JP2016215222A - レーザ加工装置及びレーザ加工方法 - Google Patents
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Abstract
Description
図1において、レーザ発振器1は、例えば波長λ1〜λ4よりなる複数の波長のレーザを発振する。レーザ発振器1は、一例としてダイレクトダイオードレーザ(DDL)発振器である。波長λ1〜λ4は、例えば、910,920,930,940nmである。
図2に示す第2実施形態において、図1に示す第1実施形態と同一部分には同一符号を付し、その説明を省略することがある。
図4に示す第3実施形態において、図1に示す第1実施形態と同一部分には同一符号を付し、その説明を省略することがある。
2,21〜23 ダイクロイックミラー(レーザ分割部,レーザ合成部)
3,31,32 曲率可変ミラー
4 全反射ミラー
5 集光レンズ
7 アシストガス供給装置
10 曲率設定制御部
61〜63 板材(材料)
Claims (6)
- 第1の複数の波長のレーザを発振するレーザ発振器と、
前記第1の複数の波長のレーザを、それぞれ、1または第1の複数より少ない第2の複数の波長のレーザよりなる複数の群に分割するレーザ分割部と、
曲率可変の反射面を有し、前記複数の群のうちの一部の群のレーザを前記反射面によって反射させる曲率可変ミラーと、
前記複数の群のうちの他の一部のレーザと、前記曲率可変ミラーで反射したレーザとを合成して合成レーザを生成するレーザ合成部と、
前記合成レーザを材料に照射する集光レンズと、
を備えることを特徴とするレーザ加工装置。 - 前記レーザ分割部は、ダイクロイックミラーを含むことを特徴とする請求項1記載のレーザ加工装置。
- 前記レーザ合成部は、ダイクロイックミラーを含むことを特徴とする請求項1記載のレーザ加工装置。
- 前記曲率可変ミラーの前記反射面の曲率を、前記材料の板厚と、前記材料の材質と、アシストガスの種類と、アシストガスの圧力と、前記集光レンズの焦点距離とのうちの少なくとも1つに応じて設定する曲率設定制御部をさらに備えることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載のレーザ加工装置。
- レーザ発振器によって第1の複数の波長のレーザを発振させ、
前記第1の複数の波長のレーザを、それぞれ、1または第1の複数より少ない第2の複数の波長のレーザよりなる複数の群に分割し、
曲率可変の反射面を有する曲率可変ミラーを用い、前記複数の群のうちの一部の群のレーザを前記反射面によって反射させ、
前記複数の群のうちの他の一部のレーザと、前記曲率可変ミラーで反射したレーザとを合成して合成レーザを生成し、
前記合成レーザを集光レンズを介して材料に照射することによって前記材料を加工する
ことを特徴とするレーザ加工方法。 - 前記曲率可変ミラーの前記反射面の曲率を、前記材料の板厚と、前記材料の材質と、アシストガスの種類と、アシストガスの圧力と、前記集光レンズの焦点距離とのうちの少なくとも1つに応じて設定することを特徴とする請求項5記載のレーザ加工方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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2015
- 2015-05-19 JP JP2015101499A patent/JP6568716B2/ja active Active
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