JP2016509678A - 加速度センサの製造方法 - Google Patents

加速度センサの製造方法 Download PDF

Info

Publication number
JP2016509678A
JP2016509678A JP2015556356A JP2015556356A JP2016509678A JP 2016509678 A JP2016509678 A JP 2016509678A JP 2015556356 A JP2015556356 A JP 2015556356A JP 2015556356 A JP2015556356 A JP 2015556356A JP 2016509678 A JP2016509678 A JP 2016509678A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
housing
sensor element
support
sensor
acceleration sensor
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2015556356A
Other languages
English (en)
Other versions
JP6232077B2 (ja
Inventor
ゾンデレッガー、クリストフ
チャールズ タック、ピーター
チャールズ タック、ピーター
Original Assignee
キストラー ホールディング アクチエンゲゼルシャフト
キストラー ホールディング アクチエンゲゼルシャフト
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority claimed from CH00411/13A external-priority patent/CH707602A2/de
Priority claimed from CH00594/13A external-priority patent/CH707704A1/de
Application filed by キストラー ホールディング アクチエンゲゼルシャフト, キストラー ホールディング アクチエンゲゼルシャフト filed Critical キストラー ホールディング アクチエンゲゼルシャフト
Publication of JP2016509678A publication Critical patent/JP2016509678A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP6232077B2 publication Critical patent/JP6232077B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01PMEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
    • G01P15/00Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
    • G01P15/02Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses
    • G01P15/08Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values
    • G01P15/0802Details
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01PMEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
    • G01P1/00Details of instruments
    • G01P1/02Housings
    • G01P1/023Housings for acceleration measuring devices
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K11/00Resistance welding; Severing by resistance heating
    • B23K11/08Seam welding not restricted to one of the preceding subgroups
    • B23K11/087Seam welding not restricted to one of the preceding subgroups for rectilinear seams
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K11/00Resistance welding; Severing by resistance heating
    • B23K11/16Resistance welding; Severing by resistance heating taking account of the properties of the material to be welded
    • B23K11/20Resistance welding; Severing by resistance heating taking account of the properties of the material to be welded of different metals
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K20/00Non-electric welding by applying impact or other pressure, with or without the application of heat, e.g. cladding or plating
    • B23K20/12Non-electric welding by applying impact or other pressure, with or without the application of heat, e.g. cladding or plating the heat being generated by friction; Friction welding
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K20/00Non-electric welding by applying impact or other pressure, with or without the application of heat, e.g. cladding or plating
    • B23K20/22Non-electric welding by applying impact or other pressure, with or without the application of heat, e.g. cladding or plating taking account of the properties of the materials to be welded
    • B23K20/227Non-electric welding by applying impact or other pressure, with or without the application of heat, e.g. cladding or plating taking account of the properties of the materials to be welded with ferrous layer
    • B23K20/2275Non-electric welding by applying impact or other pressure, with or without the application of heat, e.g. cladding or plating taking account of the properties of the materials to be welded with ferrous layer the other layer being aluminium
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K20/00Non-electric welding by applying impact or other pressure, with or without the application of heat, e.g. cladding or plating
    • B23K20/22Non-electric welding by applying impact or other pressure, with or without the application of heat, e.g. cladding or plating taking account of the properties of the materials to be welded
    • B23K20/233Non-electric welding by applying impact or other pressure, with or without the application of heat, e.g. cladding or plating taking account of the properties of the materials to be welded without ferrous layer
    • B23K20/2333Non-electric welding by applying impact or other pressure, with or without the application of heat, e.g. cladding or plating taking account of the properties of the materials to be welded without ferrous layer one layer being aluminium, magnesium or beryllium
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01PMEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
    • G01P15/00Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
    • G01P15/02Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses
    • G01P15/08Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values
    • G01P15/09Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values by piezoelectric pick-up

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Pressure Sensors (AREA)
  • Force Measurement Appropriate To Specific Purposes (AREA)

Abstract

本発明は、基本形状が筒状又は立方体であるハウジング1を有し、ハウジング1は少なくとも1つの内部支持体4、及び内部支持体に配置されたセンサ要素2を有する加速度センサを製造する方法に関する。本発明にしたがって、少なくとも1つの圧電計測要素23、振動質量体22及びクランプ・リング27により頭部21を包囲することにより、頭部21と、前記頭部21の反対側にある端部24とを有するベース本体部29を含むセンサ要素2が予め備えられる。続いて、端面24は、端面24と支持体4との間の接触ゾーン7を形成するようにハウジングの内部支持体に接してハウジング1の内部支持体4に位置付けられる。最終的に、センサ要素2は、この接触ゾーン7でハウジング1に対して溶接される。さらに、本発明は、前記方法を用いて製造される加速度センサに関する。

Description

本発明は、機械、システム、車両、又は飛行機において使用される加速度センサを製造する方法であって、完成した加速度センサは、基本形状が筒状又は立方体であるハウジングを備え、ハウジングは少なくとも1つの内部支持体、及び内部支持体に配置されたセンサ要素を有する方法に関する。
本発明は、この種の加速度センサにさらに関し、特に、一軸又は三軸において加速度値を測定する加速度センサに関する。
圧力センサ又は力センサはしばしば、異なる軸方向に同時に様々な力又はモーメントを受け、複数の成分は、使用状況に応じて、計測される必要がある。この場合、各力成分は、他の力又はモーメントから独立して、検出可能である必要がある。このために、センサは、必要に応じて、1つ又は複数の計測要素を有する複数の計測体を含む。
加速度センサが知られており、幅広い使用分野で使用されるようになってきた。それらの加速度センサは、ほんの小さいサイズ及び僅かな自重しかなく、このことは、特に、三軸方向に作用するセンサの場合に、高価なアセンブリ、及びそれに対応する納期につながり得る。したがって、小さい空間内で、複数の収容室がセンサハウジングの中にフライス加工され、このセンサハウジングは、基板又はベース上に加速度センサを固定するねじ孔を追加して収容する必要があり、センサ要素は、振動質量体内に埋め込まれて、かなり狭い空間内に組み込まれる必要がある。次第に小さくなっていくセンサに対する要求の結果として、高感度センサ要素は、このベース上に予め組み立て及び設置され得ない。
したがって、本発明は、この種のセンサの簡単な及びフレキシブルな組み立てを可能にする、冒頭で述べた、加速度センサの製造方法を提供する目的に基づく。
この目的は、請求項1に記載の特徴により達成される。
本発明は、基本形状が筒状又は立方体であるハウジングを有し、ハウジングは、少なくとも1つの内部支持体、及び内部支持体に配置されたセンサ要素を有する加速度センサを製造する方法に関する。本発明により、頭部と、頭部とは反対側にある端面とを有するベース本体部を含むセンサ要素が予め設置され、頭部は、少なくとも1つの圧電測定要素、並びにさらに振動質量体及びクランプ・リングにより包囲され、クランプ・リング及び振動質量体は組み合わされた性質を備えて一体に構成され得る。続いて、端面は、端面と支持体との間の接触ゾーンを形成するために、ハウジングの内側支持体に接して位置付けられる。最終的に、センサ要素は、この接触ゾーンでハウジングと溶接される。
本発明はまた、一軸又は三軸において加速度値を計測する加速度センサであって、基本形状が本質的に筒状又は立方体であるハウジングを有し、ハウジングは、外部からアクセス可能な内部支持体と、ベース本体部(20)を含む、内部支持体に配置されたセンサ要素とを含む、加速度センサに関する。本発明により、各センサ要素の各ベース本体部の端面は、溶接により接触ゾーンで内側支持体のうちの1つに物質的に結合する様式で配置される。
本発明による方法の第1のステップでは、センサ要素は、ベース本体部の頭部を少なくとも1つの圧電計測要素により包囲することにより、続いて、ベース本体部及び計測要素を振動質量体及びクランプ・リングにより包囲することにより、予め設置される。クランプ・リング及び振動質量体は組み合わされた性質を備えて一体に構成され得る。好適には、加速度センサは、ベース本体部の周りに分散して配置され、振動質量体及びクランプ・リングにより一緒に包囲された、3つの圧電計測要素を有する。しかし、加速度センサは、1つの計測要素のみを含み得る。
第2のステップでは、頭部とは反対側にあるベース本体部の端面は、端面と支持体との間の接触ゾーンを形成するために、ハウジングの支持体と接触して位置付けられる。
続いて、予め設置されたセンサ要素の端面は、接触ゾーンにおいて物質的に結合された接続を構成するようハウジングの支持体で最終的に溶接される。
本方法の好適な形態では、溶接電極は、この端部に対して、センサ要素の頭部上に規定の力で適用され、溶接電極は、抵抗溶接のためのシステムに接続される。溶接電極とハウジングの対抗電極との間に規定の溶接電圧を印加することにより、電流が頭部を有するベース本体部及びハウジングを通って発生し、それは、接触ゾーンにおいて端面及び支持体の少なくとも部分溶解をもたらし、ゆえに、環状の物質的に結合された接続が生成される。
その結果、正確で、及び平面的に配向された接続が達成され、それは、迅速に生成され得、且つさらなる面積の減少も可能にする。低いエネルギーのために、かなり僅かな温度上昇のみがもたらされるために、支持体又はハウジングの周囲領域は損なわれない。
さらなる目的は、加速度センサであって、特に、モジュール式構成を有する、一軸又は三軸における加速度値を計測する加速度センサを提供することにある。
この目的は、請求項9に記載の特徴により達成される。本発明による加速度センサは、基本形状が本質的に筒状又は立方体であるハウジングを備え、ハウジングは、外部からアクセス可能な内部支持体と、ベース本体部を有する、内部支持体に配置されたセンサ要素とを有する。本発明により、各センサ要素の各ベース本体部の端面は、溶接により接触ゾーンで内部支持体の1つに物質的に結合する様式で配置される。この溶接は、好適には、抵抗溶接により行われる。
モジュール式構成は、1つのサイズのみのハウジングにおける種々の計測領域に対する種々のセンサ要素の使用を可能にする。ハウジングは、できるだけ小さい必要があり、ゆえに、適用及び使用分野は、できるだけ柔軟的に維持され得る。
本発明による製造方法は、センサ要素の簡易的及び大量生産向け事前設置及び収容を可能にし、また、センサハウジング内への迅速な、正確な及びコストパフォーマンスの高い設置を可能にする。したがって、スループット時間は短く維持され、その結果として、加速度センサの短期間提供が可能である。
本発明は、以下に、図に基づいて、例示としての実施例に関して詳細に説明されている。
センサ要素が搭載されていない従来の設計の加速度センサのハウジングを示す図である。 本発明による加速度センサのハウジングを示す図である。 本発明による予め設置されたセンサ要素を示す図である。 予め設置されるセンサ要素の供給方向の仕様を伴うハウジングを示す図である。 加速度センサを製造するための配置を示す図である。
図1aは、従来技術による加速度センサのハウジングを示しており、ハウジングは、1つのパーツからフライス加工される。センサ要素を有しない3つのベース本体部20が、立方体形状のハウジング1内に示されており、それらのベース本体部も同様にフライス加工されたものである。
各センサ要素2は、まず、ハウジング1内に完全に設置されるが、このことは、ハウジング1の内部が視認的に小さい場合には、困難であり且つ多くの時間を必要とする。この場合、ハウジングは、将来、さらに小さくなっていき、このために、フライス加工を行うことも益々困難になることが予測できる。
加速度センサを取り付けるための取り付け用ねじ孔3がハウジング1に外向きに配置されていることが、図4から理解され得る。その結果、センサ要素2を収容する支持体4は、取り付け用ねじ孔3の反対側にあり、拡大させることができない。この領域の壁の厚さは、結果的にかなり小さくなり、それは、問題である。したがって、壁の厚さがねじ孔にとって小さ過ぎるので、センサ要素2を、ハウジング1内にねじ込むことができない。
しかしながら、内部支持体4は、外部構成と比較して、小さいサイズのハウジング1、及びセンサ要素2、計測用電子機器及び配線の保護構成を可能にする。
本発明により、加速度センサのハウジング1はチタン又はアルミニウム材料から成る。
センサ要素2(図2)自体は、好適には、高い剛性を確保するように、チタン又は鋼から成るベース本体部20を含む。ベース本体部20は、好適には円形又は多角形の頭部21を備えており、頭部21は、振動質量体22により包囲されており、振動質量体22は、好適にはシュリンク・リングの形状のクランプ・リング27によりさらに包囲されている。クランプ・リング27及び振動質量体22は、組み合わされた性質を備えて一体に構成され得る。1つ又は複数の圧電要素23は、振動質量体22と頭部21との間の円弧状の窪み内に配置される。ベース本体部20の端面24は、支持体4上に位置付けられることとなり、頭部21から離れる方向を向いており、好適には、環状隆起部25を備え、環状隆起部25は、溝26によって外側を取り囲まれている。外側に配置された溝26は、溶解物を完全に収容するためのより大容量を可能にし、ゆえに、小さい直径のベース本体部20のための品質的に良好な接続を可能にする。
センサ要素2は、ピン形状の様式に構成され得る。端面24を横断する軸を有する上述のタイプのセンサ要素2は、端面24と、各圧電要素23、振動質量体22、さらにクランプ・リング27との間に軸方向空間を有しており、本発明の意味において、ピンとして有効である。各々の場合に、この軸は、計測されることとなる複数のセンサ軸の1つに一致する。
ハウジング1内に予め設置されるセンサ要素2を設置するためには、上述のように、センサ要素2の端面24は、支持体4(図4)の接合面6に対して平行に位置付けられ、隆起部25の先端のみが、接合面6に接触し、プロセスにおいて、導電性接触ゾーン7を構成する。
続いて、溶接電極5が、規定の力で導電的に頭部21に適用され、溶接電極5は、抵抗溶接用システム(図示せず)に接続される。規定の溶接電圧を印加することにより、電流が発生して、溶接電極5と、頭部21を有するベース本体部20と、ハウジング1と、さらに対抗電極とを流れ、このことは、隆起部25、及び接触ゾーン7内の接合面6の対応する領域の少なくとも部分的溶解をもたらし、ゆえに、少なくとも1つの環状の物質的に結合した接続が形成されるようになっている。いずれの過剰な溶解物も、溝26に流れ込み得る。その結果、正確で及び平面的に配向された接続が得られ、それは、迅速に形成され得、さらなる領域削減も可能にする。
抵抗溶接に代えて、この接続は、摩擦溶接、誘導加熱ろう付け、又はレーザ溶接によっても形成され得る。
支持部4又はハウジング1の周囲領域は、一般に、溶接によって損なわれない。
同様に、三軸において加速度を計測する加速度センサの場合、他の2つのセンサ要素2がハウジング1内に配置され、ハウジング1は、それに応じて、新たに装置内に固定される。
計測電子機器28はまた、支持体4又は頭部21に配置され得る。センサ要素2を導入した後、これらのセンサ要素は、計測電子機器28と、さらにプラグ(図示せず)と電気配線される。プラグは、センサ要素2及び支持体4を覆う蓋29に備えられる。
支持体4を有する本発明による加速度センサのハウジング1は、好適には、チタン又はアルミニウム材料から成り、一方、センサ要素2のベース本体部20は、好適には、チタン又は鋼から成る。
プラグのための結線はプラグ開口を介して取り出され、蓋29は、好適には、続いてクリック止めされ、結線はプラグに接続され、最終的には、プラグは蓋開口に接合される。
1 ハウジング
2 センサ要素
3 取り付け用ねじ孔
4 支持体
5 溶接電極
6 接合面
7 接触ゾーン
20 ベース本体部
21 頭部
22 振動質量体
23 圧電計測要素
24 端面
25 隆起部
26 溝
27 クランプ・リング
28 計測電子機器
29 蓋

Claims (13)

  1. 機械、システム、車両、又は飛行機において使用される加速度センサを製造する方法であって、完成した加速度センサは、基本形状が筒状又は立方体であるハウジング(1)を備え、前記ハウジング(1)は少なくとも1つの内部支持体(4)を有し、前記内部支持体の上にセンサ要素(2)が配置される、方法において、方法のステップ:
    a)ベース本体部(20)の頭部(21)を少なくとも1つの圧電計測要素(23)により包囲し、振動質量体(22)及びクランプ・リング(27)により包囲することにより、センサ要素(2)を予め設置するステップ、
    b)前記予め設置されたセンサ要素(2)の前記ベース本体部(20)の端面(24)を位置決めするステップであって、前記端面は、前記頭部(21)の反対側にあり、前記端面(24)と支持体(4)との間に接触ゾーン(7)を形成するように前記ハウジング(1)の前記支持体(4)と接触する、ステップ、
    c)接触ゾーン(7)において物質的に結合された接続を構成するように、前記ハウジング(1)の前記支持体(4)に前記予め設置されたセンサ要素(2)の前記端面(24)を溶接するステップ
    を特徴とする、方法。
  2. 前記溶接は、抵抗溶接により行われ、前記センサ要素(2)の前記頭部(21)を有する溶接電極(5)及びハウジング(1)の上の対向電極が接触され、続いて、電極(5)、センサ要素(2)、ハウジング(1)、及び対向電極の間に電流を発生させる規定の電圧が、前記接触ゾーン(7)における前記物質的に結合された接続を構成するように印加されることを特徴とする、請求項1に記載の方法。
  3. 前記抵抗溶接のための前記溶接電極(5)は、前記センサ要素(2)の前記頭部(21)に規定の力で適用されることを特徴とする、請求項2に記載の方法。
  4. 前記溶接は摩擦溶接により行われることを特徴とする、請求項1に記載の方法。
  5. 計測電子機器(28)が前記支持体(4)又は前記頭部(21)に備えられることを特徴とする、請求項1から4までのいずれか一項に記載の方法。
  6. 3つの支持体(4)が、前記ハウジング(1)内に備えられ、各々の場合に1つのセンサ要素(2)に物質的に結合される様式で接続されることを特徴とする、請求項1から5までのいずれか一項に記載の方法。
  7. 方法のステップc)に続いて、外部に対する前記センサ要素(2)の上方での前記ハウジング(1)の閉鎖、及びコネクタ・プラグを用いる前記圧電計測要素(23)の接触が行われることを特徴とする、請求項1から6までのいずれか一項に記載の方法。
  8. ステップb)において、前記センサ要素(2)の前記ベース本体部(20)の前記端面(24)の環状隆起部(25)の先端は、前記接触ゾーンを形成する前記支持体(4)の接合面(6)と接触することを特徴とする、請求項1から7までのいずれか一項に記載の方法。
  9. 一軸又は三軸において加速度値を計測する加速度センサであって、基本形状が本質的に筒状又は立方体であるハウジング(1)を備え、前記ハウジング(1)は、外部からアクセス可能な複数の内部支持体(4)と、前記内部支持体に配置された複数のセンサ要素(2)とを有し、センサ要素はベース本体部(20)を備える、加速度センサにおいて、各センサ要素(2)の各ベース本体部(20)の端面(24)は、溶接により接触ゾーン(7)で前記内側支持体(4)の1つに物質的に結合される様式で配置されることを特徴とする、加速度センサ。
  10. 前記支持体(4)を有する前記ハウジング(1)はチタン又はアルミニウム材料から成ることを特徴とする、請求項9に記載の加速度センサ。
  11. 前記センサ要素(2)の前記ベース本体部(20)はチタン又は鋼から成ることを特徴とする、請求項9又は10に記載の加速度センサ。
  12. 各々のセンサ要素(2)の前記ベース本体部(20)は、前記端面の反対側にある頭部(21)において、少なくとも1つの圧電計測要素(23)により包囲され、且つ両方は、振動質量体(22)及びクランプ・リング(27)により包囲されることを特徴とする、請求項9から11までのいずれか一項に記載の加速度センサ。
  13. 各々のセンサ要素(2)はピン形状に構成され、前記センサ要素(2)は、前記端面(24)を横断する軸を有し、前記端面(24)は、各圧電要素(23)から、並びに前記振動質量体(22)及び前記クランプ・リング(27)からも軸方向に離間していることを特徴とする、請求項9から12までのいずれか一項に記載の加速度センサ。
JP2015556356A 2013-02-07 2014-02-06 加速度センサの製造方法 Active JP6232077B2 (ja)

Applications Claiming Priority (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CH411/13 2013-02-07
CH00411/13A CH707602A2 (de) 2013-02-07 2013-02-07 Verfahren zur Herstellung eines Beschleunigungssensors und Beschleunigungssensor.
CH00594/13A CH707704A1 (de) 2013-03-13 2013-03-13 Verfahren zur Herstellung eines Beschleunigungssensors.
CH594/13 2013-03-13
PCT/CH2014/000015 WO2014121407A1 (de) 2013-02-07 2014-02-06 Verfahren zur herstellung eines beschleunigungssensors

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2016509678A true JP2016509678A (ja) 2016-03-31
JP6232077B2 JP6232077B2 (ja) 2017-11-15

Family

ID=50150512

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2015556356A Active JP6232077B2 (ja) 2013-02-07 2014-02-06 加速度センサの製造方法

Country Status (7)

Country Link
US (1) US9841434B2 (ja)
EP (1) EP2954333B1 (ja)
JP (1) JP6232077B2 (ja)
CN (1) CN104969078B (ja)
DK (1) DK2954333T3 (ja)
ES (1) ES2617976T3 (ja)
WO (1) WO2014121407A1 (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2017223658A (ja) * 2016-04-29 2017-12-21 コンティネンタル オートモーティヴ フランスContinental Automotive France 加速度センサにおいてニッケル強度ラグを青銅接続ピンと黄銅コンタクトリングとに溶接する方法

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2018119485A (ru) 2015-10-30 2019-12-02 Ион Джиофизикал Корпорейшн Океанические донные сейсмические системы
RU2700037C1 (ru) 2015-12-04 2019-09-12 Кистлер Холдинг Аг Устройство для измерения ускорения и способ изготовления такого устройства для измерения ускорения
EP3384295B1 (de) 2015-12-04 2019-06-19 Kistler Holding AG Beschleunigungs-messgeraet und verfahren zur herstellung eines solchen beschleunigungs-messgeraetes
BR112021003892A2 (pt) 2018-09-13 2021-05-18 Ion Geophysical Corporation medidor de aceleração de massa, único e multidirecional

Citations (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3093759A (en) * 1958-10-22 1963-06-11 Gulton Ind Inc Accelerometer
GB959452A (en) * 1959-09-15 1964-06-03 Endevco Corp Improvements relating to piezo electric transducers
GB1393312A (en) * 1972-11-27 1975-05-07 Becton Dickinson Co Transducdr
US4359658A (en) * 1979-02-09 1982-11-16 Jean Cartier Prestressed piezoelectric accelerometer
US4771637A (en) * 1987-03-18 1988-09-20 Kistler Instrument Corporation Accelerometer
JPH0513468B2 (ja) * 1984-05-05 1993-02-22 Jii Ii Shii Fuerantei Defuensu Shisutemusu Ltd
JPH05172842A (ja) * 1991-11-18 1993-07-13 Hitachi Ltd 多軸検出形加速度センサ
JPH1032276A (ja) * 1996-07-16 1998-02-03 Nec Corp 電力用半導体装置のパッケ−ジング方法
JP2709837B2 (ja) * 1987-11-30 1998-02-04 メットラー・トレド・インコーポレーテッド 秤量装置
JP2000514176A (ja) * 1995-10-13 2000-10-24 エ/エス ブリュエウ オウ クイエー 加速度又は機械力を測定する方法と装置
US6279395B1 (en) * 1999-02-05 2001-08-28 Kistler Instrument Corporation Annual shear element with radial preload
US6412346B2 (en) * 2000-07-28 2002-07-02 Israel Aircraft Industries Ltd. Compact inertial measurement unit
JP2003078057A (ja) * 2001-08-31 2003-03-14 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> 半導体素子実装パッケージ
JP3730130B2 (ja) * 2001-02-20 2005-12-21 オリジン電気株式会社 抵抗溶接装置
JP2007218288A (ja) * 2006-02-14 2007-08-30 Honda Motor Co Ltd ウェルドナット
JP2007229719A (ja) * 2006-02-27 2007-09-13 Hitachi Ltd 管端封口方法
JP2008016867A (ja) * 2007-09-21 2008-01-24 Toyota Motor Corp 抵抗溶接方法と抵抗溶接装置
JP6154324B2 (ja) * 2010-08-09 2017-06-28 エスゼット ディージェイアイ テクノロジー カンパニー リミテッドSz Dji Technology Co.,Ltd マイクロ慣性測定装置

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5224380A (en) * 1990-05-21 1993-07-06 The University Of Maryland Superconducting six-axis accelerometer
US5124938A (en) * 1990-07-23 1992-06-23 Recon/Optical, Inc. Gyroless platform stabilization techniques
US5540808A (en) * 1993-02-24 1996-07-30 Deka Products Limited Partnership Energy director for ultrasonic welding and joint produced thereby
US7178399B2 (en) 2004-03-03 2007-02-20 Innalabs Technologies, Inc. Housing for magnetofluidic accelerometer
JP4187066B2 (ja) * 2003-01-27 2008-11-26 株式会社村田製作所 抵抗溶接方法、装置、および電子部品の製造方法
EP1720018A3 (en) * 2003-02-03 2007-03-21 Denso Corporation Ceramic package for mounting electronic components
US7482193B2 (en) * 2004-12-20 2009-01-27 Honeywell International Inc. Injection-molded package for MEMS inertial sensor

Patent Citations (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3093759A (en) * 1958-10-22 1963-06-11 Gulton Ind Inc Accelerometer
GB959452A (en) * 1959-09-15 1964-06-03 Endevco Corp Improvements relating to piezo electric transducers
GB1393312A (en) * 1972-11-27 1975-05-07 Becton Dickinson Co Transducdr
US4359658A (en) * 1979-02-09 1982-11-16 Jean Cartier Prestressed piezoelectric accelerometer
JPH0513468B2 (ja) * 1984-05-05 1993-02-22 Jii Ii Shii Fuerantei Defuensu Shisutemusu Ltd
US4771637A (en) * 1987-03-18 1988-09-20 Kistler Instrument Corporation Accelerometer
JP2709837B2 (ja) * 1987-11-30 1998-02-04 メットラー・トレド・インコーポレーテッド 秤量装置
JPH05172842A (ja) * 1991-11-18 1993-07-13 Hitachi Ltd 多軸検出形加速度センサ
JP2000514176A (ja) * 1995-10-13 2000-10-24 エ/エス ブリュエウ オウ クイエー 加速度又は機械力を測定する方法と装置
JPH1032276A (ja) * 1996-07-16 1998-02-03 Nec Corp 電力用半導体装置のパッケ−ジング方法
US6279395B1 (en) * 1999-02-05 2001-08-28 Kistler Instrument Corporation Annual shear element with radial preload
US6412346B2 (en) * 2000-07-28 2002-07-02 Israel Aircraft Industries Ltd. Compact inertial measurement unit
JP3730130B2 (ja) * 2001-02-20 2005-12-21 オリジン電気株式会社 抵抗溶接装置
JP2003078057A (ja) * 2001-08-31 2003-03-14 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> 半導体素子実装パッケージ
JP2007218288A (ja) * 2006-02-14 2007-08-30 Honda Motor Co Ltd ウェルドナット
JP2007229719A (ja) * 2006-02-27 2007-09-13 Hitachi Ltd 管端封口方法
JP2008016867A (ja) * 2007-09-21 2008-01-24 Toyota Motor Corp 抵抗溶接方法と抵抗溶接装置
JP6154324B2 (ja) * 2010-08-09 2017-06-28 エスゼット ディージェイアイ テクノロジー カンパニー リミテッドSz Dji Technology Co.,Ltd マイクロ慣性測定装置

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2017223658A (ja) * 2016-04-29 2017-12-21 コンティネンタル オートモーティヴ フランスContinental Automotive France 加速度センサにおいてニッケル強度ラグを青銅接続ピンと黄銅コンタクトリングとに溶接する方法

Also Published As

Publication number Publication date
WO2014121407A1 (de) 2014-08-14
JP6232077B2 (ja) 2017-11-15
US9841434B2 (en) 2017-12-12
US20160003864A1 (en) 2016-01-07
DK2954333T3 (da) 2017-03-20
CN104969078A (zh) 2015-10-07
CN104969078B (zh) 2018-04-10
EP2954333B1 (de) 2017-01-11
ES2617976T3 (es) 2017-06-20
EP2954333A1 (de) 2015-12-16

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6232077B2 (ja) 加速度センサの製造方法
JP6476180B2 (ja) 電極と接触ピンとの間に電気接続部を有する圧電力センサ
JP6318605B2 (ja) 溶接部を有する継手構造の組付構造
CN103852109A (zh) 集成温度感测元件的方法
JP5975793B2 (ja) 燃焼圧センサ
WO2013179871A1 (ja) 圧力検出装置
WO2013161542A1 (ja) 圧力検出装置及びその生産方法
EP3285058B1 (en) Pressure sensor
CN102265128A (zh) 温度传感器,制造方法和相应的组装方法
JP2013140048A (ja) 圧力検出装置およびチャージアンプ回路
JP5833936B2 (ja) 圧力センサ
CN107079597B (zh) 用于容纳电气和/或电子部件的壳体、电子控制装置及制造该壳体和电子控制装置的方法
JP6571873B2 (ja) 加速度測定装置及び加速度測定装置を製造するための方法
JP6171251B2 (ja) 圧力検出装置
JP6924106B2 (ja) 流体性状検出装置
JP6895822B2 (ja) 流体状の媒体の圧力を検出する装置
JP6709486B2 (ja) 圧力センサ
KR101606151B1 (ko) 센서 조립체
JP6539415B2 (ja) 加速度測定装置及び加速度測定装置を製造するための方法
JP6170879B2 (ja) 歪みゲージ圧力センサ
JP2017217868A (ja) 合成樹脂成形体及びその製造方法
US20210091297A1 (en) Piezoelectric sensor
JP2012181127A (ja) 圧力センサ
JP2015215247A (ja) 圧力検出装置
JP2013174552A (ja) 圧力検出装置の製造方法、圧力検出装置

Legal Events

Date Code Title Description
A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20161121

A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20170130

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20171003

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20171011

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20171020

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 6232077

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250