JP2016182537A - 1,2,3−トリアゾール化合物の処理方法 - Google Patents
1,2,3−トリアゾール化合物の処理方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2016182537A JP2016182537A JP2015063088A JP2015063088A JP2016182537A JP 2016182537 A JP2016182537 A JP 2016182537A JP 2015063088 A JP2015063088 A JP 2015063088A JP 2015063088 A JP2015063088 A JP 2015063088A JP 2016182537 A JP2016182537 A JP 2016182537A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- triazole
- triazole compound
- gas
- compound
- group
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- -1 1,2,3-triazole compound Chemical class 0.000 title claims abstract description 47
- 238000003672 processing method Methods 0.000 title claims abstract description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 28
- QWENRTYMTSOGBR-UHFFFAOYSA-N 1H-1,2,3-Triazole Chemical compound C=1C=NNN=1 QWENRTYMTSOGBR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 22
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 claims abstract description 18
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 17
- 239000003463 adsorbent Substances 0.000 claims abstract description 15
- 229910021536 Zeolite Inorganic materials 0.000 claims description 9
- HNPSIPDUKPIQMN-UHFFFAOYSA-N dioxosilane;oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical group O=[Si]=O.O=[Al]O[Al]=O HNPSIPDUKPIQMN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 9
- 239000010457 zeolite Substances 0.000 claims description 9
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 4
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 25
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 11
- QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-N Acetic acid Chemical compound CC(O)=O QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- 125000004432 carbon atom Chemical group C* 0.000 description 9
- 238000005256 carbonitriding Methods 0.000 description 7
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 7
- MJXUZAHRGOEWSQ-UHFFFAOYSA-N trimethyl(triazol-1-yl)silane Chemical compound C[Si](C)(C)N1C=CN=N1 MJXUZAHRGOEWSQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- SYOANZBNGDEJFH-UHFFFAOYSA-N 2,5-dihydro-1h-triazole Chemical compound C1NNN=C1 SYOANZBNGDEJFH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 5
- 125000006165 cyclic alkyl group Chemical group 0.000 description 5
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N Ammonia Chemical compound N QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000002845 discoloration Methods 0.000 description 4
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 4
- 125000004665 trialkylsilyl group Chemical group 0.000 description 4
- CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N Acetone Chemical compound CC(C)=O CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- ZMANZCXQSJIPKH-UHFFFAOYSA-N Triethylamine Chemical compound CCN(CC)CC ZMANZCXQSJIPKH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- OBRMNDMBJQTZHV-UHFFFAOYSA-N cresol red Chemical compound C1=C(O)C(C)=CC(C2(C3=CC=CC=C3S(=O)(=O)O2)C=2C=C(C)C(O)=CC=2)=C1 OBRMNDMBJQTZHV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 description 3
- 125000004435 hydrogen atom Chemical group [H]* 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- VLKZOEOYAKHREP-UHFFFAOYSA-N n-Hexane Chemical compound CCCCCC VLKZOEOYAKHREP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N Carbon dioxide Chemical compound O=C=O CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004115 Sodium Silicate Substances 0.000 description 2
- RAHZWNYVWXNFOC-UHFFFAOYSA-N Sulphur dioxide Chemical compound O=S=O RAHZWNYVWXNFOC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 125000000217 alkyl group Chemical group 0.000 description 2
- 229910021529 ammonia Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 2
- 125000001559 cyclopropyl group Chemical group [H]C1([H])C([H])([H])C1([H])* 0.000 description 2
- 125000001495 ethyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 description 2
- 150000002430 hydrocarbons Chemical class 0.000 description 2
- LELOWRISYMNNSU-UHFFFAOYSA-N hydrogen cyanide Chemical compound N#C LELOWRISYMNNSU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 125000001449 isopropyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])(*)C([H])([H])[H] 0.000 description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 150000005309 metal halides Chemical class 0.000 description 2
- 125000002496 methyl group Chemical group [H]C([H])([H])* 0.000 description 2
- 125000004123 n-propyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 description 2
- 150000002894 organic compounds Chemical class 0.000 description 2
- NTHWMYGWWRZVTN-UHFFFAOYSA-N sodium silicate Chemical compound [Na+].[Na+].[O-][Si]([O-])=O NTHWMYGWWRZVTN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052911 sodium silicate Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 2
- 150000000177 1,2,3-triazoles Chemical class 0.000 description 1
- VVELGWMBFXAFTA-UHFFFAOYSA-N 1,4,5-triethyltriazole Chemical compound CCC=1N=NN(CC)C=1CC VVELGWMBFXAFTA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QMPIAFREABRPEC-UHFFFAOYSA-N 1,4,5-trimethyltriazole Chemical compound CC=1N=NN(C)C=1C QMPIAFREABRPEC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FEXQLBQZXVUIGR-UHFFFAOYSA-N 1,4-diethyltriazole Chemical compound CCC1=CN(CC)N=N1 FEXQLBQZXVUIGR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OJAWOLWHEQUTDE-UHFFFAOYSA-N 1,4-dimethyltriazole Chemical compound CC1=CN(C)N=N1 OJAWOLWHEQUTDE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JWAWEQBUZOGIBZ-UHFFFAOYSA-N 1-methyltriazole Chemical compound CN1C=CN=N1 JWAWEQBUZOGIBZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CPBJMKMKNCRKQB-UHFFFAOYSA-N 3,3-bis(4-hydroxy-3-methylphenyl)-2-benzofuran-1-one Chemical compound C1=C(O)C(C)=CC(C2(C3=CC=CC=C3C(=O)O2)C=2C=C(C)C(O)=CC=2)=C1 CPBJMKMKNCRKQB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZPLCXHWYPWVJDL-UHFFFAOYSA-N 4-[(4-hydroxyphenyl)methyl]-1,3-oxazolidin-2-one Chemical compound C1=CC(O)=CC=C1CC1NC(=O)OC1 ZPLCXHWYPWVJDL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004215 Carbon black (E152) Substances 0.000 description 1
- BELBBZDIHDAJOR-UHFFFAOYSA-N Phenolsulfonephthalein Chemical compound C1=CC(O)=CC=C1C1(C=2C=CC(O)=CC=2)C2=CC=CC=C2S(=O)(=O)O1 BELBBZDIHDAJOR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052783 alkali metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052910 alkali metal silicate Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000001340 alkali metals Chemical class 0.000 description 1
- 229910052784 alkaline earth metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000001342 alkaline earth metals Chemical class 0.000 description 1
- HSFWRNGVRCDJHI-UHFFFAOYSA-N alpha-acetylene Natural products C#C HSFWRNGVRCDJHI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000003118 aryl group Chemical group 0.000 description 1
- 230000005587 bubbling Effects 0.000 description 1
- 239000001569 carbon dioxide Substances 0.000 description 1
- 229910002092 carbon dioxide Inorganic materials 0.000 description 1
- QGJOPFRUJISHPQ-NJFSPNSNSA-N carbon disulfide-14c Chemical compound S=[14C]=S QGJOPFRUJISHPQ-NJFSPNSNSA-N 0.000 description 1
- 125000001995 cyclobutyl group Chemical group [H]C1([H])C([H])([H])C([H])(*)C1([H])[H] 0.000 description 1
- 125000001511 cyclopentyl group Chemical group [H]C1([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])(*)C1([H])[H] 0.000 description 1
- 238000000354 decomposition reaction Methods 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 230000018109 developmental process Effects 0.000 description 1
- HPNMFZURTQLUMO-UHFFFAOYSA-N diethylamine Chemical compound CCNCC HPNMFZURTQLUMO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XJRPTMORGOIMMI-UHFFFAOYSA-N ethyl 2-amino-4-(trifluoromethyl)-1,3-thiazole-5-carboxylate Chemical compound CCOC(=O)C=1SC(N)=NC=1C(F)(F)F XJRPTMORGOIMMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000002534 ethynyl group Chemical group [H]C#C* 0.000 description 1
- 239000008187 granular material Substances 0.000 description 1
- 229930195733 hydrocarbon Natural products 0.000 description 1
- 230000001771 impaired effect Effects 0.000 description 1
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 1
- 150000002484 inorganic compounds Chemical class 0.000 description 1
- 229910010272 inorganic material Inorganic materials 0.000 description 1
- 125000000959 isobutyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])(C([H])([H])[H])C([H])([H])* 0.000 description 1
- 229910001507 metal halide Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052752 metalloid Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002738 metalloids Chemical class 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 125000004108 n-butyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 description 1
- HQHBAGKIEAOSNM-UHFFFAOYSA-N naphtholphthalein Chemical compound C1=CC=C2C(C3(C4=CC=CC=C4C(=O)O3)C3=CC=C(C4=CC=CC=C43)O)=CC=C(O)C2=C1 HQHBAGKIEAOSNM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PGSADBUBUOPOJS-UHFFFAOYSA-N neutral red Chemical compound Cl.C1=C(C)C(N)=CC2=NC3=CC(N(C)C)=CC=C3N=C21 PGSADBUBUOPOJS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 description 1
- 229910052755 nonmetal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000008188 pellet Substances 0.000 description 1
- 125000001147 pentyl group Chemical group C(CCCC)* 0.000 description 1
- 239000007793 ph indicator Substances 0.000 description 1
- 229960003531 phenolsulfonphthalein Drugs 0.000 description 1
- 239000012254 powdered material Substances 0.000 description 1
- 238000011160 research Methods 0.000 description 1
- 150000003839 salts Chemical class 0.000 description 1
- 229920006395 saturated elastomer Polymers 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- FZHAPNGMFPVSLP-UHFFFAOYSA-N silanamine Chemical class [SiH3]N FZHAPNGMFPVSLP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000741 silica gel Substances 0.000 description 1
- 229910002027 silica gel Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 125000000999 tert-butyl group Chemical group [H]C([H])([H])C(*)(C([H])([H])[H])C([H])([H])[H] 0.000 description 1
- 150000003852 triazoles Chemical group 0.000 description 1
- 125000000026 trimethylsilyl group Chemical group [H]C([H])([H])[Si]([*])(C([H])([H])[H])C([H])([H])[H] 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Investigating Or Analyzing Non-Biological Materials By The Use Of Chemical Means (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By The Use Of Chemical Reactions (AREA)
- Treating Waste Gases (AREA)
Abstract
【課題】 本発明の課題は、新規な炭窒化剤である1,2,3−トリアゾール化合物を含有するガス(1,2,3−トリアゾール化合物含有ガス)から、煩雑な操作を必要とすることなく1,2,3−トリアゾール化合物を除去すること、及びその除去状態を検知する方法を提供することにある。【解決手段】 本発明の課題は、1,2,3−トリアゾール化合物含有ガスから1,2,3−トリアゾール化合物を除去する方法であって、1,2,3−トリアゾール含有ガスと、物理吸着剤とを接触させる工程、及び、前記ガス中の1,2,3−トリアゾールが除去されたことを検知する工程を含むことを特徴とする、1,2,3−トリアゾールの処理方法によって解決される。【選択図】 図1
Description
本発明は、1,2,3−トリアゾール化合物を処理する方法に関する。
近年、半導体や電子部品等の分野において、高い耐薬品性を有する「金属又は半金属窒
化膜中に炭素が存在する炭窒化膜」について多くの研究・開発がなされている。金属又半
金属炭窒化膜の製造方法としては、例えば、アンモニアなどの無機窒素ガスと、アセチレ
ンなどの炭化水素ガスを組み合わせて製造する方法(例えば、特許文献1参照)や、イソ
プロピルアミンを炭素・窒素供給源(炭窒化剤)として使用する方法(例えば、特許文献
2参照)が知られている。
また、シリコン炭窒化膜を製造するための炭窒化剤としてアミノシラン類(例えば、特
許文献3〜5参照)を使用する方法が開示されている。
化膜中に炭素が存在する炭窒化膜」について多くの研究・開発がなされている。金属又半
金属炭窒化膜の製造方法としては、例えば、アンモニアなどの無機窒素ガスと、アセチレ
ンなどの炭化水素ガスを組み合わせて製造する方法(例えば、特許文献1参照)や、イソ
プロピルアミンを炭素・窒素供給源(炭窒化剤)として使用する方法(例えば、特許文献
2参照)が知られている。
また、シリコン炭窒化膜を製造するための炭窒化剤としてアミノシラン類(例えば、特
許文献3〜5参照)を使用する方法が開示されている。
最近では、より有効な炭窒化剤として、1,2,3−トリアゾール化合物を使用する方法が提案されている(例えば、特許文献7〜8参照)。
従前の炭窒化剤を使用した場合には、それらを含む排ガス処理方法は、通常知られた方法で行うことができ、またそのガス検知も通常知られた方法で行うことができる。
しかしながら、1,2,3−トリアゾール化合物は、炭窒化剤としては新規な化合物である上に、炭素と窒素を主とした構成成分とする有機化合物であること、その構造も五員環芳香環と炭窒化剤としては特殊な化合物であることから、それを含有するガスの除去方法、及びその除去状態を検知(確認)する方法については、何ら知られていなかった。
しかしながら、1,2,3−トリアゾール化合物は、炭窒化剤としては新規な化合物である上に、炭素と窒素を主とした構成成分とする有機化合物であること、その構造も五員環芳香環と炭窒化剤としては特殊な化合物であることから、それを含有するガスの除去方法、及びその除去状態を検知(確認)する方法については、何ら知られていなかった。
本発明の課題は、新規な炭窒化剤である1,2,3−トリアゾール化合物を含有するガス(1,2,3−トリアゾール化合物含有ガス)から、煩雑な操作を必要とすることなく1,2,3−トリアゾール化合物を除去すること、及びその除去状態を検知する方法を提供することにある。
本発明の課題は1,2,3−トリアゾール化合物含有ガスから1,2,3−トリアゾール化合物を除去する方法であって、
1,2,3−トリアゾール含有ガスと、物理吸着剤とを接触させる工程、
及び、前記ガス中の1,2,3−トリアゾールが除去されたことを検知する工程
を含むことを特徴とする、1,2,3−トリアゾールの処理方法によって解決される。
1,2,3−トリアゾール含有ガスと、物理吸着剤とを接触させる工程、
及び、前記ガス中の1,2,3−トリアゾールが除去されたことを検知する工程
を含むことを特徴とする、1,2,3−トリアゾールの処理方法によって解決される。
本発明により、煩雑な操作を必要とすることなく、1,2,3−トリアゾールを処理することができる。
本発明は、1,2,3−トリアゾール化合物含有ガスから1,2,3−トリアゾール化合物を除去する方法であって、
1,2,3−トリアゾール含有ガスと、物理吸着剤とを接触させる工程、
及び、前記ガス中の1,2,3−トリアゾールが除去されたことを検知する工程
を含むことを特徴とする、1,2,3−トリアゾールの処理方法であるが、以下、1,2,3−トリアゾール含有ガスと、物理吸着剤とを接触させる工程のことを「吸着処理工程」、ガス中の1,2,3−トリアゾールが除去されたことを検知する工程のことを「検知工程」と称することもある。
1,2,3−トリアゾール含有ガスと、物理吸着剤とを接触させる工程、
及び、前記ガス中の1,2,3−トリアゾールが除去されたことを検知する工程
を含むことを特徴とする、1,2,3−トリアゾールの処理方法であるが、以下、1,2,3−トリアゾール含有ガスと、物理吸着剤とを接触させる工程のことを「吸着処理工程」、ガス中の1,2,3−トリアゾールが除去されたことを検知する工程のことを「検知工程」と称することもある。
[吸着処理工程]
(トリアゾール化合物)
本発明のトリアゾール化合物は、下記式で示される構造を主骨格とする化合物を示す。なお、トリアゾール化合物は、任意の水素原子が炭化水素基やトリアルキルシリル基で置換されていても良い。
(トリアゾール化合物)
本発明のトリアゾール化合物は、下記式で示される構造を主骨格とする化合物を示す。なお、トリアゾール化合物は、任意の水素原子が炭化水素基やトリアルキルシリル基で置換されていても良い。
トリアゾール化合物の具体例としては、特許文献6や特許文献7に記載されたトリアゾール化合物が好適に使用されるが、例えば、
1H−1,2,3−トリアゾール;
1−メチル−1,2,3−トリアゾール、1,4−ジメチル−1,2,3−トリアゾール、1,4,5−トリメチル−1,2,3−トリアゾール、1−エチル−1,2,3−トリアゾール、1,4−ジエチル−1,2,3−トリアゾール、1,4,5−トリエチル−1,2,3−トリアゾールなどのアルキル基で置換されたトリアゾール;
下記式(1)及び式(2)で示されるN−トリアルキルシリル−1,2,3−トリアゾール化合物である。
1H−1,2,3−トリアゾール;
1−メチル−1,2,3−トリアゾール、1,4−ジメチル−1,2,3−トリアゾール、1,4,5−トリメチル−1,2,3−トリアゾール、1−エチル−1,2,3−トリアゾール、1,4−ジエチル−1,2,3−トリアゾール、1,4,5−トリエチル−1,2,3−トリアゾールなどのアルキル基で置換されたトリアゾール;
下記式(1)及び式(2)で示されるN−トリアルキルシリル−1,2,3−トリアゾール化合物である。
(式中、R1は、同一又は異なっていても良く、炭素原子数1〜3の直鎖状、分枝状、又は環状のアルキル基を示す。なお、複数のR1は互いに結合して環を形成していても良い。
式中、R2は、同一又は異なっていても良く、水素原子、炭素原子数1〜5の直鎖状、分枝状又は環状のアルキル基、或いは炭素原子数1〜5のトリアルキルシリル基を示す。なお、複数のR2は互いに結合して環を形成していても良い。)
式中、R2は、同一又は異なっていても良く、水素原子、炭素原子数1〜5の直鎖状、分枝状又は環状のアルキル基、或いは炭素原子数1〜5のトリアルキルシリル基を示す。なお、複数のR2は互いに結合して環を形成していても良い。)
式(1)及び(2)において、R1は、炭素原子数1〜3の直鎖、分枝状又は環状のアルキル基を示す。
炭素原子数1〜3の直鎖又は分枝状のアルキル基としては、例えば、メチル基、エチル基、n−プロピル基、イソプロピル基、シクロプロピル基などが挙げられる。
R2は、水素原子、炭素原子数1〜5の直鎖状、分枝状、環状のアルキル基、又はトリアルキルシリル基である。
炭素原子数1〜5の直鎖、分枝状、又は環状のアルキル基としては、例えば、メチル基、エチル基、n−プロピル基、イソプロピル基、n−ブチル基、イソブチル基、t−ブチル基、ペンチル基、シクロプロピル基、シクロブチル基、シクロペンチル基などが挙げられる。
炭素原子数1〜5のトリアルキルシリル基としては、例えば、トリメチルシリル基、トリエチルシリル基、ジメチルエチルシリル基、メチルジエチルシリル基などが挙げられる。
なお、複数のR2は互いに結合して環を形成していても良く、形成される環としては、例えば、炭素原子数2〜10の飽和又は不飽和の環が挙げられる。
炭素原子数1〜3の直鎖又は分枝状のアルキル基としては、例えば、メチル基、エチル基、n−プロピル基、イソプロピル基、シクロプロピル基などが挙げられる。
R2は、水素原子、炭素原子数1〜5の直鎖状、分枝状、環状のアルキル基、又はトリアルキルシリル基である。
炭素原子数1〜5の直鎖、分枝状、又は環状のアルキル基としては、例えば、メチル基、エチル基、n−プロピル基、イソプロピル基、n−ブチル基、イソブチル基、t−ブチル基、ペンチル基、シクロプロピル基、シクロブチル基、シクロペンチル基などが挙げられる。
炭素原子数1〜5のトリアルキルシリル基としては、例えば、トリメチルシリル基、トリエチルシリル基、ジメチルエチルシリル基、メチルジエチルシリル基などが挙げられる。
なお、複数のR2は互いに結合して環を形成していても良く、形成される環としては、例えば、炭素原子数2〜10の飽和又は不飽和の環が挙げられる。
N−トリアルキルシリル−1,2,3−トリアゾール化合物は、例えば、式(3)から式(26)で示される。
(1,2,3−トリアゾール化合物含有ガス)
本発明の1,2,3−トリアゾール化合物含有ガスは、前記の1,2,3−トリアゾール化合物を含むガスのことであり、不活性ガスで希釈されていても良く、複数種の1,2,3−トリアゾール化合物を含んでいても良い。
また、その他の成分として、1,2,3−トリアゾール化合物が熱などにより自己分解により生じた化合物、金属ハロゲン化物又は非金属ハロゲン化物と1,2,3−トリアゾール化合物との反応(炭窒化膜を製造する際の反応)によって生じた化合物を含んでいても良い。
なお、これらの化合物は、有機化合物でも無機化合物であっても構わない。
本発明の1,2,3−トリアゾール化合物含有ガスは、前記の1,2,3−トリアゾール化合物を含むガスのことであり、不活性ガスで希釈されていても良く、複数種の1,2,3−トリアゾール化合物を含んでいても良い。
また、その他の成分として、1,2,3−トリアゾール化合物が熱などにより自己分解により生じた化合物、金属ハロゲン化物又は非金属ハロゲン化物と1,2,3−トリアゾール化合物との反応(炭窒化膜を製造する際の反応)によって生じた化合物を含んでいても良い。
なお、これらの化合物は、有機化合物でも無機化合物であっても構わない。
(物理吸着剤)
物理吸着剤としては、例えば、活性炭、ゼオライト、シリカゲル、アルミナなどが挙げられるが、好ましくはゼオライトが使用される。物理吸着剤の種類や形状は特に制限されるものではなく、例えば、繊維状、ハニカム状、円柱、ペレット状、破砕状、粒状、または粉末状のものを使用することができる。
物理吸着剤としては、例えば、活性炭、ゼオライト、シリカゲル、アルミナなどが挙げられるが、好ましくはゼオライトが使用される。物理吸着剤の種類や形状は特に制限されるものではなく、例えば、繊維状、ハニカム状、円柱、ペレット状、破砕状、粒状、または粉末状のものを使用することができる。
(1,2,3−トリアゾール化合物の吸着処理)
本発明は、1,2,3−トリアゾール化合物含有ガスと物理吸着剤とを接触させることによって行われるが、好ましくは物理吸着剤を備えた容器に、1,2,3−トリアゾール化合物含有ガスを供給する方法によって行われる。
本発明は、1,2,3−トリアゾール化合物含有ガスと物理吸着剤とを接触させることによって行われるが、好ましくは物理吸着剤を備えた容器に、1,2,3−トリアゾール化合物含有ガスを供給する方法によって行われる。
(供給速度)
その際の供給速度は、1,2,3−トリアゾール化合物の濃度や、物理吸着剤の量、容器の大きさなどにより適宜調節する。
その際の供給速度は、1,2,3−トリアゾール化合物の濃度や、物理吸着剤の量、容器の大きさなどにより適宜調節する。
(吸着処理温度)
吸着処理温度は、好ましくは5〜60℃、更に好ましくは10〜50℃、より好ましくは15〜40℃である。この範囲とすることで、物理吸着剤への吸着量が損なわれることがない。
吸着処理温度は、好ましくは5〜60℃、更に好ましくは10〜50℃、より好ましくは15〜40℃である。この範囲とすることで、物理吸着剤への吸着量が損なわれることがない。
[検知工程]
(検知方法)
「吸着処理工程」において、1,2,3−トリアゾール化合物が吸着処理なされているかどうかは、容器出口から排出されるガス中の1,2,3−トリアゾール化合物の濃度を検知(測定)することによって確認することができる。
(検知方法)
「吸着処理工程」において、1,2,3−トリアゾール化合物が吸着処理なされているかどうかは、容器出口から排出されるガス中の1,2,3−トリアゾール化合物の濃度を検知(測定)することによって確認することができる。
本発明における検知は、物理吸着剤によって捕捉されなかった残存1,2,3−トリアゾール化合物がガス検知剤と反応することで、その変色具合によって目視にて行われる。
(検知剤)
前記検知剤としては、1,2,3−トリアゾール化合物と反応して明確な変色示すものならば特に限定されないが、例えば、酸性ガス用、酢酸用、塩化水素用、硝酸用、二酸化窒素用、二酸化硫黄用、アンモニア用、ジエチルアミン用、トリエチルアミン用の検知剤が使用されるが、好ましくは酢酸用の検知剤が使用される。
なお、これらの検知剤は、単独又は二種以上を同時に使用しても良い。
前記検知剤としては、1,2,3−トリアゾール化合物と反応して明確な変色示すものならば特に限定されないが、例えば、酸性ガス用、酢酸用、塩化水素用、硝酸用、二酸化窒素用、二酸化硫黄用、アンモニア用、ジエチルアミン用、トリエチルアミン用の検知剤が使用されるが、好ましくは酢酸用の検知剤が使用される。
なお、これらの検知剤は、単独又は二種以上を同時に使用しても良い。
前記酢酸用検知剤としては、具体的には、
ケイ酸アルカリ金属塩などのアルカリ金属又はアルカリ土類金属の無機酸塩と、
ブロモクレゾールパープル、ブロモチモールブルー、フェノールレッド、ニュートラルレッド、ナフトールフタレイン、クレゾールレッドクレゾールフタレインなどのpH指示薬
とを混合したものが好適に用いられる。
ケイ酸アルカリ金属塩などのアルカリ金属又はアルカリ土類金属の無機酸塩と、
ブロモクレゾールパープル、ブロモチモールブルー、フェノールレッド、ニュートラルレッド、ナフトールフタレイン、クレゾールレッドクレゾールフタレインなどのpH指示薬
とを混合したものが好適に用いられる。
前記の検知剤は検知管に充填して使用される。
次に、実施例を挙げて本発明を具体的に説明するが、本発明の範囲はこれらに限定されるものではない。なお、容器出口のガス中の1,2,3−トリアゾール化合物の濃度は酢酸用検知管(ガステック社製;検知剤としてケイ酸ナトリウム、クレゾールレッドが充填)を用いて確認した。
(参考例1)
約10ppmの1,2,3−トリアゾールと検知剤(ケイ酸ナトリウムとクレゾールレッドとからなる)とを接触させたところ、変色(桃色→黄色)が確認された。これにより、微量の1,2,3−トリアゾールの検知が可能であることが分かった。
これに対して、シアン化水素用、二硫化炭素用、アセトン用、ヘキサン用、二酸化炭素用検知剤は変色が見られなかった。
約10ppmの1,2,3−トリアゾールと検知剤(ケイ酸ナトリウムとクレゾールレッドとからなる)とを接触させたところ、変色(桃色→黄色)が確認された。これにより、微量の1,2,3−トリアゾールの検知が可能であることが分かった。
これに対して、シアン化水素用、二硫化炭素用、アセトン用、ヘキサン用、二酸化炭素用検知剤は変色が見られなかった。
実施例1(1,2,3−トリアゾールの処理)
内容積50mLのステンレス製カラム(内径54.9mm;断面積23.7cm2)に、ゼオライト(東ソー社製ゼオライト)50ml(35.0g)を充填した。次いで、1,2,3−トリアゾールと窒素との混合ガス(1,2,3−トリアゾール濃度;1160ppm)を1.3L/min.で供給した。なお、容器内のゼオライトの表面温度は70℃を維持していた。
容器出口において、供給開始から1800分経過した後も検知剤の変色は起こらず、1,2,3−トリアゾールは、全く検出されなかった。即ち、約2.7Lの1,2,3−トリアゾールが吸着処理されたことになる。
なお、1,2,3−トリアゾールの破過流通量は35質量%であった。
内容積50mLのステンレス製カラム(内径54.9mm;断面積23.7cm2)に、ゼオライト(東ソー社製ゼオライト)50ml(35.0g)を充填した。次いで、1,2,3−トリアゾールと窒素との混合ガス(1,2,3−トリアゾール濃度;1160ppm)を1.3L/min.で供給した。なお、容器内のゼオライトの表面温度は70℃を維持していた。
容器出口において、供給開始から1800分経過した後も検知剤の変色は起こらず、1,2,3−トリアゾールは、全く検出されなかった。即ち、約2.7Lの1,2,3−トリアゾールが吸着処理されたことになる。
なお、1,2,3−トリアゾールの破過流通量は35質量%であった。
実施例2(N−トリメチルシリル−1,2,3−トリアゾールの処理)
内容積50mLのステンレス製カラム(内径54.9mm;断面積23.7cm2)に、ゼオライト(東ソー社製ゼオライト)50ml(35.2g)を充填した。次いで、N−トリメチルシリル−1,2,3−トリアゾールと窒素との混合ガス(N−トリメチルシリル−1,2,3−トリアゾール濃度;1200ppm)を1.3L/min.で供給した。なお、容器内のゼオライトの表面温度は30℃を維持していた。
容器出口において、供給開始から1800分経過した後も検知剤の変色は起こらず、N−トリメチルシリル−1,2,3−トリアゾールは、全く検出されなかった。即ち、約5.0LのN−トリメチルシリル−1,2,3−トリアゾールが吸着処理されたことになる。
なお、N−トリメチルシリル−1,2,3−トリアゾールの破過流通量は30質量%であった。
内容積50mLのステンレス製カラム(内径54.9mm;断面積23.7cm2)に、ゼオライト(東ソー社製ゼオライト)50ml(35.2g)を充填した。次いで、N−トリメチルシリル−1,2,3−トリアゾールと窒素との混合ガス(N−トリメチルシリル−1,2,3−トリアゾール濃度;1200ppm)を1.3L/min.で供給した。なお、容器内のゼオライトの表面温度は30℃を維持していた。
容器出口において、供給開始から1800分経過した後も検知剤の変色は起こらず、N−トリメチルシリル−1,2,3−トリアゾールは、全く検出されなかった。即ち、約5.0LのN−トリメチルシリル−1,2,3−トリアゾールが吸着処理されたことになる。
なお、N−トリメチルシリル−1,2,3−トリアゾールの破過流通量は30質量%であった。
以上の結果より、煩雑な操作を必要とすることなく、穏和な条件にて、1,2,3−トリアゾール化合物を処理できることが分かった。
本発明により1,2,3−トリアゾール化合物を処理する方法を提供することができる。
1 バブリング窒素ガス
2 希釈窒素ガス
3 1,2,3−トリアゾール化合物
4 吸着剤
5 ガス検知管
2 希釈窒素ガス
3 1,2,3−トリアゾール化合物
4 吸着剤
5 ガス検知管
Claims (3)
- 1,2,3−トリアゾール化合物含有ガスから1,2,3−トリアゾール化合物を除去する方法であって、
1,2,3−トリアゾール化合物含有ガスと、物理吸着剤とを接触させる工程、
及び、前記ガス中の1,2,3−トリアゾールが除去されたことを検知する工程
を含むことを特徴とする、1,2,3−トリアゾール化合物の処理方法。 - 物理吸着剤がゼオライトである、請求項1記載の1,2,3−トリアゾール化合物の処理方法。
- 検知が1,2,3−トリアゾールと検知剤との反応によって行われる、請求項1記載の1,2,3−トリアゾール化合物の処理方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015063088A JP2016182537A (ja) | 2015-03-25 | 2015-03-25 | 1,2,3−トリアゾール化合物の処理方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015063088A JP2016182537A (ja) | 2015-03-25 | 2015-03-25 | 1,2,3−トリアゾール化合物の処理方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016182537A true JP2016182537A (ja) | 2016-10-20 |
Family
ID=57242418
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015063088A Pending JP2016182537A (ja) | 2015-03-25 | 2015-03-25 | 1,2,3−トリアゾール化合物の処理方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2016182537A (ja) |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08162417A (ja) * | 1994-12-05 | 1996-06-21 | Showa Denko Kk | 気相成長方法 |
JP2006517517A (ja) * | 2002-11-14 | 2006-07-27 | アドバンスド テクノロジー マテリアルズ,インコーポレイテッド | ケイ素、窒化ケイ素、二酸化ケイ素および/またはオキシ窒化ケイ素を含むフィルムのようなケイ素含有フィルムの低温蒸着のための組成物および方法 |
JP2009257838A (ja) * | 2008-04-14 | 2009-11-05 | Kajima Corp | 酸性ガス検知管ならびに室内空気質の監視方法および建材品質の評価方法 |
US20120275951A1 (en) * | 2006-11-20 | 2012-11-01 | Northern Technologies International Corporation | System for Decreasing Environmental Corrosion Factors and/or for Delivering One or More Corrosion Inhibiting Compounds to an Enclosure |
-
2015
- 2015-03-25 JP JP2015063088A patent/JP2016182537A/ja active Pending
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08162417A (ja) * | 1994-12-05 | 1996-06-21 | Showa Denko Kk | 気相成長方法 |
JP2006517517A (ja) * | 2002-11-14 | 2006-07-27 | アドバンスド テクノロジー マテリアルズ,インコーポレイテッド | ケイ素、窒化ケイ素、二酸化ケイ素および/またはオキシ窒化ケイ素を含むフィルムのようなケイ素含有フィルムの低温蒸着のための組成物および方法 |
US20120275951A1 (en) * | 2006-11-20 | 2012-11-01 | Northern Technologies International Corporation | System for Decreasing Environmental Corrosion Factors and/or for Delivering One or More Corrosion Inhibiting Compounds to an Enclosure |
JP2009257838A (ja) * | 2008-04-14 | 2009-11-05 | Kajima Corp | 酸性ガス検知管ならびに室内空気質の監視方法および建材品質の評価方法 |
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
スリーボンド・テクニカルニュース編集委員会: "気化性防錆剤(VCI)", スリーボンド・テクニカルニュース, JPN6018050898, 1 July 1987 (1987-07-01), pages 1 - 10, ISSN: 0004070293 * |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JPH02184501A (ja) | ハロゲン化シラン化合物を含有する担体ガスからガス状の汚染性化合物、とくにドープ成分化合物を除去する方法 | |
US7935326B2 (en) | Method for purification of silica particles, purifier, and purified silica particles | |
US4127598A (en) | Process for removing biphenyls from chlorosilanes | |
JP6069167B2 (ja) | 多結晶シリコンの製造方法 | |
JP5886234B2 (ja) | シラン化合物またはクロロシラン化合物の精製方法、多結晶シリコンの製造方法、および、弱塩基性イオン交換樹脂の再生処理方法 | |
JP2016182537A (ja) | 1,2,3−トリアゾール化合物の処理方法 | |
US5766565A (en) | Purification of hydrochloric acid | |
JP5547870B2 (ja) | 金属ヒ素の回収方法 | |
UA95308C2 (ru) | Способ обработки загрязненных металлических отходов | |
JP2011121805A (ja) | オゾンガスに含まれる窒素酸化物および水分の除去方法 | |
CN104310522A (zh) | 一种超痕量Hg(Ⅱ)去除方法 | |
RU2537302C1 (ru) | Способ очистки тетраэтоксисилана | |
TW524720B (en) | Cleaning agent for hazardous gas | |
JP2010537947A (ja) | 四フッ化ケイ素及び塩化水素を含有するガス流の処理方法 | |
WO2022224951A1 (ja) | 紫外線照射装置および有機化合物の精製方法 | |
JPS61197415A (ja) | ジクロロシランの精製法 | |
CN106669589B (zh) | 一种基于巯基的高效吸附剂的制备方法及应用 | |
GB1567096A (en) | Process for removing biphenyls from | |
JPH01132535A (ja) | アセチレンガス濃縮方法 | |
TW200520826A (en) | Removal of sulfur-containing impurities from volatile metal hydrides | |
JP5910286B2 (ja) | 含窒素化合物を含む排ガスの処理方法 | |
TWI306832B (ja) | ||
JP2008119628A (ja) | 有害ガスの浄化剤及び浄化方法 | |
JP2016114396A (ja) | 放射性物質吸着剤の処分方法及び処分装置 | |
JPS62213822A (ja) | アルシン含有ガスの処理方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20180119 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20181219 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20190108 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20190709 |