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Description
本分野は概して、半導体グレード材料またはソーラーグレード材料の単結晶の準備に関し、より具体的には、半導体グレード材料またはソーラーグレード材料の融液の制御されたドーピングのための気体ドーピングシステムに関する。
半導体の電子部品の作製のための大抵のプロセスにおける出発原料である単結晶シリコンは、一般的にいわゆるチョクラルスキー(「Cz」)法により準備される。この方法では、多結晶シリコン(「ポリシリコン」)を坩堝に装填して溶融し、種結晶を溶融シリコンと接触させ、ゆっくり引き上げることにより単結晶を成長させる。
シリコン結晶における望ましい抵抗率を達成するために、所定量のドーパントが融液に加えられる。従来、ドーパントは、シリコン融液面の数フィート上方に位置付けられた供給ホッパーから融液中に供給される。しかし、揮発性ドーパントは制御されずに周囲の環境に蒸発する傾向があり、融液中に入り得る、または成長結晶中に取り込まれ得る酸化物微粒子(すなわち、サブオキサイド)の発生をもたらすため、このアプローチは、そのようなドーパントについては好ましくない。これらの粒子は、不均一な核形成部位として働くことがあり、最終的に結晶引き上げプロセスの失敗をもたらす。
さらに、従来のシステムにおいて,融液表面におけるドーパントの粒の昇華は、周囲のシリコン融液の局所的な温度低下を引き起こすことが多く、ドーパントの粒に隣接した「シリコンボート(silicon boats)」を次々にもたらす。これらのシリコンボートは、融液の表面張力と共に、融液表面に到達するドーパントの粒の多くが融液中に沈むことを妨げ、従って、大気への昇華が起こり得る時間を増加させる。この現象は、気体環境へのドーパントの著しい損失をもたらし、さらに成長チャンバ内の汚染粒子の濃度を増加させる。
いくつかの既知のドーピングシステムは、揮発性ドーパントを気体として成長チャンバ内に導入する。しかし、そのようなシステムは、ドーピング処理が行われるたびに、手動で補充されなければならない。加えて、そのようなシステムは、使用中に補充されることができない。結果として、そのようなシステムは、単一の成長プロセスのための限定されたドーパント最大積載量(または、ペイロード能力、payload capacity)を有する。従って、そのようなシステムは、成長させることができるシリコンインゴットの大きさを限定する。さらに、そのようなシステムは、成長プロセスの間、ドーパントを不均一に供給する傾向があり、それにより、成長したインゴットの長手方向軸に沿ったドーパント濃度の変化を増加させる。
他のドーピングシステムにおいて、不活性気体が、揮発性ドーパントを成長チャンバ内に供給するのに用いられる。しかし、不活性気体の使用は、気体ドーパントを希釈する傾向があり、それによりドーパント濃度を減少させ、蒸発したドーパントを成長チャンバから過度に速くパージする。例えば、ヒ素(0.3)およびリン(0.35)のような低い偏析係数を有するドーパントは、補償するために、成長結晶中の望ましいドーパント濃度より約3倍高い融液中のドーパント濃度を必要とする。結果として、蒸発したドーパントは、シリコン融液中に拡散するのに十分な時間を持たず、より多くのドーパントが、シリコン融液中の望ましいドーパント濃度を達成するのに必要とされる。
従って、低抵抗率なドープされた単結晶シリコンをチョクラルスキー法により製造するための単純で費用対効果が高い手法についての要求が存在する。
この背景技術のセクションは、以下に記載および/または特許請求の範囲に記載された本開示の様々な態様に関連し得る技術の様々な態様を読み手に紹介することを意図する。この議論は、本開示の様々な態様のより良い理解を容易にする背景情報を読み手に提供するのに役立つと考えられる。従って、これらの記載が、先行技術の自認としてではなく、この観点から解釈できるということが理解されるべきである。
1つの態様において、半導体グレードインゴットまたはソーラーグレードインゴットを製造するための結晶引き上げ装置が提供される。本装置は、炉と気体ドーピングシステムとを含む。炉は、半導体グレード材料またはソーラーグレード材料の融液を保持するための坩堝を含む。気体ドーピングシステムは、供給管と、蒸発容器と、流量制限装置とを含む。供給管は炉内に位置付けられ、少なくとも1つの供給管側壁と、供給管内に導入される固体ドーパントが通過する第1の端部と、炉内に導入される気体ドーパントが通過する、第1の端部と反対側の開口部と、を含む。蒸発容器は、内部でドーパントを蒸発させるように構成され、供給管の開口部近傍に配置される。流量制限装置は、流量制限装置を通過して固体ドーパントが移動することを可能にし、且つ流量制限装置を通過する気体ドーパントの流れを制限するように構成され、供給管内で、第1の端部と蒸発容器との間に配置される。
他の態様において、半導体グレードインゴットまたはソーラーグレードインゴットを製造するための結晶引き上げ装置が提供される。本装置は、炉と気体ドーピングシステムとを含む。炉は、半導体グレード材料またはソーラーグレード材料の融液を保持するための坩堝を含む。気体ドーピングシステムは、供給管と、蒸発容器と、流体流通路(fluid flow channel)とを含む。供給管は炉内に位置付けられ、少なくとも1つの供給管側壁と、供給管内に導入される固体ドーパントが通過する第1の端部と、炉内に導入される気体ドーパントが通過する、第1の端部と反対側の開口部と、を含む。蒸発容器は、内部でドーパントを蒸発させるように構成され、供給管の開口部近傍に配置される。前記蒸発容器は、供給管側壁から内部に延在する底面と、前記底面と隣接し、且つ前記底面から上方に延在する容器側壁と、を含む。流体流通路は、前記容器側壁と供給管側壁とにより少なくとも部分的に規定される。
各種図面に用いられた同種の引用符号は、同種の要素を示す。
結晶引き上げ装置が、図1の100に概略的に示される。結晶引き上げ装置100は、概して、炉108内に収容されたサセプタ106により囲われた、シリコンのような半導体グレード材料またはソーラーグレード材料の融液104を保持するための坩堝102を含む。半導体グレード材料またはソーラーグレード材料は、断熱材112により囲われた1つ以上の発熱体110から供給される熱により溶融する。
結晶引き上げ装置100内に、インゴット116を成長させ、インゴット116を融液104の外に引き上げるための引き上げ機構114が備えられる。引き上げ機構114は、引き上げケーブル118と、引き上げケーブル118の一端に連結されたシードホルダーまたはシードチャック120と、シードホルダーまたはシードチャック120に連結された、結晶成長を開始するための種結晶122と、を含む。
結晶引き上げ装置100は、気体ドーパント132を融液104中に導入するためのドーピングシステム(130に概略的に示される)も含む。ドーピングシステム130は、供給管134と、蒸発容器136と、流量制限装置138とを含む。この実施形態において、気体ドーピングシステム130は、ドーパント供給装置140、位置決めシステム142、不活性気体供給部(または、供給装置、supply)144も含む。概して、気体ドーピングシステムは、融液表面146を横切って気体ドーパント132を流すように構成される。気体ドーパント132は、結晶成長を開始する前、および/または図1に示されるように結晶成長の間に、炉108内に導入されてよい。
ヒ素、リン、または本明細書に記載のように気体ドーピングシステムが機能できるようにする適当な低い昇華温度若しくは蒸発温度を有する任意の他の元素若しくは化合物のような、揮発性の固体ドーパント148が、作業時に、供給管134の第1の端部150を通過して供給管134内に導入される。固体ドーパント148は、供給管134を通って下方に落ち、流量制限装置138を通過し、蒸発容器136内に入る。蒸発容器136に供給された熱は、固体ドーパント148を蒸発させて気体ドーパント132にする。気体ドーパント132は膨張するため、流量制限装置138は、気体ドーパント132が流量制限装置138を通過して逆に流れること、および供給管134のより冷たい部分に流入すること(「逆流」)を防ぐ。不活性気体供給部144により供給された不活性気体152は、供給管134を通り、流量制限装置138を通過して流されてよく、気体ドーパント132の逆流をさらに制限する。気体ドーパント132は蒸発するため、気体ドーパント132は、供給管134から外に、融液表面146を横切って流れる。固体ドーパント148は蒸発により消費されるため、より多くの固体ドーパント148が、供給装置140により蒸発容器136内に供給され得る。固体ドーパント148を蒸発容器136に連続的または断続的に供給することにより、ドーピングプロセスおよび結晶成長プロセスの間、比較的一定の気体ドーパント132濃度が融液表面146の上で維持されることができる。さらに、類似のドーパント供給システムと比べて、流量制限装置138は、気体ドーパントの逆流を防ぐために、および/または気体ドーパントを融液表面に供給するために必要とされる不活性気体流の量を減らす。結果として、気体ドーピングシステムにおける不活性気体流の使用に関連する悪影響、例えば、気体ドーパント濃度の希釈、および気体ドーパントが炉から過度に速くパージされることも減少される。
図2を参照すると、供給管134は、導入される固体ドーパント148が通過する第1の端部150と、炉108内に導入される気体ドーパント132が通過する、第1の端部150と反対側の開口部156と、を有する供給管側壁154を含む。図1および2に示される実施形態において、供給管134は、石英ガラス(または、溶融石英、fused quartz)から作られた単一の供給管側壁154により規定された略円柱形状を有する。他の実施形態において、供給管134は、本明細書に記載のように気体ドーピングシステム130が機能できるようにする、任意の他の適当な形状および/または任意の数の供給管側壁を有してよい。さらに他の実施形態において、供給管134は、タングステン、モリブデン、または本明細書に記載のように気体ドーピングシステム130が機能できるようにする、任意の他の適当な非反応性の耐火材料(金属およびセラミックを含む)から作られてよい。
供給管134は、炉108内に位置付けられ、弁アセンブリ158を通って炉108の外側に延在する。図1に示す実施形態において、供給管134は、位置決めシステム142に、スライドするように連結される。位置決めシステム142は、供給管134を上昇および/または下降させるように構成される。図1に示される実施形態において、位置決めシステム142は、レール160と、連結部材162と、連結部材162をレール160に沿って移動するように構成されたモーター(示されない)とを含む。レール160は、供給管134の長手方向軸164に対して実質的に平行な方向に延在する。連結部材162は、レール160に、スライドするように連結され、供給管134に取り付けられる。位置決めシステム142を用いて、供給管134が、炉108外に上昇および炉108内に下降させられてよい。他の実施形態において。供給管134は、全体として炉108内に位置付けられてよく、および/または炉108に永久的に取り付けられてよい。さらに他の実施形態において、供給管134は、本明細書に記載のように気体ドーピングシステム130が機能できるようにする任意の形態で、炉108内に位置付けられてよく、および/または炉108内若しくは炉108の外側に固定されてよい。
図1および2に示される実施形態において、供給管134は、融液表面146に対して角度が付けられ、融液表面146を横切る気体ドーパント132の分配を容易にする。図1および2に示される実施形態において、供給管134は、供給管134の長手方向軸164が、融液表面146に対して、約45°〜約75°の間の角度を形成するように、角度が付けられる。開口部156は、供給管134の長手方向軸164に対して角度が付けられてもよく、融液表面146を横切る気体ドーパント132の分配を容易にする。例えば、図1および2に示される実施形態において、開口部156は、開口部156が融液表面146に対して実質的に平行であり、且つ開口部156が供給管134の長手方向軸164に対して、約45°〜約75°の間の角度で角度が付けられるように、角度が付けられる。他の実施形態において、供給管134は、供給管134の長手方向軸164が、融液表面146に対して、約90°の間の角度を形成するように、融液表面146に対して実質的に垂直に位置付けられてよい。さらに他の実施形態において、供給管134および/または開口部156は、本明細書に記載のように気体ドーピングシステム130が機能できるようにする、任意の他の適当な構成または方向を有してよい。
この実施形態において、供給管134は、不活性気体供給部144に連通連結(communicatively coupled)されており、気体ドーパント132の逆流を減らす。不活性気体152は、不活性気体152が開口部156に向かって下方に流れるように、所定の流量で、不活性気体供給部144から供給管134内に導入されてよい。より詳細に後述するように、流量制限装置138は、気体ドーパント132の逆流を防ぐために、および気体ドーパント132を融液表面146に供給するために必要とされる不活性気体152の流量を減らし、および/または取り除く。例えば、約10ノルマルリットル/minより小さい、約5ノルマルリットル/minより小さい、またはさらに約2ノルマルリットル/minより小さい不活性気体の流量が、融液表面146への気体ドーパントの十分な供給を維持しつつ、気体ドーピングシステム130と共に用いられることができる。図1および2に示される実施形態において、不活性気体152はアルゴンであるが、本明細書に記載のように気体ドーピングシステム130が機能できるようにする、任意の適当な不活性気体が用いられてよい。
この実施形態の供給管134は、固体ドーパント148を供給管134内に供給するように構成されたドーパント供給装置140に連通連結される。この実施形態において、ドーパント供給装置140は自動化されているが、他の実施形態において、手動で操作されてよく、または部分的にのみ自動化されてよい。供給装置140は、1つ以上のユーザー定義パラメータ、および/または環境特定パラメータ(または、環境仕様パラメータ、environment-specific parameter)に基づいて、固体ドーパント148を供給管134内に自動的に供給するように構成されてよい。例えば、自動供給装置140は、以下のパラメータ:成長プロセスの間のプリセットタイム(秒)、ユーザー定義間隔(秒)、供給管134および/または蒸発容器136内の固体ドーパント148の質量、供給管134内、蒸発容器136内および/または炉108内の気体ドーパント132の濃度、並びに気体ドーパント132および/または不活性気体152の体積流量または質量流量、のうちの1つ以上に基づいて、固体ドーパント148を供給管134内に自動的に供給してよい。蒸発容器136への固体ドーパント148の連続的および/または断続的な供給は、結晶成長プロセスの間、炉108内で比較的一定の気体ドーパント濃度が維持されることを可能にし、成長インゴット中のより均一なドーパント濃度プロファイルをもたらす。
この実施形態の供給装置140は、供給装置140により供給管134内に供給されるドーパント148の頻度および/または量を制御するように構成された制御装置182に連結される。制御装置182は、1つ以上のユーザー定義パラメータ、および/または環境特定パラメータに基づいて、制御装置182および/または供給装置140に信号を送り、並びに制御装置182および/または供給装置140から信号を受け取るように構成されたプロセッサ184を含む。この実施形態において、制御装置182は、プロセッサ182に連結されたユーザー・インターフェース186、およびプロセッサ182に連結されたセンサー188を含む。ユーザー・インターフェース186は、ユーザー定義パラメータを受け取るように構成され、ユーザー定義パラメータをプロセッサ184および/または制御装置182に伝達する。センサー188は、環境特定パラメータを受け取るおよび/または測定するように構成され、そのような環境特定パラメータをプロセッサ184および/または制御装置182に伝達する。
蒸発容器136は、供給管134内で開口部156近傍に位置付けられる。蒸発容器136は、内部でドーパントを蒸発するように構成される。具体的には、蒸発容器は、ドーパント148を保持し、且つ蒸発容器136内でドーパントが蒸発するようドーパント148に熱を伝えるように構成される。この実施形態において、融液104からの放射熱が蒸発容器136内のドーパント148を蒸発させるのに十分であるように、蒸発容器136が、融液104の十分近傍に位置付けられてよい。例えば、蒸発容器136は、融液表面146の上方に、約1cm〜約15cmの間で位置付けられてよい。他の実施形態において、別々の発熱体(示されない)が、蒸発のための熱を蒸発容器136に供給するのに用いられてよく、蒸発容器136内部のドーパント148を蒸発する。
図1および2に示される実施形態において、蒸発容器136は、供給管側壁154から横方向に内部に延在する底面166と、底面166と隣接し、且つ底面166から供給管の長手方向軸164に沿って上方に延在する容器側壁168とを含む。代替の実施形態において、蒸発容器136は、本明細書に記載のように気体ドーピングシステム130が機能できるようにする、任意の他の適当な構成を有してよい。図1および2に示される実施形態において、蒸発容器136および供給管134は、単一の石英ガラスから作られる。蒸発容器を供給管内に統合することは、気体ドーピングシステムの比較的単純な構造を提供し得て、気体ドーピングシステムの全体のサイズを縮小し得る。結果として、位置決めシステム142のような位置決めシステムを用いる供給管および炉内の蒸発容器が、より容易に作られることができる。他の実施形態において、蒸発容器136は、本明細書に記載のように気体ドーピングシステム130が機能できるようにする、任意の適当な材料から作られてよい。さらに他の実施形態において、蒸発容器136および供給管134は、別々の部品として作られてよい。
この実施形態の流体流通路170は、容器側壁168および供給管側壁154により部分的に規定される。流体流通路170は、蒸発容器136と、蒸発容器136内で蒸発させられる気体ドーパント132のための開口部156との間の流体連通を提供する。供給管134の長手方向軸64に垂直な流体流通路170の断面積は、流体流通路を通過する気体ドーパント132の流量を増加または減少させるために、調整されてよい。例えば、流体流通路170の断面積は、底面166の長さを伸ばすことにより、減少され得る。同様に、流体流通路170の長さは、容器側壁168の高さを変えることにより、増加または減少され得る。流体流通路170の断面積または長さを調整することにより、供給管134の外に流れる気体ドーパント132の流量が、最高のドーピング効率のために最適化され得る。
流量制限装置138は、供給管134内で第1の端部150と蒸発容器136との間に位置付けられる。流量制限装置138は、流量制限装置を通過して固体ドーパント148が移動することを可能にし、且つ流量制限装置を通過する気体ドーパント132の流れを制限するように構成される。それ故に、流量制限装置138は、気体ドーピングシステム130を介して炉108に供給されるドーパントのための一方向弁として働く。
図1および2に示される実施形態において、流量制限装置138は、底部を通り抜ける第2の開口部174を有する底部172と、円錐形の側壁176とを含む。円錐形の側壁は、供給管側壁154から内部に、且つ底部172に向かって下方に延在する。流量制限装置138の流体力学的性質は、第2の開口部174を通過する気体ドーパント132の逆流を減らすまたは防ぎつつ、固体ドーパント148が第2の開口部174を通過することも可能にする。図1および2に示される実施形態において、円錐形の側壁176は、第2の開口部174を通過させて、蒸発容器136内に、固体ドーパント148を入れる。ドーパント148が蒸発容器136内で蒸発させられる際、円錐形の側壁176は、上方に流れる気体ドーパント132を第2の開口部174から離してわきに向け、それにより気体ドーパント132の逆流を制限する。加えて、円錐形の側壁176は、第2の開口部174(供給管134よりも小さい断面積を有する)を通過させて不活性気体152を導き、第2の開口部174近傍に不活性気体152の局所的な高圧の領域を作り出し、それにより第2の開口部174を通過する気体ドーパント132の逆流を制限する。従って、流量制限装置138は、気体ドーパントの逆流を防ぐために、および/または融液表面に気体ドーパントを供給するために、供給管を通過させて不活性気体を流す必要性を、減らすまたは取り除く。結果として、気体ドーピングシステムにおける不活性気体流の使用に関連する悪影響、すなわち、気体ドーパント濃度の希釈、および気体ドーパントが炉から過度に速くパージされることも減少される。
上述のように、図1および2に示される実施形態において、流量制限装置138は、底部を通り抜ける第2の開口部174を有する底部172と、供給管側壁154から内部に延在する円錐形の側壁176と、を含む。代替の実施形態において、流量制限装置138は、本明細書に記載のように気体ドーピングシステム130が機能できるようにする、任意の適当な構成を有してよい。図1および2に示される実施形態において、流量制限装置138および供給管134は、単一の石英ガラスから作られる。言い換えると、流量制限装置138および供給管134は、一体構造(または、単一構造、one-piece construction)のものである。流量制限装置を供給管内に統合することは、気体ドーピングシステムの全体のサイズを縮小し得る。このことは、位置決めシステム142のような位置決めシステムを用いる供給管および炉内の流量制限装置を位置決めすることを容易にし得る。他の実施形態において、流量制限装置および供給管は別々に作られてよく、本明細書に記載のように気体ドーピングシステム130が機能できるようにする、任意の適当な材料から作られてよい。
図3を参照すると、気体ドーピングシステム130は、融液表面146を横切る気体ドーパント132を分配するように構成された流体分配板(fluid-distribution plate)178を含む。図3に示されるように、流体分配板178は、第1の端部150から遠位の第2の端部180において供給管134に連結される。図3に示される実施形態において、流体分配板は半球形状を有する。代替の実施形態において、流体分配板は、円錐形状、長方形状、正方形状、または本明細書に記載のように気体ドーピングシステム130が機能できるようにする任意の他の適当な形状を有してよい。
上述のように、本開示の気体ドーピングシステムは、既知のドーピングシステムを上回る改善を提供する。気体ドーピングシステムは、気体ドーパントの逆流を防ぐため、および融液表面に気体ドーパントを供給するための不活性気体流の必要性を減らすことにより、ドーピング効率を向上させる。不活性気体流の必要性を減らすことにより、気体ドーピングシステムは、気体ドーピングシステムにおける不活性気体流の使用に関連する悪影響、すなわち、気体ドーパント濃度の希釈、および気体ドーパントが炉から過度に速くパージされることを減らす。本開示の気体ドーピングシステムは、結晶成長プロセスの間、蒸発容器への連続的および/または断続的な固体ドーパントの供給を可能にすることにより、ドーピング効率を増加させる。固体ドーパントを蒸発容器に連続的または断続的に供給することにより、結晶成長プロセスの間、比較的一定の気体ドーパント濃度が炉内で維持されることができる。本開示の気体ドーピングシステムは、角度が付けられた供給管、角度が付けられた開口部および/または気体ドーパントが供給管を出る供給管の端部における流体分配板、を提供することにより、ドーピング効率を増加させる。角度が付けられた供給管、角度が付けられた開口部および/または流体分配板を提供することにより、融液表面を横切る気体ドーパントの分配が最適化され得て、所定量のドーパントに対して融液の最高のドーピングを可能にする。例えば、本開示のシステムは、1019〜1020atoms/cm3と同じくらいのヒ素またはリン濃度で高濃度に(または、高度に、highly)ドープされた結晶の成長を可能にし得る。
本発明またはその実施形態の要素を導入する場合、冠詞「1つの(a)」、「1つの(an)」、「その(the)」および「前記(said)」は、1つ以上の要素が存在することを意味することを意図する。用語「含む(comprising)」、「含む(including)」および「有する(having)」は包括的であり、列挙された要素以外の付加的な要素が存在してよいことを意味することが意図される。
本発明の範囲から逸脱することなく、上述の構造または方法おいて様々な変更を行うことができるため、上述に含まれる、または添付の図面に示される全ての事項は例示として解釈されるものとし、限定的な意味に解釈されないことを意図する。
本発明の開示内容は、以下の態様を含む。
態様1:
半導体グレード材料またはソーラーグレード材料の融液を保持するための坩堝を含む炉と、
ドーパントを前記炉内に導入するための気体ドーピングシステムであって、
前記炉内に位置付けられた供給管であって、少なくとも1つの供給管側壁と、前記供給管内に導入される固体ドーパントが通過する第1の端部と、前記炉内に導入される気体ドーパントが通過する前記第1の端部と反対側の開口部と、を含む供給管と、
内部で前記ドーパントを蒸発させるように構成され、前記供給管の前記開口部近傍に配置された、蒸発容器と、
流量制限装置であって、前記流量制限装置を通過して固体ドーパントが移動することを可能にし、且つ前記流量制限装置を通過する気体ドーパントの流れを制限するように構成され、前記供給管内で、前記第1の端部と前記蒸発容器との間に配置された、流量制限装置と、
を含む気体ドーピングシステムと、
を含む、半導体グレードインゴットまたはソーラーグレードインゴットを製造するための結晶引き上げ装置。
態様2:
前記流量制限装置が、底部であって、前記底部を通り抜ける第2の開口部を有する底部と、供給管側壁から前記底部に向かって内部に延在する第2の側壁と、を含む、態様1に記載の結晶引き上げ装置。
態様3:
前記流量制限装置が、前記第2の開口部を通過して固体ドーパントが移動することを可能にし、且つ前記第2の開口部を通過する気体ドーパントの流れを制限するように構成された、態様2に記載の結晶引き上げ装置。
態様4:
前記第2の側壁が、円錐形状の部分を含む、態様2に記載の結晶引き上げ装置。
態様5:
前記蒸発容器が、供給管側壁から内部に延在する底面と、前記底面と隣接し、且つ前記底面から上方に延在する容器側壁と、を含む、態様1に記載の結晶引き上げ装置。
態様6:
前記気体ドーピングシステムが、前記容器側壁と供給管側壁とにより少なくとも部分的に規定された流体流通路をさらに含む、態様5に記載の結晶引き上げ装置。
態様7:
前記供給管が、固体ドーパントを前記供給管内に供給するように構成されたドーパント供給装置に連通連結された、態様1に記載の結晶引き上げ装置。
態様8:
前記供給管が、固体ドーパントを前記供給管内に自動的に供給するように構成された自動ドーパント供給装置に連通連結された、態様1に記載の結晶引き上げ装置。
態様9:
前記気体ドーピングシステムが、前記第1の端部から遠位の第2の端部において、前記供給管に連結された流体分配板をさらに含む、態様1に記載の結晶引き上げ装置。
態様10:
前記供給管が、前記供給管を上昇および下降させるように構成された位置決めシステムに、スライドするように連結された、態様1に記載の結晶引き上げ装置。
態様11:
前記供給管の前記開口部が、前記供給管の長手方向軸に対して、約45°〜約75°の間の角度で角度が付けられた、態様1に記載の結晶引き上げ装置。
態様12:
前記供給管が、前記融液の表面に対して、約45°〜約75°の間の角度で角度が付けられた、態様1に記載の結晶引き上げ装置。
態様13:
前記融液からの放射熱が前記蒸発容器内の前記ドーパントを蒸発させるのに十分であるように、前記蒸発容器が前記融液の十分近傍に位置付けられた、態様1に記載の結晶引き上げ装置。
態様14:
前記蒸発容器が、前記融液の表面の上方に、約1cm〜約15cmの間で位置付けられた、態様1に記載の結晶引き上げ装置。
態様15:
前記供給管が、不活性気体供給部に連通連結された、態様1に記載の結晶引き上げ装置。
態様16:
態様15に記載の結晶引き上げ装置の使用方法であって、
ドーパントを、前記供給管の前記第1の端部を通過させて導入する工程と、
前記蒸発容器内の前記ドーパントを蒸発させる工程と、
不活性ガスを、約10ノルマルリットル/minより小さい流量で、前記供給管を通過させて流す工程と、
を含む、方法。
態様17:
半導体グレード材料またはソーラーグレード材料の融液を保持するための坩堝を含む炉と、
ドーパントを前記炉内に導入するための気体ドーピングシステムであって、
前記炉内に位置付けられた供給管であって、少なくとも1つの供給管側壁と、前記供給管内に導入される固体ドーパントが通過する第1の端部と、前記炉内に導入される気体ドーパントが通過する、前記第1の端部と反対側の開口部と、を含む供給管と、
内部で前記ドーパントを蒸発させるように構成され、前記供給管の前記開口部近傍に配置され、
供給管側壁から内部に延在する底面と、
前記底面と隣接し、且つ前記底面から上方に延在する容器側壁と、
を含む蒸発容器と、
前記容器側壁と供給管側壁とにより少なくとも部分的に規定された流体流通路と、
を含む気体ドーピングシステムと、
を含む、半導体グレードインゴットまたはソーラーグレードインゴットを製造するための結晶引き上げ装置。
態様18:
気体ドーピングシステムが、流量制限装置であって、前記流量制限装置を通過して固体ドーパントが移動することを可能にし、且つ前記流量制限装置を通過する気体ドーパントの流れを制限するように構成され、前記供給管内で、前記第1の端部と前記蒸発容器との間に配置された流量制限装置をさらに含む、態様17に記載の引き上げ装置。
態様19:
前記流量制限装置が、底部であって、前記底部を通り抜ける第2の開口部を有する底部と、供給管側壁から前記底部に向かって内部に延在する第2の側壁と、を含む、態様18に記載の結晶引き上げ装置。
態様20:
前記流量制限装置が、前記第2の開口部を通過して固体ドーパントが移動することを可能にし、且つ前記第2の開口部を通過する気体ドーパントの流れを制限するように構成された、態様19に記載の結晶引き上げ装置。
態様21:
前記第2の側壁が、円錐形状の部分を含む、態様19に記載の結晶引き上げ装置。
態様22:
前記供給管が、固体ドーパントを前記供給管内に供給するように構成されたドーパント供給装置に連通連結された、態様17に記載の結晶引き上げ装置。
態様23:
前記供給管が、固体ドーパントを前記供給管内に自動的に供給するように構成された自動ドーパント供給装置に連通連結された、態様17に記載の結晶引き上げ装置。
態様24:
前記気体ドーピングシステムが、前記第1の端部から遠位の第2の端部において、前記供給管に連結された流体分配板をさらに含む、態様17に記載の結晶引き上げ装置。
態様25:
前記供給管が、前記供給管を上昇および下降させるように構成された位置決めシステムに、スライドするように連結された、態様17に記載の結晶引き上げ装置。
態様26:
前記供給管の前記開口部が、前記供給管の長手方向軸に対して、約45°〜約75°の間の角度で角度が付けられた、態様17に記載の結晶引き上げ装置。
態様27:
前記供給管が、前記融液の表面に対して、約45°〜約75°の間の角度で角度が付けられた、態様17に記載の結晶引き上げ装置。
態様28:
前記融液からの放射熱が前記蒸発容器内の前記ドーパントを蒸発させるのに十分であるように、前記蒸発容器が前記融液の十分近傍に位置付けられた、態様17に記載の結晶引き上げ装置。
態様29:
前記蒸発容器が、前記融液の表面の上方に、約1cm〜約15cmの間で位置付けられた、態様17に記載の結晶引き上げ装置。
態様1:
半導体グレード材料またはソーラーグレード材料の融液を保持するための坩堝を含む炉と、
ドーパントを前記炉内に導入するための気体ドーピングシステムであって、
前記炉内に位置付けられた供給管であって、少なくとも1つの供給管側壁と、前記供給管内に導入される固体ドーパントが通過する第1の端部と、前記炉内に導入される気体ドーパントが通過する前記第1の端部と反対側の開口部と、を含む供給管と、
内部で前記ドーパントを蒸発させるように構成され、前記供給管の前記開口部近傍に配置された、蒸発容器と、
流量制限装置であって、前記流量制限装置を通過して固体ドーパントが移動することを可能にし、且つ前記流量制限装置を通過する気体ドーパントの流れを制限するように構成され、前記供給管内で、前記第1の端部と前記蒸発容器との間に配置された、流量制限装置と、
を含む気体ドーピングシステムと、
を含む、半導体グレードインゴットまたはソーラーグレードインゴットを製造するための結晶引き上げ装置。
態様2:
前記流量制限装置が、底部であって、前記底部を通り抜ける第2の開口部を有する底部と、供給管側壁から前記底部に向かって内部に延在する第2の側壁と、を含む、態様1に記載の結晶引き上げ装置。
態様3:
前記流量制限装置が、前記第2の開口部を通過して固体ドーパントが移動することを可能にし、且つ前記第2の開口部を通過する気体ドーパントの流れを制限するように構成された、態様2に記載の結晶引き上げ装置。
態様4:
前記第2の側壁が、円錐形状の部分を含む、態様2に記載の結晶引き上げ装置。
態様5:
前記蒸発容器が、供給管側壁から内部に延在する底面と、前記底面と隣接し、且つ前記底面から上方に延在する容器側壁と、を含む、態様1に記載の結晶引き上げ装置。
態様6:
前記気体ドーピングシステムが、前記容器側壁と供給管側壁とにより少なくとも部分的に規定された流体流通路をさらに含む、態様5に記載の結晶引き上げ装置。
態様7:
前記供給管が、固体ドーパントを前記供給管内に供給するように構成されたドーパント供給装置に連通連結された、態様1に記載の結晶引き上げ装置。
態様8:
前記供給管が、固体ドーパントを前記供給管内に自動的に供給するように構成された自動ドーパント供給装置に連通連結された、態様1に記載の結晶引き上げ装置。
態様9:
前記気体ドーピングシステムが、前記第1の端部から遠位の第2の端部において、前記供給管に連結された流体分配板をさらに含む、態様1に記載の結晶引き上げ装置。
態様10:
前記供給管が、前記供給管を上昇および下降させるように構成された位置決めシステムに、スライドするように連結された、態様1に記載の結晶引き上げ装置。
態様11:
前記供給管の前記開口部が、前記供給管の長手方向軸に対して、約45°〜約75°の間の角度で角度が付けられた、態様1に記載の結晶引き上げ装置。
態様12:
前記供給管が、前記融液の表面に対して、約45°〜約75°の間の角度で角度が付けられた、態様1に記載の結晶引き上げ装置。
態様13:
前記融液からの放射熱が前記蒸発容器内の前記ドーパントを蒸発させるのに十分であるように、前記蒸発容器が前記融液の十分近傍に位置付けられた、態様1に記載の結晶引き上げ装置。
態様14:
前記蒸発容器が、前記融液の表面の上方に、約1cm〜約15cmの間で位置付けられた、態様1に記載の結晶引き上げ装置。
態様15:
前記供給管が、不活性気体供給部に連通連結された、態様1に記載の結晶引き上げ装置。
態様16:
態様15に記載の結晶引き上げ装置の使用方法であって、
ドーパントを、前記供給管の前記第1の端部を通過させて導入する工程と、
前記蒸発容器内の前記ドーパントを蒸発させる工程と、
不活性ガスを、約10ノルマルリットル/minより小さい流量で、前記供給管を通過させて流す工程と、
を含む、方法。
態様17:
半導体グレード材料またはソーラーグレード材料の融液を保持するための坩堝を含む炉と、
ドーパントを前記炉内に導入するための気体ドーピングシステムであって、
前記炉内に位置付けられた供給管であって、少なくとも1つの供給管側壁と、前記供給管内に導入される固体ドーパントが通過する第1の端部と、前記炉内に導入される気体ドーパントが通過する、前記第1の端部と反対側の開口部と、を含む供給管と、
内部で前記ドーパントを蒸発させるように構成され、前記供給管の前記開口部近傍に配置され、
供給管側壁から内部に延在する底面と、
前記底面と隣接し、且つ前記底面から上方に延在する容器側壁と、
を含む蒸発容器と、
前記容器側壁と供給管側壁とにより少なくとも部分的に規定された流体流通路と、
を含む気体ドーピングシステムと、
を含む、半導体グレードインゴットまたはソーラーグレードインゴットを製造するための結晶引き上げ装置。
態様18:
気体ドーピングシステムが、流量制限装置であって、前記流量制限装置を通過して固体ドーパントが移動することを可能にし、且つ前記流量制限装置を通過する気体ドーパントの流れを制限するように構成され、前記供給管内で、前記第1の端部と前記蒸発容器との間に配置された流量制限装置をさらに含む、態様17に記載の引き上げ装置。
態様19:
前記流量制限装置が、底部であって、前記底部を通り抜ける第2の開口部を有する底部と、供給管側壁から前記底部に向かって内部に延在する第2の側壁と、を含む、態様18に記載の結晶引き上げ装置。
態様20:
前記流量制限装置が、前記第2の開口部を通過して固体ドーパントが移動することを可能にし、且つ前記第2の開口部を通過する気体ドーパントの流れを制限するように構成された、態様19に記載の結晶引き上げ装置。
態様21:
前記第2の側壁が、円錐形状の部分を含む、態様19に記載の結晶引き上げ装置。
態様22:
前記供給管が、固体ドーパントを前記供給管内に供給するように構成されたドーパント供給装置に連通連結された、態様17に記載の結晶引き上げ装置。
態様23:
前記供給管が、固体ドーパントを前記供給管内に自動的に供給するように構成された自動ドーパント供給装置に連通連結された、態様17に記載の結晶引き上げ装置。
態様24:
前記気体ドーピングシステムが、前記第1の端部から遠位の第2の端部において、前記供給管に連結された流体分配板をさらに含む、態様17に記載の結晶引き上げ装置。
態様25:
前記供給管が、前記供給管を上昇および下降させるように構成された位置決めシステムに、スライドするように連結された、態様17に記載の結晶引き上げ装置。
態様26:
前記供給管の前記開口部が、前記供給管の長手方向軸に対して、約45°〜約75°の間の角度で角度が付けられた、態様17に記載の結晶引き上げ装置。
態様27:
前記供給管が、前記融液の表面に対して、約45°〜約75°の間の角度で角度が付けられた、態様17に記載の結晶引き上げ装置。
態様28:
前記融液からの放射熱が前記蒸発容器内の前記ドーパントを蒸発させるのに十分であるように、前記蒸発容器が前記融液の十分近傍に位置付けられた、態様17に記載の結晶引き上げ装置。
態様29:
前記蒸発容器が、前記融液の表面の上方に、約1cm〜約15cmの間で位置付けられた、態様17に記載の結晶引き上げ装置。
Claims (19)
- 半導体グレード材料またはソーラーグレード材料の融液を保持するための坩堝を含む炉と、
ドーパントを前記炉内に導入するための気体ドーピングシステムであって、
前記炉内に位置付けられた供給管であって、少なくとも1つの供給管側壁と、前記供給管内に導入される固体ドーパントが通過する第1の端部と、前記炉内に導入される気体ドーパントが通過する前記第1の端部と反対側の開口部と、を含む供給管と、
内部で前記ドーパントを蒸発させるように構成され、前記供給管の前記開口部近傍に配置された、蒸発容器と、
流量制限装置であって、前記流量制限装置を通過して固体ドーパントが移動することを可能にし、且つ前記流量制限装置を通過する気体ドーパントの流れを制限するように構成され、前記供給管内で、前記第1の端部と前記蒸発容器との間に配置された、流量制限装置と、
を含む気体ドーピングシステムと、
を含む、半導体グレードインゴットまたはソーラーグレードインゴットを製造するための結晶引き上げ装置。 - 前記流量制限装置が、底部であって、前記底部を通り抜ける第2の開口部を有する底部と、供給管側壁から前記底部に向かって内部に延在する第2の側壁と、を含む、請求項1に記載の結晶引き上げ装置。
- 前記第2の側壁が、円錐形状の部分を含む、請求項2に記載の結晶引き上げ装置。
- 前記蒸発容器が、供給管側壁から内部に延在する底面と、前記底面と隣接し、且つ前記底面から上方に延在する容器側壁と、を含む、請求項1に記載の結晶引き上げ装置。
- 前記気体ドーピングシステムが、前記容器側壁と供給管側壁とにより少なくとも部分的に規定された流体流通路をさらに含む、請求項4に記載の結晶引き上げ装置。
- 前記供給管が、固体ドーパントを前記供給管内に自動的に供給するように構成された自動ドーパント供給装置に連通連結された、請求項1に記載の結晶引き上げ装置。
- 前記気体ドーピングシステムが、前記第1の端部から遠位の第2の端部において、前記供給管に連結された流体分配板をさらに含む、請求項1に記載の結晶引き上げ装置。
- 前記供給管が、前記供給管を上昇および下降させるように構成された位置決めシステムに、スライドするように連結された、請求項1に記載の結晶引き上げ装置。
- 前記供給管が、前記融液の表面に対して、約45°〜約75°の間の角度で角度が付けられた、請求項1に記載の結晶引き上げ装置。
- 請求項1に記載の結晶引き上げ装置の使用方法であって、
ドーパントを、前記供給管の前記第1の端部を通過させて導入する工程と、
前記蒸発容器内の前記ドーパントを蒸発させる工程と、
不活性ガスを、約10ノルマルリットル/minより小さい流量で、前記供給管を通過させて流す工程と、
を含む、方法。 - 半導体グレード材料またはソーラーグレード材料の融液を保持するための坩堝を含む炉と、
ドーパントを前記炉内に導入するための気体ドーピングシステムであって、
前記炉内に位置付けられた供給管であって、少なくとも1つの供給管側壁と、前記供給管内に導入される固体ドーパントが通過する第1の端部と、前記炉内に導入される気体ドーパントが通過する、前記第1の端部と反対側の開口部と、を含む供給管と、
内部で前記ドーパントを蒸発させるように構成され、前記供給管の前記開口部近傍に配置され、
供給管側壁から内部に延在する底面と、
前記底面と隣接し、且つ前記底面から上方に延在する容器側壁と、
を含む蒸発容器と、
前記容器側壁と供給管側壁とにより少なくとも部分的に規定された流体流通路と、
を含む気体ドーピングシステムと、
を含む、半導体グレードインゴットまたはソーラーグレードインゴットを製造するための結晶引き上げ装置。 - 気体ドーピングシステムが、流量制限装置であって、前記流量制限装置を通過して固体ドーパントが移動することを可能にし、且つ前記流量制限装置を通過する気体ドーパントの流れを制限するように構成され、前記供給管内で、前記第1の端部と前記蒸発容器との間に配置された流量制限装置をさらに含む、請求項11に記載の引き上げ装置。
- 前記流量制限装置が、底部であって、前記底部を通り抜ける第2の開口部を有する底部と、供給管側壁から前記底部に向かって内部に延在する第2の側壁と、を含む、請求項12に記載の結晶引き上げ装置。
- 前記流量制限装置が、前記第2の開口部を通過して固体ドーパントが移動することを可能にし、且つ前記第2の開口部を通過する気体ドーパントの流れを制限するように構成された、請求項13に記載の結晶引き上げ装置。
- 前記供給管が、固体ドーパントを前記供給管内に自動的に供給するように構成された自動ドーパント供給装置に連通連結された、請求項11に記載の結晶引き上げ装置。
- 前記気体ドーピングシステムが、前記第1の端部から遠位の第2の端部において、前記供給管に連結された流体分配板をさらに含む、請求項11に記載の結晶引き上げ装置。
- 前記供給管が、前記供給管を上昇および下降させるように構成された位置決めシステムに、スライドするように連結された、請求項11に記載の結晶引き上げ装置。
- 前記供給管が、前記融液の表面に対して、約45°〜約75°の間の角度で角度が付けられた、請求項11に記載の結晶引き上げ装置。
- 前記蒸発容器が、前記融液の表面の上方に、約1cm〜約15cmの間で位置付けられた、請求項11に記載の結晶引き上げ装置。
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