JP2000275569A - ビームモード変換光学系 - Google Patents
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- Engineering & Computer Science (AREA)
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- Mechanical Engineering (AREA)
- Laser Beam Processing (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 半径方向の出力分布を変化させた、新たなビ
ームモードを実現できるビームモード変換光学系を提供
する。 【解決手段】 コリメートレンズ１２からのレーザ光を
第１の部分反射ミラー１３で、一部通過、一部反射して
分割する。光路１上を進むレーザ光は、第２の部分反射
ミラー１８の開口部を通過してフォーカシングレンズ２
０を経て光ファイバ１９に入射する。光路２上を進むレ
ーザ光は、第１の全反射ミラー１４を経て第１のプリズ
ム１５に入射する。第１のプリズムは入射したレーザ光
が周方向に広がりながら進むように屈折させ、第２のプ
リズム１６は、そのレーザ光を平行光に変換する。この
レーザ光は、第２の全反射ミラー１７及び第２の部分反
射ミラー１８で反射され、光路１のレーザ光と合成され
る。
ームモードを実現できるビームモード変換光学系を提供
する。 【解決手段】 コリメートレンズ１２からのレーザ光を
第１の部分反射ミラー１３で、一部通過、一部反射して
分割する。光路１上を進むレーザ光は、第２の部分反射
ミラー１８の開口部を通過してフォーカシングレンズ２
０を経て光ファイバ１９に入射する。光路２上を進むレ
ーザ光は、第１の全反射ミラー１４を経て第１のプリズ
ム１５に入射する。第１のプリズムは入射したレーザ光
が周方向に広がりながら進むように屈折させ、第２のプ
リズム１６は、そのレーザ光を平行光に変換する。この
レーザ光は、第２の全反射ミラー１７及び第２の部分反
射ミラー１８で反射され、光路１のレーザ光と合成され
る。
Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ビームモード変換
光学系に関し、特に半径方向でモードが変わるレーザ光
を得るためのビームモード変換光学系に関する。
光学系に関し、特に半径方向でモードが変わるレーザ光
を得るためのビームモード変換光学系に関する。
【０００２】
【従来の技術】レーザ加工装置は、レーザ光を利用し
て、加工対象物を切断したり、穴を空けたり、あるいは
溶接を行う装置である。このようなレーザ加工装置の中
には、レーザ発振器からのレーザ光を、光ファイバを用
いて加工対象物の近傍に導き、光ファイバの出射端に取
り付けた出射光学系（加工ヘッド）を通して加工対象物
に照射するタイプのものがある。
て、加工対象物を切断したり、穴を空けたり、あるいは
溶接を行う装置である。このようなレーザ加工装置の中
には、レーザ発振器からのレーザ光を、光ファイバを用
いて加工対象物の近傍に導き、光ファイバの出射端に取
り付けた出射光学系（加工ヘッド）を通して加工対象物
に照射するタイプのものがある。
【０００３】さて、この種のレーザ加工装置では、その
使用目的（加工種類）に適したビームモードのレーザ光
が出射光学系より出射されることが望ましい。そのた
め、従来は、照射面におけるスポット径を変更したり、
光ファイバの種類を変えたり、あるいはプリズムを用い
てビーム形状を変更したり、さらには、プリズムを用い
てビームスポットを２個にする等して、ビームモードの
変換を行っている。
使用目的（加工種類）に適したビームモードのレーザ光
が出射光学系より出射されることが望ましい。そのた
め、従来は、照射面におけるスポット径を変更したり、
光ファイバの種類を変えたり、あるいはプリズムを用い
てビーム形状を変更したり、さらには、プリズムを用い
てビームスポットを２個にする等して、ビームモードの
変換を行っている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
ビームモード変換方法では、実現できるビームモードの
種類が限られるという問題点がある。特に、従来のビー
ムモード変換方法では、ビームの半径方向で出力分布及
びビームモードを任意に変更することができず、所望の
ビームモードを実現することができないという問題点が
ある。
ビームモード変換方法では、実現できるビームモードの
種類が限られるという問題点がある。特に、従来のビー
ムモード変換方法では、ビームの半径方向で出力分布及
びビームモードを任意に変更することができず、所望の
ビームモードを実現することができないという問題点が
ある。
【０００５】本発明は、従来の方法では得られない、半
径方向の出力分布を変化させた、新たなビームモードを
実現できるビームモード変換光学系を提供することを目
的とする。
径方向の出力分布を変化させた、新たなビームモードを
実現できるビームモード変換光学系を提供することを目
的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明によれば、レーザ
発振器から出射したレーザ光を加工対象物に照射して加
工を行うレーザ加工装置に使用されるビームモード変換
光学系であって、入射レーザ光を複数のレーザ光に分割
し、互いに異なる光路上を進行させる分割手段と、前記
互いに異なる光路上を進行した前記複数のレーザ光を合
成して同一光路上を進行させる合成手段と、前記分割手
段と前記合成手段との間に配置され、分割された複数の
レーザ光のうち、少なくとも一つのレーザ光のビーム形
状を変更する形状変更手段とを備えたことを特徴とする
ビームモード変換光学系が得られる。
発振器から出射したレーザ光を加工対象物に照射して加
工を行うレーザ加工装置に使用されるビームモード変換
光学系であって、入射レーザ光を複数のレーザ光に分割
し、互いに異なる光路上を進行させる分割手段と、前記
互いに異なる光路上を進行した前記複数のレーザ光を合
成して同一光路上を進行させる合成手段と、前記分割手
段と前記合成手段との間に配置され、分割された複数の
レーザ光のうち、少なくとも一つのレーザ光のビーム形
状を変更する形状変更手段とを備えたことを特徴とする
ビームモード変換光学系が得られる。
【０００７】前記分割手段は、前記入射レーザ光を同心
円状に分割する。これを実現するために、前記分割手段
として、第１の反射面と該第１の反射面に形成された第
１の開口部を備えた第１のミラーであって、前記入射レ
ーザ光を、前記第１の開口部を通過する第１のレーザ光
と、前記第１の反射面で反射される第２のレーザ光とに
分割するようにしたミラーを用いる。また、これに対応
して、前記合成手段としては、第２の反射面と該第２の
反射面に形成された第２の開口部を備えた第２のミラー
であって、前記第１のレーザ光を前記第２の開口部に通
過させ、前記第２のレーザ光を前記第２の反射面反射す
ることにより、前記第１のレーザ光と前記第２のレーザ
光とが同一光路上を進行するようにしたミラーを用い
る。
円状に分割する。これを実現するために、前記分割手段
として、第１の反射面と該第１の反射面に形成された第
１の開口部を備えた第１のミラーであって、前記入射レ
ーザ光を、前記第１の開口部を通過する第１のレーザ光
と、前記第１の反射面で反射される第２のレーザ光とに
分割するようにしたミラーを用いる。また、これに対応
して、前記合成手段としては、第２の反射面と該第２の
反射面に形成された第２の開口部を備えた第２のミラー
であって、前記第１のレーザ光を前記第２の開口部に通
過させ、前記第２のレーザ光を前記第２の反射面反射す
ることにより、前記第１のレーザ光と前記第２のレーザ
光とが同一光路上を進行するようにしたミラーを用い
る。
【０００８】また、前記形状変更手段としては、円錐プ
リズムが用いられる。
リズムが用いられる。
【０００９】本発明のビームモード変換光学系は、さら
に、入射レーザ光を平行光に変換して前記分割手段に入
射させるコリメートレンズと、前記合成手段が合成した
レーザ光を集光するフォーカシングレンズとを備えてい
る。
に、入射レーザ光を平行光に変換して前記分割手段に入
射させるコリメートレンズと、前記合成手段が合成した
レーザ光を集光するフォーカシングレンズとを備えてい
る。
【００１０】本発明のビームモード変換光学系は、前記
レーザ発振器から出射したレーザ光を光ファイバにより
伝搬させるレーザ加工装置に用いられ、前記レーザ発振
器と前記光ファイバとの間に配置される。または、前記
光ファイバの途中に配置される。あるいは、前記光ファ
イバの先端に設けられる。
レーザ発振器から出射したレーザ光を光ファイバにより
伝搬させるレーザ加工装置に用いられ、前記レーザ発振
器と前記光ファイバとの間に配置される。または、前記
光ファイバの途中に配置される。あるいは、前記光ファ
イバの先端に設けられる。
【００１１】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施の形態について詳細に説明する。
施の形態について詳細に説明する。
【００１２】図１に、本発明の一実施の形態によるビー
ムモード変換光学系を示す。このビームモード変換光学
系は、第１の光ファイバ１１から出射され、所定の広が
り角で拡散しながら進行するレーザ光を平行光に変換す
るコリメートレンズ１２と、コリメートレンズ１２でコ
リメートされたレーザ光の中心部を通過させ、周辺部を
反射する第１の部分反射ミラーと１３、第１の部分反射
ミラー１３で反射されたレーザ光を全反射する第１の全
反射ミラー１４と、入射光のビーム径（リング径）を広
げるように作用する第１の円錐プリズム１５と、第１の
円錐プリズム１５からのレーザ光を平行光に変換する第
２の円錐プリズム１６と、第２の円錐プリズムからのレ
ーザ光を全反射する第２の全反射ミラー１７と、第１の
部分反射ミラー１３を通過したレーザ光をそのまま通過
させ、第２の全反射ミラー１７からのレーザ光を反射す
ることにより、これらのレーザ光を、同一光路上に進行
させる第２の部分反射ミラー１８と、第２の部分反射ミ
ラー１８により合成されたレーザ光を集光して光ファイ
バ１９に入射させるフォーカシングレンズ２０とを有し
ている。
ムモード変換光学系を示す。このビームモード変換光学
系は、第１の光ファイバ１１から出射され、所定の広が
り角で拡散しながら進行するレーザ光を平行光に変換す
るコリメートレンズ１２と、コリメートレンズ１２でコ
リメートされたレーザ光の中心部を通過させ、周辺部を
反射する第１の部分反射ミラーと１３、第１の部分反射
ミラー１３で反射されたレーザ光を全反射する第１の全
反射ミラー１４と、入射光のビーム径（リング径）を広
げるように作用する第１の円錐プリズム１５と、第１の
円錐プリズム１５からのレーザ光を平行光に変換する第
２の円錐プリズム１６と、第２の円錐プリズムからのレ
ーザ光を全反射する第２の全反射ミラー１７と、第１の
部分反射ミラー１３を通過したレーザ光をそのまま通過
させ、第２の全反射ミラー１７からのレーザ光を反射す
ることにより、これらのレーザ光を、同一光路上に進行
させる第２の部分反射ミラー１８と、第２の部分反射ミ
ラー１８により合成されたレーザ光を集光して光ファイ
バ１９に入射させるフォーカシングレンズ２０とを有し
ている。
【００１３】以下、このビームモード変換光学系の動作
について説明する。
について説明する。
【００１４】第１の光ファイバ１１から出射されたレー
ザ光は、所定の広がり角で拡散しながら進行し、コリメ
ートレンズ１２に入射する。コリメートレンズ１２入射
したレーザ光を平行光に変換する。コリメートレンズ１
２で平行光に変換されたレーザ光は、第１の部分反射ミ
ラー１３に入射する。
ザ光は、所定の広がり角で拡散しながら進行し、コリメ
ートレンズ１２に入射する。コリメートレンズ１２入射
したレーザ光を平行光に変換する。コリメートレンズ１
２で平行光に変換されたレーザ光は、第１の部分反射ミ
ラー１３に入射する。
【００１５】第１の部分反射ミラー１３は、反射面へ入
射するレーザ光の入射角が４５度となるように配置され
ている。この状態で、第１の部分反射ミラー１３の中央
部に形成された開口部は、入射するレーザ光の中心部を
円形に切り取るよう通過させ、光路１上を進行させる。
また、第１の部分反射ミラー１３は、入射するレーザ光
のリング状の周辺部を反射して、光路２上を進行させ
る。
射するレーザ光の入射角が４５度となるように配置され
ている。この状態で、第１の部分反射ミラー１３の中央
部に形成された開口部は、入射するレーザ光の中心部を
円形に切り取るよう通過させ、光路１上を進行させる。
また、第１の部分反射ミラー１３は、入射するレーザ光
のリング状の周辺部を反射して、光路２上を進行させ
る。
【００１６】光路１上を進行するレーザ光は、第２の部
分反射ミラー１８の開口部を通過してフォーカシングレ
ンズ２０に入射する。フォーカシングレンズ２０は、入
射するレーザ光を集光して、光ファイバ１９へ入射させ
る。光路１を通って光ファイバ１９に入射するレーザ光
のビーム形状は、図２（ａ）に示すように円形である。
分反射ミラー１８の開口部を通過してフォーカシングレ
ンズ２０に入射する。フォーカシングレンズ２０は、入
射するレーザ光を集光して、光ファイバ１９へ入射させ
る。光路１を通って光ファイバ１９に入射するレーザ光
のビーム形状は、図２（ａ）に示すように円形である。
【００１７】一方、光路２上を進行するレーザ光は、第
１の全反射ミラー１４に入射角４５度で入射する。第１
の全反射ミラー１４は、第１の部分反射ミラー１３から
のリング状のレーザ光を全反射し、レーザ光を第１の円
錐プリズム１５へ入射させる。
１の全反射ミラー１４に入射角４５度で入射する。第１
の全反射ミラー１４は、第１の部分反射ミラー１３から
のリング状のレーザ光を全反射し、レーザ光を第１の円
錐プリズム１５へ入射させる。
【００１８】第１の円錐プリズム１５は、入射するリン
グ状レーザ光の中心軸と、その光軸とが一致するように
配置されており、入射するリング状レーザ光の進行方向
を、リング径を周方向に均等に拡大するように変更す
る。第１の円錐プリズム１５により、進行方向が変えら
れたレーザ光は、第２の円錐プリズム１６に入射する。
グ状レーザ光の中心軸と、その光軸とが一致するように
配置されており、入射するリング状レーザ光の進行方向
を、リング径を周方向に均等に拡大するように変更す
る。第１の円錐プリズム１５により、進行方向が変えら
れたレーザ光は、第２の円錐プリズム１６に入射する。
【００１９】第２の円錐プリズム１６は、第１の円錐プ
リズム１５と同一のプリズムであって、その光軸が、第
１の円錐プリズム１５の光軸と一致し、その向きが第１
の円錐プリズム１５とは逆向きとなるように配置されて
いる。この結果、第２の円錐プリズム１６に入射した、
周方向へ広がりながら進行するリング状のレーザ光は、
再び平行光に変換される。この第２の円錐プリズム１６
は、レーザ光の進行方向に沿って移動可能に取り付けら
れており、その位置によって、出射されるレーザ光のリ
ング径が決まる。第２の円錐プリズム１６を通過したレ
ーザ光は、第２の全反射ミラー１７に入射する。
リズム１５と同一のプリズムであって、その光軸が、第
１の円錐プリズム１５の光軸と一致し、その向きが第１
の円錐プリズム１５とは逆向きとなるように配置されて
いる。この結果、第２の円錐プリズム１６に入射した、
周方向へ広がりながら進行するリング状のレーザ光は、
再び平行光に変換される。この第２の円錐プリズム１６
は、レーザ光の進行方向に沿って移動可能に取り付けら
れており、その位置によって、出射されるレーザ光のリ
ング径が決まる。第２の円錐プリズム１６を通過したレ
ーザ光は、第２の全反射ミラー１７に入射する。
【００２０】第２の全反射ミラー１７は、第２の円錐プ
リズム１６からのレーザ光が、入射角４５度で入射する
ように設置されている。そして、この第２の全反射ミラ
ー１７は、第２の円錐プリズム１６からのレーザ光を全
反射し、第２の部分反射ミラー１８に入射させる。
リズム１６からのレーザ光が、入射角４５度で入射する
ように設置されている。そして、この第２の全反射ミラ
ー１７は、第２の円錐プリズム１６からのレーザ光を全
反射し、第２の部分反射ミラー１８に入射させる。
【００２１】第２の部分反射ミラー１８は、第２の全反
射ミラー１７からのレーザ光が入射角４５度でその反射
面に入射するように配置されている。そして、第２の部
分反射ミラー１８は、第２の全反射ミラー１７からのレ
ーザ光を反射して、フォーカシングレンズ２０に入射さ
せる。ここで、第２の部分反射ミラー１８は、上述した
ように、光路１上を進行してきたレーザ光をそのまま通
過させる。その結果、光路１上を進行してきたレーザ光
と光路２上を進行してきたレーザ光とが合成され、これ
らのレーザ光は、同一光路上を進行する。
射ミラー１７からのレーザ光が入射角４５度でその反射
面に入射するように配置されている。そして、第２の部
分反射ミラー１８は、第２の全反射ミラー１７からのレ
ーザ光を反射して、フォーカシングレンズ２０に入射さ
せる。ここで、第２の部分反射ミラー１８は、上述した
ように、光路１上を進行してきたレーザ光をそのまま通
過させる。その結果、光路１上を進行してきたレーザ光
と光路２上を進行してきたレーザ光とが合成され、これ
らのレーザ光は、同一光路上を進行する。
【００２２】フォーカシングレンズ２０は、第２の部分
反射ミラー１８で反射されたレーザ光を集光して光ファ
イバ１９に入射させる。光路２上を進行して光ファイバ
２０に入射したレーザ光のビーム形状は、図２（ｂ）に
示すようにリング状となる。
反射ミラー１８で反射されたレーザ光を集光して光ファ
イバ１９に入射させる。光路２上を進行して光ファイバ
２０に入射したレーザ光のビーム形状は、図２（ｂ）に
示すようにリング状となる。
【００２３】以上の結果、光ファイバ１９に入射するレ
ーザ光のビーム形状は、図２（ａ）と図２（ｂ）とを合
成した形状、即ち、図２（ｃ）に示すような形状とな
る。
ーザ光のビーム形状は、図２（ａ）と図２（ｂ）とを合
成した形状、即ち、図２（ｃ）に示すような形状とな
る。
【００２４】なお、中心側の円形レーザ光の出力及びビ
ームモードは、第１の部分反射ミラー１３の開口部の径
に依存する（第２の部分反射ミラー１８の開口部の径
が、それと同一またはそれ以上として）。また、リング
状レーザ光のリング径は、第１及び第２のプリズムの傾
斜角及びこれらの間の距離に依存する。
ームモードは、第１の部分反射ミラー１３の開口部の径
に依存する（第２の部分反射ミラー１８の開口部の径
が、それと同一またはそれ以上として）。また、リング
状レーザ光のリング径は、第１及び第２のプリズムの傾
斜角及びこれらの間の距離に依存する。
【００２５】本実施の形態によるビームモード変換光学
系を備えたレーザ加工装置を溶接に利用した場合、第２
のプリズムの位置を変更するだけで、溶接箇所の溶け込
み量を容易に制御することができる。なお、光ファイバ
を用いたレーザ光の伝搬では、ビーム形状の劣化の恐れ
があるので、出射側の光ファイバ１９の長さは、比較的
短く、例えば、約５ｍ以下とすることが必要となる。
系を備えたレーザ加工装置を溶接に利用した場合、第２
のプリズムの位置を変更するだけで、溶接箇所の溶け込
み量を容易に制御することができる。なお、光ファイバ
を用いたレーザ光の伝搬では、ビーム形状の劣化の恐れ
があるので、出射側の光ファイバ１９の長さは、比較的
短く、例えば、約５ｍ以下とすることが必要となる。
【００２６】以上のように、本実施の形態によれば、入
射レーザ光を２つの光路に分割し、一方のビーム形状を
変更した後、再びこれらのレーザビームを合成するよう
にしたことで、従来にないビーム形状、ビームモード、
及び出力分布を実現することができる。ここで、光路１
及び光路２のそれぞれに、シャッタ２１，２２を配置す
るようにすれば、図２（ａ）または図２（ｂ）のいずれ
か一方のビーム形状をも実現することができる。
射レーザ光を２つの光路に分割し、一方のビーム形状を
変更した後、再びこれらのレーザビームを合成するよう
にしたことで、従来にないビーム形状、ビームモード、
及び出力分布を実現することができる。ここで、光路１
及び光路２のそれぞれに、シャッタ２１，２２を配置す
るようにすれば、図２（ａ）または図２（ｂ）のいずれ
か一方のビーム形状をも実現することができる。
【００２７】なお、上記実施の形態では、ビームモード
変換光学系を２本の光ファイバの間に挿入する場合につ
いて説明したが、レーザ加工装置のレーザ発振器と光フ
ァイバとの間に設けてもよい。この場合において、レー
ザ発振器が集光レンズを備えておらず、平行光が出射さ
れる場合は、コリメートレンズ１２は、不要である。ま
た、レーザ加工装置の光ファイバの先端に取り付けて出
射光学系（加工ヘッド）として用いることもできる。
変換光学系を２本の光ファイバの間に挿入する場合につ
いて説明したが、レーザ加工装置のレーザ発振器と光フ
ァイバとの間に設けてもよい。この場合において、レー
ザ発振器が集光レンズを備えておらず、平行光が出射さ
れる場合は、コリメートレンズ１２は、不要である。ま
た、レーザ加工装置の光ファイバの先端に取り付けて出
射光学系（加工ヘッド）として用いることもできる。
【００２８】
【発明の効果】本発明によれば、ビームモード変換光学
系が、入射レーザ光を複数のレーザ光に分割し、互いに
異なる光路上を進行させる分割手段と、前記複数のレー
ザ光を合成して同一光路上を進行させる合成手段と、前
記分割手段と前記合成手段との間に配置され、分割され
た複数のレーザ光のうち、少なくとも一のレーザ光のビ
ーム形状を変更する形状変更手段とを備えたことで、半
径方向でビームモードが異なるレーザ光を実現できる。
これにより、レーザ加工装置による加工の適用範囲が広
がる。
系が、入射レーザ光を複数のレーザ光に分割し、互いに
異なる光路上を進行させる分割手段と、前記複数のレー
ザ光を合成して同一光路上を進行させる合成手段と、前
記分割手段と前記合成手段との間に配置され、分割され
た複数のレーザ光のうち、少なくとも一のレーザ光のビ
ーム形状を変更する形状変更手段とを備えたことで、半
径方向でビームモードが異なるレーザ光を実現できる。
これにより、レーザ加工装置による加工の適用範囲が広
がる。
【図１】本発明の一実施の形態によるビームモード変換
光学系の構成図である。
光学系の構成図である。
【図２】図１のビームモード変換光学系から出射される
レーザ光のビーム形状を示す図であって、（ａ）は光路
１を通過したレーザ光、（ｂ）は光路２を通過したレー
ザ光、（ｃ）は、（ａ）及び（ｂ）を合成したビーム形
状を示す。
レーザ光のビーム形状を示す図であって、（ａ）は光路
１を通過したレーザ光、（ｂ）は光路２を通過したレー
ザ光、（ｃ）は、（ａ）及び（ｂ）を合成したビーム形
状を示す。
１１ 光ファイバ １２ コリメートレンズ １３ 第１の部分反射ミラー １４ 第１の全反射ミラー １５ 第１のプリズム １６ 第２のプリズム １７ 第２の全反射ミラー １８ 第２の部分反射ミラー １９ 光ファイバ ２０ フォーカシングレンズ ２１，２２ シャッタ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｂ２３Ｋ 26/08 Ｂ２３Ｋ 26/08 Ｋ
Claims (9)
- 【請求項１】 レーザ発振器から出射したレーザ光を加
工対象物に照射して加工を行うレーザ加工装置に使用さ
れるビームモード変換光学系であって、 入射レーザ光を複数のレーザ光に分割し、互いに異なる
光路上を進行させる分割手段と、 前記互いに異なる光路上を進行した前記複数のレーザ光
を合成して同一光路上を進行させる合成手段と、 前記分割手段と前記合成手段との間に配置され、分割さ
れた複数のレーザ光のうち、少なくとも一つのレーザ光
のビーム形状を変更する形状変更手段と、を備えたこと
を特徴とするビームモード変換光学系。 - 【請求項２】 前記分割手段が、前記入射レーザ光を同
心円状に分割するようにしたことを特徴とする請求項１
のビームモード変換光学系。 - 【請求項３】 前記分割手段が第１の反射面と該第１の
反射面に形成された第１の開口部とを備えた第１のミラ
ーであって、前記入射レーザ光を、前記第１の開口部を
通過する第１のレーザ光と、前記第１の反射面で反射さ
れる第２のレーザ光とに分割するようにしたことを特徴
とする請求項２のビームモード変換光学系。 - 【請求項４】 前記合成手段が第２の反射面と該第２の
反射面に形成された第２の開口部を備えた第２のミラー
であって、前記第１のレーザ光を前記第２の開口部に通
過させ、前記第２のレーザ光を前記第２の反射面反射す
ることにより、前記第１のレーザ光と前記第２のレーザ
光とが同一光路上を進行するようにしたことを特徴とす
る請求項３のビームモード変換光学系。 - 【請求項５】 前記形状変更手段が、円錐プリズムを含
むことを特徴とする請求項１，２，３、または、４のビ
ームモード変換光学系。 - 【請求項６】 入射レーザ光を平行光に変換して前記分
割手段に入射させるコリメートレンズと、前記合成手段
が合成したレーザ光を集光するフォーカシングレンズと
を備えたことを特徴とする請求項１，２，３，４、また
は５のビームモード変換光学系。 - 【請求項７】 前記レーザ発振器から出射したレーザ光
を光ファイバを用いて伝搬させるレーザ加工装置に用い
られ、前記レーザ発振器と前記光ファイバとの間に配置
されることを特徴とする請求項６のビームモード変換光
学系。 - 【請求項８】 前記レーザ発振器から出射したレーザ光
を光ファイバを用いて伝搬させるレーザ加工装置に用い
られ、前記光ファイバの途中に配置されていることを特
徴とする請求項６のビームモード変換光学系。 - 【請求項９】 前記レーザ発振器から出射したレーザ光
を光ファイバを用いて伝搬させるレーザ加工装置に用い
られ、前記光ファイバの先端に設けられていることを特
徴とする請求項６のビームモード変換光学系。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11081640A JP2000275569A (ja) | 1999-03-25 | 1999-03-25 | ビームモード変換光学系 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11081640A JP2000275569A (ja) | 1999-03-25 | 1999-03-25 | ビームモード変換光学系 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000275569A true JP2000275569A (ja) | 2000-10-06 |
Family
ID=13751950
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11081640A Withdrawn JP2000275569A (ja) | 1999-03-25 | 1999-03-25 | ビームモード変換光学系 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000275569A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007029990A (ja) * | 2005-07-26 | 2007-02-08 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | レーザ加工装置およびレーザ加工方法 |
| JP2010266589A (ja) * | 2009-05-13 | 2010-11-25 | Kawasaki Heavy Ind Ltd | リングビーム変換装置 |
| CN102000917A (zh) * | 2010-10-25 | 2011-04-06 | 苏州德龙激光有限公司 | Led晶圆激光内切割划片设备 |
| US9223227B2 (en) | 2011-02-11 | 2015-12-29 | Asml Netherlands B.V. | Inspection apparatus and method, lithographic apparatus, lithographic processing cell and device manufacturing method |
| CN106903434A (zh) * | 2017-01-06 | 2017-06-30 | 长春理工大学 | 一种微型车刀表面织构的制造装置及制造方法 |
| CN109500492A (zh) * | 2017-09-14 | 2019-03-22 | 双叶产业株式会社 | 激光焊接装置以及部件的制造方法 |
| WO2021105344A1 (de) * | 2019-11-27 | 2021-06-03 | Trumpf Laser- Und Systemtechnik Gmbh | Verfahren zum laserschweissen von stromschienen mit strahlformung, und stromschienen-anordnung |
-
1999
- 1999-03-25 JP JP11081640A patent/JP2000275569A/ja not_active Withdrawn
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007029990A (ja) * | 2005-07-26 | 2007-02-08 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | レーザ加工装置およびレーザ加工方法 |
| JP2010266589A (ja) * | 2009-05-13 | 2010-11-25 | Kawasaki Heavy Ind Ltd | リングビーム変換装置 |
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| US9223227B2 (en) | 2011-02-11 | 2015-12-29 | Asml Netherlands B.V. | Inspection apparatus and method, lithographic apparatus, lithographic processing cell and device manufacturing method |
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| WO2021105344A1 (de) * | 2019-11-27 | 2021-06-03 | Trumpf Laser- Und Systemtechnik Gmbh | Verfahren zum laserschweissen von stromschienen mit strahlformung, und stromschienen-anordnung |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20060606 |