JP2016183576A - 真空排気システム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】真空排気システムは、分岐管6に接続された真空ポンプ10と、バックアップ管8に接続されたバックアップポンプ12と、開閉弁15およびバックアップ弁16の開閉動作を制御する動作制御部20とを備える。動作制御部20は、真空ポンプ10の回転速度がしきい値よりも低いときに、バックアップ弁16を開け、開閉弁15を閉じる。真空ポンプ10の回転速度がしきい値に等しいときの吸込側圧力は、吸込側圧力の異常上昇を示す圧力上限値よりも低い。
【選択図】図1
Description
本発明の好ましい態様は、前記真空ポンプの回転速度が前記しきい値以上であるときは、前記バックアップポンプは第1の回転速度で運転し、前記真空ポンプの回転速度が前記しきい値よりも低いときは、前記バックアップポンプは前記第1の回転速度よりも高い第2の回転速度で運転することを特徴とする。
本発明の好ましい態様は、前記動作制御部は、前記バックアップ弁を開けた後であって前記開閉弁を閉じる前に、前記真空ポンプの回転速度を前記しきい値と再度比較し、前記真空ポンプの回転速度が前記しきい値よりも低い場合には、前記開閉弁を閉じることを特徴とする。
5 吸込管
6,6A,6B 分岐管
8 バックアップ管
10,10A,10B 真空ポンプ
12 バックアップポンプ
15,15A,15B 開閉弁
16 バックアップ弁
20 動作制御部
21 圧力センサ
25 ブースタポンプ
Claims (5)
- 吸込管と、
前記吸込管から分岐した分岐管およびバックアップ管と、
前記分岐管および前記バックアップ管にそれぞれ取り付けられた開閉弁およびバックアップ弁と、
前記分岐管に接続された真空ポンプと、
前記バックアップ管に接続されたバックアップポンプと、
前記開閉弁および前記バックアップ弁の開閉動作を制御する動作制御部とを備え、
前記動作制御部は、前記真空ポンプの回転速度をしきい値と比較し、前記真空ポンプの回転速度が前記しきい値よりも低いときに、前記バックアップ弁を開け、前記開閉弁を閉じるように構成され、
前記真空ポンプの回転速度が前記しきい値に等しいときの前記吸込側圧力は、前記吸込側圧力の異常上昇を示す圧力上限値よりも低いことを特徴とする真空排気システム。 - 前記真空ポンプは、その回転速度が予め設定された速度下限値に達した場合は、速度低下信号を前記動作制御部に送信するように構成されており、
前記しきい値は前記速度下限値よりも大きいことを特徴とする請求項1に記載の真空排気システム。 - 前記真空ポンプの回転速度が前記しきい値以上であるときは、前記バックアップポンプは第1の回転速度で運転し、前記真空ポンプの回転速度が前記しきい値よりも低いときは、前記バックアップポンプは前記第1の回転速度よりも高い第2の回転速度で運転することを特徴とする請求項1に記載の真空排気システム。
- 前記動作制御部は、前記バックアップ弁を開けた後であって前記開閉弁を閉じる前に、前記真空ポンプの回転速度を前記しきい値と再度比較し、前記真空ポンプの回転速度が前記しきい値よりも低い場合には、前記開閉弁を閉じることを特徴とする請求項1に記載の真空排気システム。
- 吸込管と、
前記吸込管から分岐した分岐管およびバックアップ管と、
前記分岐管および前記バックアップ管にそれぞれ取り付けられた開閉弁およびバックアップ弁と、
前記分岐管に接続された真空ポンプと、
前記バックアップ管に接続されたバックアップポンプと、
前記開閉弁および前記バックアップ弁の開閉動作を制御する動作制御部とを備え、
前記動作制御部は、前記真空ポンプの吸込側圧力がしきい値に達したときに、前記バックアップ弁を開け、前記開閉弁を閉じるように構成され、
前記しきい値は、前記吸込側圧力の異常上昇を示す圧力上限値よりも低いことを特徴とする真空排気システム。
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2015
- 2015-03-25 JP JP2015063238A patent/JP6594638B2/ja active Active
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