JP4347467B2

JP4347467B2 - 集光装置

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Publication number: JP4347467B2
Application number: JP28566799A
Authority: JP
Inventors: 新高; 正臣高坂; 寧大林; 英夫鈴木; 正之齊藤
Original assignee: Hamamatsu Photonics KK
Current assignee: Hamamatsu Photonics KK
Priority date: 1999-10-06
Filing date: 1999-10-06
Publication date: 2009-10-21
Anticipated expiration: 2019-10-06
Also published as: JP2001111147A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は集光装置に関し、特に固体レーザの励起に好適に用いられる集光装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
固体レーザ装置は、高効率、長寿命及び小型化を図ることができ、最近注目を集めている。固体レーザを励起するための励起光源は高出力であることが要求されるため、一般には、活性層をいくつかの単一モードストライプに分割したアレイ構造を有する半導体レーザアレイ、又はその半導体レーザアレイをスタック状に積層した半導体レーザアレイスタックが用いられる。
【０００３】
また、半導体レーザを励起光源とした固体レーザにおいては、固体レーザの光軸方向から光励起させる端面励起方式を用いることによって、固体レーザの出力パターン及び効率を向上できることが知られている。そのため、固体レーザの励起に用いる半導体レーザアレイ又は半導体レーザアレイスタックの集光装置においては、出射されたレーザ光を効率よく固体レーザのロッド内に集光することが重要となる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、半導体レーザアレイ又は半導体レーザアレイスタックを高出力化する場合には、放熱特性等に関する制約上、半導体レーザアレイ又は半導体レーザアレイスタックを縦長又は横長の長方形とせざるを得ない。そのため、これらから出射される光束の断面形状も長方形又はそれに近い長尺な形状になり、固体レーザのロッド内に効率よく集光することが困難になる。また、光束の長辺をカバーするためには、集光のための凸レンズを光束の面積に比較して必要以上に大きくしなければならないという不便が生じる。
【０００５】
一方、光束の断面形状の縦横比を１に近づける（すなわち、断面形状を正方形に近づける）ために集光レンズの形状を特別に加工することも考えられるが、加工は極めて困難であり、多大なコストを要する。
【０００６】
そこで本発明は、かかる課題を解決するために、半導体レーザアレイ又は半導体レーザアレイスタック等から出射された光束を容易にかつ効率よく集光することができる集光装置を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明による集光装置は、一方の長さがそれと垂直な他方の長さより長い断面形状を有する平行光束を出射する光源と、平行光束の光路上に配置され、平行光束を第１の方向に進行する第１の光束と第２の方向に進行する第２の光束とに分割して反射する第１の反射手段、並びに、第２の方向に反射された第２の光束の光路上に配置され、第２の光束を第１の光束に平行かつ隣接するように第１の方向に反射させる第２の反射手段を有する光学系と、第１の方向に反射された第１の光束及び第２の光束の光路上に配置され、第１の光束及び第２の光束を一括して集光する集光手段とを備え、第１の方向及び第２の方向は、互いに反対方向であり、平行光束が第１の反射手段に入射する方向は、第１の方向及び第２の方向に直交する方向であり、第１の反射手段が第１のプリズムであり、第２の反射手段が第２のプリズムであり、第２の反射手段で反射した第２の光束が、第１の反射手段の外側を通過することを特徴とする。この装置によれば、光源から出射された長尺な光束は、第１の反射手段及び第２の反射手段による分割及び並べ替えによって断面形状の縦横比が１に近づくため、簡単な集光手段によって容易にかつ効率よく集光することができる。また、第１の方向及び第２の方向が、互いに反対方向であり、平行光束が第１の反射手段に入射する方向が、第１の方向及び第２の方向に直交する方向なので、光学系等の形状又は配置を簡素化することができる。また、第１の反射手段が第１のプリズムであり、第２の反射手段が第２のプリズムであるので、各反射手段が１つのプリズムで足り、反射手段を容易にすることができる。
【０００８】
また、第２の反射手段の位置を調整する位置調整手段をさらに備えることも好ましい。この場合、第２の光束の反射位置を調整することができるため、光源の交換時等においても形成される光束の形状を容易に最適化することができる。
【０００９】
光源は、半導体レーザアレイと、半導体レーザアレイの光出射面に対して平行に配置されたシリンドリカルレンズとから構成されることが好ましい。あるいは、複数の半導体レーザアレイがスタック状に配置された半導体レーザアレイスタックと、各半導体レーザアレイの光出射面に対してそれぞれ平行に複数のシリンドリカルレンズがスタック状に配置されたシリンドリカルレンズスタックとから構成されることも好ましい。これらの場合、高い出力の光を集光することができるため、固体レーザの端面励起等に好適に用いることができる。また、半導体レーザアレイから出射された発散角の大きなレーザ光をシリンドリカルレンズで集光することによって平行光束を生成することができる。
【００１０】
光学系は、第１の反射手段及び第２の反射手段を複数組有することも好ましい。この場合、光束の分割及び並び替えを複数回行なうことによって、極端に縦長又は横長の光束であっても断面形状の縦横比を１に近づけることができる。
【００１１】
光源及び光学系を複数組備えることも好ましい。これによって、より高い出力の光を集光することができる。この場合には、複数組の光源及び光学系によって形成された複数の光束を互いに平行かつ隣接するように反射させる１以上の反射手段をさらに備えることが好ましい。このようにすれば、複数の光束を効率よく集光することができる。またこの場合には、複数組の光源及び光学系によって形成された複数の光束のうちの１以上の光束について偏光方向を回転する１以上の偏光回転手段をさらに備えることも好ましい。このようにすれば、集光される光束の密度を向上することができる。
【００１２】
【発明の実施の形態】
以下、本発明による集光装置を固体レーザの励起光源として用いる実施形態について図面を参照して説明する。なお、同一又は相当部分には同一の符号を付し、重複する説明は省略する。また、光の進行方向等を考慮して、固体レーザの端面に入射する光の進行方向をｘ軸正方向（すなわち、固体レーザの端面が面する方向をｘ軸負方向）、固体レーザの端面に向かって左方向をｙ軸正方向、固体レーザの端面に向かって上方向をｚ軸正方向とする右手系の直交座標を用いて説明する。
【００１３】
図１は、本発明の第１の実施形態による集光装置１１と、集光装置１１を励起光源とする固体レーザ７１とを示す斜視図であり、図２及び図３は、それぞれ本発明の第１の実施形態による集光装置１１と、集光装置１１を励起光源とする固体レーザ７１とをｚ軸正方向から見た構成図及びｙ軸負方向から見た構成図である。本実施形態による集光装置１１は、半導体レーザアレイスタック（ＬＤアレイスタック）２３及びシリンドリカルレンズスタック２５からなる光源２１と、第１のプリズム４３及び第２のプリズム４５のプリズム対からなる光学系４１と、集光レンズ６１とから構成される。
【００１４】
ＬＤアレイスタック２３は、発光スポットがｘ軸方向に配列された半導体レーザアレイ（ＬＤアレイ）２７をｚ軸方向に複数層（本実施形態においては４層）積層した構造であり、光出射面をｙ軸負方向に向けて配置されている。シリンドリカルレンズスタック２５は、ＬＤアレイ２７と同数（本実施形態においては４層）のｘ軸方向を長手方向とするシリンドリカルレンズ２９がｚ軸方向に配列された構造であり、ＬＤアレイスタック２３の光出射面側（ｙ軸負方向側）近傍に設置される。各シリンドリカルレンズ２９は、各ＬＤアレイ２７に対して平行に位置する。
【００１５】
第１のプリズム４３は、底面が直角二等辺三角形であり、底面の斜辺の長さがＬＤアレイスタック２３のｘ軸方向の長さとほぼ等しい三角柱状の直角プリズムであり、側面には全反射コートが施されている。このプリズム４３は、底面の斜辺をｘ軸に平行とし、底面の直角部分をｙ軸正方向に向けて、シリンドリカルレンズスタック２５のｙ軸負方向に配置されている。また、第２のプリズム４５は、底面が直角二等辺三角形であり、高さがプリズム４３の底面における直角の頂点から斜辺へおろした垂線の長さとほぼ等しい三角柱状の直角プリズムであり、入射面（すなわち、斜辺を有する側面）には反射防止コートが施され、全反射面（すなわち、斜辺を有さない２つの側面）には高反射コートが施されている。このプリズム４５は、底面の斜辺をｚ軸に平行とし、底面の直角部分をｘ軸負方向に向けて、プリズム４３のｘ軸負方向に配置されている。
【００１６】
集光レンズ６１は簡単な凸レンズであり、プリズム４３のｘ軸正方向にｙ−ｚ平面に対して平行に配置されている。また、本実施形態による集光装置１１の励起対象である固体レーザ（本実施形態においては、Ｎｄ−ＹＡＧロッド）７１は、端面７３をｘ軸負方向として集光レンズ６１のｘ軸正方向に配置されている。集光レンズ６１は、固体レーザ７１のロッド内に焦点を有している。
【００１７】
次に、本実施形態による集光装置１１の作用について説明する。まず、ＬＤアレイスタック２３の各ＬＤアレイ２７の光出射面からｙ軸負方向にレーザ光が出射される。ＬＤアレイスタック２３から出射されたレーザ光は発散角が大きいため、出射直後にシリンドリカルレンズスタック２５の各シリンドリカルレンズ２９によって平行化される。平行化された光束８１の図１におけるＡ−Ａ断面の形状は、図４に示されるようなｘ軸方向：ｚ軸方向＝４：１の長方形になっている。
【００１８】
この光束８１は、プリズム４３の斜辺を有しない２つの側面に反射されて、ｘ軸正方向へ進行する光束８３と、ｘ軸負方向へ進行する光束８５とに分割される。光束８３の図１におけるＢ−Ｂ断面及び光束８５の図１におけるＣ−Ｃ断面の形状は、それぞれ図５及び図６に示されるようなｙ軸方向：ｚ軸方向＝２：１の長方形になっている。
【００１９】
プリズム４３に反射されてｘ軸負方向へ進行する光束８５は、プリズム４５の入射面から入射して１つの全反射面に反射されてｚ軸正方向へ進行し、さらに他の全反射面に反射されてｘ軸正方向へと進行する。この光束８５はプリズム４３の上を（すなわち、ｚ軸正方向外側を）ｘ軸正方向へと通過し、光束８３のｚ軸正方向側に平行に隣接して再度光束８１を形成する。この光束８１の図１におけるＤ−Ｄ断面の形状は、図７に示されるようなｙ軸方向：ｚ軸方向＝１：１の正方形になっている。このように正方形に並べ替えられた光束８１は、集光レンズ６１によって固体レーザ７１のロッド内に集光される。光束８１の図１における端面７３近傍のＥ−Ｅ断面の形状は、図８に示されるような高密度の正方形になっている。
【００２０】
本実施形態においては、上記のように、断面形状が長方形の光束を簡単なプリズムによって断面が正方形の光束に並び替え、簡単な集光レンズを用いて容易にかつ効率よく集光することができる。
【００２１】
図９は、本発明の第２の実施形態による集光装置１２と、集光装置１２を励起光源とする固体レーザ７１とを示す斜視図であり、図１０は、本発明の第２の実施形態による集光装置１２と、集光装置１２を励起光源とする固体レーザ７１とをｙ軸負方向から見た構成図である。本実施形態による集光装置１２は、第１の実施形態による集光装置１１に対して、プリズム４５の位置をｚ軸方向に平行移動させることができる位置調整手段７５が付加されている。
【００２２】
本実施形態においては、図１０中二点鎖線で示されるように、位置調整手段７５を用いてプリズム４５の位置をｚ軸方向に移動することによって、ｘ軸正方向へ進行する光束８５をｚ軸方向に移動させることができる。そのため、光束８３及び光束８５のｚ軸方向の間隔を調整することができ、光束８１の図９におけるＦ−Ｆ断面の形状を図１１に示されるように最適化することが可能になる。
【００２３】
図１２は、本発明の第３の実施形態による集光装置１３と、集光装置１３を励起光源とする固体レーザ７１とをｙ軸負方向から見た構成図である。本実施形態による集光装置１３は、第２の実施形態による集光装置１２と同様に位置調整手段７５が付加されているが、本実施形態における位置調整手段７５は、ｙ軸に平行な回転軸に対してプリズム４５を回転させることができる手段である。
【００２４】
本実施形態においては、図１２中二点鎖線で示されるように、位置調整手段７５を用いてプリズム４５を所定の角度αだけ回転することによって、ｘ軸正方向へ進行する光束８５をｚ軸方向に移動させることができる。そのため、第２の実施形態による集光装置１２と同様に光束８１の断面形状を最適化することが可能となる。
【００２５】
図１３は、本発明の第４の実施形態による集光装置１４と、集光装置１４を励起光源とする固体レーザ７１とを示す斜視図であり、図１４は、本発明の第４の実施形態による集光装置１４と、集光装置１４を励起光源とする固体レーザ７１とをｚ軸正方向からみた構成図である。本実施形態による集光装置１４においては、断面形状が極端に横長の光束を発するＬＤアレイスタック２３を用いるため、光学系４１にはプリズム対（第３のプリズム４７及び第４のプリズム４９）がさらに一組追加され、プリズム対による光束の並べ替えが連続的に２回行なわれる。
【００２６】
ＬＤアレイスタック２３及びシリンドリカルレンズスタック２５からなる光源２１は、各ＬＤアレイ２７及び各シリンドリカルレンズ２９の長手方向をｙ軸方向として、光出射面をｘ軸正方向に向けて配置される。また、第１のプリズム４３はシリンドリカルレンズスタック２３のｘ軸正方向に、第２のプリズム４５はプリズム４３のｙ軸負方向にそれぞれ配置される。
【００２７】
第３のプリズム４７は、底面が直角二等辺三角形であり、底面の斜辺の長さがプリズム４３の底面における直角の頂点から斜辺へおろした垂線の長さとほぼ等しい三角柱状の直角プリズムであり、側面には全反射コートが施されている。このプリズム４７は、底面の斜辺をｘ軸に平行とし、直角部分をｙ軸負方向に向けて、プリズム４３のｙ軸正方向に配置されている。また、第４のプリズム４９は、底面が直角二等辺三角形であり、高さがプリズム４７の底面における直角の頂点から斜辺へおろした垂線の長さとほぼ等しい三角柱状の直角プリズムであり、入射面（すなわち、斜辺を有する側面）には反射防止コートが施され、全反射面（すなわち、斜辺を有さない２つの側面）には高反射コートが施されている。このプリズム４９は、底面の斜辺をｚ軸に平行とし、底面の直角をｘ軸負方向に向けて、プリズム４７のｘ軸負方向に配置されている。
【００２８】
集光レンズ６１は、プリズム４７のｘ軸正方向にｙ−ｚ平面に対して平行に配置されており、励起対象である固体レーザ７１は、端面７３をｘ軸負方向として集光レンズ６１のｘ軸正方向に配置されている。
【００２９】
本実施形態においては、ＬＤアレイスタック２３はｙ軸方向に極端に長いため、出射された光束８１の図１３におけるＧ−Ｇ断面の形状は、図１５に示されるようなｙ軸方向：ｚ軸方向＝１６：１の長方形になっている。
【００３０】
この光束８１に対して、プリズム４３及びプリズム４５によって第１の並べ替えが行なわれ、図１３におけるＨ−Ｈ断面の形状は図１６に示されるようなｙ軸方向：ｚ軸方向＝４：１の長方形になる。第１の並び替えが行なわれた光束８１に対して、プリズム４７及び４９によって第２の並べ替えが行なわれ、図１３におけるＩ−Ｉ断面の形状は図１７に示されるようなｘ軸方向：ｚ軸方向＝１：１の正方形になる。このように正方形に並べ替えられた光束８１は、集光レンズ６１によって固体レーザ７１のロッド内に集光される。
【００３１】
本実施形態においては、簡単な２組のプリズム対によって、断面形状が極端に横長である長方形の光束であっても容易に正方形の光束にすることができ、簡単な集光レンズを用いて容易にかつ効率よく集光することができる。
【００３２】
図１８は、本発明の第５の実施形態による集光装置１５と、集光装置１５を励起光源とする固体レーザ７１とを示す斜視図であり、図１９は、本発明の第５の実施形態による集光装置１５と、集光装置１５を励起光源とする固体レーザ７１とをｚ軸正方向からみた構成図である。本実施形態による集光装置１５においては、より高い出力の光を固体レーザ７１のロッド内に入射させることができるように、光源及び光学系が２組用いられており、これらからの光束を並べるための反射ミラー６３及び６５が付加されている。
【００３３】
ＬＤアレイスタック２３及びシリンドリカルレンズスタック２５からなる第１の光源２１は、各ＬＤアレイ２７及び各シリンドリカルレンズ２９の長手方向をｘ軸方向として、光出射面をｙ軸負方向に向けて配置される。また、第１の光学系４１における第１のプリズム４３はシリンドリカルレンズスタック２５のｙ軸負方向に、第１の光学系４１における第２のプリズム４５はプリズム４３のｘ軸負方向にそれぞれ配置される。
【００３４】
一方、ＬＤアレイスタック３３及びシリンドリカルレンズスタック３５からなる第２の光源３１は、各ＬＤアレイ３７及び各シリンドリカルレンズ３９の長手方向をｘ軸方向として、光出射面をｙ軸正方向に向けて、プリズム４３のｙ軸負方向に配置される。また、第２の光学系５１における第１のプリズム５３はシリンドリカルレンズスタック３５のｙ軸正方向に、第２の光学系５１における第２のプリズム５５はプリズム５３のｘ軸負方向にそれぞれ配置される。
【００３５】
第２の光源３１から出射され第２の光学系５１によって並び替えられた光束８７をｙ軸正方向に反射するための第１の反射ミラー６３が、プリズム５３のｘ軸正方向に配置され、第１の反射ミラー６３によって反射された光束８７を第１の光源２１から出射され第１の光学系４１によって並び替えられた光束８１に平行かつ隣接するように反射するための第２の反射ミラー６５が、プリズム４３のｘ軸正方向かつ反射ミラー６３のｙ軸正方向に配置される。
【００３６】
集光レンズ６１は、反射ミラー６５のｘ軸正方向にｙ−ｚ平面に対して平行に配置されており、励起対象である固体レーザ７１は、端面７３をｘ軸負方向として集光レンズ６１のｘ軸正方向に配置されている。
【００３７】
本実施形態においては、第１の光源２１から出射された光束８１が第１の光学系４１によって並び替えられ、また、第２の光源３１から出射された光束８７が第２の光学系５１によって並び替えられる。光束８７は反射ミラー６３及び６５によって光束８１に平行かつ隣接するように並べられ、光束８１及び光束８７は集光レンズ６１によって一括して集光される。このように２つの光源を用いることによって、より高い出力の光を固体レーザ７１のロッド内に入射させることができる。
【００３８】
図２０は、本発明の第６の実施形態による集光装置１６と、集光装置１６を励起光源とする固体レーザ７１とを示す斜視図であり、図２１は、本発明の第６の実施形態による集光装置１６と、集光装置１６を励起光源とする固体レーザ７１とをｚ軸正方向からみた構成図である。本実施形態においては、光源及び光学系が２組用いられており、これらのうちの一方から発せられた光束の偏光方向を回転するための偏光回転板６７が付加されている。
【００３９】
ＬＤアレイスタック２３及びシリンドリカルレンズスタック２５からなる第１の光源２１は、各ＬＤアレイ２７及び各シリンドリカルレンズ２９の長手方向をｘ軸方向として、光出射面をｙ軸負方向に向けて配置される。また、第１の光学系４１における第１のプリズム４３はシリンドリカルレンズスタック２５のｙ軸負方向に、第１の光学系４１における第２のプリズム４５はプリズム４３のｘ軸負方向にそれぞれ配置される。
【００４０】
一方、ＬＤアレイスタック３３及びシリンドリカルレンズスタック３５からなる第２の光源３１は、各ＬＤアレイ３７及び各シリンドリカルレンズ３９の長手方向をｙ軸方向として、光出射面をｘ軸正方向に向けて、プリズム４３のｙ軸負方向に配置される。また、第２の光学系５１における第１のプリズム５３はシリンドリカルレンズスタック３５のｘ軸正方向に、第２の光学系５１における第２のプリズム５５はプリズム５３のｙ軸負方向にそれぞれ配置される。
【００４１】
光束の偏光方向を９０度回転させる偏光回転板６７が、ｘ−ｚ平面に対して平行にプリズム５３のｙ軸正方向に配置される。また、特定の偏光方向の光束のみを透過する偏光ビームスプリッタ６９が、偏光回転板６７のｙ軸正方向かつプリズム４３のｘ軸正方向に配置される。
【００４２】
集光レンズ６１は、偏光ビームスプリッタ６９のｘ軸正方向にｙ−ｚ平面に対して平行に配置されており、励起対象である固体レーザ７１は、端面７３をｘ軸負方向として集光レンズ６１のｘ軸正方向に配置されている。
【００４３】
本実施形態においては、第１の光源２１から出射された光束８１が第１の光学系４１によって並び替えられ、また、第２の光源３１から出射された光束８７が第２の光学系５１によって並び替えられる。光束８１は偏光ビームスプリッタ６９を透過し、また、光束９１は偏光回転板６７によって偏光方向を９０度回転された後、偏光ビームスプリッタ６９によって反射される。これによって、光束８１及び光束８７が重畳され、集光レンズ６１によって一括して集光される。このように偏光方向の異なる２つの光束を重畳することによって、集光される光束の密度を高めることができる。
【００４４】
図２２は、本発明の第７の実施形態による集光装置１７をｚ軸正方向からみた構成図である。本実施形態による集光装置１７は、第５の実施形態による集光装置１５における集光レンズ６１のｘ軸正方向に光ファイバ９１が付加されている。この光ファイバ９１は、高屈折率のコア９３と低屈折率のクラッド９５から構成されており、本実施形態における集光レンズ６１は、光ファイバ９１の一端のコア９３内に焦点を有している。
【００４５】
本実施形態において、第１の光学系４１及び第２の光学系５１等によって並び替えられた光束は、集光レンズ６１によって光ファイバ９１の一端のコア９３内に集光される。このとき、集光される光束は縦横比が１に近いため、光ファイバ９１のコア９３内に効率よく集光することができる。また、集光された光は、コア９３内を進行して光ファイバ９１の他端へと伝送される。光ファイバ９１を通すことによって、光ファイバ９１の他端において同心円方向に均一な強度分布を持つ高出力のレーザ光が得られる。このように光ファイバを用いることによって、例えば光源から被集光物までの距離が遠い場合であっても、高出力のレーザ光を容易にかつ効率よく伝送することが可能となる。
【００４６】
上記第１〜第７の実施形態において、光源は半導体レーザアレイスタックとシリンドリカルレンズスタックとから構成されるとしたが、これらの光源は、単一の半導体レーザアレイと単一のシリンドリカルレンズとから構成されることも好ましい。また、本発明による集光装置は上記第１〜第７の実施形態に限定されるものではなく、他の条件等に応じた好適な変形形態をとることができる。例えば、複数組の光源及び光学系を有し、各光学系においてプリズム対を複数組有する集光装置であってもよい。
【００４７】
【発明の効果】
本発明の集光装置によれば、簡単な反射手段によって縦長又は横長である平行光束の断面形状の縦横比を１に近づけることができるため、簡単な集光手段によって容易にかつ効率よく集光することが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施形態による集光装置と、この集光装置を励起光源とする固体レーザとを示す斜視図である。
【図２】本発明の第１の実施形態による集光装置と、この集光装置を励起光源とする固体レーザとをｚ軸正方向からみた構成図である。
【図３】本発明の第１の実施形態による集光装置と、この集光装置を励起光源とする固体レーザとをｙ軸負方向からみた構成図である。
【図４】図１のＡ−Ａ断面における光束の形状を示す断面図である。
【図５】図１のＢ−Ｂ断面における光束の形状を示す断面図である。
【図６】図１のＣ−Ｃ断面における光束の形状を示す断面図である。
【図７】図１のＤ−Ｄ断面における光束の形状を示す断面図である。
【図８】図１のＥ−Ｅ断面における光束の形状を示す断面図である。
【図９】本発明の第２の実施形態による集光装置と、この集光装置を励起光源とする固体レーザとを示す斜視図である。
【図１０】本発明の第２の実施形態による集光装置と、この集光装置を励起光源とする固体レーザとをｙ軸負方向からみた構成図である。
【図１１】図９のＦ−Ｆ断面における光束の形状を示す断面図である。
【図１２】本発明の第３の実施形態による集光装置と、この集光装置を励起光源とする固体レーザとをｙ軸負方向からみた構成図である。
【図１３】本発明の第４の実施形態による集光装置と、この集光装置を励起光源とする固体レーザとを示す斜視図である。
【図１４】本発明の第４の実施形態による集光装置と、この集光装置を励起光源とする固体レーザとをｚ軸正方向からみた構成図である。
【図１５】図１３のＧ−Ｇ断面における光束の形状を示す断面図である。
【図１６】図１３のＨ−Ｈ断面における光束の形状を示す断面図である。
【図１７】図１３のＩ−Ｉ断面における光束の形状を示す断面図である。
【図１８】本発明の第５の実施形態による集光装置と、この集光装置を励起光源とする固体レーザとを示す斜視図である。
【図１９】本発明の第５の実施形態による集光装置と、この集光装置を励起光源とする固体レーザとをｚ軸正方向からみた構成図である。
【図２０】本発明の第６の実施形態による集光装置と、この集光装置を励起光源とする固体レーザとを示す斜視図である。
【図２１】本発明の第６の実施形態による集光装置と、この集光装置を励起光源とする固体レーザとをｚ軸正方向からみた構成図である。
【図２２】本発明の第７の実施形態による集光装置をｚ軸正方向からみた構成図である。
【符号の説明】
１１…第１の実施形態による集光装置、１２…第２の実施形態による集光装置、１３…第３の実施形態による集光装置、１４…第４の実施形態による集光装置、１５…第５の実施形態による集光装置、１６…第６の実施形態による集光装置、１７…第７の実施形態による集光装置、２１…（第１の）光源、２３…半導体レーザアレイスタック（ＬＤアレイスタック）、２５…シリンドリカルレンズスタック、２７…半導体レーザアレイ（ＬＤアレイ）、２９…シリンドリカルレンズ、３１…第２の光源、３３…半導体レーザアレイスタック（ＬＤアレイスタック）、３５…シリンドリカルレンズスタック、３７…半導体レーザアレイ（ＬＤアレイ）、３９…シリンドリカルレンズ、４１…（第１の）光学系、４３…第１のプリズム、４５…第２のプリズム、４７…第３のプリズム、４９…第４のプリズム、５１…第２の光学系、５３…第１のプリズム、５５…第２のプリズム、６１…集光レンズ、６３…第１の反射ミラー、６５…第２の反射ミラー、６７…偏光回転板、６９…偏光ビームスプリッタ、７１…固体レーザ、７３…端面、７５…位置調整手段、８１…光束、８３…分割された光束、８５…分割された光束、８７…光束、９１…光ファイバ、９３…コア、９５…クラッド

Claims

一方の長さがそれと垂直な他方の長さより長い断面形状を有する平行光束を出射する光源と、
前記平行光束の光路上に配置され、前記平行光束を第１の方向に進行する第１の光束と第２の方向に進行する第２の光束とに分割して反射する第１の反射手段、並びに、前記第２の方向に反射された前記第２の光束の光路上に配置され、前記第２の光束を前記第１の光束に平行かつ隣接するように第１の方向に反射させる第２の反射手段を有する光学系と、
前記第１の方向に反射された前記第１の光束及び前記第２の光束の光路上に配置され、前記第１の光束及び前記第２の光束を一括して集光する集光手段と
を備え、
前記第１の方向及び前記第２の方向は、互いに反対方向であり、前記平行光束が前記第１の反射手段に入射する方向は、前記第１の方向及び前記第２の方向に直交する方向であり、
前記第１の反射手段が第１のプリズムであり、前記第２の反射手段が第２のプリズムであり、
前記第２の反射手段で反射した前記第２の光束が、前記第１の反射手段の外側を通過する
ことを特徴とする集光装置。
前記第２の反射手段の位置を調整する位置調整手段をさらに備える請求項１に記載の集光装置。
前記光源は、半導体レーザアレイと、前記半導体レーザアレイの光出射面に対して平行に配置されたシリンドリカルレンズとから構成される請求項１又は２に記載の集光装置。
前記光源は、複数の半導体レーザアレイがスタック状に配置された半導体レーザアレイスタックと、前記各半導体レーザアレイの光出射面に対してそれぞれ平行に複数のシリンドリカルレンズがスタック状に配置されたシリンドリカルレンズスタックとから構成される請求項１又は２に記載の集光装置。
前記光学系は、前記第１の反射手段及び前記第２の反射手段を複数組有する請求項１〜４のいずれかに記載の集光装置。
前記光源及び前記光学系を複数組備える請求項１〜５のいずれかに記載の集光装置。
複数組の前記光源及び前記光学系によって形成された複数の光束を互いに平行かつ隣接するように反射させる１以上の反射手段をさらに備える請求項６に記載の集光装置。
複数組の前記光源及び前記光学系によって形成された複数の光束のうちの１以上の光束について偏光方向を回転させる１以上の偏光回転手段をさらに備える請求項６又は７に記載の集光装置。