JP2008128744A - 距離測定装置および距離測定方法 - Google Patents
距離測定装置および距離測定方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2008128744A JP2008128744A JP2006312261A JP2006312261A JP2008128744A JP 2008128744 A JP2008128744 A JP 2008128744A JP 2006312261 A JP2006312261 A JP 2006312261A JP 2006312261 A JP2006312261 A JP 2006312261A JP 2008128744 A JP2008128744 A JP 2008128744A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- irradiation
- light
- distance measuring
- measurement target
- reflected light
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Measurement Of Optical Distance (AREA)
Abstract
【課題】変位感度を減少させること無く、スペックルの影響を大幅に低減することができる距離測定装置および距離測定方法を提供する。
【解決手段】焦点面において集光した照射光を照射スポットSとして測定対象面Waに照射する照射光学系11と、測定対象面Waから反射した反射光を共焦点面において集光し、集光した反射光の共焦点面に設置されたピンホール36を介して光検出器13に入射させる反射光学系12と、光検出器13に入射した反射光に基づいて変位信号Esnを検出し、変位信号Esnに基づいて測定対象面Waからの距離を測定する距離測定手段と、を備え、測定対象面Waに照射する照射スポットSを楕円状とした。
【選択図】図2
【解決手段】焦点面において集光した照射光を照射スポットSとして測定対象面Waに照射する照射光学系11と、測定対象面Waから反射した反射光を共焦点面において集光し、集光した反射光の共焦点面に設置されたピンホール36を介して光検出器13に入射させる反射光学系12と、光検出器13に入射した反射光に基づいて変位信号Esnを検出し、変位信号Esnに基づいて測定対象面Waからの距離を測定する距離測定手段と、を備え、測定対象面Waに照射する照射スポットSを楕円状とした。
【選択図】図2
Description
本発明は、測定対象面から反射した反射光に基づいて、測定対象面からの距離を測定する距離測定装置および距離測定方法に関するものである。
従来、この種の距離測定装置として、対物レンズにより、焦点面において集光したレーザー等の照射光を、円形の照射スポットとして測定対象面に照射し、また、測定対象面から反射した反射光を、共焦点面に設けたピンホールを介してフォトダイオードにより受光し、受光した反射光に基づいて測定対象面からの距離を測定するものが知られている(特許文献1参照)。
特開平7−113617号公報
しかしながら、上記の距離測定装置において、円形の照射スポットを微小凹凸のある測定対象面に照射すると、スペックルが発生する。このため、共焦点面において、微小凹凸による光の干渉、すなわちスペックルが発生し、対物レンズの焦点面に測定対象面がある場合でも、ピンホールを通過する反射光の光量(変位信号)が最大(ピーク値)になるとは限らない。これにより、測定対象面から距離を測定するためのピーク値を適切に検出することができず、距離の測定に誤差が生じてしまう問題があった。このとき、スペックルの影響を低減すべく、照射スポット径を大きくし、スペックルサイズを縮小することが考えられるが、照射スポット径の拡大は、同時に変位感度をも減少させてしまう。
本発明は、変位感度を減少させること無く、スペックルの影響を大幅に低減することができる距離測定装置および距離測定方法を提供することを課題とする。
本発明の距離測定装置は、焦点面において集光した照射光を照射スポットとして測定対象面に照射する照射光学系と、測定対象面から反射した反射光を共焦点面において集光し、集光した反射光の共焦点面に設置されたピンホールを介して光検出器に入射させる反射光学系と、光検出器に入射した反射光に基づいて変位信号を検出し、変位信号に基づいて測定対象面からの距離を測定する距離測定手段と、を備え、測定対象面に照射する照射スポットを楕円状としたことを特徴とする。
また、本発明の距離測定方法は、焦点面において集光した照射光を照射スポットとして測定対象面に照射すると共に、測定対象面から反射した反射光を共焦点面において集光し、集光した反射光の共焦点面に設置されたピンホールを介して入射した反射光に基づいて、測定対象面からの距離を測定する距離測定方法において、測定対象面に照射する照射スポットを楕円状としたことを特徴とする。
この構成によれば、照射スポットを楕円状としたことにより、その長径方向において、照射スポットのサイズが拡大され、これに伴い、スペックルサイズが縮小されるため、スペックルの影響を低減することができる。一方、短径方向においては、通常の円形の照射スポットと同じ大きさであるため、変位感度を維持しつつ良好に変位信号を検出することができる。これにより、変位感度を減少させること無く、スペックルの影響を大幅に低減することができる。なお、照射光は、レーザー光でも、白色光でもよい。
この場合、ピンホールをスリット形状としたことが、好ましい。
また、この場合、スリット形状のピンホールは、共焦点面における楕円状の反射光の長径方向と同方向に延在していることが、好ましい。
この構成によれば、照射スポットが楕円状の場合、共焦点面における反射光の形状も楕円状となる。このとき、スリット状のピンホールを、楕円状の反射光の長径方向と同方向に配置することで、光量の調整を容易に行うことができる。すなわち、反射光の光量を調整する際、楕円状の反射光の長径方向において、ピンホールを移動させる必要が無く、短径方向にのみに移動させればよい。
この場合、楕円状の照射スポットにおける短径:長径の比率が、1:4〜100であることが、好ましい。
この構成によれば、測定対象面からの距離を測定する変位計として用いる場合には、スペックルによる影響を低減するに必要十分な比率とすることができる。
また、この場合、比率が、1:5であることが、最適である。
この構成によれば、長径方向においてスポット径を小さくすることができるため、局所的な測定対象面からの距離を測定する際には、スペックルによる影響を低減するに最適な比率とすることができる。
この場合、照射光学系は、断面円形の照射光を、楕円状の照射スポットに変形させるスポット変形手段を有していることが、好ましい。
この構成によれば、照射光の断面が円形である場合でも、照射スポットを適切に楕円状にすることができる。
この場合、スポット変形手段は、照射光に臨んだシリンドリカルレンズであることが、好ましい。
この構成によれば、簡易な構成で、照射スポットを楕円状とすることができ、また、光量を低減させることも無い。
この場合、スポット変形手段は、照射光に臨んだスリットであることが、好ましい。
この構成によれば、簡易な構成で、照射スポットを楕円状とすることができる。
この場合、測定対象面に照射された照射スポットを、光軸方向に振動させるスポット振動手段を、更に備えたことが、好ましい。
この構成によれば、照射スポットを光軸方向に振動させることで、測定対象面に焦点面を瞬間的に合わせて、楕円状の照射スポットを照射することができる。
この場合、照射光がレーザー光であることが、好ましい。
この構成によれば、白色光を用いるのに比して、より小さい照射スポットを測定対象物に照射することができ、また、単色光であるため、色補正を行なう必要が無い。
この場合、反射光を2方向に分岐させ、分岐した一方の反射光をピンホールに入射させると共に、分岐した他方の反射光を参照光として検出し、検出した参照光に基づいて変位信号の誤差を補正する変位信号誤差補正手段を、更に備えたことが、好ましい。
この構成によれば、照射光の光量が変動したり、反射光の局所的な干渉により光強度が変わったり、また、反射率の影響があったとしても、参照光に基づいて変位信号の誤差を補正することより、これらの影響を除去することができる。
以上の構成によれば、楕円状の照射スポットとすることで、測定誤差を抑制することができ、測定対象面からの距離をより精度良く測定することができる。
以下、添付の図面を参照して、本実施形態に係る距離測定装置を表面形状測定装置に適用した場合について説明する。この表面形状測定装置は、いわゆる共焦点方式のものであり、焦点面において集光した照射光を照射スポットとして測定対象面に照射すると共に、測定対象面から反射した反射光を共焦点面において集光し、共焦点面に配置したピンホールを介して入射した反射光に基づいて、測定対象面の表面形状を測定するものである。
図1に示すように、表面形状測定装置1は、照射光としてレーザー光を出射するレーザー発振器10と、出射したレーザー光を試料Wの測定対象面Waに向かって集光する照射光学系11と、試料Wの測定対象面Waから反射した反射光を集光し、後述する光検出器13に入射させる反射光学系12と、入射した反射光を検出する光検出器13と、検出した反射光に基づいて得られた変位信号Esnの誤差を補正する変位信号誤差補正手段14と、試料WをX軸方向に移動させるX軸テーブル15と、後述する対物レンズ35を光軸方向(Z軸方向)に振動させるピエゾZ軸テーブル(スポット振動手段)16と、これらを統括制御するパソコン17と、を備えている。なお、本実施形態では、照射光としてレーザー光を用いたが、白色光であってもよい。
レーザー発振器10は、出射するレーザー光の断面が円形となっており、レーザー光を試料Wの測定対象面Waに向かって照射している。すなわち、レーザー光の光軸は、試料に向かって一直線となっている。また、レーザー光の波長は、例えば、λ=660nm、ビーム径は、例えば、8mmとなっている。このため、照射光をコヒーレントなレーザー光にすることにより、白色光の場合に比べ、より小さい照射スポットSとすることができ、また、単色光であるため、色補正を行なう必要もない。
X軸テーブル15は、0.01μm単位で移動させることが可能な精密テーブルであり、X軸ドライバ20を介してパソコン17に接続され、パソコン17の制御により、載置した試料WをX軸方向に移動させる。なお、詳細は後述するが、試料Wを移動するX軸方向は、照射される楕円状の照射スポットSの短径方向である。
ここで、照射光学系11および反射光学系12において、照射光および反射光は重複した光路をたどっているため、照射光学系11および反射光学系12は重複した構成となっている。照射光学系11は、レーザー発振器10の光軸方向の下流側に設けられ、レーザー発振器10から照射されたレーザー光を平行光にするためのコリメータレンズ30と、コリメータレンズ30の下流側に設けられ、焦点面における照射スポットSを楕円状にするためのシリンドリカルレンズ(スポット変形手段:f=500mm)31と、シリンドリカルレンズ31の下流側に設けられ、照射光を透過させる一方で試料Wからの反射光を後述する集光レンズ32に向けて直角に反射させる偏光ビームスプリッタ33と、試料からの反射光をレーザー発振器10に戻さないための1/4波長板34と、試料Wに照射光の焦点面を合わせるための対物レンズ(f=2.5mm、NA=0.73)35と、を有している。
反射光学系12は、対物レンズ35、1/4波長板34および偏光ビームスプリッタ33を介して、試料Wから反射された反射光を集光して光検出器13に入射させる集光レンズ(f=50mm)32と、集光レンズ32の共焦点面に配置されたスリット状のピンホール36と、を有している。
図2に示すように、レーザー発振器10からレーザー光が照射されると、レーザー光は、コリメータレンズ30により平行光となる。この後、レーザー光が、シリンドリカルレンズ31に入射すると、図示Y軸方向においてのみ照射光を集光する。そして、偏光ビームスプリッタ33および1/4波長板34を介して、対物レンズ35により照射光を集光すると、試料Wの測定対象面Waにおいて、X軸方向の照射光は焦点となるが、Y軸方向の照射光は非焦点(デフォーカス)となるため、測定対象面Waに照射された照射スポットSは、楕円状となる。このとき、シリンドリカルレンズ31を用いて楕円状の照射スポットSとしたため、レーザー光の光量を低減させることが無い。この照射スポットSは、長径方向が5μm、短径方向が1μmとなっており、短径:長径の比率が1:5となっている。この比率は、測定対象面Waの表面形状を測定するにあたり、照射光学系11に組み込んだ対物レンズ35の開口数(NA)が、NA=0.73の場合において、特に最適である。ここで、開口数がこれよりも大きい場合は、開口数に合わせて比率を約1:4〜1:5、一方、開口数がこれよりも小さい場合は、開口数に合わせて比率を約1:5〜1:7とすることで、適切な照射スポットSを測定対象面Waに照射することができる。なお、上記の比率は、表面形状を測定するに最適な比率であり、単に測定対象面Waからの距離を測定する場合は、比率を1:4〜1:100の間に適宜設定してもよい。
一方、照射したレーザー光が、試料Wの測定対象面Waから反射されると、反射光は、対物レンズ35および1/4波長板34を介して、偏光ビームスプリッタ33に入射する。すると、反射光は、集光レンズ32に向けて直角に反射され、反射光は、集光レンズ32により集光される。このとき、集光レンズ32の共焦点面において、集光された反射光の断面は、上記と同様に楕円状になる。
ここで、共焦点面に配置されたスリット状のピンホール36は、楕円状の反射光の長径方向と同方向となるようスリットが形成されている。このため、ピンホール36を介して入射した反射光は、余分な反射光、例えば、迷光等をほぼ遮った状態で光検出器13に入射する。このスリット状のピンホール36を用いることで、反射光の共焦点面における位置合わせを容易に行うことができる。すなわち、楕円状の反射光に対し、その長径方向において位置合わせを行う必要が無く、短径方向においてのみ位置合わせを行なえばよい。なお、通常の円形のピンホールを用いてもよい。
光検出器13は、反射光を検出する第1フォトダイオード40であり、反射光を受光した第1フォトダイオード40の出力信号を、変位信号としてパソコン17へ出力する。
変位信号誤差補正手段14は、ピンホール36と集光レンズ32との間に介設され、反射光を分岐させるためのビームスプリッタ45と、分岐した反射光を参照光として検出する第2フォトダイオード46と、を有しており、第2フォトダイオード46の出力信号を、参照変位信号Esnとしてパソコン17へ出力し、この出力信号に基づいてパソコン17が演算処理を行うことで、変位信号Esnを補正した補正変位信号Esnを算出する。
ピエゾZ軸テーブル16は、対物レンズ35を保持し、これをピエゾ素子(圧電素子)により光軸方向に所定の振幅で振動させるものであり、ピエゾドライバ21を介してパソコン17に接続されている。すなわち、パソコン17の制御により対物レンズ35を振動させることで、対物レンズ35の焦点面を前後に位置ズレさせ、これに伴い、共焦点面も前後に位置ズレさせる。そして、測定対象面Waに照射光の焦点面が合った場合は、共焦点面において、ピンホール36に反射光が適切に入射するため、光検出器13から検出される受光量が最大となり、反射光に基づいて検出される変位信号Esnがピーク値となる。つまり、このピーク値における対物レンズ35の位置を、パソコン17によりサンプリングしてゆくことで、表面の形状を測定する。
パソコン17は、第1フォトダイオード40から入力された変位信号Esnを、第2フォトダイオード46から入力された参照変位信号Erに基づいて補正した補正変位信号Es(=Esn−Er)を演算する変位信号補正演算部50と、X軸テーブル15を移動制御するX軸テーブル制御部51と、ピエゾZ軸テーブル16の振動を制御するZ軸テーブル制御部52と、を有している。
ここで、本実施形態の表面形状測定装置1により、試料Wの表面形状を測定する一連の動作について説明する。レーザー発振器10からレーザー光が照射されると、照射光学系11により、試料Wの測定対象面Waに楕円状の照射スポットSが照射されると共に、ピエゾZ軸テーブル16により対物レンズ35を光軸方向に振動させる。すると、反射光学系12を介して第1・第2フォトダイオード40、46に入射した反射光に基づいて、パソコン17が補正変位信号Esnを算出し、補正変位信号Esnのピーク値における対物レンズ35の位置をサンプリングする。この後、X軸テーブル制御部51によりX軸テーブル15を照射スポットSの短径方向に移動させ、移動後の試料Wの測定対象面Waに照射スポットSを照射し、上記と同様に、補正変位信号Esnのピーク値における対物レンズ35の位置をサンプリングする。そして、サンプリングした複数の対物レンズ35の位置から試料Wの表面形状を測定する。
次に、図3を参照して、照射スポットSが円形の場合と楕円状の場合との光強度(変位信号)の変位特性についての実験結果を比較する。図3(a)は、照射スポットSが円形の場合の光強度の変位特性であり、図3(b)は、照射スポットSが楕円状の場合の光強度の変位特性である。また、横軸は、試料の測定対象面における基準面を0としたときの前後の距離であり、縦軸は、光強度である。図3(b)においては、X軸方向の複数の位置における光強度の変位特性が、放物線を描いているため、ピーク値を容易に特定することができるが、図3(a)においては、光強度の変位特性が、ピーク値付近において激しく変動しており、ある位置においては、複数のピーク値が現れたものもある。これらを比較するに、照射スポットSを楕円状にすることで、スペックルの影響を大幅に低減し、変位特性のピーク値が良好に得られることが確認できた。
以上の構成によれば、照射スポットSを楕円状としたことにより、その長径方向において、照射スポットSのサイズが拡大され、これに伴い、スペックルサイズが縮小されるため、スペックルの影響を低減することができる。一方、短径方向においては、通常の円形の照射スポットSと同じ大きさであるため、変位感度を維持しつつ良好に変位信号Esnを検出することができる。これにより、変位感度を減少させること無く、スペックルの影響を大幅に低減することができる。
なお、本実施形態においては、レーザー発振器10から出射されるレーザー光を断面円形とし、シリンドリカルレンズ31により楕円状の照射スポットSにしたが、シリンドリカルレンズ31に代えて、図4に示すように、スリット60を介設してもよい。この構成によれば、スリット60を通過した照射光は、楕円状の照射スポットSとして測定対象面Waに照射される。つまり、スリット60を通過した照射光が対物レンズ35により集光されると、焦点面において、その短手方向は回折ボケとなり、一方、その長手方向は適切に集光されるため、照射スポットSは、対物レンズ35に入射した照射光の長手方向に直交するよう楕円状となる。この構成において、スリット60によりレーザー光の光量が減少するため変位感度はやや落ちてしまうが、スペックルの影響を大幅に低減することができる。また、本実施形態では、距離測定装置を表面形状測定装置に適用した場合について説明したが、単に距離測定装置として用いても良い。
次に、図5を参照して、第2実施形態に係る表面形状測定装置1について説明する。なお、重複した記載を避けるため、異なる部分についてのみ説明する。この表面形状測定装置1は、照射光学系11に組み込まれたシリンドリカルレンズ31を省くと共に、レーザー発振器10から出射されるレーザー光を断面楕円状としたものである。この構成において、照射したレーザー光の断面は、すでに楕円状になっているため、これを対物レンズ35により集光すると、上記と同様に、その焦点面において楕円状の照射スポットSとなる。この構成によれば、レーザー光をそのまま集光するため、光量が減少することなく、スペックルの影響を大幅に低減することができる。
1…表面形状測定装置 11…照射光学系 12…反射光学系 13…光検出器 14…変位信号誤差補正手段 31…シリンドリカルレンズ 36…ピンホール 50…変位信号補正演算部 60…スリット W…試料 Wa…測定対象面 S…照射スポット Esn…変位信号
Claims (12)
- 焦点面において集光した照射光を照射スポットとして測定対象面に照射する照射光学系と、
前記測定対象面から反射した反射光を共焦点面において集光し、集光した前記反射光の共焦点面に設置されたピンホールを介して光検出器に入射させる反射光学系と、
前記光検出器に入射した反射光に基づいて変位信号を検出し、前記変位信号に基づいて前記測定対象面からの距離を測定する距離測定手段と、を備え、
前記測定対象面に照射する照射スポットを楕円状としたことを特徴とする距離測定装置。 - 前記ピンホールをスリット形状としたことを特徴とする請求項1に記載の距離測定装置。
- スリット形状の前記ピンホールは、共焦点面における楕円状の前記反射光の長径方向と同方向に延在していることを特徴とする請求項2に記載の距離測定装置。
- 楕円状の前記照射スポットにおける短径:長径の比率が、1:4〜100であることを特徴とする請求項1ないし3のいずれかに記載の距離測定装置。
- 前記比率が、1:5であることを特徴とする請求項4に記載の距離測定装置。
- 前記照射光学系は、断面円形の前記照射光を、楕円状の前記照射スポットに変形させるスポット変形手段を有していることを特徴とする請求項1ないし5のいずれかに記載の距離測定装置。
- 前記スポット変形手段は、前記照射光に臨んだシリンドリカルレンズであることを特徴とする請求項6に記載の距離測定装置。
- 前記スポット変形手段は、前記照射光に臨んだスリットであることを特徴とする請求項6に記載の距離測定装置。
- 前記測定対象面に照射された前記照射スポットを、光軸方向に振動させるスポット振動手段を、更に備えたことを特徴とする請求項1ないし8のいずれかに記載の距離測定装置。
- 前記照射光がレーザー光であることを特徴とする請求項1ないし9のいずれかに記載の距離測定装置。
- 前記反射光を2方向に分岐させ、分岐した一方の前記反射光を前記ピンホールに入射させると共に、分岐した他方の前記反射光を参照光として検出し、検出した前記参照光に基づいて前記変位信号の誤差を補正する変位信号誤差補正手段を、更に備えたことを特徴とする請求項1ないし10のいずれかに記載の距離測定装置。
- 焦点面において集光した照射光を照射スポットとして測定対象面に照射すると共に、前記測定対象面から反射した反射光を共焦点面において集光し、集光した前記反射光の共焦点面に設置されたピンホールを介して入射した反射光に基づいて、前記測定対象面からの距離を測定する距離測定方法において、
前記測定対象面に照射する照射スポットを楕円状としたことを特徴とする距離測定方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006312261A JP2008128744A (ja) | 2006-11-17 | 2006-11-17 | 距離測定装置および距離測定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006312261A JP2008128744A (ja) | 2006-11-17 | 2006-11-17 | 距離測定装置および距離測定方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008128744A true JP2008128744A (ja) | 2008-06-05 |
Family
ID=39554725
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006312261A Pending JP2008128744A (ja) | 2006-11-17 | 2006-11-17 | 距離測定装置および距離測定方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2008128744A (ja) |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010101622A (ja) * | 2008-10-21 | 2010-05-06 | Tohoku Univ | 角度センサ |
JP2010216880A (ja) * | 2009-03-13 | 2010-09-30 | Omron Corp | 変位センサ |
CN102768024A (zh) * | 2012-07-05 | 2012-11-07 | 哈尔滨工业大学 | 一种基于分离反射镜组的共焦测量装置 |
WO2014005531A1 (en) * | 2012-07-05 | 2014-01-09 | Harbin Institute Of Technology | Confocal measurement device utilizing elliptical mirror based illumination |
WO2020059677A1 (ja) * | 2018-09-18 | 2020-03-26 | オムロン株式会社 | 光学計測装置 |
JP2020096159A (ja) * | 2018-12-05 | 2020-06-18 | 株式会社テクノホロン | 破損検出機構 |
US20210161408A1 (en) * | 2018-04-24 | 2021-06-03 | Sony Corporation | Scattered light signal measuring apparatus and information processing apparatus |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001124530A (ja) * | 1999-10-27 | 2001-05-11 | Hitachi Ltd | 立体形状検出方法及び装置、並びに検査方法及び装置 |
JP2003083723A (ja) * | 2001-09-14 | 2003-03-19 | Minolta Co Ltd | 3次元形状測定光学系 |
-
2006
- 2006-11-17 JP JP2006312261A patent/JP2008128744A/ja active Pending
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001124530A (ja) * | 1999-10-27 | 2001-05-11 | Hitachi Ltd | 立体形状検出方法及び装置、並びに検査方法及び装置 |
JP2003083723A (ja) * | 2001-09-14 | 2003-03-19 | Minolta Co Ltd | 3次元形状測定光学系 |
Cited By (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010101622A (ja) * | 2008-10-21 | 2010-05-06 | Tohoku Univ | 角度センサ |
DE102010000468B4 (de) * | 2009-03-13 | 2016-12-29 | Omron Corporation | Versetzungssensor |
JP2010216880A (ja) * | 2009-03-13 | 2010-09-30 | Omron Corp | 変位センサ |
US8111407B2 (en) | 2009-03-13 | 2012-02-07 | Omron Corporation | Displacement sensor |
CN102768024A (zh) * | 2012-07-05 | 2012-11-07 | 哈尔滨工业大学 | 一种基于分离反射镜组的共焦测量装置 |
GB2517866A (en) * | 2012-07-05 | 2015-03-04 | Harbin Inst Of Technology | Confocal measurement device utilizing elliptical mirror based illumination |
WO2014005531A1 (en) * | 2012-07-05 | 2014-01-09 | Harbin Institute Of Technology | Confocal measurement device utilizing elliptical mirror based illumination |
GB2517866B (en) * | 2012-07-05 | 2018-05-23 | Harbin Inst Technology | Confocal measurement device utilizing elliptical mirror based illumination |
US20210161408A1 (en) * | 2018-04-24 | 2021-06-03 | Sony Corporation | Scattered light signal measuring apparatus and information processing apparatus |
WO2020059677A1 (ja) * | 2018-09-18 | 2020-03-26 | オムロン株式会社 | 光学計測装置 |
JPWO2020059677A1 (ja) * | 2018-09-18 | 2021-11-25 | オムロン株式会社 | 光学計測装置 |
JP7205781B2 (ja) | 2018-09-18 | 2023-01-17 | オムロン株式会社 | 光学計測装置 |
JP2020096159A (ja) * | 2018-12-05 | 2020-06-18 | 株式会社テクノホロン | 破損検出機構 |
CN112123208A (zh) * | 2018-12-05 | 2020-12-25 | 泰克霍隆株式会社 | 破损检测机构 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5988643B2 (ja) | 計測装置、計測方法及び光学部品の製造方法 | |
WO2015137004A1 (ja) | レーザーダイシング装置及びダイシング方法 | |
TWI743200B (zh) | 用於最佳化以成像為基礎之疊對度量之聚焦的系統及方法 | |
JP5072337B2 (ja) | 光学式変位センサ及びその調整方法 | |
JP2008128744A (ja) | 距離測定装置および距離測定方法 | |
JP2010151745A (ja) | 変位センサ | |
TW201522901A (zh) | 位移感測器 | |
JP6288280B2 (ja) | 表面形状測定装置 | |
JP5579109B2 (ja) | エッジ検出装置 | |
JP6794458B2 (ja) | スキャン反射性ミラー監視システム及び方法、フォーカス・レベリングシステム | |
JP2010216880A (ja) | 変位センサ | |
JP4476760B2 (ja) | 光学測定装置及び光ピックアップレンズ調整装置 | |
KR101620594B1 (ko) | 다기능 분광장치 | |
WO2019187422A1 (ja) | 測距ユニット及び光照射装置 | |
JP2008310107A (ja) | 合焦装置及びこれを備えた加工装置 | |
JP4037280B2 (ja) | 光学測定装置 | |
JP2005198851A (ja) | 干渉式眼計測装置 | |
JP2012189546A (ja) | 変位センサ | |
JP2015004600A (ja) | 偏芯測定装置、偏芯測定方法およびレンズの製造方法 | |
JP2020071414A (ja) | コリメート調整用測定装置及びコリメート光学系の調整方法 | |
JP4130599B2 (ja) | レーザ光照射装置 | |
JP5459619B2 (ja) | 偏芯測定装置 | |
JP7411887B2 (ja) | レーザー加工装置、及びレーザー加工装置の焦点制御方法 | |
JP2010164354A (ja) | オートコリメータ | |
KR102116618B1 (ko) | 광학 시편 표면 검사 장치 및 그 제어 방법 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Effective date: 20090605 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20111019 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Effective date: 20111025 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 |
|
A02 | Decision of refusal |
Effective date: 20120515 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 |