JP2016217865A - 検査装置及び検査方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】成膜処理されたワークの検査画像を取得する画像取得装置と、検査画像の各ドットについてHUE値を算出してHUE値の度数をプロットしたHUE値分布プロファイルを作成し、HUE値分布プロファイルの度数ピークの数が1つの場合にワークを良品と判定し、複数の場合にワークを不良と判定する判定装置とを備える。
【選択図】図1
Description
図1に示す本発明の第1の実施形態に係る検査装置1は、ワーク100の色味によってワーク100に形成された膜の均一性を検査し、ワーク100の良否判定を行う。検査装置1は、成膜処理されたワーク100に検査光Lを照射する照明装置10と、検査光Lを照射されたワーク100を撮像してワーク100の検査画像を取得する画像取得装置20と、検査画像から作成したHUE値分布プロファイルを用いてワーク100の良否判定を行う判定装置30とを備える。
本発明の第2の実施形態に係る検査装置1は、図5に示すように、判定装置30が、検査画像を複数の分割領域に分割する分割部33を更に備える。その他の構成については、図1に示す第1の実施形態と同様である。図5に示した検査装置1では、それぞれの分割領域に関してHUE値分布プロファイルが作成され、度数ピークの数が検出される。
上記のように、本発明は実施形態によって記載したが、この開示の一部をなす論述及び図面はこの発明を限定するものであると理解すべきではない。この開示から当業者には様々な代替実施形態、実施例及び運用技術が明らかとなろう。
10…照明装置
20…画像取得装置
30…判定装置
31…プロファイル作成部
32…判定部
33…分割部
100…ワーク
Claims (6)
- 成膜処理されたワークの検査画像を取得する画像取得装置と、
前記検査画像の各ドットについてHUE値を算出して前記HUE値の度数をプロットしたHUE値分布プロファイルを作成し、前記HUE値分布プロファイルの度数ピークの数が1つの場合に前記ワークを良品と判定し、複数の場合に前記ワークを不良と判定する判定装置と
を備えることを特徴とする検査装置。 - 前記判定装置が、前記検査画像から複数の色についてそれぞれ前記HUE値分布プロファイルを作成することを特徴とする請求項1に記載の検査装置。
- 前記判定装置が、
前記検査画像を複数の分割領域に分割し、
前記分割領域毎に前記HUE値分布プロファイルを作成し、
すべての前記分割領域において前記HUE値分布プロファイルの度数ピークの数が1つの場合に前記ワークを良品と判定し、
少なくとも1つの前記分割領域において前記HUE値分布プロファイルの度数ピークの数が複数の場合に前記ワークを不良と判定する
ことを特徴とする請求項1又は2に記載の検査装置。 - 成膜処理されたワークの検査画像を取得するステップと、
前記検査画像の各ドットについてHUE値を算出して前記HUE値の度数をプロットしたHUE値分布プロファイルを作成するステップと、
前記HUE値分布プロファイルの度数ピークの数が1つの場合に前記ワークを良品と判定し、複数の場合に前記ワークを不良と判定するステップと
を含むことを特徴とする検査方法。 - 前記検査画像から複数の色についてそれぞれ前記HUE値分布プロファイルを作成することを特徴とする請求項4に記載の検査方法。
- 前記検査画像を複数の分割領域に分割するステップを更に含み、
前記分割領域毎に前記HUE値分布プロファイルを作成し、
すべての前記分割領域において前記HUE値分布プロファイルの度数ピークの数が1つの場合に前記ワークを良品と判定し、
少なくとも1つの前記分割領域において前記HUE値分布プロファイルの度数ピークの数が複数の場合に前記ワークを不良と判定する
ことを特徴とする請求項4又は5に記載の検査方法。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015102588A JP6319184B2 (ja) | 2015-05-20 | 2015-05-20 | 検査装置及び検査方法 |
TW105108180A TWI583942B (zh) | 2015-05-20 | 2016-03-17 | Check the device and check the method |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015102588A JP6319184B2 (ja) | 2015-05-20 | 2015-05-20 | 検査装置及び検査方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016217865A true JP2016217865A (ja) | 2016-12-22 |
JP6319184B2 JP6319184B2 (ja) | 2018-05-09 |
Family
ID=57580835
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015102588A Active JP6319184B2 (ja) | 2015-05-20 | 2015-05-20 | 検査装置及び検査方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6319184B2 (ja) |
TW (1) | TWI583942B (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN111413352A (zh) * | 2020-05-25 | 2020-07-14 | 广西我的科技有限公司 | 人造板表面缺陷检测装置和方法 |
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2015
- 2015-05-20 JP JP2015102588A patent/JP6319184B2/ja active Active
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2016
- 2016-03-17 TW TW105108180A patent/TWI583942B/zh not_active IP Right Cessation
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP6319184B2 (ja) | 2018-05-09 |
TW201641932A (zh) | 2016-12-01 |
TWI583942B (zh) | 2017-05-21 |
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