JP2001255491A - レーザ集光光学系 - Google Patents

レーザ集光光学系

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JP2001255491A
JP2001255491A JP2000067321A JP2000067321A JP2001255491A JP 2001255491 A JP2001255491 A JP 2001255491A JP 2000067321 A JP2000067321 A JP 2000067321A JP 2000067321 A JP2000067321 A JP 2000067321A JP 2001255491 A JP2001255491 A JP 2001255491A
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optical fibers
optical
light
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optical system
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Satoru Yamaguchi
哲 山口
Yoshio Takahashi
良夫 高橋
Katsuhiro Minamida
勝宏 南田
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Nippon Steel Techno Research Corp
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 複数の光ファイバーからの出射光を重
畳し高密度に集光することを可能とし、もって容易に高
出力レーザー光を導光して利用することを可能とする集
光光学系を提供する。 【解決手段】 複数の光ファイバーから出射したレー
ザビームを同一箇所から出射したように変換することに
より、各ビームを重畳させて高密度に集光することがで
き、これをレーザ加工に用いれ高効率な加工が可能にな
ると共に容易に高出力レーザー光を導光して利用するこ
とが可能となりレーザ加工プロセスを有利にすることが
できる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明はレーザ光を導光する
複数の光ファイバーからの出射光から高密度のビームス
ポットを得るための集光光学系に関するものである。
【0002】
【従来の技術】例えば、レーザ発振器を用いたレーザ加
工に於いて、レーザ光を一旦光ファイバーに導光できれ
ば照射加工位置まで容易にレーザー光を導くことができ
ることから、装置の配置自由度が向上し、その汎用性も
向上する。
【0003】ただし、被加工物に対してレーザ光をなる
べく小さなスポットに絞って照射することが望ましいこ
とが多い。従って、なるべくコア径の小さな光ファイバ
ーに導光できる方がその後のレーザ加工に有利である
が、従来はビーム品質の優れた比較的低出力のレーザ光
以外は細い光ファイバーへの導光は困難であり、ビーム
品質の劣った高出力のレーザ光はコア径の大きな太い光
ファイバーに導光せざるを得なかった。
【0004】そこで、複数の光ファイバーからの出射光
を重畳させて用いることが考えられる。複数の光ファイ
バーからの出射光を重畳させて用いることができればそ
のパワーを高めることができる。これは、まず各光ファ
イバーからの出射光をそれぞれレンズでコリメートし、
複数の平行光線束を一括してフォーカシングレンズを用
いて絞り込むものである。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、この方
法によると、ビームスポット径はコリメートレンズとフ
ォーカシングレンズの焦点距離で決まる倍率をコア径に
掛けたものとして決まるが、複数のビームを集光する関
係から、このときの倍率は、通常、拡大倍率となり、コ
ア径に比べて大きなスポット径とならざるを得ないこと
からあまり、現実的ではない。
【0006】本発明は、かかる従来技術の問題点に鑑み
なされたものであり、その主な目的は、複数の光ファイ
バーからの出射光を重畳し高密度に集光することを可能
とし、もって容易に高出力レーザー光を導光して利用す
ることを可能とする集光光学系を提供することにある。
【0007】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、本発明では、複数の光ファイバーからの出射光を
各々反射または屈折させて単一の仮想光源から出射した
ように変換し、前記各光ファイバーからの出射光を重畳
させる変換手段と、前記1つの仮想光源から出射したよ
うに変換された光を集光する手段とを有することを特徴
とするレーザ光集光光学系を提供する。前記変換手段と
して、前記各光ファイバー1本または複数本ごとに設定
されたプリズム、レンズまたはそれらの組み合わせ、或
いはミラーを用いると良い。
【0008】
【発明の実施の形態】以下に、添付の図面に示された好
適な実施形態に基づき本発明について詳細に説明する。
【0009】図1は、本発明に基づく集光光学系の基本
構成を模式的に示す構成・配置図である。複数の光ファ
イバー2a、2b、2cからの出射光5a、5b、5c
は変換手段1によりその光路を各々変換される。変換さ
れた複数のビームは単一の仮想光源から出射したように
位置6に共通の虚像を作る。従って、複数のビームは実
質的に単一光源から出射したビームとしてコリメートレ
ンズ3及びフォーカシングレンズ4により集光され位置
7に重畳したビームスポットを形成することとなる。例
えばレーザ加工装置に用いる場合、この位置7に被加工
物をセットすれば良い。
【0010】ここで、図1にあっては模式的に光ファイ
バーを3本としたが、実際には図2に示すように、輪郭
が円をなすように7本の光ファイバー2a、2b、2
c、2d、2e、2f、2gの出射口を配置、またはそ
の周りに更に光ファイバーを配置してそれ以上の多数の
光ファイバーを配置するのがより現実的である。
【0011】図3は、変換手段1としてプリズムを用い
た本発明集光光学系である。光ファイバー2a、2b、
2cのうち、各光ファイバー2b、2cに各々設定され
たプリズム8b、8cにより、コリメートレンズ3及び
フォーカシングレンズ4の光軸と一致しない出射光5
b、5cの光軸の向きを、これらを出射する光ファイバ
ー2b、2cの出射口の虚像6が、中央にある光ファイ
バー2aの出射口の位置と略一致するように変えてい
る。コリメートレンズ3及びフォーカシングレンズ4の
光軸と一致する光軸を有する中心の出射光5aは変換し
ない。
【0012】そのため、3本のビームは実質的に単一の
光源(光ファイバー2a出射口)から出射したビームと
してコリメートレンズ3及びフォーカシングレンズ4に
より集光され、位置7に重畳したビームスポットを形成
する。光ファイバーを増やした場合には各光ファイバー
ごとに同様に光軸の向きを変えるように屈折するプリズ
ムを設定すれば良い。
【0013】図4は、変換手段1としてレンズを用いた
本発明集光光学系である。光ファイバー2b、2cの出
射口近傍は図示されない保持手段により湾曲して配置さ
れ、その光軸の向きを変えられ、その出射光5b、5c
がコリメートレンズ3の光軸から遠ざかるように、即ち
全体として広がるようになっている。ここで、出射光5
b、5cの光軸は、中央にある出射光5aと、光ファイ
バー2aの出射口よりも奥の位置6近傍で一点で交わる
ようになっている。更に各光ファイバー2a、2b、2
cに各々設定された凸レンズ9a、9b、9cにより出
射光5a、5b、5cを各々ビーム拡がり角が小さいビ
ームとしている。
【0014】これにより、光ファイバー2a、2b、2
cの光ファイバー出射口の虚像6が、中央にある光ファ
イバー2aの実際の出射口よりも奥の位置になる。光フ
ァイバー2b、2cの湾曲する角度及びレンズの焦点距
離を選ぶことにより3つの虚像の位置を重ね合わせるこ
とができる。そのため、上記同様に3本のビームは実質
的に単一の光源から出射したビームとしてコリメートレ
ンズ3及びフォーカシングレンズ4により集光され、位
置7に重畳したビームスポットを形成する。
【0015】図5は、変換手段1としてミラーを用いた
本発明集光光学系である。光ファイバー2a、2b、2
cのうち、その出射光5b、5cの光軸がコリメートレ
ンズ3及びフォーカシングレンズ4の光軸と一致しない
光ファイバー2b、2cは、その出射光5b、5cの光
軸の向きを変えられ、コリメートレンズ3の光軸に近づ
くように、図示されない保持手段により湾曲または角度
をもって保持されている。また、これら各光ファイバー
2b、2cに各々設定されたミラー10b、10cによ
り、コリメートレンズ3及びフォーカシングレンズ4の
光軸と一致しない出射光5b、5cの光軸の向きを、こ
れらを出射する光ファイバー2b、2cの出射口の虚像
6が、中央にある光ファイバー2aの出射口の位置と略
一致するように変えている。コリメートレンズ3及びフ
ォーカシングレンズ4の光軸と一致する光軸を有する中
心の出射光5aは変換しない。
【0016】そのため、上記同様に3本のビームは、実
質的に単一の光源から出射したビームとしてコリメート
レンズ3及びフォーカシングレンズ4により集光され、
位置7に重畳したビームスポットを形成する。光ファイ
バーを増やした場合には各光ファイバーごとに同様に光
軸の向きを変えるように反射するミラーを設定すれば良
い。
【0017】図6は、変換手段1としてレンズ及びプリ
ズムを併用した本発明集光光学系である。各光ファイバ
ー2a、2b、2cに各々設定された凸レンズ12a、
12b、12cにより出射光5a、5b、5cを各々ビ
ーム拡がり角が小さいビームとしている。更に光ファイ
バー2a、2b、2cのうち、各光ファイバー2b、2
cに各々設定されたプリズム11b、11cにより、コ
リメートレンズ3及びフォーカシングレンズ4の光軸と
一致しない出射光5b、5cの光軸の向きを、これらを
出射する光ファイバー2b、2cの出射口の虚像6が、
出射光5aと中央にある光ファイバー2aの出射口より
も奥の位置で一点で交わるように変えている。
【0018】これにより、光ファイバー2a、2b、2
cの光ファイバー出射口の虚像6が、中央にある光ファ
イバー2aの実際の出射口よりも奥の位置にて一致す
る。凸レンズ12a、12b、12cの焦点距離及びプ
リズム11b、11cの屈折角を選ぶことにより3つの
虚像の位置を重ね合わせることができる。そのため、上
記同様に3本のビームは実質的に単一の光源から出射し
たビームとしてコリメートレンズ3及びフォーカシング
レンズ4により集光され、位置7に重畳したビームスポ
ットを形成する。本構成ではプリズムのみを用いるのに
比較して出射光5a、5b、5cのビーム拡がり角を小
さくできるため、プリズム11b、11c、コリメート
レンズ3及びフォーカシングレンズ4を小型にすること
ができる。
【0019】尚、プリズム11b、11cと凸レンズ1
2a、12b、12cとは逆の配置でも同様に位置7に
重畳したビームスポットを形成することはでき、またコ
リメートレンズ3及びフォーカシングレンズ4を小型に
できる効果はある。
【0020】図7は、変換手段1としてレンズの周縁部
を用いた本発明集光光学系である。各光ファイバー2
a、2b、2cに各々設定された凸レンズ13a、13
b、13cにより出射光5a、5b、5cを各々ビーム
拡がり角が小さいビームとしている。また、凸レンズ1
3b、13cは、その光軸から外れた周縁部で出射光5
b、5cを受けている。そのため、出射光5b、5cの
光軸を変える作用も有する。従って、凸レンズ13a、
13b、13cの焦点距離及び凸レンズ13b、13c
への出射光5b、5cの入射位置を選ぶことにより3つ
の虚像の位置を重ね合わせることができる。そのため、
上記同様に3本のビームは実質的に単一の光源から出射
したビームとしてコリメートレンズ3及びフォーカシン
グレンズ4により集光され、位置7に重畳したビームス
ポットを形成する。
【0021】図8は、虚像の代わりに実像をつくる本発
明集光光学系である。光ファイバー2a、2b、2cの
うち、その出射光5b、5cの光軸がコリメートレンズ
3及びフォーカシングレンズ4の光軸と一致しない光フ
ァイバー2b、2cは、その出射光5b、5cの光軸
が、光ファイバー2aの出射光5aの光軸と同一箇所に
於て交わるように配置されている。各光ファイバー2
a、2b、2cに各々設定された凸レンズ14a、14
b、14cにより、各光ファイバー出射口の実像15が
生じる。光ファイバー2b、2cの角度及び各レンズ1
4a、14b、14cの焦点距離を選ぶことにより3つ
の実像の位置を重ね合わせることができる。そのため、
上記同様に3本のビームは実質的に単一の光源から出射
したビームとしてコリメートレンズ3及びフォーカシン
グレンズ4により集光され、位置7に重畳したビームス
ポットを形成する。
【0022】尚、上記各構成に於いて、虚像の重なり合
いや集光ビームスポットの重畳は完全に一致させなくて
も光パワーを高密度にできれば、レーザ加工の効率を向
上させることができる。
【0023】
【発明の効果】上記の説明から明らかな如く、本発明に
よる集光光学系によれば、複数の光ファイバーから出射
したレーザビームを同一箇所から出射したように変換す
ることにより、各ビームを重畳させて高密度に集光する
ことができ、これをレーザ加工に用いれ高効率な加工が
可能になると共に容易に高出力レーザー光を導光して利
用することが可能となりレーザ加工プロセスを有利にす
ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に基づく集光光学系の基本構成を模式的
に示す構成・配置図。
【図2】図1のII−II線方向から光ファイバーの配
置を見た図。
【図3】変換手段をプリズムとした本発明集光光学系の
構成を模式的に示す図1と同様な構成・配置図。
【図4】変換手段を光ファイバー保持手段及び凸レンズ
とした本発明集光光学系の構成を模式的に示す図1と同
様な構成・配置図。
【図5】変換手段を光ファイバー保持手段及びミラーと
した本発明集光光学系の構成を模式的に示す図1と同様
な構成・配置図。
【図6】変換手段を凸レンズ及びプリズムの組み合わせ
とした本発明集光光学系の構成を模式的に示す図1と同
様な構成・配置図。
【図7】変換手段を凸レンズ及びその一部とした本発明
集光光学系の構成を模式的に示す図1と同様な構成・配
置図。
【図8】凸レンズを用いて、一旦、実像に変換したのち
集光する本発明集光光学系の構成を模式的に示す構成・
配置図。
【符号の説明】
1 変換手段 2a、2b、2c、2d、2e、2f、2g 光ファイ
バー 3 コリメートレンズ 4 フォーカシングレンズ 5a、5b、5c 出射光 6 虚像 7 ビームスポット 8b、8c プリズム 9a、9b、9c 凸レンズ 10b、10c ミラー 11b、11c プリズム 12a、12b、12c 凸レンズ 13a、13b、13c 凸レンズ 14a、14b、14c 凸レンズ 15 実像
フロントページの続き (72)発明者 南田 勝宏 千葉県富津市新富20番地の1 株式会社日 鐵テクノリサーチレーザー技術センター内 Fターム(参考) 2H052 BA02 BA07 4E068 CD02 CD09 CD11 CE08

Claims (9)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 複数の光ファイバーからの出射光を各
    々反射または屈折させて単一の仮想光源から出射したよ
    うに変換し、前記各光ファイバーからの出射光を重畳さ
    せる変換手段と、 前記1つの仮想光源から出射したように変換された光を
    集光する手段とを有することを特徴とするレーザ光集光
    光学系。
  2. 【請求項2】 前記変換手段が、前記各光ファイバー
    1本または複数本ごとに設定されたプリズムを有するこ
    とを特徴とする請求項1に記載のレーザ光集光光学系。
  3. 【請求項3】 前記変換手段が、前記各光ファイバー
    1本または複数本ごとに設定されたレンズを有すること
    を特徴とする請求項1に記載のレーザ光集光光学系。
  4. 【請求項4】 前記変換手段が、前記各光ファイバー
    を、その出射光の光軸が虚像側で一点で交差するように
    配置する光ファイバー保持手段を更に有することを特徴
    とする請求項3に記載のレーザ光集光光学系。
  5. 【請求項5】 前記各光ファイバーの位置に応じてレ
    ンズの全体、または周縁の一部を用いることを特徴とす
    る請求項3に記載のレーザ光集光光学系。
  6. 【請求項6】 前記変換手段が、前記各光ファイバー
    1本または複数本ごとに設定されたミラーを有すること
    を特徴とする請求項1に記載のレーザ光集光光学系。
  7. 【請求項7】 前記変換手段が、前記各光ファイバー
    を、その出射光の光軸が実像側で一点で交差するように
    配置する光ファイバー保持手段を更に有することを特徴
    とする請求項6に記載のレーザ光集光光学系。
  8. 【請求項8】 前記変換手段が、前記各光ファイバー
    1本または複数本ごとに設定された集光レンズと、前記
    各光ファイバー1本または複数本ごとに設定されたプリ
    ズムとの組み合わせからなることを特徴とする請求項1
    に記載のレーザ光集光光学系。
  9. 【請求項9】 複数の光ファイバーからの出射光を各
    々別々の集光手段により同一箇所に集光し、その箇所を
    新たな光源とみなして、前記各光ファイバーのからの出
    射光を重畳させる変換手段と、 前記新たな光源からの光を集光する手段とを有すること
    を特徴とするレーザ集光光学系。
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