JP2016515991A - 無欠陥単結晶薄層 - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、単結晶薄層および製造方法に関する。
窒化ガリウムは、ウルツ鉱結晶構造と、3.4eVの広いバンドギャップを有する化合物である。オプトエレクトロニクスや高出力、高周波数電子装置、ソリッドステート装置、超高効率太陽電池装置等、多くの分野で重要な用途を有する。独立型シーディング/基板窒化ガリウム層の欠如は、窒化ガリウム技術において大きな課題となっている。
一般に、窒化ガリウム膜のようなIII-V族半導体膜は、無転位単結晶であり得る。窒化ガリウム膜のようなIII-V族半導体膜は、10ナノメータから1ミクロンの間、例えば、10ナノメータから200ナノメータの間、または20から50ナノメータの間の厚さを持つことができ、表面照射と化学的エッチングの組み合わせによって調製することができる。
他の態様、実施態様、および特徴は、以下の明細書、図面、および請求の範囲から明らかになるであろう。
10ナノメータから1ミクロンの間、例えば、10ナノメータから200ナノメータの間、または20から50ナノメータの間の厚さを持つ窒化ガリウム層(またはナノ層、膜、ナノ膜)等の無転位単結晶III-V族半導体は、紫外線(UV)等の照射アシスト無電解化学的エッチングというコスト効果が高くエネルギー効率のよい技術によって生成できる。窒化ガリウム等の無転位単結晶III-V族半導体層は、例えば、貫通転位(TD)をすべて選択的にエッチングで除いた後、108cm-2(貫通転位密度)TDDを有するオリジナル結晶から剥離することによって形成することができる。窒化ガリウム等のIII-V族半導体薄層はその後、後続の高品質窒化ガリウムとその関連材料のエピタキシャル成長のために異物に転移される。図1は、バルク窒化ガリウム基板上の無転位窒化ガリウム層形成を示す模式図であり、この層は、表面を通じて一部が突出する複数の窒化ガリウムナノワイヤで支持することができる。
n-窒化ガリウムの化学的エッチングは、窒化ガリウム表面フェルミ準位と電解質の電気化学ポテンシャルとの平衡によって生じる窒化ガリウム/電解質界面での表面電荷領域(SCR)の存在に依存することができる。例えば、Rajeshwar, K.の文献Encyclopedia of Electrochemistry 2007を参照し、参照によってその全体を組み入れる。このSCRは、導通および価電子帯に上向きの曲がりを生じさせる表面電界
2GaN(s)+6h++3H2O(l)→Ga2O3(s)+6H+(aq)+N2(g)
例えば、Minsky, M.らの文献Applied Physics Letters 1996, 68, 1531-1533; Youtsey, C.らの文献Journal of Electronic Materials 1998, 27, 282-287; Vajpeyi, A.らの文献Physica E: Low-Dimensional Systems and Nanostructures 2005, 28, 141-149を参照の上、それぞれ参照によってその全体を組み入れる。
3H2O2+6e-+6H+→6H2O
窒化ガリウム基板の表面に複数の転位が含まれる場合、エッチング液は、該転位で、選択的にエッチングすることができる。曲線半導体/電解質界面の表面の内部
CH3OH:H2O2:HFでのn型窒化ガリウムUVアシストエッチングは報告されているが、薄単結晶窒化ガリウム層形成に関してこれまで公開された作業報告はない。例えば、Williamson, T. L.らの文献Journal of Applied Physics 2003, 94, 7526-7534; Li, X.らの文献Applied Physics Letters 2002, 80, 980-982; Chuah, L.らの文献Materials Science-Poland 2008, 26, (3)を参照の上、それぞれ参照によってその全体を組み入れる。
この研究で用いる窒化ガリウムウェハは、サファイア基板上に有機金属化学気相成長法(MOCVD)技術を用いて成長させた30μmのシリコンドープした(〜1018cm-3)c面配向窒化ガリウムからなる。このウェハは、108cm-2の初期TDDを有する。この窒化ガリウムウェハは、7×7mm2ピースに割った後、アセトンとイソプロパノールアルコール(IPA)でそれぞれ5分間脱脂し、最後に高温HNO3(65゜C)で15分間洗浄し、表面酸化物を除去した。他のいくつかのサンプルはさらにHCLで10分間、またはHFで2時間洗浄し、表面酸化物除去を完全にする。例えば、Ohira, S.らの文献Physica Status Solidi (c) 2008, 5, 3116-3118を参照の上、これを参照により全体を組み入れる。最終結果に対する異なる洗浄手順の影響は観察されなかった。白金金属(150nm)の薄層を、後にc面を溶液と接触させて1:2:2 CH3OH:H2O2:HFからなる電解質に浸されるサンプルのそれぞれの一側にスパタリングする。プラチナに加えて、チタン、金、または銀も電極として用いることができる。ある実施態様では、エッチング中に基板表面に電界を印加することができる。電極は、標準電極構成等異なる構成を持つことができる。フューズドシリカレンズを用いて、200W水銀(Hg)アークランプから発する紫外線(UV)光をサンプルに集光する(図2)。所望のエッチング期間に達したら、サンプルをIPAに浸してゆすぐことで洗浄してから、臨界点乾燥器(CPD)を用いて乾燥させる。
残余結晶転位は、オーバーグロース中は転位核生成サイトとして作用するため、転位結晶は剥離中完全にエッチング除去できる。
他の実施態様は以下の特許請求の範囲内である。
Claims (30)
- III-V族半導体を含む基板の表面を照射することと、
照射しながら、該基板の表面をエッチング液を含む溶液と接触させて、該基板上に膜を形成することとを含む、III-V族半導体膜の製造方法。 - 前記III-V族半導体は、砒化インジウム、リン化インジウム、砒化ガリウム、リン化ガリウム、窒化アルミニウム、アンチモン化ガリウム、アンチモン化インジウム、砒化アルミニウム、リン化アルミニウム、アンチモン化アルミニウム、インジウムガリウム砒化物、ガリウム砒素リン、インジウムガリウム砒素リン、インジウムアルミニウムガリウム砒化物、インジウム砒素リン、窒化インジウムガリウム、および窒化アルミニウムガリウムからなる群から選択されることを特徴とする、請求項1記載の方法。
- 前記III-V族半導体は窒化ガリウムであることを特徴とする、請求項1記載の方法。
- 前記基板は、サファイアにシリコンドープ、nドープ、非ドープまたはpドープした窒化ガリウムを含むことを特徴とする、請求項3記載の方法。
- 前記基板は、バルク窒化ガリウムを含むことを特徴とする、請求項3記載の方法。
- 前記基板は、炭化ケイ素上の窒化ガリウムを含むことを特徴とする、請求項3記載の方法。
- 前記基板は、シリコン上の窒化ガリウムを含むことを特徴とする、請求項3記載の方法。
- 前記エッチング液は、フッ化水素及び過酸化水素を含むことを特徴とする、請求項1記載の方法。
- 前記エッチング液は、水酸化カリウムを含むことを特徴とする、請求項1記載の方法。
- 前記基板の表面は、複数の転位を含むことを特徴とする、請求項1記載の方法。
- 前記エッチング液は、転位で選択的にエッチングすることを特徴とする、請求項1記載の方法。
- 前記基板の表面は、照射源によって照射され、該照射源はIII-V族半導体のバンドギャップより大きいエネルギーを有することを特徴とする、請求項1記載の方法。
- 前記基板の表面は、紫外線光源によって照射され、該紫外線光源のエネルギーはIII-V族半導体のバンドギャップより大きいことを特徴とする、請求項1記載の方法。
- 前記基板の表面は、X線によって照射されることを特徴とする、請求項1記載の方法。
- 前記基板の表面は、ガンマ線によって照射されることを特徴とする、請求項1記載の方法。
- 前記照射源の強度を制御することをさらに含む、請求項12記載の方法。
- 前記基板表面の一部を電極で被覆することを特徴とする、請求項1記載の方法。
- 前記電極の材料は、チタン、プラチナ、銀、および金から選択されることを特徴とする、請求項17記載の方法。
- 前記基板の表面に電界を印加することをさらに含む、請求項1記載の方法。
- 前記基板を乾燥することをさらに含む、請求項1記載の方法。
- 前記III-V族半導体膜の厚さは、10ナノメータから1ミクロンの間であることを特徴とする、請求項1記載の方法。
- 前記III-V族半導体膜を第2基板に転移することをさらに含む、請求項1記載の方法。
- 無転位単結晶III-V半導体を含む膜であって、該無転位単結晶III-V族半導体は、10ナノメータから1ミクロンの間の厚さを有することを特徴とする、前記膜。
- 複数の細孔を含むことを特徴とする、請求項23記載の膜。
- 前記III-V族半導体は、窒化ガリウムであることを特徴とする、請求項23記載の膜。
- 複数の窒化ガリウムワイヤが、前記無転位単結晶窒化ガリウムを通じて突出することを特徴とする、請求項25記載の膜。
- 無転位単結晶窒化ガリウム下の多孔窒化ガリウム層をさらに含む、請求項25記載の膜。
- 基板上に無転位単結晶III-V族半導体を含む構造であって、該基板は、ポリマー基板、銅基板、シリコン基板、ガラス基板、炭化ケイ素基板、サファイア基板、石英基板、磁器基板、リン化インジウム基板、窒化ガリウム基板、砒化ガリウム基板、酸化ベリリウム基板、窒化アルミニウム基板、アルミナ基板、プラスチック基板、またはセラミック基板であることを特徴とする、前記構造。
- 膜を含むIII-V族半導体を成長させるための装置であって、該膜は、無転位単結晶III-V族半導体を含み、該膜は、10ナノメータから1ミクロンの厚さを有することを特徴とする、前記装置。
- 前記III-V族半導体は窒化ガリウムであることを特徴とする、請求項29記載の装置。
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