JP2016207841A - 配線基板及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
[第1の実施の形態に係る配線基板の構造]
まず、第1の実施の形態に係る配線基板の構造について説明する。図1は、第1の実施の形態に係る配線基板を例示する図であり、図1(a)は部分平面図、図1(b)は図1(a)のA−A線に沿う断面図である。なお、図1(a)では、便宜上、配線層10を梨地模様で示している。
次に、第1の実施の形態に係る配線基板の製造方法について説明する。図2〜図5は、第1の実施の形態に係る配線基板の製造工程を例示する図である。本実施の形態では、支持体上に複数の配線基板となる部分を作製し支持体を除去後個片化して各配線基板とする工程の例を示すが、支持体上に1個ずつ配線基板を作製し支持体を除去する工程としてもよい。
第1の実施の形態の変形例1では、配線基板1の製造方法の他の例を示す。なお、第1の実施の形態の変形例1において、既に説明した実施の形態と同一構成部についての説明は省略する場合がある。
第1の実施の形態の変形例2では、配線基板1の製造方法の更に他の例を示す。なお、第1の実施の形態の変形例2において、既に説明した実施の形態と同一構成部についての説明は省略する場合がある。
第2の実施の形態では、3層構造の配線基板の例を示す。なお、第2の実施の形態において、既に説明した実施の形態と同一構成部についての説明は省略する場合がある。
配線基板の応用例1では、第1の実施の形態に係る配線基板に半導体チップが搭載(フリップチップ実装)された半導体パッケージの例を示す。なお、配線基板の応用例1において、既に説明した実施の形態と同一構成部についての説明は省略する場合がある。
配線基板の応用例2では、半導体パッケージ上に更に他の半導体パッケージが搭載された所謂POP(Package on package)構造の半導体パッケージの例を示す。なお、配線基板の応用例2において、既に説明した実施の形態と同一構成部についての説明は省略する場合がある。
配線幅が狭い部分(ここではファインライン部と称する)と、配線幅が広い部分(ここではラフライン部と称する)について、電解銅めっきの条件を変更して、形成された配線のめっき厚の検討を行った。
硫酸銅と硫酸を濃度比1で建浴した電解銅めっき液を用い、電流密度を変化させて(めっき時間は60分)電解めっきを行い、ファインライン部及びラフライン部に対応するレジスト層の開口部内に電解銅めっき膜を析出した。なお、この他の条件は、実施例1と同様である。
レジスト層のアスペクト比を1〜4まで0.5置きに変えたサンプルを作製した。そして、硫酸銅と硫酸を濃度比5で建浴した電解銅めっき液を用い、電流密度を1.0ASD、めっき時間を60分として、アスペクト比の異なるレジスト層を用いて電解めっきを行った。その後、レジスト層を剥離し、レジスト剥離の不良率を測定した。
硫酸銅と硫酸を濃度比5で建浴した電解銅めっき液を用意した。そして、この電解銅めっき液を用い、電流密度を1.0ASD、めっき時間を60分として電解めっきを行い、ラフライン部に対応するレジスト層の開口部内に電解銅めっき膜を析出した。レジスト層を剥離した後、ラフライン部上にはんだボールをリフローし、3000時間放置後の様子を顕微鏡で撮影した。
3、4、5 半導体パッケージ
10 配線層
11、12、31、71 パッド
13、33、73 配線パターン
20、60 絶縁層
20x、60x ビアホール
30、70 配線層
40、50 ソルダーレジスト層
40x、50x 開口部
90、110 バンプ
100 半導体チップ
120 アンダーフィル樹脂
300、300A 支持体
310 プリプレグ
320、320A キャリア付き金属箔
321、321A 薄箔
322 厚箔
330 バリア層
340 レジスト層
Claims (10)
- 絶縁層と、
前記絶縁層の一方の面の側に埋め込まれた配線層と、を有し、
前記配線層の一方の面は、前記絶縁層の一方の面から露出し、
前記配線層は、第1の部分と、前記第1の部分よりも幅が広い第2の部分と、を備え、
前記第1の部分の一方の面と前記第2の部分の一方の面とが同一平面上にあり、
前記第1の部分は、前記第2の部分よりも層厚が薄く形成されている配線基板。 - 前記第1の部分の一方の面は前記絶縁層の一方の面から露出し、前記第1の部分の他方の面及び側面は前記絶縁層に被覆され、
前記第2の部分の一方の面は前記絶縁層の一方の面から露出し、前記第2の部分の他方の面及び側面は前記絶縁層に被覆されている請求項1記載の配線基板。 - 前記第1の部分は配線パターンを含み、前記第2の部分はパッドを含む請求項2記載の配線基板。
- 前記パッドは、ビア受け用のパッドを含み、
前記パッドの他方の面には、前記絶縁層を貫通するビア配線の端部が接続されている請求項3記載の配線基板。 - 前記パッドは、半導体チップと接続される外部接続用のパッドを含む請求項3又は4記載の配線基板。
- 前記第1の部分の一方の面と前記第2の部分の一方の面は、前記絶縁層の一方の面よりも窪んだ位置に露出している請求項2乃至5の何れか一項記載の配線基板。
- 前記絶縁層の他方の面の側に形成された他の配線層を有し、
前記他の配線層は、第3の部分と、前記第3の部分よりも幅が広い第4の部分と、を備え、
前記第3の部分は、前記第4の部分よりも層厚が薄く形成されている請求項1乃至6の何れか一項記載の配線基板。 - 支持体上にめっきを析出し、第1の部分と、前記第1の部分よりも幅が広い第2の部分と、を備えた配線層を形成する工程と、
前記支持体上に、前記第1の部分及び前記第2の部分を被覆する絶縁層を形成する工程と、を有し、
前記配線層を形成する工程では、前記第1の部分は、前記第2の部分よりも層厚が薄く形成される配線基板の製造方法。 - 前記配線層を形成する工程では、
硫酸銅と硫酸を所定の濃度比で建浴した電解銅めっき液を用いた電解めっき法により、前記第1の部分及び前記第2の部分を銅めっきで形成し、
前記所定の濃度比を予め調整することで、前記第1の部分の層厚を前記第2の部分の層厚よりも薄く形成する請求項8記載の配線基板の製造方法。 - 前記所定の濃度比は、1以上5以下の範囲内とされている請求項9記載の配線基板の製造方法。
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