JP2016188841A - 非接触形状測定装置及び走査レンズ収差補正方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】可変焦点レンズ14と、光偏向装置16と、走査レンズ20と、可変焦点レンズを透過して光偏向装置に入射し、光偏向装置によって偏向され、走査レンズを透過して平行光又は略平行光に変換された後、対象物表面Aを照射する光を出射する光源12と、を備え、対象物の形状を測定するように構成された非接触形状測定装置10において、光偏向装置の偏向角を検出する偏向角検出装置18と、対象物表面上の照射位置と走査レンズとの間の距離を検出する距離検出装置と、偏向角検出装置によって検出された偏向角及び前記距離検出装置24によって検出された距離に基づき、走査レンズの収差が補正されるように可変焦点レンズの焦点距離を制御する焦点距離制御装置26と、を備える。
【選択図】図1
Description
Claims (7)
- 可変焦点レンズと、光偏向装置と、走査レンズと、前記可変焦点レンズを透過して前記光偏向装置に入射し、当該光偏向装置によって偏向され、前記走査レンズを透過して平行光又は略平行光に変換された後、対象物表面を照射する光を出射する光源と、を備え、前記対象物の形状を測定するように構成された非接触形状測定装置において、
前記光偏向装置の偏向角を検出する偏向角検出装置と、前記対象物表面上の照射位置と前記走査レンズとの間の距離を検出する距離検出装置と、前記偏向角検出装置によって検出された偏向角及び前記距離検出装置によって検出された距離に基づき、前記走査レンズの収差が補正されるように前記可変焦点レンズの焦点距離を制御する焦点距離制御装置と、を備える非接触形状測定装置。 - 複数の偏向角及び複数の距離それぞれに対応する焦点位置補正データを格納した記憶装置をさらに備え、
前記焦点距離制御装置は、前記偏向角検出装置によって検出された偏向角及び前記距離検出装置によって検出された距離に対応する焦点位置補正データを前記記憶装置から読み出し、当該読み出した焦点位置補正データに基づき、前記走査レンズの収差が補正されるように前記可変焦点レンズの焦点位置を調整する請求項1に記載の非接触形状測定装置。 - 前記距離検出装置は、前記対象物表面上からの反射光が入射する光検出器を含み、前記光検出器の検出結果及び三角測量法に基づき、前記対象物表面上の照射位置と前記走査レンズとの間の距離を検出する請求項1又は2に記載の非接触形状測定装置。
- 前記距離検出装置は、前記光源からの光の一部が入射する参照面と、前記参照面からの反射光及び前記対象物表面からの反射光が干渉した状態で入射する光検出器と、前記光検出器の検出結果に基づき、前記対象物表面上の照射位置と前記走査レンズとの間の距離を検出する距離計算装置と、を備える請求項1又は2に記載の非接触形状測定装置。
- 前記可変焦点レンズは、前記対象物表面上の照射位置に形成されるスポットが円形又は略円形となるように傾いた状態で配置されている請求項1から4のいずれか1項に記載の非接触形状測定装置。
- 可変焦点レンズと、光偏向装置と、走査レンズと、前記可変焦点レンズを透過して前記光偏向装置に入射し、当該光偏向装置によって偏向され、前記走査レンズを透過して平行光又は略平行光に変換された後、対象物表面を照射する光を出射する光源と、を備え、前記対象物の形状を測定するように構成された非接触形状測定装置における走査レンズ収差補正方法において、
前記光偏向装置の偏向角を検出する偏向角検出ステップと、
前記対象物表面上の照射位置と前記走査レンズとの間の距離を検出する距離検出ステップと、
前記偏向角検出装置によって検出された偏向角及び前記距離検出装置によって検出された距離に基づき、前記走査レンズの収差が補正されるように前記可変焦点レンズの焦点距離を制御する焦点距離制御ステップと、を備える走査レンズ収差補正方法。 - 前記非接触形状測定装置は、複数の偏向角及び複数の距離それぞれに対応する焦点位置補正データを格納した記憶装置をさらに備え、
前記焦点距離制御ステップは、前記偏向角検出ステップによって検出された偏向角及び前記距離検出ステップによって検出された距離に対応する焦点位置補正データを前記記憶装置から読み出すステップと、当該読み出した焦点位置補正データに基づき、前記走査レンズの収差が補正されるように前記可変焦点レンズの焦点位置を調整するステップと、を含む請求項6に記載の走査レンズ収差補正方法。
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Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0934977A (ja) * | 1995-07-21 | 1997-02-07 | Nec Corp | 光ビーム走査装置 |
JPH10227618A (ja) * | 1996-12-09 | 1998-08-25 | Fujitsu Ltd | 高さ検査方法、それを実施する高さ検査装置 |
JP2000171742A (ja) * | 1998-12-03 | 2000-06-23 | Canon Inc | 走査光学系及び走査撮像光学系 |
JP2002357781A (ja) * | 2001-02-23 | 2002-12-13 | Three D Syst Inc | 光スポットの電子制御 |
US20050254027A1 (en) * | 2004-05-12 | 2005-11-17 | Smith Adlai H | Process for amelioration of scanning synchronization error |
JP2010085395A (ja) * | 2008-09-05 | 2010-04-15 | Oputouea Kk | 光学式位置角度検出装置 |
WO2014016994A1 (ja) * | 2012-07-26 | 2014-01-30 | 日本電気株式会社 | インターフェース装置、プログラム、及び制御方法 |
JP2015031929A (ja) * | 2013-08-06 | 2015-02-16 | 日本電信電話株式会社 | 光偏向装置 |
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2015
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Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0934977A (ja) * | 1995-07-21 | 1997-02-07 | Nec Corp | 光ビーム走査装置 |
JPH10227618A (ja) * | 1996-12-09 | 1998-08-25 | Fujitsu Ltd | 高さ検査方法、それを実施する高さ検査装置 |
JP2000171742A (ja) * | 1998-12-03 | 2000-06-23 | Canon Inc | 走査光学系及び走査撮像光学系 |
JP2002357781A (ja) * | 2001-02-23 | 2002-12-13 | Three D Syst Inc | 光スポットの電子制御 |
US20050254027A1 (en) * | 2004-05-12 | 2005-11-17 | Smith Adlai H | Process for amelioration of scanning synchronization error |
JP2010085395A (ja) * | 2008-09-05 | 2010-04-15 | Oputouea Kk | 光学式位置角度検出装置 |
WO2014016994A1 (ja) * | 2012-07-26 | 2014-01-30 | 日本電気株式会社 | インターフェース装置、プログラム、及び制御方法 |
JP2015031929A (ja) * | 2013-08-06 | 2015-02-16 | 日本電信電話株式会社 | 光偏向装置 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7435784B2 (ja) | 2020-07-15 | 2024-02-21 | 日本電信電話株式会社 | 分光装置、分光測定装置および分光方法 |
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