JP2016522887A5 - - Google Patents
Download PDFInfo
- Publication number
- JP2016522887A5 JP2016522887A5 JP2016507962A JP2016507962A JP2016522887A5 JP 2016522887 A5 JP2016522887 A5 JP 2016522887A5 JP 2016507962 A JP2016507962 A JP 2016507962A JP 2016507962 A JP2016507962 A JP 2016507962A JP 2016522887 A5 JP2016522887 A5 JP 2016522887A5
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ablation
- injector
- plume
- laser
- icp
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000002679 ablation Methods 0.000 claims 36
- 238000000608 laser ablation Methods 0.000 claims 21
- 238000009616 inductively coupled plasma Methods 0.000 claims 18
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims 16
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 claims 10
- 238000005070 sampling Methods 0.000 claims 10
- 238000004163 cytometry Methods 0.000 claims 6
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims 5
- 239000012159 carrier gas Substances 0.000 claims 4
- 239000000463 material Substances 0.000 claims 4
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 claims 2
- 239000000969 carrier Substances 0.000 claims 1
Claims (19)
- レーザーアブレーション・マス・サイトメーターを用いるレーザーアブレーション・マス・サイトメトリー分析の方法であって、
パルスごとに試料のアブレーションプルームを生成するために、前記試料の複数の部位にレーザービームの前記パルスを向けるステップと、
各アブレーションプルームを独自に捕捉するステップと、
独自に捕捉された各アブレーションプルームを誘導結合プラズマ(ICP)に搬送するステップと、
前記ICP内に独自に捕捉され、搬送された前記アブレーションプルームをイオン化して、マス・サイトメトリー分析のためのイオンを生成するステップと、を含み、
前記レーザーアブレーション・マス・サイトメーターは、前記ICPに前記アブレーションプルームを搬送するよう構成されたインジェクターであって、レーザーアブレーション源内に位置付けられると共に、前記アブレーションプルームを捕捉するように構成されたインジェクター入口を有している、インジェクターを備え、
前記インジェクター入口は、サンプリングコーンを形成し、該サンプリングコーンの狭い部分は前記インジェクター入口のアパーチャーであり、該サンプリングコーンは、前記アブレーションプルームが生成される領域に隣接して位置し、
前記方法は、
前記アブレーションプルームを、前記インジェクターの前記サンプリングコーンの中にもたらすための捕捉ガスフローを導入するステップと、
前記アブレーションプルームを前記サンプリングコーンから前記ICPの方へ搬送するために前記インジェクター内に、前記捕捉ガスフローから分離した搬送ガスフローを導入するステップと、
をさらに含む、レーザーアブレーション・マス・サイトメトリー分析の方法。 - 前記レーザーアブレーション・マス・サイトメーターは、
前記試料からアブレーションプルームを生成するためのレーザーアブレーション源と、
前記ICPを生成するためのICP源と、
前記インジェクター入口に結合されたガス入口であって、前記捕捉されたアブレーションプルームを前記ICPに搬送するために、前記ガス入口からのガスを前記インジェクター入口に通すよう構成されたガス入口と、
をさらに備えている、請求項1に記載の方法。 - 前記アブレーションプルームを、前記インジェクター入口を経て方向付けるのを助けるために、前記インジェクター入口と前記アブレーションプルームが生成される領域との間の領域内にガスフローを導入するステップをさらに含み、
前記ガスフローは前記アブレーションプルームが生成される領域を横断し、かつ前記インジェクター入口に近接する前記インジェクターの内腔の中心線を横断する、請求項2に記載の方法。 - 前記アブレーションプルームが前記ICPに搬送されるときのアブレーションプルームの広がりは、前記インジェクターの内腔の内径以内に維持される、請求項2に記載の方法。
- 前記アパーチャーの直径は、調整可能であり、前記アブレーションプルームが前記インジェクター内に入るときに、前記アブレーションプルームに対する摂動を阻止する大きさであるか、前記アブレーションプルームの断面径に等しいか、もしくは前記断面径より大きい、請求項1に記載の方法。
- 前記アブレーションプルームは、前記試料を含む透明ターゲットを経て向けられるレーザーパルスによって生成され、前記透明ターゲットは、前記試料が配置される透明基板を含む、請求項1に記載の方法。
- 前記レーザービームは、フェムト秒レーザーから出る、請求項1に記載の方法。
- 前記試料の位置は分析中、変更され、分析中、前記レーザービームは静止したままである、請求項1に記載の方法。
- 前記試料の位置は、分析中、固定されている、請求項1に記載の方法。
- 前記レーザービームのパルスは、1ミクロン以下のアブレーションスポットを生成する、請求項1に記載の方法。
- 前記サンプリングコーンの外側の表面の円周は前記アパーチャーに向かって減少する、請求項1に記載の方法。
- 前記インジェクターは、プルーム物質を囲むシースフローの一部が、前記プルーム物質が前記ICP内に導入される前に廃棄される、犠牲フローの一部をさらに含む、請求項1に記載の方法。
- レーザーアブレーション・マス・サイトメーターを用いるレーザーアブレーション・マス・サイトメトリー分析の方法であって、
パルスごとに試料のアブレーションプルームを生成するために、前記試料の複数の部位にレーザービームの前記パルスを向けるステップと、
各アブレーションプルームを独自に捕捉するステップと、
独自に捕捉された各アブレーションプルームを誘導結合プラズマ(ICP)に搬送するステップと、
前記ICP内に独自に捕捉され、搬送された前記アブレーションプルームをイオン化して、マス・サイトメトリー分析のためのイオンを生成するステップと、を含み、
前記レーザーアブレーション・マス・サイトメーターは、
前記試料からアブレーションプルームを生成するためのレーザーアブレーション源と、
前記ICPを生成するためのICP源と、
前記ICPに前記アブレーションプルームを搬送するよう構成されたインジェクターであって、前記レーザーアブレーション源内に位置付けられると共に、前記アブレーションプルームを捕捉するように構成されたインジェクター入口を有している、インジェクターと、
前記インジェクター入口に結合されたガス入口であって、前記捕捉されたアブレーションプルームを前記ICPに搬送するために、前記ガス入口からのガスを前記インジェクター入口に通すよう構成されたガス入口と、
を備え、
前記方法は、前記アブレーションプルームを、前記インジェクター入口を経て方向付けるのを助けるために、前記インジェクター入口と前記アブレーションプルームが生成される領域との間の領域内にガスフローを導入するステップをさらに含み、
前記ガスフローは前記アブレーションプルームが生成される領域を横断し、かつ前記インジェクター入口に近接する前記インジェクターの内腔の中心線を横断し、
前記方法は、前記アブレーションプルームを前記ICPの方へ搬送するために前記インジェクター内に搬送ガスフローを導入するステップを含み、
前記ガスフローは毎分約0.1リットルで、前記搬送ガスフローは毎分約0.9リットルである、レーザーアブレーション・マス・サイトメトリー分析の方法。 - レーザー照射を生成するよう構成されたレーザーと、
分析すべき試料を保持する透明基板、又は透明基板を受けるよう構成されたステージを有するレーザーアブレーションセルと、
アブレーションプルームをICPに搬送するためのインジェクターであって、前記インジェクターはサンプリングコーンを含み、該サンプリングコーンはインジェクター開口部を形成する、該サンプリングコーンの狭い部分を有しているインジェクターと、
前記インジェクター内に搬送フローを生成するための搬送ガス源と、
前記アブレーションセル内に捕捉フローを生成するための捕捉ガス源と、
を備える、レーザーアブレーションシステム。 - 前記インジェクター開口部は、前記基板のある部位のアブレーションによって、前記レーザー照射が放出される表面の下流でアブレーションプルームが形成されるように構成される、請求項14に記載のレーザーアブレーションシステム。
- 前記表面はレンズ又はミラーである、請求項15に記載のレーザーアブレーションシステム。
- 前記サンプリングコーンの外側の表面の円周は前記インジェクター開口部に向かって減少する、請求項14に記載のレーザーアブレーションシステム。
- 前記インジェクターは、プルーム物質を囲むシースフローの一部が、前記プルーム物質が前記ICP内に導入される前に廃棄される、犠牲フローの一部をさらに含む、請求項14に記載のレーザーアブレーションシステム。
- 前記レーザー、前記レーザーアブレーションセル、及び前記インジェクターは、前記レーザー照射が前記ステージ又は前記基板の片側で発生し、前記インジェクター開口部は反対側にあるよう構成される、請求項14に記載のレーザーアブレーションシステム。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US201361812893P | 2013-04-17 | 2013-04-17 | |
US61/812,893 | 2013-04-17 | ||
PCT/CA2014/050387 WO2014169394A1 (en) | 2013-04-17 | 2014-04-17 | Sample analysis for mass cytometry |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016522887A JP2016522887A (ja) | 2016-08-04 |
JP2016522887A5 true JP2016522887A5 (ja) | 2017-06-01 |
JP6230693B2 JP6230693B2 (ja) | 2017-11-15 |
Family
ID=51730644
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016507962A Active JP6230693B2 (ja) | 2013-04-17 | 2014-04-17 | マス・サイトメトリーのための試料分析 |
Country Status (8)
Country | Link |
---|---|
US (6) | US9589779B2 (ja) |
EP (2) | EP3690923A1 (ja) |
JP (1) | JP6230693B2 (ja) |
CN (1) | CN105190829B (ja) |
CA (2) | CA3191952A1 (ja) |
RU (1) | RU2637795C2 (ja) |
SG (2) | SG10201808165YA (ja) |
WO (1) | WO2014169394A1 (ja) |
Families Citing this family (33)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
SG11201507853QA (en) | 2013-03-22 | 2015-10-29 | Eth Zuerich | Laser ablation cell |
US9589779B2 (en) | 2013-04-17 | 2017-03-07 | Fluidigm Canada Inc. | Sample analysis for mass cytometry |
CN105658310A (zh) | 2013-09-13 | 2016-06-08 | 斯坦福大学托管董事会 | 使用质量标签和次级离子质谱术的组织复用成像 |
GB201403625D0 (en) * | 2014-02-28 | 2014-04-16 | Asrepresented By The Sec Dep Of Health And Human Services The | Multiplexed imaging of tissue samples by mass cytometry |
EP3195346B1 (en) * | 2014-09-18 | 2020-05-06 | Universiteit Gent | Laser ablation probe |
WO2016109603A1 (en) * | 2014-12-29 | 2016-07-07 | Fluidigm Canada Inc. | Mass cytometry apparatus and methods |
US9963667B2 (en) | 2014-12-31 | 2018-05-08 | Fluidigm Canada Inc. | Structured biological samples for analysis by mass cytometry |
US20160260598A1 (en) * | 2015-02-04 | 2016-09-08 | Fluidigm Canada Inc. | Laser enabled imaging mass cytometry |
EP3274719B1 (en) | 2015-03-25 | 2021-02-24 | The Board of Trustees of the Leland Stanford Junior University | Single cell analysis using secondary ion mass spectrometry |
WO2016172215A1 (en) | 2015-04-23 | 2016-10-27 | The Board Of Trustees Of The Leland Stanford Junior University | Method for multiplexed sample analysis by photoionizing secondary sputtered neutrals |
CN109791868A (zh) * | 2016-08-02 | 2019-05-21 | 富鲁达加拿大公司 | 激光烧蚀系统 |
JP2020506736A (ja) * | 2016-12-22 | 2020-03-05 | アドバンスト オステオトミー ツールズ − エーオーティー アーゲー | レーザデバイスおよび組織特徴解析方法 |
US11092519B1 (en) * | 2017-02-06 | 2021-08-17 | Elemental Scientific Lasers, Llc | System and method for automated sampling and analysis |
JP7078382B2 (ja) * | 2017-11-22 | 2022-05-31 | 藤太郎 今坂 | 飛行時間型質量分析装置及び質量分析方法 |
EP3779399A4 (en) * | 2018-04-18 | 2021-11-24 | S.T.Japan Inc. | LASER ABLATION DEVICE AND ANALYZER |
CN113678227A (zh) | 2018-06-18 | 2021-11-19 | 富鲁达加拿大公司 | 高分辨率成像设备和方法 |
EP3850329A4 (en) * | 2018-09-10 | 2022-06-22 | Fluidigm Canada Inc. | AUTOFOCUS PROBE IMAGING DEVICE AND METHOD |
KR102577694B1 (ko) * | 2018-09-11 | 2023-09-12 | 주식회사 엘지에너지솔루션 | 검출 감도 향상을 위한 레이저 탈착-dart-ms 시스템 및 이에 사용되는 인터페이스 유닛 |
US11488816B2 (en) | 2018-09-11 | 2022-11-01 | Lg Energy Solution, Ltd. | Interface unit |
WO2020092236A1 (en) * | 2018-10-29 | 2020-05-07 | Fluidigm Canada Inc. | Inductively coupled plasma torch with reverse vortex flow and method of operation |
CN109668818B (zh) * | 2018-12-26 | 2024-07-12 | 宁波大学 | 基于激光烧蚀的细胞分析装置及方法 |
WO2020150236A1 (en) * | 2019-01-15 | 2020-07-23 | Fluidigm Canada Inc. | Direct ionization in imaging mass spectrometry |
EP3712923A1 (en) * | 2019-03-18 | 2020-09-23 | ETH Zurich | Ion source for inductively coupled plasma mass spectrometry |
CN114207775B (zh) * | 2019-05-15 | 2023-06-06 | 上海宸安生物科技有限公司 | 用于质谱法的样品输送装置 |
CN114599968A (zh) * | 2019-06-18 | 2022-06-07 | 富鲁达加拿大公司 | 改进型质谱流式细胞术 |
EP4107826A4 (en) * | 2020-02-19 | 2024-03-20 | Elemental Scientific Lasers, LLC | VARIABLE BEAM SIZE VIA A HOMQGENIZER MOVEMENT |
EP3943197A1 (en) * | 2020-07-20 | 2022-01-26 | The Provost, Fellows, Scholars and other Members of Board of Trinity College Dublin | Jet deposition using laser-produced dry aerosol |
CA3193031A1 (en) | 2020-09-18 | 2022-03-24 | Fluidigm Canada Inc. | Inductively coupled plasma based atomic analysis systems and methods |
US11443933B1 (en) * | 2020-10-30 | 2022-09-13 | Agilent Technologies, Inc. | Inductively coupled plasma mass spectrometry (ICP-MS) with ion trapping |
JP2022131579A (ja) | 2021-02-26 | 2022-09-07 | キオクシア株式会社 | 分析装置および分析方法 |
CN113218846A (zh) * | 2021-03-18 | 2021-08-06 | 上海交通大学 | 一种面向于单细胞质谱流式分析的icp装置 |
CN117501408A (zh) * | 2021-04-14 | 2024-02-02 | 吉米亚分析公司 | 为icp-ms生成高产率负离子的系统 |
AT525093B1 (de) * | 2021-10-05 | 2022-12-15 | Univ Wien Tech | Vorrichtung zur Aufnahme eines Feststoff-Probenmaterials |
Family Cites Families (35)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4740692A (en) * | 1985-06-13 | 1988-04-26 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Laser mass spectroscopic analyzer and method |
DE4108462C2 (de) * | 1991-03-13 | 1994-10-13 | Bruker Franzen Analytik Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zum Erzeugen von Ionen aus thermisch instabilen, nichtflüchtigen großen Molekülen |
DE4200497A1 (de) | 1992-01-10 | 1993-07-15 | Bayer Ag | Verfahren und vorrichtung zur schnellen identifizierung von kunststoffen mit hilfe der massenspektrometrie |
JP2870364B2 (ja) * | 1993-06-29 | 1999-03-17 | 日本鋼管株式会社 | レーザー気化分析方法及び装置 |
US5526110A (en) | 1994-07-08 | 1996-06-11 | Iowa State University Research Foundation, Inc. | In situ calibration of inductively coupled plasma-atomic emission and mass spectroscopy |
US5777324A (en) | 1996-09-19 | 1998-07-07 | Sequenom, Inc. | Method and apparatus for maldi analysis |
JPH11201945A (ja) * | 1998-01-09 | 1999-07-30 | Jeol Ltd | レーザーアブレーション装置 |
US5965884A (en) * | 1998-06-04 | 1999-10-12 | The Regents Of The University Of California | Atmospheric pressure matrix assisted laser desorption |
CA2460567C (en) * | 2001-09-17 | 2010-11-02 | Mds Inc. | Method and apparatus for cooling and focusing ions |
US6683277B1 (en) | 2002-12-20 | 2004-01-27 | Osram Opto Semiconductors | Laser ablation nozzle assembly |
EP1574849B1 (en) * | 2004-01-22 | 2012-09-26 | Thermo Finnigan Llc | Method and apparatus for FAIMS with a laser-based ionization source |
JPWO2005095942A1 (ja) | 2004-03-30 | 2008-02-21 | 独立行政法人理化学研究所 | レーザーアブレーションを用いた生体試料の分析方法およびその装置 |
US7180058B1 (en) * | 2005-10-05 | 2007-02-20 | Thermo Finnigan Llc | LDI/MALDI source for enhanced spatial resolution |
US8283624B2 (en) | 2006-08-15 | 2012-10-09 | Dvs Sciences Inc. | Apparatus and method for elemental analysis of particles by mass spectrometry |
US9465036B2 (en) | 2006-11-02 | 2016-10-11 | Fluidigm Canada Inc. | Particles containing detectable elemental code |
US20110024615A1 (en) | 2006-12-29 | 2011-02-03 | Tanner Scott D | Cell injector for flow cytometer having mass spectrometer detector and method for using same |
US8174691B1 (en) * | 2007-03-15 | 2012-05-08 | Arkansas State University—Jonesboro | Detection of a component of interest with an ultraviolet laser and method of using the same |
US9079268B2 (en) * | 2007-09-14 | 2015-07-14 | Robert C. Fry | Analytical laser ablation of solid samples for ICP, ICP-MS, and FAG-MS analysis |
US8207494B2 (en) * | 2008-05-01 | 2012-06-26 | Indiana University Research And Technology Corporation | Laser ablation flowing atmospheric-pressure afterglow for ambient mass spectrometry |
US9383260B1 (en) * | 2008-05-05 | 2016-07-05 | Applied Spectra, Inc. | Laser ablation analysis system |
DE102008049833A1 (de) * | 2008-10-01 | 2010-04-22 | Forschungszentrum Jülich GmbH | Verfahren und Vorrichtung zur Durchführung einer quantitativen ortsaufgelösten Lokal- und Verteilunganalyse chemischer Elemente und in-situ Charakterisierung der ablatierten Oberflächenregionen |
ES2741664T3 (es) * | 2009-02-02 | 2020-02-11 | Light Matter Interaction Inc | Método y sistema de desorción ablativa blanda |
DE102009016512B4 (de) * | 2009-04-08 | 2011-05-12 | Forschungszentrum Jülich GmbH | Verfahren und Vorrichtung zur Durchführung einer quantitativen ortsaufgelösten Lokal- und Verteilungsanalyse chemischer Elemente und in-situ Charakterisierung der ablatierten Oberflächenregionen |
US8319964B2 (en) * | 2009-07-10 | 2012-11-27 | University Of Florida Research Foundation, Inc. | Method and apparatus to laser ablation—laser induced breakdown spectroscopy |
DE202010010932U1 (de) * | 2010-04-19 | 2011-10-07 | Witec Wissenschaftliche Instrumente Und Technologie Gmbh | Vorrichtung zur Abbildung einer Probenoberfläche |
US8519330B2 (en) * | 2010-10-01 | 2013-08-27 | Ut-Battelle, Llc | Systems and methods for laser assisted sample transfer to solution for chemical analysis |
US8598488B2 (en) * | 2011-12-23 | 2013-12-03 | Electro Scientific Industries, Inc. | Method and apparatus for adjusting radiation spot size |
US8879064B2 (en) * | 2011-12-23 | 2014-11-04 | Electro Scientific Industries, Inc. | Apparatus and method for transporting an aerosol |
EP2948974A2 (en) * | 2013-01-28 | 2015-12-02 | Westfälische Wilhelms-Universität Münster | Laser ablation atmospheric pressure ionization mass spectrometry |
US9412574B2 (en) * | 2013-01-28 | 2016-08-09 | Westfaelische Wilhelms-Universitaet Muenster | Parallel elemental and molecular mass spectrometry analysis with laser ablation sampling |
US10285255B2 (en) * | 2013-02-14 | 2019-05-07 | Elemental Scientific Lasers, Llc | Laser ablation cell and injector system for a compositional analysis system |
US20140268134A1 (en) * | 2013-03-15 | 2014-09-18 | Electro Scientific Industries, Inc. | Laser sampling methods for reducing thermal effects |
SG11201507853QA (en) * | 2013-03-22 | 2015-10-29 | Eth Zuerich | Laser ablation cell |
US9589779B2 (en) | 2013-04-17 | 2017-03-07 | Fluidigm Canada Inc. | Sample analysis for mass cytometry |
US20160260598A1 (en) * | 2015-02-04 | 2016-09-08 | Fluidigm Canada Inc. | Laser enabled imaging mass cytometry |
-
2014
- 2014-04-17 US US14/783,791 patent/US9589779B2/en active Active
- 2014-04-17 SG SG10201808165YA patent/SG10201808165YA/en unknown
- 2014-04-17 EP EP20150581.5A patent/EP3690923A1/en active Pending
- 2014-04-17 CA CA3191952A patent/CA3191952A1/en active Pending
- 2014-04-17 CN CN201480009995.6A patent/CN105190829B/zh active Active
- 2014-04-17 CA CA2895360A patent/CA2895360C/en active Active
- 2014-04-17 JP JP2016507962A patent/JP6230693B2/ja active Active
- 2014-04-17 SG SG11201504874QA patent/SG11201504874QA/en unknown
- 2014-04-17 RU RU2015123440A patent/RU2637795C2/ru active
- 2014-04-17 WO PCT/CA2014/050387 patent/WO2014169394A1/en active Application Filing
- 2014-04-17 EP EP14784995.4A patent/EP2987177B1/en active Active
-
2017
- 2017-01-18 US US15/408,806 patent/US9952132B2/en active Active
-
2018
- 2018-04-18 US US15/956,403 patent/US10241023B2/en active Active
-
2019
- 2019-02-07 US US16/270,421 patent/US10705006B2/en active Active
-
2020
- 2020-06-08 US US16/895,009 patent/US11099116B2/en active Active
-
2021
- 2021-07-22 US US17/382,764 patent/US11630050B2/en active Active
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2016522887A5 (ja) | ||
JP6230693B2 (ja) | マス・サイトメトリーのための試料分析 | |
TWI645929B (zh) | 用於對材料進行雷射鑽孔的方法及系統 | |
JP2016512382A5 (ja) | ||
WO2015082997A4 (en) | Apparatus for and method of source material delivery in a laser produced plasma euv light source | |
KR102151765B1 (ko) | 레이저 생성 플라즈마 극자외 광원용 타겟 | |
JP6776323B2 (ja) | 組成分析システムのためのレーザアブレーションセル及びトーチシステム | |
JP2016509540A5 (ja) | ||
JPWO2019246033A5 (ja) | ||
TW201443415A (zh) | 用於減少熱效應的雷射取樣方法 | |
WO2019119617A1 (zh) | 一种高折射率、低硬度透明材料激光切割装置及切割方法 | |
WO2016126988A1 (en) | Laser enabled imaging mass cytometry | |
ATE471784T1 (de) | Verfahren zur materialbearbeitung mittels eines in einem wasserstrahl geführten lasers sowie vorrichtung zur durchführung des verfahrens | |
CN111479648B (zh) | 用于监控工件的射束处理的装置、方法及用途 | |
Chen et al. | Plume splitting and rebounding in a high-intensity CO2 laser induced air plasma | |
JP2016524460A5 (ja) | ||
Chumakov et al. | Efficiency of silicon laser ablation in air on bichromatic pulse irradiation | |
EP3726940A3 (en) | Laser-driven microplasma xuv source | |
CN104931484A (zh) | Icp发光分光分析装置 | |
JP6632818B2 (ja) | 荷電粒子レンズに組み込まれた光学部品およびガス送達 | |
KR20160062978A (ko) | 레이저유도 플라즈마에서 방출된 이온에너지의 시공간적 특성 분석 장치 및 분석방법 | |
Ruiz et al. | Effects of a static inhomogeneous magnetic field acting on a laser-produced carbon plasma plume | |
Liu et al. | Femtosecond laser micromachining on backside of glass using simultaneously spatially and temporally focused vortex beams | |
Gilicze et al. | Periodic surface structure creation by UV femtosecond pulses on silicon | |
Wei et al. | Fast photograph and OES study on dynamics of IR laser produced metal plasma in air |