む光学フットプリント７０を有する光を、レンズアセンブリ１００の光学レンズ１３０に提供する。図９に示された実施形態では、高強度領域７２が、光学レンズ１３０の中心部を通るように配置されると共に、光学レンズ１３０の円周１３６では互いに分離されている。上記のように、光源によって提供された光は、光学レンズ１３０に導かれる光が指定された光学フットプリント７０を有するように様々な光形成装置によって変更されてもよい。

ここで図１０を参照すると、光学レンズ１３０の円周１３６に亘って評価したビーム強度の仮想プロットが示されている。その仮想プロットに示されているように、その光の光学フットプリント７０は、円周１３６の位置によって異なり、光の強度は、低強度領域７４に対応する位置でより、高強度領域７２に対応する位置で高い。いくつかの実施形態では、光学フットプリント７０の低強度領域７４に対応する位置での光の強度は、光学フットプリント７０の高強度領域７２で評価された光の最高強度の約５０％未満であってもよい。他の実施形態では、光学フットプリント７０の低強度領域７４に対応する位置での光の強度は、光学フットプリント７０の高強度領域７２で評価された光の最高強度の約２５％未満であってもよい。さらに他の実施形態では、光学フットプリント７０の低強度領域７４に対応する位置での光の強度は、光学フットプリント７０の高強度領域７２で評価された光の最高強度の約１０％未満であってもよい。さらに他の実施形態では、光学フットプリント７０の低強度領域７４に対応する位置での光の強度は、光学レンズの円周に沿って評価された光の中央強度（ｍｅｄｉａｎ ｉｎｔｅｎｓｉｔｙ）未満であってもよく、かつ、光学フットプリント７０の高強度領域７２に対応する位置での光の強度は、光学レンズの円周に沿って評価された光の中央強度より大きくてもよい。図１０の仮想プロットに示された光の強度が、高強度領域７２と低強度領域７４との間で滑らかな推移を示している間、光学フットプリント７０の強度が階段関数に似るように、光学レンズ１３０の円周１３６に亘って評価された短い距離で光の強度が高強度領域７２から低強度領域７４に推移しうると解されるべきである。

結合剤１４０は、レンズホルダー１１０に沿って、光学フットプリント７０の低強度領域７４に対応する位置に位置決めされてもよい。光学フットプリント７０の高強度領域７２と比較して、低強度領域７４に対応する位置における光の強度は低減されているので、低強度領域７４に対応する位置の結合剤１４０上に向けられる光は、結合剤１４０を劣化させないか、および／または、結合剤１４０の劣化速度を低下させうる。したがって、結合剤１４０を、光が低強度を有する、レンズホルダー１１０の円周領域に位置決めすることによって、結合剤１４０を、結合剤１４０が高強度の光に曝されうる位置に位置決めされる場合と比較して、結合剤１４０の連結性能の低下および／または気体放出を改善しうる。結合剤１４０を光学フットプリント７０の低強度領域７４に位置決めされるように選択的に制限することによって、結合剤１４０を光学フットプリント７０の高強度領域７２に位置決めする設計と比較して、結合剤１４０は、改善された寿命、および汚染の可能性の低下を有しうる。

ここで、図１１を参照すると、レンズアセンブリ１００の他の実施形態が示されている。本実施形態において、光源（不図示）は、複数の低強度領域７４によって互いに分離された複数の高強度領域７２を含む光学フットプリント１７０を有する光を、レンズアセンブリ１００の光学レンズ１３０に提供する。図１１に示された実施形態では、光学レンズ１３０の横断方向に沿って評価した場合に高強度領域７２と低強度領域７４とが交互になるように、高強度領域７２が「縞の（ｓｔｒｉｐｅｄ）」向きに配置されている。

ここで図１２を参照すると、光学レンズ１３０の円周１３６に亘って評価したビーム強度の仮想プロットが示されている。その仮想プロットに示されているように、その光の光学フットプリント１７０は、円周１３６の位置によって異なり、光の強度は、低強度領域７４に対応する位置でより、高強度領域７２に対応する位置で高い。いくつかの実施形態では、光学フットプリント１７０の低強度領域７４に対応する位置での光の強度は、光学フットプリント１７０の高強度領域７２で評価された光の最高強度の約５０％未満であってもよい。他の実施形態では、光学フットプリント１７０の低強度領域７４に対応する位置での光の強度は、光学フットプリント１７０の高強度領域７２で評価された光の最高強度の約２５％未満であってもよい。さらに他の実施形態では、光学フットプリント１７０の低強度領域７４に対応する位置での光の強度は、光学フットプリント１７０の高強度領域７２で評価された光の最高強度の約１０％未満であってもよい。図１２の仮想プロットに示された光の強度が、高強度領域７２と低強度領域７４との間で滑らかな推移を示している間、光学フットプリント１７０の強度が階段関数に似るように、光学レンズ１３０の円周１３６に亘って評価された短い距離で光の強度が高強度領域７２から低強度領域７４に推移しうると解されるべきである。

図９および１０について記載した上記実施形態と同様に、結合剤１４０は、レンズホルダー１１０に沿って、光学フットプリント１７０の低強度領域７４に対応する位置に位置決めされてもよい。光学フットプリント１７０の高強度領域７２と比較して、低強度領域７４に対応する位置における光の強度は低減されているので、低強度領域７４に対応する位置の結合剤１４０上に向けられる光は、結合剤１４０を劣化させないか、および／または、結合剤１４０の劣化速度を低下させうる。したがって、結合剤１４０を、光が低強度を有する、レンズホルダー１１０の円周領域に位置決めすることによって、結合剤１４０が高強度の光に曝されるうる位置に位置決めされる場合と比較して、結合剤１４０の連結性能の低下および／または気体放出を改善しうる。結合剤１４０を光学フットプリント１７０の低強度領域７４に位置決めされるように選択的に制限することによって、結合剤１４０を光学フットプリント１７０の高強度領域７２に位置決めする設計と比較して、結合剤１４０は、改善された寿命、および汚染の可能性の低下を有しうる。

図９から１２では、光学フットプリント７０、１７０の特定の実施形態を示したが、本開示の範囲から逸脱することなく、様々な光形成装置によって、光学系９０に様々な構成の光学フットプリントを導入しうると解されるべきである。特定の光学フットプリントは、光学系９０が、そこでの使用のために設計されたものである製造オペレーションに適しうるものである。

ここで、本開示のレンズアセンブリ、および、そのレンズアセンブリを備えた光学系は、レンズホルダーおよび光学レンズを有する。光学レンズは、光学レンズの円周に近接した位置で不連続である結合剤によって、レンズホルダーに連結されている。光学系中の光は、光学レンズの円周に沿って評価された複数の低強度領域から分離された複数の高強度領域を有する光学フットプリントで提供される。レンズアセンブリは、結合剤が光学フットプリントの高強度領域から間隔をあけて配置されるように、光学系中で位置決めされる。

「実質的に」という用語は、ここでは、任意の定量的比較、値、計測、または他の表現に起因する不確かさの固有な程度を表すのに用いられうることを、留意していただきたい。さらに、この用語は、ここでは、本主題の基本的機能を変えることなく、定量的表現が記載した基準から変動しうる程度を表すのにも用いられる。

ここでは、特定の実施形態を示し、かつ記載したが、請求された主題の精神および範囲から逸脱することなく、様々な他の改変および変更が可能であると解されるべきである。さらに、請求された主題の様々なアスペクトがここでは記載されたが、そのようなアスペクトは、組み合わされて利用される必要はない。したがって、添付された請求項が、請求された主題の範囲内における、そのような改変および変更を全て網羅するものであるということを意図するものである。

７０、１７０ 光学フットプリント
７２ 高強度領域
７４ 低強度領域
９０ 光学系
９２ 光源
９４ ビーム形成素子
１００、２００、３００ レンズアセンブリ
１３０ 光学レンズ

Claims (10)

1. 光源によって提供された光を透過および屈折させるように位置決めされた光学レンズ、および
   前記光学レンズに連結されて、前記光源に対する該光学レンズの位置を維持するレンズホルダーであって、前記光学レンズが、該光学レンズの円周に近接した位置に不連続な構成で配置された結合剤によって連結されているレンズホルダー、
   を有するレンズアセンブリと、
   前記レンズアセンブリの前記光学レンズに光を提供する光源と、
   を備えた光学系において、
   前記光学レンズに提供される前記光は、低強度領域によって互いに分離された複数の高強度領域を含む光学フットプリントを有し、
   前記結合剤が前記光の前記光学フットプリントの前記高強度領域から間隔をあけて配置されるように、該光源に対して円周の向きに該結合剤が位置決めされていることを特徴とする光学系。
2. 前記高強度領域が、前記光学フットプリントの全域での光の中央強度以上の強度を有する、該光学フットプリントの一部分を含むことを特徴とする請求項１記載の光学系。
3. 前記光学レンズに提供される前記光の中の前記光学フットプリントを提供するように前記光学系に連結されたビーム形成素子をさらに備えたことを特徴とする請求項１または２記載の光学系。
4. 前記レンズホルダーが、平面部、および前記平面部に当接している輪郭部を備え、前記結合剤が、予め定められた位置で前記輪郭部と該光学レンズの一部分とに接触するように、前記光学レンズの前記円周に近接した位置に位置決めされていることを特徴とする請求項１から３のいずれか１項記載の光学系。
5. 前記レンズホルダーが、レリーフチャンネルから間隔をあけて配置された複数の支持パッドをさらに備え、前記結合剤が、前記支持パッドに近接して位置決めされていることを特徴とする請求項４記載の光学系。
6. 前記複数の支持パッドが、前記光学レンズの光軸方向に前記レリーフチャンネルから間隔をあけて配置されていることを特徴とする請求項５記載の光学系。
7. 前記複数の支持パッドが、前記光学レンズの光軸に対して半径方向に前記レリーフチャンネルから間隔をあけて配置されていることを特徴とする請求項５記載の光学系。
8. 光学レンズと、
   固定部および該固定部に連結されたレンズ支持部であって、レリーフチャンネルから間隔をあけて配置された複数の支持パッドを含むレンズ支持部を有するレンズホルダーと、
   前記複数の支持パッドの少なくとも一部分と前記光学レンズとの間に位置決めされ、前記光学レンズを前記レンズホルダーに固定する結合剤と、
   を備えたことを特徴とするレンズアセンブリ。
9. 前記複数の支持パッドが、前記光学レンズの光軸方向に前記レリーフチャンネルから間隔をあけて配置されていることを特徴とする請求項８記載のレンズアセンブリ。
10. 前記複数の支持パッドが、前記光学レンズの光軸に対して半径方向に前記レリーフチャンネルから間隔をあけて配置されていることを特徴とする請求項８記載のレンズアセンブリ。

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