JP2016527720A5 - - Google Patents

Download PDF

Info

Publication number
JP2016527720A5
JP2016527720A5 JP2016528491A JP2016528491A JP2016527720A5 JP 2016527720 A5 JP2016527720 A5 JP 2016527720A5 JP 2016528491 A JP2016528491 A JP 2016528491A JP 2016528491 A JP2016528491 A JP 2016528491A JP 2016527720 A5 JP2016527720 A5 JP 2016527720A5
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
layer
stamp
patterned
pattern
flexible
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2016528491A
Other languages
English (en)
Japanese (ja)
Other versions
JP2016527720A (ja
JP6356798B2 (ja
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Priority claimed from PCT/EP2014/065656 external-priority patent/WO2015011110A1/en
Publication of JP2016527720A publication Critical patent/JP2016527720A/ja
Publication of JP2016527720A5 publication Critical patent/JP2016527720A5/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP6356798B2 publication Critical patent/JP6356798B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

JP2016528491A 2013-07-22 2014-07-22 パターン化されたスタンプの製造方法、パターン化されたスタンプのインプリント方法及びインプリントされた物 Active JP6356798B2 (ja)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
EP13177413 2013-07-22
EP13177413.5 2013-07-22
PCT/EP2014/065656 WO2015011110A1 (en) 2013-07-22 2014-07-22 Patterned stamp manufacturing method, patterned stamp imprinting method and imprinted article

Publications (3)

Publication Number Publication Date
JP2016527720A JP2016527720A (ja) 2016-09-08
JP2016527720A5 true JP2016527720A5 (enExample) 2018-03-01
JP6356798B2 JP6356798B2 (ja) 2018-07-11

Family

ID=48906098

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2016528491A Active JP6356798B2 (ja) 2013-07-22 2014-07-22 パターン化されたスタンプの製造方法、パターン化されたスタンプのインプリント方法及びインプリントされた物

Country Status (9)

Country Link
US (2) US9908358B2 (enExample)
EP (1) EP3025195B1 (enExample)
JP (1) JP6356798B2 (enExample)
KR (1) KR102209564B1 (enExample)
CN (1) CN105378563B (enExample)
RU (1) RU2671324C2 (enExample)
TR (1) TR201909168T4 (enExample)
TW (1) TWI665078B (enExample)
WO (1) WO2015011110A1 (enExample)

Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102540395B1 (ko) 2014-12-22 2023-06-07 코닌클리케 필립스 엔.브이. 패터닝된 스탬프 제조 방법, 패터닝된 스탬프 및 임프린팅 방법
JP6565321B2 (ja) * 2015-05-18 2019-08-28 凸版印刷株式会社 積層構造体、これを用いた有機ｅｌ素子、およびこれらの製造方法
RU2741506C2 (ru) * 2016-07-27 2021-01-26 Конинклейке Филипс Н.В. Способ получения штампа на основе полиорганосилоксанов, штамп на основе полиорганосилоксанов, применение его для процесса печати и способ впечатывания с его использованием
US10035296B2 (en) * 2016-10-13 2018-07-31 Canon Kabushiki Kaisha Methods for controlling spread of imprint material
CN106626831B (zh) * 2016-12-28 2022-12-27 临沂市名涛新型材料有限公司 一种在球形面或弧形凹陷面使用的印刷装置及其应用
KR102655297B1 (ko) * 2017-09-29 2024-04-04 유니버시티 오브 매사추세츠 복합 금속 산화물 구조물의 패터닝
WO2019070899A1 (en) * 2017-10-03 2019-04-11 Cornell University SYSTEMS AND METHODS FOR FORMING MICRO-PATTERNS ON OBJECTS
WO2021024232A1 (en) * 2019-08-07 2021-02-11 Entrust Datacard Corporation Ribbon impresser/indenter for plastic cards

Family Cites Families (21)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2994266A (en) 1959-03-09 1961-08-01 American Optical Corp Hand stamps
SU889468A1 (ru) * 1980-04-07 1981-12-15 Всесоюзный Научно-Исследовательский Институт Резинотехничнского Машиностроения Пресс-форма дл вулканизации резинокордных оболочек
JPH05200757A (ja) * 1992-01-30 1993-08-10 Canon Inc フレキシブルスタンパー、ロール状スタンパー、および光情報記録媒体用基板の製造方法
JP3482115B2 (ja) * 1997-10-13 2003-12-22 東レ・ダウコーニング・シリコーン株式会社 硬化性シリコーン組成物および電子部品
DE19819463B4 (de) * 1998-04-30 2004-03-25 Siemens Ag Antriebsstrangsteuerung eines Kraftfahrzeuges
GB9811634D0 (en) * 1998-05-29 1998-07-29 Unilever Plc Stamping dies
JP3941604B2 (ja) 2002-06-26 2007-07-04 富士ゼロックス株式会社 マイクロレンズアレーの製造方法、それに用いる電解液およびマイクロレンズアレー樹脂材料、ならびに原盤製造装置
JP2008507114A (ja) * 2004-04-27 2008-03-06 ザ ボード オブ トラスティーズ オブ ザ ユニヴァーシティー オブ イリノイ ソフトリソグラフィ用複合パターニングデバイス
BRPI0515058A (pt) * 2004-09-08 2008-07-01 Nil Technology Aps selo por nanoimpressão e método para imprimir um padrão litográfico em um substrato receptor
CA2579603A1 (en) 2004-09-08 2006-03-16 Nil Technology Aps A flexible nano-imprint stamp
US20060144262A1 (en) * 2005-01-03 2006-07-06 Ji-Sung Koong Marking apparatus for golf ball and stamp for thereof
CN2822970Y (zh) * 2005-09-28 2006-10-04 蔡碧云 美甲印章
US8318253B2 (en) 2006-06-30 2012-11-27 Asml Netherlands B.V. Imprint lithography
US7678423B2 (en) * 2007-02-27 2010-03-16 The Regents Of The University Of Michigan System and method for depositing thin layers on non-planar substrates by stamping
JP4448868B2 (ja) * 2007-06-29 2010-04-14 株式会社日立産機システム インプリント用スタンパとその製造方法
WO2009014717A1 (en) * 2007-07-25 2009-01-29 Nano Terra Inc. Contact printing method using an elastomeric stamp having a variable surface area and variable shape
CN101221358A (zh) * 2008-02-04 2008-07-16 哈尔滨工业大学 基于柔性紫外压模的曲面基底多相位微光学元件加工方法
EP2288662B1 (en) * 2008-06-06 2014-07-30 Koninklijke Philips N.V. Silicone rubber material for soft lithography
CN101477304B (zh) * 2008-11-04 2011-08-17 南京大学 在复杂形状表面复制高分辨率纳米结构的压印方法
JP2011062978A (ja) * 2009-09-18 2011-03-31 Fujifilm Corp インプリント方法に用いる剥離板、モールド構造体及びインプリント方法
JP2013004669A (ja) * 2011-06-15 2013-01-07 Toshiba Corp パターン形成方法、電子デバイスの製造方法及び電子デバイス

Similar Documents

Publication Publication Date Title
WO2009147602A3 (en) Silicone rubber material for soft lithography
ATE474074T1 (de) Verfahren zur bearbeitung einer strukturierten oberfläche
RU2017126139A (ru) Способ изготовления штампа с рисунком, штамп с рисунком и способ отпечатывания
JP2012507606A5 (enExample)
RU2016105665A (ru) Способ изготовления снабженного рисунком штампа, способ импринтинга снабженным рисунком штампа и полученное импринтингом изделие
TW201614811A (en) Nanocrystalline diamond carbon film for 3D NAND hardmask application
JP2008517743A5 (enExample)
WO2013168634A8 (ja) 転写方法及び熱ナノインプリント装置
WO2015187390A3 (en) Scalable nucleic acid-based nanofabrication
WO2009004560A3 (en) A method for forming a patterned layer on a substrate
JP2010537843A5 (enExample)
JP2005183985A5 (enExample)
WO2011094317A3 (en) Micro-conformal templates for nanoimprint lithography
JP2010523378A5 (enExample)
EP2535200A3 (en) Printing method, transfer material, and inkjet discharge device
JP2014237545A5 (enExample)
WO2018163941A9 (ja) 印刷物の製造方法および印刷機
WO2011094696A3 (en) Ultra-compliant nanoimprint lithography template
SG152216A1 (en) Method of preparing a substrate for lithography, a substrate, a device manufacturing method, a sealing coating applicator and a sealing coating measurement apparatus
WO2014154428A3 (en) Object holder and method of manufacturing an object holder
WO2009154571A8 (en) A method of making an imprint on a polymer structure
MX394651B (es) Curado tridimensional de un objeto impreso de forma bidimensional.
EP2722110A3 (en) Process for preparing reflective products
BRPI0719958A2 (pt) Dispositivo para a remodelagem de ossos
PT3875248T (pt) Método para produzir uma estrutura tridimensional numa superfície de um substrato plano