JP2012103487A - レーザー照射装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】反射光学系10からの射出光が平行光であるか否かを検出する検出系30と、副鏡12の光軸方向の位置を検出する位置センサ40と、対象物までの距離を計測する測距計と、副鏡12を光軸に沿って移動させる駆動機構60と、射出光が平行光であると検出されたとき位置センサ40により検出された副鏡12の位置を基準位置として、対象物までの距離に応じて対象物にレーザー光を集光させるための副鏡12の基準位置からの移動量及び移動方向を演算し、演算結果に基づいて、駆動機構60の駆動制御を行う制御装置70とを有し、主鏡11と副鏡12との間隔が対象物に対してレーザー光を正確に集光する距離に調整された反射光学系10を介して、レーザー光を対象物に照射する。
【選択図】図2
Description
る、レーザー照射装置を提供することができる。
過して撮像素子35に向かわせるハーフプリズム33と、ハーフプリズム33を介して照明レチクル32を透過した光を平行光に変換するコリメータ光学系34と、コリメータ光学系34から射出された光を副鏡12の反射面12aへと偏向するとともに、副鏡12の反射面12aで反射された光をコリメータ光学系34へと偏向する第1のミラー部材M1と、第1のミラー部材M1により偏向され、副鏡12の反射面12a、主鏡11の反射面11aを順に経た光を反射して折り返す第2のミラー部材M2と、第2のミラー部材M2により反射して折り返され、主鏡11の反射面11a、副鏡12の反射面12aを順に経て、第1のミラー部材M1により偏向され、コリメータ光学系34、ハーフプリズム33を順に経て、撮像面上に結像された照明レチクル32の像を撮像する撮像素子35(例えば、二次元CCD)と、撮像素子35により撮像された照明レチクル32の像の合焦状態に基づいて、反射光学系10からの射出光が平行光であるか否かを検出する画像処理装置36とを有する。
ップS14)、第1のミラー部材M1及び第2のミラー部材M2を光路上から外し(ステップS15)、測距計50によりレーザー照射装置1から対象物(不図示)までの距離を計測させ(ステップS16)、その距離に応じて、対象物にレーザー光を集光させるために必要な副鏡12の前記基準位置からの移動量及び移動方向を演算し(ステップS17)、この演算結果に基づいて副鏡12が光軸AXに沿って移動するように、制御装置70は駆動機構60の駆動制御を行う(ステップS18)。そして、レーザー光源20からレーザー光を射出させる(ステップS19)。射出されたレーザー光は、上記のように対象物への照準動作が終了した反射光学系10(より詳しくは、副鏡12の反射面12a、主鏡11の反射面11aを順に)を介して、対象物に対して正確に照射(集光)される。
3)、メモリ(不図示)をリセットして位置センサ40により検出された副鏡12の位置を(移動時の)基準位置としてメモリに新たに記憶させ(ステップS24)、第1のミラー部材M1を光路上から外し(ステップS25)、測距計50によりこのレーザー照射装置から対象物(不図示)までの距離を計測させ(ステップS26)、その距離に応じて、対象物にレーザー光を集光させるために必要な副鏡12の前記基準位置からの移動量及び移動方向を演算し(ステップS27)、この演算結果に基づいて副鏡12が光軸AXに沿って移動するように、制御装置70は駆動機構60の駆動制御を行う(ステップS28)。そして、レーザー光源20からレーザー光を射出させる(ステップS29)。射出されたレーザー光は、上記のように対象物への照準動作が終了した反射光学系10(より詳しくは、副鏡12の反射面12a、主鏡11の反射面11aを順に)を介して、対象物に対して正確に照射(集光)される。
像の合焦状態にあると判断された場合は、位置センサ40により副鏡12の位置を検出させ(ステップS32)、メモリ(不図示)をリセットして位置センサ40により検出された副鏡12の位置を(移動時の)基準位置としてメモリに新たに記憶させ(ステップS33)、測距計50によりこのレーザー照射装置から対象物(不図示)までの距離を計測させ(ステップS34)、その距離に応じて、対象物にレーザー光を集光させるために必要な副鏡12の前記基準位置からの移動量及び移動方向を演算し(ステップS35)、この演算結果に基づいて副鏡12が光軸AXに沿って移動するように、制御装置70は駆動機構60の駆動制御を行う(ステップS36)。そして、レーザー光源20からレーザー光を射出させる(ステップS37)。射出されたレーザー光は、上記のように対象物への照準動作が終了した反射光学系10(より詳しくは、副鏡12の反射面12a、主鏡11の反射面11aを順に)を介して、対象物に対して正確に照射(集光)される。
に挿入する(ステップS40)。次に、検出系30により反射光学系10からの射出光が平行光であるか否かを検出する(ステップS41)。具体的には、画像処理装置36´により撮像素子35により撮像された照明レチクル32の像の合焦状態に基づいて、コリメータ光学系34からの射出光が平行光であるか否かを検出する。このステップS41において、検出系30によりコリメータ光学系34からの射出光が平行光ではないと検出された場合、すなわち画像処理装置36´により照明レチクル32の像の合焦状態にないと判断された場合は、該検出系30によりコリメータ光学系34からの射出光が平行光であると検出されるまで、コリメータ光学系34が光軸(紙面上下方向)に沿って移動するように、レンズ駆動機構34mの駆動制御を行う(ステップS42)。また、ステップS41において、検出系30によりコリメータ光学系34からの射出光が平行光であると検出された場合、すなわち画像処理装置36により照明レチクル32の像の合焦状態にあると判断された場合は、第3のミラー部材M3を光路上から外し、第2のミラー部材M2を光路上に挿入する(ステップS43)。
、ひいては対象物への集光性能や、平行度の確保に繋げることができる。
10 (カセグレン型反射)光学系
11 主鏡
12 副鏡
20 レーザー光源
30 検出系
40 位置センサ
50 測距計
60 駆動機構
70 制御装置
AX 光軸
Claims (8)
- 光軸に沿って対向配置された主鏡と副鏡とを有する光学系を介して、レーザー光源から射出されたレーザー光を対象物に照射するレーザー照射装置において、
前記光学系からの射出光が平行光であるか否かを検出する検出系と、
前記副鏡の光軸方向の位置を検出する位置センサと、
前記対象物までの距離を計測する測距計と、
前記副鏡を光軸に沿って移動させる駆動機構と、
前記検出系により前記光学系からの射出光が平行光であると検出されるまで前記副鏡を光軸に沿って移動させ、前記検出系により前記光学系からの射出光が平行光であると検出されると、このときに前記位置センサにより検出された前記副鏡の位置を基準位置として記憶し、前記測距計により計測された前記対象物までの距離に応じて、前記対象物にレーザー光を集光させるために必要な前記副鏡の前記基準位置からの移動量及び移動方向を演算し、この演算結果に基づいて前記副鏡が光軸に沿って移動するように、前記駆動機構の駆動制御を行う制御装置とを有することを特徴とするレーザー照射装置。 - 前記検出系は、
検出用光源と、
前記検出用光源からの射出光を透過させる照明レチクルと、
前記照明レチクルを透過した光を平行光に変換するコリメータ光学系と、
前記コリメータ光学系から射出された光を、前記副鏡の反射面へと偏向する第1のミラー部材と、
前記第1のミラー部材により偏向され、前記副鏡の反射面、前記主鏡の反射面を順に経た光を反射して折り返す第2のミラー部材と、
前記第2のミラー部材により反射して折り返され、前記主鏡の反射面、前記副鏡の反射面を順に経て、前記第1のミラー部材により偏向され、前記コリメータ光学系により撮像面上に結像された前記照明レチクルの像を撮像する撮像素子と、
前記撮像素子により撮像された前記照明レチクルの像の合焦状態に基づいて、前記光学系からの射出光が平行光であるか否かを検出する画像処理装置とを有して構成されることを特徴とする請求項1に記載のレーザー照射装置。 - 前記第1のミラー部材及び前記第2のミラー部材は、光路上から挿脱可能に構成されていることを特徴とする請求項2に記載のレーザー照射装置。
- 前記第1のミラー部材は、光路上から挿脱可能に構成され、
前記第2のミラー部材は、光路上に常に固定され、その半径が前記主鏡に形成されている中央開口部の半径より大きく、前記主鏡の外径よりも小さく構成されていることを特徴とする請求項2に記載のレーザー照射装置。 - 前記第1のミラー部材及び前記第2のミラー部材は、光路上に常に固定され、前記レーザー光源から射出されたレーザー光を透過し、前記検出用光源から射出された光を反射するダイクロイックミラーで構成されていることを特徴とする請求項2に記載のレーザー照射装置。
- 前記コリメータ光学系を光軸方向に沿って移動させるレンズ駆動機構と、
前記第1のミラー部材と前記主鏡との間に設けられ、光路上から挿脱可能に構成された第3のミラー部材とを有し、
前記画像処理装置は、前記検出用光源からの射出光が、前記照明レチクルを透過し、前記コリメータ光学系により平行光に変換され、前記第1のミラー部材により偏向され、前記第3のミラー部材で反射して折り返され、前記第1のミラー部材により偏向され、前記
コリメータ光学系により結像され、前記撮像素子により撮像された前記照明レチクルの像の合焦状態に基づいて、前記コリメータ光学系からの射出光が平行光であるか否かを検出するように構成され、
前記レンズ駆動機構は、前記画像処理装置による検出結果に応じて、前記コリメータ光学系からの射出光が平行光となるように、前記コリメータ光学系の位置調整を行うように構成されていることを特徴とする請求項2〜5のいずれか一項に記載のレーザー照射装置。 - 前記コリメータ光学系は、アサーマル(温度無依存)レンズにより構成され、
前記照明レチクル、前記コリメータ光学系及び前記撮像素子は、前記照明レチクルから前記コリメータ光学系までの距離と、前記撮像素子から前記コリメータ光学系までの距離とが一致するように、極低膨張部材製の鏡筒で保持されることにより、
温度変動に係わらず、前記コリメータ光学系から平行光を射出することを特徴とする請求項2〜5のいずれか一項に記載のレーザー照射装置。 - 前記コリメータ光学系は、光軸に沿って対向配置された第1及び第2のアサーマル(温度無依存)ミラーを有し、前記照明レチクルを透過した光を、前記第1のアサーマルミラーの反射面、前記第2のアサーマルミラーの反射面を順に経て、平行光に変換し、前記第1のミラー部材を介して前記光学系から入射した光を、前記第2のアサーマルミラーの反射面、前記第1のアサーマルミラーの反射面を順に経て、前記撮像素子の撮像面上に結像するように構成され、
前記照明レチクル、前記コリメータ光学系及び前記撮像素子は、前記照明レチクルから前記コリメータ光学系までの距離と、前記撮像素子から前記コリメータ光学系までの距離とが一致するように、極低膨張部材製の鏡筒で保持されることにより、
温度変動に係わらず、前記コリメータ光学系から平行光を射出することを特徴とする請求項2〜5のいずれか一項に記載のレーザー照射装置。
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2010
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