JP2016520196A - ナノ多孔質膜を有する嗅気型漏洩検出器 - Google Patents
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Abstract
Description
ここで、ガス分子流中のガス成分は、物理法則にのっとって、(分子ごとに)それぞれ独立に運動し、独自の透過性を有する。分子の透過率は、個々のガス成分の分子量の1/2乗に逆比例する。そこで、窒素や酸素や他の空気成分に比べ、水素が所定の開口に対する顕著な透過性を示す。
Claims (10)
- ガスを吸入し、分析するための嗅気型漏洩検出器(10)であって、
ガスを吸入する嗅ぎ取りプローブ(12)と、
前記嗅ぎ取りプローブ(12)に接続したガス輸送ポンプ(13)と、
吸入されたガスを高真空で分析するために排気ポンプ(15,16)に接続された質量分析計とを備え、
嗅ぎ取りプローブ(12)を流通したガスフローはガス透過性の孔(20)を有する膜(18)を通じて導入され、
前記膜(18)は、前記ガスの高真空下での質量分析のために、ガスフローの一部の排気ポンプ(15,16)の予備排気区画への流入を可能とするものであり、
孔(20)の直径(D)が、大気圧、室温での空気の自由行程(I)と同等またはそれ未満であることを特徴とする、漏洩検出器。 - 質量分析式の前記嗅気型漏洩検出器 (10)は、カウンターフロー型漏洩検出器であることを特徴とする、請求項1に記載の嗅気型漏洩検出器。
- 前記孔の直径がそれぞれ、20nm以下であることを特徴とする、請求項1または2に記載の嗅気型漏洩検出器。
- 各孔(20)の直径の、膜(18)の全孔(20)の平均直径との差が最大で50%(好ましくは20%未満)であることを特徴とする、請求項1〜3のいずれか一項に記載の嗅気型漏洩検出器。
- 膜(18)表面の全面積に対する全孔の開口面積の比が、少なくとも25%(好ましくは少なくとも40%)であることを特徴とする、請求項1から4のいずれか一項に記載の嗅気型漏洩検出器。
- 前記膜(18)が、厚み100μm未満、好ましくは50μm未満の板状であることを特徴とする、請求項1から5のいずれか一項に記載の嗅気型漏洩検出器。
- 前記膜(18)が、酸化アルミニウムからなる多孔質板であることを特徴とする、請求項1から6のいずれか一項に記載の嗅気型漏洩検出器。
- 隣接する孔(20)間の最短距離が 100nm未満、好ましくは80nm未満であることを特徴とする、請求項1から7のいずれか一項に記載の嗅気型漏洩検出器。
- 前記膜(18)が表面の面積1μm2あたり、少なくとも20個(好ましくは少なくとも25個)の孔を有することを特徴とする、請求項1から8のいずれか一項に記載の嗅気型漏洩検出器。
- 吸入されたガスの平均自由行程(I)と圧力(p)の間に、I・p=6.65×10−5m・mbarの関係が成り立つ時、孔の直径と、吸入されたガスの平均自由行程(I)の比(クヌーセン数)が、0.5より高いことを特徴とする、請求項1から9のいずれか一項に記載の嗅気型漏洩検出器。
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CN113984292B (zh) * | 2021-09-30 | 2024-02-09 | 北京航天试验技术研究所 | 一种液氢阀外漏检测装置及方法 |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0540071A (ja) * | 1991-05-16 | 1993-02-19 | Ulvac Japan Ltd | ガス洩れ検査装置 |
JPH09142964A (ja) * | 1995-11-28 | 1997-06-03 | Kyocera Corp | アルミナ多孔質膜の製造方法 |
JPH1048087A (ja) * | 1996-07-31 | 1998-02-20 | Shimadzu Corp | ヘリウムリークディテクタ |
JPH1090104A (ja) * | 1996-09-12 | 1998-04-10 | Ulvac Japan Ltd | ヘリウムリークディテクター |
JP2010520450A (ja) * | 2007-02-28 | 2010-06-10 | バリアン・インコーポレイテッド | 試験気体漏れ検知のための方法および機器 |
JP2010520451A (ja) * | 2007-02-28 | 2010-06-10 | バリアン・インコーポレイテッド | 試験気体漏れ検知のための方法および機器 |
JP2011255303A (ja) * | 2010-06-08 | 2011-12-22 | Kawaken Fine Chem Co Ltd | アルミナ複合分離膜及びその製造方法 |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5317900A (en) * | 1992-10-02 | 1994-06-07 | The Lyle E. & Barbara L. Bergquist Trust | Ultrasensitive helium leak detector for large systems |
DE4326267A1 (de) * | 1993-08-05 | 1995-02-09 | Leybold Ag | Lecksuchgerät |
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DE102004050762A1 (de) * | 2004-10-16 | 2006-04-20 | Inficon Gmbh | Verfahren zur Lecksuche |
DE102005021909A1 (de) * | 2005-05-12 | 2006-11-16 | Inficon Gmbh | Schnüffellecksucher mit Quarzfenstersensor |
DE102006045282C5 (de) * | 2006-09-22 | 2012-11-22 | Helmholtz-Zentrum Geesthacht Zentrum für Material-und Küstenforschung GmbH | Isoporöse Membran und Verfahren zu ihrer Herstellung |
DE102008008262A1 (de) * | 2008-02-08 | 2009-08-13 | Inficon Gmbh | Schnüffellecksucher nach dem Referenzmessprinzip |
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Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0540071A (ja) * | 1991-05-16 | 1993-02-19 | Ulvac Japan Ltd | ガス洩れ検査装置 |
JPH09142964A (ja) * | 1995-11-28 | 1997-06-03 | Kyocera Corp | アルミナ多孔質膜の製造方法 |
JPH1048087A (ja) * | 1996-07-31 | 1998-02-20 | Shimadzu Corp | ヘリウムリークディテクタ |
JPH1090104A (ja) * | 1996-09-12 | 1998-04-10 | Ulvac Japan Ltd | ヘリウムリークディテクター |
JP2010520450A (ja) * | 2007-02-28 | 2010-06-10 | バリアン・インコーポレイテッド | 試験気体漏れ検知のための方法および機器 |
JP2010520451A (ja) * | 2007-02-28 | 2010-06-10 | バリアン・インコーポレイテッド | 試験気体漏れ検知のための方法および機器 |
JP2011255303A (ja) * | 2010-06-08 | 2011-12-22 | Kawaken Fine Chem Co Ltd | アルミナ複合分離膜及びその製造方法 |
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