JP2016203232A - レーザ加工装置及びレーザ加工方法 - Google Patents
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Abstract
Description
<レーザ加工装置の主要構成>
図1は本発明の実施形態に係るレーザ加工装置の概略構成を示すブロック図である。
さらに、本発明の光特性検出器105について、その構成を詳細に説明する。
以上のように構成された本発明のレーザ加工装置100の動作について図面を用いて説明する。
101 レーザ発振器
102 アクチュエータ
103 照射ヘッド
104 制御器
105 光特性検出器
106 フタ
107 光ファイバ
108 レーザ光
109 ガイド光
110 被加工物
121 受光部
122 光減衰部
123 ビームダンパ
124 開口部
131 高反射ミラー
132 低反射ミラー
133 減光フィルタ
134 シール材
135 エア配管
136 保護ウィンドウ
802 光路
804 ワーク
806 出力測定器
901 レーザ装置
902 レーザ発振器
905 シャッタ
907 フォトインタラプタ
909 制御回路
Claims (8)
- 出力指令信号に従ってレーザ光を出射するレーザ発振器と、
レーザ照射位置を機械的に制御するアクチュエータと、
所定位置に開口部を有し、前記開口部に入射したレーザ光の光特性を計測する受光部と、前記開口部に開閉可能に取り付けられたフタを備えた光特性検出器とを備えたレーザ加工装置。 - 前記光特性検出器が、前記開口部と前記受光部の間の光路に波長選択性を有した光減衰部を備えた請求項1に記載のレーザ加工装置。
- 波長によって反射率又は透過率が異なるビームスプリッタを前記光減衰部に設けた請求項2に記載のレーザ加工装置。
- 請求項1から3のいずれかに記載のレーザ加工装置を用いたレーザ加工方法であって、
前記フタを開いた状態で前記光特性検出器の前記開口部にレーザ光を入射しレーザ光の特性を計測するレーザ光計測工程と、
前記フタを閉じた状態で被加工物にレーザ光を照射して加工を行うレーザ加工工程とを備えたレーザ加工方法。 - 前記レーザ加工装置が更にガイド光照射部を備え、
前記レーザ光計測工程に先立ち、前記光特性検出器の前記フタを開くフタ開工程と、前記光特性検出器に向かって前記ガイド光を照射するフタ開閉確認工程を備え、
前記フタ開閉確認工程では、前記受光部が前記ガイド光を検知した場合は前記フタが開いていると判定し、前記ガイド光が検知できない場合は前記フタが閉じていると判定する請求項4に記載のレーザ加工方法。 - 前記フタ開閉確認工程で、前記フタが閉じていると判定された場合は異常が生じたと判断し、異常警告する請求項5に記載のレーザ加工方法。
- 前記レーザ光計測工程に先立ち、前記光特性検出器に向かって前記ガイド光を照射してフタは閉じていることを確認し、前記光特性検出器の前記フタを開き、前記光特性検出器に向かって前記ガイド光を照射してフタが開いていることを確認する工程を設け、
前記レーザ光計測工程実施後に、前記光特性検出器の前記フタを閉じ、前記光特性検出器に向かって前記ガイド光を照射してフタが閉じていることを確認する工程を設けた請求項4から6のいずれかに記載のレーザ加工方法。 - 前記フタが閉じていることを確認する工程で前記フタが開いていると判定された場合は異常が生じたと判断し、異常警告する請求項7に記載のレーザ加工方法。
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