JP2016196129A - 液体吐出装置、インプリント装置および部品の製造方法 - Google Patents
液体吐出装置、インプリント装置および部品の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2016196129A JP2016196129A JP2015076994A JP2015076994A JP2016196129A JP 2016196129 A JP2016196129 A JP 2016196129A JP 2015076994 A JP2015076994 A JP 2015076994A JP 2015076994 A JP2015076994 A JP 2015076994A JP 2016196129 A JP2016196129 A JP 2016196129A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- tank
- liquid
- chamber
- head
- discharge port
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000007788 liquid Substances 0.000 title claims abstract description 119
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 10
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims abstract description 67
- 238000007599 discharging Methods 0.000 claims abstract description 7
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 27
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 description 14
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 8
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 7
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 4
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 4
- 230000032258 transport Effects 0.000 description 4
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 3
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 3
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 2
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 2
- 230000007261 regionalization Effects 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000012840 feeding operation Methods 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 230000005499 meniscus Effects 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 1
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 1
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000000638 solvent extraction Methods 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Coating Apparatus (AREA)
- Ink Jet (AREA)
Abstract
Description
以下、図1〜図4を参照して本発明の第1実施例について説明する。なお、本実施例では、インクを吐出するインクジェット記録装置(以下、「吐出装置」を称する)を本発明の液体吐出装置の一例として説明する。また、本実施例の吐出装置に使用される「インク」は、本発明の液体吐出装置に使用される「液体」を構成する一例である。
以下、図5を用いて本発明の第2実施例について説明する。なお、図5は、本実施例に係るインプリント装置の概念図である。
2 第1タンク
3 第2タンク
4 調整手段
8 可撓性膜(可撓部)
10 吐出口面
21 第1室
22 第2室
100 インクジェット記録装置(液体吐出装置)
Claims (7)
- 液体を吐出する吐出口が形成された吐出口面を有するヘッドと、
前記ヘッドへ供給される液体を収容する第1タンクと、
前記第1タンクの内部空間を前記液体を収容する第1室と作動液を収容する第2室とに仕切ると共に可撓性を有する可撓部と、
前記第2室と連通し、前記第2室へ供給される前記作動液を収容する第2タンクと、
を有し、前記第2タンク内の前記作動液の液面が前記吐出口面よりも下方に配置された液体吐出装置であって、
前記第2タンクが大気開放された状態で、前記第2タンク内の作動液の液面の位置を所定範囲内になるように調整する調整手段を有することを特徴とする液体吐出装置。 - 前記調整手段は、前記第2タンク内の作動液の液面の位置を検知する液面検知手段を有することを特徴とする請求項1に記載の液体吐出装置。
- 前記調整手段は、前記作動液を収容する第3タンクと、前記第2タンクと前記第3タンクを接続する流路と、前記流路に配置され前記第3タンクから前記第2タンクへ前記作動液を供給するポンプと、を有することを特徴とする請求項1または請求項2に記載の液体吐出装置。
- 前記可撓部は、鉛直方向に沿って前記第1タンク内に配置されていることを特徴とする請求項1ないし請求項3のいずれか1項に記載の液体吐出装置。
- 液体を吐出する吐出口が形成された吐出口面を有するヘッドと、
前記ヘッドへ供給される液体を収容する第1タンクと、
前記第1タンクの内部空間を前記液体を収容する第1室と作動液を収容する第2室とに仕切ると共に可撓性を有する可撓部と、
前記第2室と連通し、前記第2室へ供給される前記作動液を収容する第2タンクと、を有し、前記第2タンク内の前記作動液の液面が前記吐出口面よりも下方に配置されたインプリント装置であって、
前記第2タンクが大気開放された状態で、前記第2タンク内の作動液の液面の位置を所定範囲内になるように調整する調整手段と、
前記ヘッドによって一方の表面に前記液体が吐出された基板の前記一方の表面と、凹凸パターンが形成されたモールドの前記凹凸パターンが形成された表面とを当接させ、前記基板の前記一方の表面において、前記モールドの前記凹凸パターンに対応するパターンを形成する形成手段と、を有することを特徴とするインプリント装置。 - 前記液体は光硬化性を有する液体であって、
前記パターン形成手段は、前記基板に形成された前記パターンに光を照射して当該パターンを硬化させる光照射手段を備えることを特徴とする請求項5に記載のインプリント装置。 - 液体を吐出する吐出口が形成された吐出口面を有するヘッドと、
前記ヘッドへ供給される液体を収容する第1タンクと、
前記第1タンクの内部空間を前記液体を収容する第1室と作動液を収容する第2室とに仕切ると共に可撓性を有する可撓部と、
前記第2室と連通し、前記第2室へ供給される前記作動液を収容する第2タンクと、
前記第2タンクが大気開放された状態で、前記第2タンク内の作動液の液面の位置を所定範囲内になるように調整する調整手段と、を有し、前記第2タンク内の前記作動液の液面が前記吐出口面よりも下方に配置されたインプリント装置を用いて、基板を備えた部品を製造する部品の製造方法であって、
前記ヘッドによって液体を基板の表面へ付与する付与工程と、
前記基板の前記液体が付与された表面と、凹凸パターンが形成されたモールドの表面とを当接させ、前記基板の前記表面に前記モールドの前記凹凸パターンに対応するパターンを形成するパターン形成工程と、
前記パターンが形成された前記基板を処理する処理工程と、を有することを特徴とする部品の製造方法。
Priority Applications (7)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015076994A JP6494380B2 (ja) | 2015-04-03 | 2015-04-03 | 液体吐出装置、インプリント装置および部品の製造方法 |
TW105107419A TWI649212B (zh) | 2015-04-03 | 2016-03-10 | 液體排放設備、壓印設備及部件製造方法 |
SG10201602246XA SG10201602246XA (en) | 2015-04-03 | 2016-03-22 | Liquid discharge apparatus, imprint apparatus and part manufacturing method |
US15/078,064 US9834002B2 (en) | 2015-04-03 | 2016-03-23 | Liquid discharge apparatus, imprint apparatus and part manufacturing method |
KR1020160035861A KR102042886B1 (ko) | 2015-04-03 | 2016-03-25 | 액체 토출 장치, 임프린트 장치 및 부품 제조 방법 |
CN201610206780.4A CN106042642B (zh) | 2015-04-03 | 2016-04-05 | 液体排出设备、压印设备和组件制造方法 |
US15/707,169 US10518546B2 (en) | 2015-04-03 | 2017-09-18 | Liquid discharge apparatus, imprint apparatus and part manufacturing method |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015076994A JP6494380B2 (ja) | 2015-04-03 | 2015-04-03 | 液体吐出装置、インプリント装置および部品の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016196129A true JP2016196129A (ja) | 2016-11-24 |
JP6494380B2 JP6494380B2 (ja) | 2019-04-03 |
Family
ID=57357402
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015076994A Active JP6494380B2 (ja) | 2015-04-03 | 2015-04-03 | 液体吐出装置、インプリント装置および部品の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6494380B2 (ja) |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2019043104A (ja) * | 2017-09-06 | 2019-03-22 | キヤノン株式会社 | 吐出材収容ユニットおよび吐出材吐出装置 |
WO2019107383A1 (en) * | 2017-11-30 | 2019-06-06 | Canon Kabushiki Kaisha | Ejection-material ejection apparatus and imprinting apparatus |
JP2019098588A (ja) * | 2017-11-30 | 2019-06-24 | キヤノン株式会社 | 吐出材吐出装置 |
JP2019098628A (ja) * | 2017-12-01 | 2019-06-24 | キヤノン株式会社 | 吐出材吐出装置 |
US10513125B2 (en) | 2017-07-14 | 2019-12-24 | Canon Kabushiki Kaisha | Fluid containing member |
TWI693163B (zh) * | 2017-07-14 | 2020-05-11 | 日商佳能股份有限公司 | 流體容納構件 |
KR20200079295A (ko) * | 2017-11-30 | 2020-07-02 | 캐논 가부시끼가이샤 | 토출재 토출 장치 및 임프린트 장치 |
Citations (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11348300A (ja) * | 1998-06-08 | 1999-12-21 | Canon Inc | プリント装置 |
JP2000309109A (ja) * | 1999-04-26 | 2000-11-07 | Canon Inc | インクジェット記録装置 |
JP2003154674A (ja) * | 2001-11-20 | 2003-05-27 | Sharp Corp | インクジェットプリンタ |
JP2006088090A (ja) * | 2004-09-27 | 2006-04-06 | Seiko Epson Corp | 液滴吐出装置 |
JP2008105360A (ja) * | 2006-10-27 | 2008-05-08 | Fujifilm Corp | インク貯留容器およびインクジェット記録装置 |
JP2009012452A (ja) * | 2007-06-07 | 2009-01-22 | Ricoh Co Ltd | 画像形成装置 |
JP2010274549A (ja) * | 2009-05-29 | 2010-12-09 | Brother Ind Ltd | 画像記録装置 |
JP2011098302A (ja) * | 2009-11-06 | 2011-05-19 | Sharp Corp | インクジェットユニット |
US8807718B2 (en) * | 2012-11-28 | 2014-08-19 | Eastman Kodak Company | Pressure regulated inkjet printhead with replaceable on-axis ink tank |
JP2015018966A (ja) * | 2013-07-11 | 2015-01-29 | 大日本印刷株式会社 | インプリント装置及びインプリント方法 |
JP2015092549A (ja) * | 2013-10-04 | 2015-05-14 | キヤノン株式会社 | 液体吐出装置、液漏れ抑制方法、インプリント装置および部品の製造方法 |
-
2015
- 2015-04-03 JP JP2015076994A patent/JP6494380B2/ja active Active
Patent Citations (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11348300A (ja) * | 1998-06-08 | 1999-12-21 | Canon Inc | プリント装置 |
JP2000309109A (ja) * | 1999-04-26 | 2000-11-07 | Canon Inc | インクジェット記録装置 |
JP2003154674A (ja) * | 2001-11-20 | 2003-05-27 | Sharp Corp | インクジェットプリンタ |
JP2006088090A (ja) * | 2004-09-27 | 2006-04-06 | Seiko Epson Corp | 液滴吐出装置 |
JP2008105360A (ja) * | 2006-10-27 | 2008-05-08 | Fujifilm Corp | インク貯留容器およびインクジェット記録装置 |
JP2009012452A (ja) * | 2007-06-07 | 2009-01-22 | Ricoh Co Ltd | 画像形成装置 |
JP2010274549A (ja) * | 2009-05-29 | 2010-12-09 | Brother Ind Ltd | 画像記録装置 |
JP2011098302A (ja) * | 2009-11-06 | 2011-05-19 | Sharp Corp | インクジェットユニット |
US8807718B2 (en) * | 2012-11-28 | 2014-08-19 | Eastman Kodak Company | Pressure regulated inkjet printhead with replaceable on-axis ink tank |
JP2015018966A (ja) * | 2013-07-11 | 2015-01-29 | 大日本印刷株式会社 | インプリント装置及びインプリント方法 |
JP2015092549A (ja) * | 2013-10-04 | 2015-05-14 | キヤノン株式会社 | 液体吐出装置、液漏れ抑制方法、インプリント装置および部品の製造方法 |
Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US10513125B2 (en) | 2017-07-14 | 2019-12-24 | Canon Kabushiki Kaisha | Fluid containing member |
TWI693163B (zh) * | 2017-07-14 | 2020-05-11 | 日商佳能股份有限公司 | 流體容納構件 |
JP2019043104A (ja) * | 2017-09-06 | 2019-03-22 | キヤノン株式会社 | 吐出材収容ユニットおよび吐出材吐出装置 |
WO2019107383A1 (en) * | 2017-11-30 | 2019-06-06 | Canon Kabushiki Kaisha | Ejection-material ejection apparatus and imprinting apparatus |
JP2019098588A (ja) * | 2017-11-30 | 2019-06-24 | キヤノン株式会社 | 吐出材吐出装置 |
KR20200079295A (ko) * | 2017-11-30 | 2020-07-02 | 캐논 가부시끼가이샤 | 토출재 토출 장치 및 임프린트 장치 |
KR102312743B1 (ko) | 2017-11-30 | 2021-10-18 | 캐논 가부시끼가이샤 | 토출재 토출 장치 및 임프린트 장치 |
US11535039B2 (en) | 2017-11-30 | 2022-12-27 | Canon Kabushiki Kaisha | Ejection-material ejection apparatus and imprinting apparatus |
JP2019098628A (ja) * | 2017-12-01 | 2019-06-24 | キヤノン株式会社 | 吐出材吐出装置 |
JP7030494B2 (ja) | 2017-12-01 | 2022-03-07 | キヤノン株式会社 | 吐出材吐出装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP6494380B2 (ja) | 2019-04-03 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6494380B2 (ja) | 液体吐出装置、インプリント装置および部品の製造方法 | |
JP6362109B2 (ja) | インプリント装置および部品の製造方法 | |
KR102042886B1 (ko) | 액체 토출 장치, 임프린트 장치 및 부품 제조 방법 | |
JP6590504B2 (ja) | 液体吐出装置、インプリント装置および部品の製造方法 | |
JP6594488B2 (ja) | インプリント装置および部品の製造方法 | |
US10093103B2 (en) | Liquid discharge apparatus, imprint apparatus, and article manufacturing method | |
JP6827713B2 (ja) | 液体吐出装置、インプリント装置および部品の製造方法 | |
JP7309433B2 (ja) | 保管装置 | |
JP7171234B2 (ja) | 流体収納部材 | |
KR102266118B1 (ko) | 액체 토출 장치, 임프린트 장치 및 방법 | |
KR102266633B1 (ko) | 액체 토출 장치, 임프린트 장치 및 방법 | |
US20240083173A1 (en) | Liquid ejection apparatus, imprint apparatus, and ejection method | |
JP2019043104A (ja) | 吐出材収容ユニットおよび吐出材吐出装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20180329 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20181210 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20190205 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20190305 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 6494380 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |