JP2016219192A - 積層構造体、これを用いた有機el素子、およびこれらの製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
ただし、上記液体状の機能性塗布材料を基板上に塗布すると、液の濡れ広がりにより、本来形成したい箇所とは異なる部位に機能性材料が形成され、機能性デバイスの動作不良が生じる場合がある。そのため機能性材料を形成したい領域の両端、もしくは上下両端に隔壁を形成し、隔壁外の領域に機能性塗布材料が広がらないようにする構造が広く採用されている。
実例として、例えばフルカラー型有機EL素子を製造するときに、上記隔壁側面への濡れ上がりが生じた場合は、本来下地基板に形成されるべき機能性塗布材料の一部が、隔壁に濡れあがって付着してしまうため、材料の使用効率が低下してしまう。また、隔壁ごとに濡れ上がり量が異なる場合は、印刷ムラが生じ、EL発光させたときの発光ムラに繋がってしまう恐れがある。さらに、濡れ上がりが隔壁の上面まで達する場合は、例えば、ある色のEL発光層が形成された領域に異なる色のEL発光材料が混入することで、発光特性不良が生じてしまう。そこで、上記隔壁への導電性材料濡れ上がりによる問題を解決するためには、機能性塗布材料に対する撥液性を隔壁に付与する必要がある。
ナノ撥液構造を設ける手段としては、レーザー加工やナノインプリント法などが挙げられる。ナノインプリント法は、従来のフォトリソグラフィーに代わり超微細構造を実現する技術として注目を集めている。モールドの作成には時間とコストがかかるが、一度モールドを作成すれば、繰り返しモールドを使用できるため、デバイスの量産が容易になる。
隔壁上面にのみナノ撥液構造を設けることは、基板上面から加工を行うことで可能であるが、隔壁はμmオーダーの寸法で多数配列して形成させることが多いため、隔壁の側面にもナノ撥液構造を設けることは極めて困難である。
cosθ=F(cosθ1+1)−1
ここでθ1は凹凸の無い平坦な被塗布面に液を滴下したときの真の接触角であり、Fは表面物質が液滴に点接触する割合である。Fが0に近いほどθは180°に近くなり、より高い撥液性が得られるため望ましい。
<実施例1>
(隔壁1の製造工程)
下地基板2である有機EL素子基板に、隔壁1の材料樹脂をスピンコーターで0.5μmの膜厚になる回転数で塗布した。隔壁1の材料樹脂はUV硬化性を持つアクリル樹脂を用いた。
隔壁1が形成され、領域が区切られた下地基板2上に、インクジェット印刷機を用いて機能性塗布材料3である有機EL発光材料を塗布した。図10に隔壁1で囲まれた領域に機能性塗布材料3を塗布した状態の実施例1に係る積層構造体の概略図を示す。
比較例1においてはナノ撥液構造を設けない隔壁5を用いた有機EL素子の製造例を示す。下地基板2である有機EL素子基板に、隔壁5の材料樹脂をスピンコーターで1μmの膜厚になる回転数で塗布した。隔壁5の材料樹脂はポジ型の感光性ポリイミド樹脂を用いた。フォトリソグラフィーで隔壁5の材料樹脂を露光・現像し隔壁5のパターニングを行った。ポストベークを行い、ポリイミド樹脂を硬化させた後、隔壁5が形成された下地基板2に対して、インクジェット印刷機を用いて機能性塗布材料3である有機EL発光材料を赤色、緑色、青色の順に塗布した。図11に隔壁5で囲まれた領域に機能性塗布材料3を塗布した状態の比較例1に係る積層構造体の概略図を示す。
比較例2においては上面にのみナノ撥液構造を設けた隔壁6を用いた有機EL素子の製造例を示す。下地基板2である有機EL素子基板に、隔壁6の材料樹脂をスピンコーターで1μmの膜厚になる回転数で塗布した。隔壁6の材料樹脂はポジ型の感光性を持つアクリル系樹脂を用いた。
2 下地基板
3 機能性塗布材料
10 ナノ撥液構造形成用モールド
11 隔壁構造形成用モールド
100 ロール型ナノインプリント転写機
101 基板ステージ
102 ローラー
103 紫外線照射ユニット
Claims (6)
- 下地基板に隔壁の材料樹脂を塗布する工程と、
前記材料樹脂上に、凸形状の形成された面を有するナノ撥液構造形成用モールドを前記凸形状の形成された面が前記材料樹脂に面するように設置する工程と、
前記ナノ撥液構造形成用モールド上に、隔壁構造を有する隔壁構造形成用モールドを、前記隔壁構造の形成された面が前記ナノ撥液構造形成用モールドに面するように設置する工程と、
前記隔壁構造形成用モールドを前記下地基板に向かって押下することにより前記材料樹脂を加圧して、側面と上面とにナノ撥液構造を有する隔壁を形成する工程とを含む、積層構造体の製造方法。 - 下地基板と、
前記下地基板上に積層され、上面と側面とにナノ撥液構造が形成された隔壁とを含む積層構造体。 - 前記ナノ撥液構造形成用モールドが可撓性を有する、請求項1に記載の積層構造体の製造方法。
- 前記ナノ撥液構造形成用モールドが5μm以上15μm以下の厚みを有する、請求項1または3に記載の積層構造体の製造方法。
- 請求項1、3、4のいずれかに記載の積層構造体の製造方法により積層構造体を製造する工程と、
前記下地基板上であって前記隔壁により区切られた領域に有機EL発光材料を塗布する工程とを含む、有機EL素子の製造方法。 - 請求項2に記載の積層構造体と、
前記下地基板上であって前記隔壁により区切られた領域に塗布された有機EL発光材料とを含む、有機EL素子。
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2019028434A (ja) * | 2017-07-27 | 2019-02-21 | 三星ディスプレイ株式會社Samsung Display Co.,Ltd. | 表示装置及びその製造方法 |
Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002006129A (ja) * | 2000-06-19 | 2002-01-09 | Canon Inc | 光学素子とその製造方法、液晶素子 |
JP2008046306A (ja) * | 2006-08-14 | 2008-02-28 | Sharp Corp | 表示素子用基板とその製造方法、及び液晶表示素子 |
JP2009026671A (ja) * | 2007-07-23 | 2009-02-05 | Seiko Epson Corp | 電気光学装置、電子機器、電気光学装置の製造方法 |
WO2009031288A1 (ja) * | 2007-09-05 | 2009-03-12 | Nikon Corporation | 表示素子の製造方法、表示素子の製造装置、及び表示装置 |
JP2009533809A (ja) * | 2006-04-10 | 2009-09-17 | ケンブリッジ ディスプレイ テクノロジー リミテッド | 電気装置及びその製造方法 |
US20100109203A1 (en) * | 2008-11-04 | 2010-05-06 | Nanjing University | Flexible nanoimprint mold, method for fabricating the same, and mold usage on planar and curved substrate |
JP2010538419A (ja) * | 2007-08-28 | 2010-12-09 | エージェンシー フォー サイエンス,テクノロジー アンド リサーチ | 有機電子デバイスもしくは光電子デバイスの製造方法 |
WO2015011110A1 (en) * | 2013-07-22 | 2015-01-29 | Koninklijke Philips N.V. | Patterned stamp manufacturing method, patterned stamp imprinting method and imprinted article |
JP2016110942A (ja) * | 2014-12-10 | 2016-06-20 | 凸版印刷株式会社 | ナノ撥液構造を有する隔壁、その隔壁を用いた有機el素子、およびそれらの製造方法 |
WO2016102185A1 (en) * | 2014-12-22 | 2016-06-30 | Koninklijke Philips N.V. | Patterned stamp manufacturing method, patterned stamp and imprinting method |
-
2015
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Patent Citations (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002006129A (ja) * | 2000-06-19 | 2002-01-09 | Canon Inc | 光学素子とその製造方法、液晶素子 |
JP2009533809A (ja) * | 2006-04-10 | 2009-09-17 | ケンブリッジ ディスプレイ テクノロジー リミテッド | 電気装置及びその製造方法 |
US20090321752A1 (en) * | 2006-04-10 | 2009-12-31 | Cambridge Display Technology Limited | Electric devices and methods of manufaturing the same |
JP2008046306A (ja) * | 2006-08-14 | 2008-02-28 | Sharp Corp | 表示素子用基板とその製造方法、及び液晶表示素子 |
JP2009026671A (ja) * | 2007-07-23 | 2009-02-05 | Seiko Epson Corp | 電気光学装置、電子機器、電気光学装置の製造方法 |
JP2010538419A (ja) * | 2007-08-28 | 2010-12-09 | エージェンシー フォー サイエンス,テクノロジー アンド リサーチ | 有機電子デバイスもしくは光電子デバイスの製造方法 |
WO2009031288A1 (ja) * | 2007-09-05 | 2009-03-12 | Nikon Corporation | 表示素子の製造方法、表示素子の製造装置、及び表示装置 |
US20100109203A1 (en) * | 2008-11-04 | 2010-05-06 | Nanjing University | Flexible nanoimprint mold, method for fabricating the same, and mold usage on planar and curved substrate |
WO2015011110A1 (en) * | 2013-07-22 | 2015-01-29 | Koninklijke Philips N.V. | Patterned stamp manufacturing method, patterned stamp imprinting method and imprinted article |
JP2016527720A (ja) * | 2013-07-22 | 2016-09-08 | コーニンクレッカ フィリップス エヌ ヴェKoninklijke Philips N.V. | パターン化されたスタンプの製造方法、パターン化されたスタンプのインプリント方法及びインプリントされた物 |
JP2016110942A (ja) * | 2014-12-10 | 2016-06-20 | 凸版印刷株式会社 | ナノ撥液構造を有する隔壁、その隔壁を用いた有機el素子、およびそれらの製造方法 |
WO2016102185A1 (en) * | 2014-12-22 | 2016-06-30 | Koninklijke Philips N.V. | Patterned stamp manufacturing method, patterned stamp and imprinting method |
JP2018503251A (ja) * | 2014-12-22 | 2018-02-01 | コーニンクレッカ フィリップス エヌ ヴェKoninklijke Philips N.V. | パターン化されたスタンプの製造方法、パターン化されたスタンプ及びインプリント方法 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2019028434A (ja) * | 2017-07-27 | 2019-02-21 | 三星ディスプレイ株式會社Samsung Display Co.,Ltd. | 表示装置及びその製造方法 |
JP7171200B2 (ja) | 2017-07-27 | 2022-11-15 | 三星ディスプレイ株式會社 | 表示装置及びその製造方法 |
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