JP2016181893A - ホストコンピュータシステムとｒｆ発生器と間のデュアルプッシュ - Google Patents

Abstract

【課題】高周波（ＲＦ）発生器とホストコンピュータシステムとの間のデータ転送速度を高めるためのシステムおよび方法を提供する。
【解決手段】データ転送速度は、ＲＦ発生器およびホストコンピュータシステムに関連する専用物理レイヤと、ＲＦ発生器およびホストコンピュータシステムの間の専用物理通信媒体とを実装することによって高められる。さらに、ＲＦ発生器とホストコンピュータシステムとの間で、デュアルプッシュ動作が用いられる。ＲＦ発生器からホストコンピュータシステムに送信されるデータについても、ホストコンピュータシステムからＲＦ発生器に送信されるデータについても、要求がなされない。
【選択図】図１Ａ

Description

ここに提供する実施形態は、ホストコンピュータシステムと高周波（ＲＦ）発生器と間のデュアルプッシュのためのシステムおよび方法に関する。

プラズマシステムにおいて、複数の高周波（ＲＦ）発生器がプラズマチャンバに接続される。ＲＦ発生器は、コンピュータによって制御される。例えば、コンピュータは、ＲＦ発生器によって生成されるＲＦ信号に関連する値を提供する。ＲＦ発生器は、それらの値を用いてＲＦ信号を生成し、その後、ＲＦ信号は、プラズマチャンバに送信される。プラズマが、ＲＦ信号の受信後にプラズマチャンバ内で生成される。

ＲＦ発生器とコンピュータとの間の通信は遅い。この遅い通信が、コンピュータによるＲＦ発生器の効率的な制御を妨げる。

本開示の実施形態は、このような課題に対処するものである。

本開示の実施形態は、ホストコンピュータシステムと高周波（ＲＦ）発生器との間のデュアルプッシュのための装置、方法、および、コンピュータプログラムを提供する。本実施形態は、処理、装置、システム、デバイス、または、コンピュータ読み取り可能な媒体に記録された方法など、種々の形態で実施できることを理解されたい。以下に、いくつかの実施形態を記載する。

一部の実施形態において、ホストシステムとＲＦ発生器との間のデュアルプッシュは、別の転送プロトコル（例えば、制御自動化技術用イーサネット（ＥｔｈｅｒＣＡＴ）プロトコル、伝送制御プロトコル／インターネットプロトコル（ＴＣＰ／ＩＰ）など）に比べて、ホストシステムとＲＦ発生器との間で、より高速な通信を可能にする。ＥｔｈｅｒＣＡＴプロトコルは、応答時間および正味負荷（例えば、スレーブの数など）に制限がある。さらに、ＴＣＰ／ＩＰプロトコルは、パケットの再試行およびタイムアウトに関連するオーバーヘッドを有する。他の転送プロトコルは、パケット内のエラーについてのエラーチェック、エラーの示唆の通信、および、パケットの再送信を含む。エラーチェック、エラーの示唆の通信、および、再送信には、時間が掛かる。デュアルプッシュは、ホストシステムとＲＦ発生器との間で転送単位（例えば、パケットなど）を連続的にプッシュする通信プロトコル（例えば、ユニバーサルデータグラムプロトコル（ＵＤＰ）、カスタマイズされたプロトコルなど）を適用する。例えば、各パケットのエラーチェックがパケットのレシーバで実行されず、エラーの示唆の通信がレシーバで実行されず、再送信がパケットのトランスミッタで実行されない。別の例として、パケットが再送信されず、パケットが受信されても、確認がレシーバから受信されない。さらに別の例として、１または複数のパラメータに関連する情報のためのホストシステムからＲＦＧへの要求がなく、１または複数のパラメータの１または複数の設定点のためのＲＦＧからホストシステムへの要求がない。ＲＦＧは、１または複数のパラメータに関連する情報を送信するようにホストコンピュータによって構成されると、１または複数のパケットをホストコンピュータに送信し、ホストコンピュータは、１または複数のパケットに格納された１または複数のパラメータに関連する情報を解析して、修正された設定点を送信するか、ＲＦＧへ以前に送信されたのと同じ設定点を送信するかを決定する。

一部の実施形態において、デュアルプッシュは、ＲＦ発生器の出力を監視するための第１の固定ＵＤＰデータグラムをプッシュするためにイーサネットスタックを利用し、ＲＦ発生器を制御するための第２の固定ＵＤＰデータグラムをプッシュするためにイーサネットスタックを利用する。

様々な実施形態において、デュアルプッシュ装置では、ホストシステムおよびＲＦ発生器は、物理通信媒体の専用通信リンク、専用トランスミッタ、および、専用レシーバを介して、互いに接続される。例えば、ホストシステムの専用トランスミッタが、物理通信媒体の専用通信リンクを介してＲＦ発生器の専用レシーバに接続され、ＲＦ発生器の専用トランスミッタが、物理通信媒体の専用通信リンクを介してホストシステムの専用レシーバに接続される。ホストシステムの専用レシーバは、ＲＦ発生器の専用トランスミッタから受信したパケットに通信プロトコルを適用して、パケット内の１または複数のパラメータに関連する情報を抽出する。１または複数のパラメータに関連する情報は、ホストシステムのプロセッサに提供される。プロセッサは、１または複数のパラメータに関連する情報からパラメータの値を生成し、その値が、ＲＦ発生器の専用レシーバへ以前に送信されたパラメータの値の所定の範囲内にあるか否かを判定する。その値が所定の範囲内にないと判定すれば、プロセッサは、所定の範囲内に収まるようにパラメータの値を修正し、物理通信媒体の専用通信リンクを介してＲＦ発生器の専用レシーバに通信するために、その値をホストシステムの専用トランスミッタに提供する。別の例として、１ギガビットの物理レイヤが、５１２バイトのフレームを、フレームの受信のために１ギガビットの物理レイヤを有する専用クライアントにプッシュする。プッシュは、１００キロヘルツの速度を達成するように実行される。

一部の実施形態において、デュアルプッシュ装置が、エラーチェック、エラーの示唆の通信、および、エラーを有するパケットの再送信を実行しないことにより、時間およびコストが節約される。

さらに、様々な実施形態において、専用通信リンクは、異なる送信元ポートからのパケットが衝突および脱落する可能性を低減させる。専用通信リンクは、異なるＲＦ発生器または異なるコントローラの間で共有されておらず、パケットが衝突および脱落する可能性が低減される。例えば、パケットが共有通信リンクを介して２つの異なるＲＦ発生器に送信される場合、パケットの間で衝突が起こり、結果として、ＲＦ発生器に送信されるデータに欠損またはエラーを生じうる。１つのＲＦ発生器に接続された専用通信リンクを用いることにより、衝突を防止するために、ホストシステムは、専用通信リンクを介して異なるＲＦ発生器にパケットを送信することができない。

デュアルプッシュ装置のさらなる利点は、ＲＦ発生器によるホストシステムのコントローラへの応答またはコントローラによるＲＦ発生器への応答の応答時間が、他のプロトコル（例えば、ＥｔｈｅｒＣＡＴプロトコル、ＴＣＰ／ＩＰなど）に比べて、数倍（例えば、１００倍、１０００倍、１００〜１０００倍など）向上することを含む。

添付の図面を参照して行う以下の詳細な説明から、別の態様が明らかになる。

実施形態は、添付の図面に関連して行う以下の説明を参照することによって最も良好に理解できる。

本開示に記載の一実施形態に従って、コントローラと高周波発生器（ＲＦＧ）との間でデュアルプッシュを用いるためのプラズマシステムを示す図。

本開示に記載の一実施形態に従って、コントローラとＲＦＧとの間の通信を示す、図１ＡのプラズマシステムのコントローラおよびＲＦＧの一実施形態の図。

本開示に記載の一実施形態に従って、複数のローカルコントローラ、複数のＲＦ発生器、および、マスタシステムコントローラの間の通信プロトコルの利用を示す、システムの図。

本開示に記載の一実施形態に従って、１つのボード上に配置された複数のローカルコントローラを示す、システムの図。

本開示に記載の一実施形態に従って、ローカルコントローラとマスタシステムコントローラとの間でスイッチを利用しないローカルコントローラとマスタシステムコントローラとの間の通信を示す、システムの図。

本開示に記載の一実施形態に従って、ユニバーサルデータグラムプロトコル（ＵＤＰ）の転送単位またはカスタマイズされた転送単位を示す図。

本開示に記載の一実施形態に従って、ＲＦ信号の複数の状態を示す複数のグラフ。

本開示に記載の一実施形態に従って、ローカルプロセッサボードシステムとＲＦＧとの間およびローカルプロセッサボードシステムと別のローカルプロセッサボードシステムとの間のデータの通信を示す、システムの図。

本開示に記載の一実施形態に従って、生成され、ホストコンピュータシステムのコントローラの専用トランスミッタによってＲＦ発生器に送信される転送単位のペイロードを示す図。

本開示に記載の一実施形態に従って、生成され、ＲＦＧの専用トランスミッタによってホストコンピュータシステムのコントローラに送信される転送単位のペイロードを示す図。

本開示に記載の一実施形態に従って、ＲＦ信号の生成に用いられる１または複数のパラメータの設定点のサンプリングを示すグラフ。

本開示に記載の一実施形態に従って、ＲＦＧの専用トランスミッタとコントローラの専用レシーバとの間およびコントローラの専用トランスミッタとＲＦＧの専用レシーバとの間で通信プロトコルを用いる転送単位のプッシュを示す、方法のフローチャート。

本開示に記載の一実施形態に従って、転送単位がレシーバによって受信されている間に、状態に対するパラメータの値を解析することによって、状態に対するパラメータの値を変更するための方法を示す図。

本開示に記載の一実施形態に従って、転送単位がレシーバによって受信される前に、状態に対するパラメータの値を解析することによって、状態に対するパラメータの値を変更するための方法を示す図。

以下の実施形態は、ホストコンピュータシステムと高周波（ＲＦ）発生器との間のデュアルプッシュのためのシステムおよび方法を説明する。本実施形態は、これらの具体的な詳細事項の一部またはすべてがなくとも実施可能であることが明らかである。また、本実施形態が不必要に不明瞭となることを避けるため、周知の処理動作の詳細な説明は省略した。

一部の実施形態において、デュアルプッシュは、１または複数のパラメータに関連する情報についてホストコンピュータシステムからＲＦ発生器へ送信された要求がなく、１または複数のパラメータの１または複数の設定点（例えば、１または複数の値など）についてＲＦ発生器からホストコンピュータシステムへ送信された要求がない時に実行される。ＲＦ発生器は、１または複数のパラメータに関連する情報を有する１または複数のパケットを送信するように、ホストコンピュータシステムによって構成され、ＲＦ発生器は、構成されると、１または複数のパケットの送信を開始し、送信し続ける。ホストコンピュータは、１または複数のパケットを受信すると、１または複数の設定点を修正するか否かを判定し、その判定に基づいて、修正されていない１または複数の設定点もしくは修正された１または複数の設定点のいずれかを含む１または複数のパケットをＲＦＧ（ＲＦ ｇｅｎｅｒａｔｏｒ：ＲＦ発生器）に送信する。いくつかの実施形態において、プッシュは、データの受信側がデータを要求することなしに送信側によって実行されるデータ伝送である。

様々な実施形態では、ＲＦＧ、および、ホストコンピュータシステムの副コントローラが、副コントローラに接続された専用物理レイヤ、ホストコンピュータシステムにＲＦＧを接続する専用物理通信媒体、および、ＲＦＧの専用プロセッサに接続された専用物理レイヤを介して、互いに接続されている。ＲＦＧおよびホストコンピュータシステムの専用物理レイヤならびに専用物理通信媒体は、ＲＦＧとホストコンピュータシステムとの間の迅速なデータ転送を容易にする。ＲＦＧとホストコンピュータシステムとの間で、エラーチェック、または、エラーを有するパケットの再送信などが必要ない。

図１Ａは、コントローラ２０（例えば、ローカルコントローラなど）とＲＦ発生器（ＲＦＧ）２２との間でデュアルプッシュを用いるためのプラズマシステム１０の一実施形態を示す図である。プラズマシステム１０は、ＲＦＧ２２、インピーダンス整合回路（ＩＭＣ）１４、コントローラ２０、および、プラズマチャンバ２４を備える。プラズマチャンバ２４は、ＲＦ伝送線路１２を介してＩＭＣ１４に接続されている。ＲＦＧ２２は、ＲＦケーブル１６を介してＩＭＣ１４に接続されている。一部の実施形態において、コントローラの例は、ＣＰＵ、コンピュータ、プロセッサ、マイクロプロセッサ、特定用途向け集積回路（ＡＳＩＣ）、および、プログラム可能論理デバイス（ＰＬＤ）を含む。様々な実施形態において、コントローラは、プロセッサおよびメモリデバイスの組み合わせを含む。メモリデバイスの例は、リードオンリーメモリ（ＲＯＭ）、ランダムアクセスメモリ（ＲＡＭ）、ハードディスク、揮発性メモリ、不揮発性メモリ、記憶ディスクの冗長アレイ、フラッシュメモリなどを含む。

コントローラ２０は、ＲＦＧ２２への制御信号を生成し、制御信号は、ＲＦＧ２２への、１または複数の状態（状態Ｓ０、状態Ｓ１、状態Ｓ２、状態Ｓ３、状態Ｓ４など）に対する１または複数のパラメータ（例えば、周波数、電力など）の１または複数の設定点（値など）を含む。コントローラ２０の専用物理レイヤ（ＰＨＹ）２３の専用トランスミッタ（Ｔｘ）が、通信プロトコル（例えば、ユニバーサルデータグラムプロトコル（ＵＤＰ）、ＵＤＰｏｖｅｒインターネットプロトコル（ＵＤＰｏｖｅｒＩＰ）、ＵＤＰｏｖｅｒＩＰｏｖｅｒイーサネット、カスタマイズされたプロトコルなど）を制御信号に適用して、１または複数の転送単位（例えば、データグラム、ＵＤＰデータグラム、パケットなど）を生成し、クロックサイクルＣＡ中に専用通信リンク３０を介してＲＦＧ２２に１または複数の転送単位（転送ユニット）を送信する。専用通信リンク３０は、物理通信媒体３１の一部である。様々な実施形態において、物理通信媒体の例は、同軸ケーブル、導体ケーブル、有線媒体、ツイストペア、光ファイバリンク、ケーブル、イーサネットケーブル、無線媒体などを含む。

一部の実施形態において、専用通信リンクは、２つのデバイス（例えば、コントローラ２０の専用物理レイヤ２３およびＲＦＧ２２の専用物理レイヤ（ＰＨＹ）２１など）の間のポイントツーポイント通信を実行するために用いられる。例えば、専用通信リンク３０は、１または複数のパラメータの１または複数の設定点をコントローラ２０の物理レイヤ２３からＲＦＧ２２の専用物理レイヤ２１に送信するための１または複数の転送単位のチャネルであり、専用通信リンク３２は、ＲＦＧ２２の物理レイヤ２１からコントローラ２０の物理レイヤ２３に送信するための１または複数の転送単位のチャネルである。様々な実施形態において、チャネルは、ケーブルでデータを搬送するために用いられる論理接続であり、ビット毎秒で測定される容量を有する。

一部の実施形態において、物理レイヤは、ポート（例えば、イーサネットポート、ＵＤＰポート、通信ポートなど）である。様々な実施形態において、専用物理レイヤは、ギガビット毎秒（Ｇｂｐｓ）のオーダーの速度で、転送（例えば、送信、受信など）を行う。様々な実施形態において、専用物理レイヤは、ギガビッド毎秒の速度またはギガビット毎秒を超える速度（例えば、テラビット毎秒（Ｔｂｐｓ）の速度）などで、１または複数の転送単位を転送（例えば、送信、受信など）する通信デバイス（例えば、トランシーバなど）である。

クロックサイクルは、コントローラ２０の内部またはコントローラ２０の外部に配置されたクロック源によって生成されるクロック信号のクロックサイクルである。クロック源の例は、オシレータ、位相ロックループを備えたオシレータなどを含む。一部の実施形態において、クロック信号を生成するクロック源は、ＲＦＧまたはコントローラ内に配置される。例えば、クロック源は、コントローラ２０内に配置され、コントローラ２０に接続されコントローラ２０によって制御されるＲＦＧ２２またはその他のＲＦＧにクロック信号を供給する。

一部の実施形態において、本明細書で言及する状態とは、ＲＦ発生器によって生成されるＲＦ信号の状態である。状態は、コントローラによって別の状態と区別される。例えば、ＲＦ信号の或る状態は、ＲＦ信号の別の状態の複数の電力値とはかぶらない複数の電力値を有する。或る状態の複数の電力値は、クロックサイクル中の所定の期間中に２つのレベルの間に差があるように、別の状態の複数の電力値とは異なるレベルを有する。

いくつかの実施形態において、ＲＦ信号の状態は、クロック信号の状態と同期される。例えば、クロック信号は、高レベル（例えば、ビット１など）および低レベル（例えば、ビット０など）を有する。ＲＦ信号は、正弦波であり、クロック信号が２つの状態の間で遷移した時に、２つの状態の間で遷移する。説明のために、クロック信号が高レベルにある時に、ＲＦ信号が高レベルにあるとする。クロック信号がクロック信号の高レベルからクロック信号の低レベルに遷移すると、ＲＦ信号は、ＲＦ信号の高レベルからＲＦ信号の低レベルに遷移する。クロック信号がクロック信号の低レベルにある時、ＲＦ信号は、ＲＦ信号の低レベルにある。クロック信号がクロック信号の低レベルからクロック信号の高レベルに遷移すると、ＲＦ信号は、ＲＦ信号の低レベルからＲＦ信号の高レベルに遷移する。

様々な実施形態において、ＲＦ信号は、任意の数の状態を有する。例えば、クロック信号が高レベルにある時、ＲＦ信号は、異なるレベルの間で遷移し、クロック信号が低レベルにある時、ＲＦ信号は、１つの状態を有する。別の例として、クロック信号が低レベルにある時、ＲＦ信号は、異なるレベルの間で遷移し、クロック信号が高レベルにある時、ＲＦ信号は、１つの状態を有する。さらに別の例として、クロック信号が高レベルにある時、ＲＦ信号は、異なるレベの間で遷移し、クロック信号が低レベルにある時、ＲＦ信号は、異なるレベルの間で遷移する。

ＲＦＧ２２の物理レイヤ２１は、専用通信リンク３０を介して１または複数の転送単位を受信し、通信プロトコルを適用して転送単位から制御信号を抽出する専用レシーバ（Ｒｘ）を備える。ＲＦＧ２２の専用レシーバは、ＲＦＧ２２の専用物理レイヤ２１の一部である。ＲＦＧ２２の専用プロセッサ（例えば、デジタル信号プロセッサ（ＤＳＰ）、フィールドプログラマブルゲートアレイ、特定用途向け集積回路など）が、制御信号を構文解析して、或る状態に対する１または複数のパラメータの１または複数の設定点を別の状態に対する１または複数のパラメータの１または複数の設定点から区別する。ＲＦＧ２２の専用プロセッサは、或る状態に対する１または複数のパラメータの１または複数の設定点をパラメータコントローラ（例えば、自動周波数チューナ（ＡＦＴ）、電力コントローラなど）に提供し、別の状態に対するパラメータの１または複数の設定点を別のパラメータコントローラ（例えば、ＡＦＴ、電力コントローラなど）に提供する。状態に関連する各パラメータコントローラは、ドライバ（例えば、トランジスタ、一群のトランジスタなど）を介して、ＲＦＧ２２のＲＦ電源（例えば、ＲＦ電力源など）を駆動して、その状態を有するＲＦ信号を発生させる。

複数の状態を有するＲＦ信号は、ＲＦＧ２２からＲＦケーブル１６を介してＩＭＣ１４に送信される。ＩＭＣ１４は、ＩＭＣ１４の出力側に接続された負荷のインピーダンスをＩＭＣ１４の入力側に接続されたソースのインピーダンスと一致させ、修正されたＲＦ信号を生成する。ソースの例は、対応するＲＦケーブルを介してＩＭＣ１４に接続された動作可能な１または複数のＲＦ発生器を含み、さらに、ＲＦ発生器をＩＭＣ１４に接続するＲＦケーブルを含む。負荷の例は、ＲＦ伝送線路１２およびプラズマチャンバ２４を含む。

ＩＭＣ１４は、修正されたＲＦ信号をＲＦ伝送線路１２を介してプラズマチャンバ２４のチャック１８に供給する。修正されたＲＦ信号がＩＭＣ１４からチャック１８に供給されると、処理ガス（例えば、酸素含有ガス、フッ素含有ガス、炭素およびフッ素を含有するガスなど）が、上側電極２６のガス流入口を介して、プラズマチャンバ２４の上側電極２６とチャック１８との間に供給される。酸素含有ガスの例は、酸素を含み、フッ素含有ガスの例は、四フッ化炭素（ＣＦ_４）、六フッ化硫黄（ＳＦ_６）、六フッ化エタン（Ｃ_２Ｆ_６）、Ｃ_４Ｆ_６ガス、Ｃ_４Ｆ_３ガス、Ｃ_３Ｆ_８ガスなどを含む。処理ガスおよび修正されたＲＦ信号の両方がプラズマチャンバ２４に供給されると、プラズマがプラズマチャンバ２４内で生成または維持される。

プラズマは、１または複数の動作（例えば、エッチング、ドーピング、イオン注入、洗浄、蒸着、フォトリソグラフィパターニングなど）を基板（例えば、ウエハなど）に対して実行して基板上に集積回路を形成するために用いられる。次いで、集積回路は、ダイシングおよびパッケージングされ、様々な電子デバイス（例えば、携帯電話、コンピュータ、タブレット、カメラ、エクササイズ機器、時計など）に用いられる。

一部の実施形態において、ＲＦＧ２２は、ＲＦＧ２２の出力ノードから送信されるＲＦ信号の特性（例えば、電力、電圧、電流、インピーダンスなど）を検知（例えば、検出、測定など）する１または複数のセンサ（例えば、電圧センサ、電流センサ、複素インピーダンスセンサ、電力センサなど）を備える。１または複数のセンサは、ＲＦＧ２２の出力ノードに接続され、ＲＦ信号は、ＲＦ発生器２２によって出力側に供給される。

一部の実施形態において、１または複数のセンサは、プラズマシステム１０の任意の他の部分に接続されており、その部分でのＲＦ信号の特性を測定する。

ＲＦＧ２２の専用プロセッサは、ＲＦＧ２２によって生成されたＲＦ信号の特性またはコントローラ２０から受信したパラメータの値から、１または複数のパラメータに関連する情報を決定（例えば、特定、計算など）する。１または複数のパラメータに関連する情報の例は、供給電力の値、配電電力の値、反射電力の値、ガンマの実部の値、ガンマの虚部の値、電圧定在波比（ＶＳＷＲ）の値、クロック信号のクロックエッジから経過した時間、ＲＦＧ２２のコントローラ内の設定点、状態ベクトル（例えば、アラームベクトル）などを含み、情報が所定の範囲を外れるか否か、パラメータの測定値、コントローラ２０から受信されたパラメータの値、それらの組み合わせなどを決定するために用いられる。説明すると、配電電力は、供給電力と反射電力との差として計算される。ＲＦＧ２２のコントローラ内の設定点は、専用通信リンク３０を介してコントローラ２０から受信される。供給電力は、ＲＦＧ２２の出力からＲＦケーブル１６を介してＩＭＣ１４に供給される電力である。反射電力は、プラズマチャンバ２４からＲＦ伝送線路１２およびＩＭＣ１４を介してＲＦＧ２２の出力に反射された電力である。別の例として、反射電力信号と供給電力信号との間の関係が、ガンマ値を生成するために決定される。

ＲＦＧ２２の物理レイヤ２１の専用トランスミッタ（Ｔｘ）が、１または複数のパラメータに関連する情報に通信プロトコルを適用して、１または複数の転送単位を生成し、クロックサイクルＣＢ中またはクロックサイクルＣＡ中に専用通信リンク３２を介してコントローラ２０の物理レイヤ２３の専用レシーバＲｘに１または複数の転送単位を送信する。専用通信リンク３２は、物理通信媒体３１の一部である。様々な実施形態において、物理レイヤ３１の専用通信リンク３０および３２を有することにより、パケットの衝突の可能性が低減される。例えば、コントローラ２０と複数のＲＦＧとの間の共有通信リンクに沿ってパケットが送信される場合、パケット間に衝突が生じ、パケットの一部が衝突の結果として失われる。ＲＦＧ２２とコントローラ３０との間の専用通信リンク３０および３２は、かかる衝突の可能性を低減する。例えば、ＲＦＧ２２以外の別のＲＦＧとコントローラ２０との間では、パケットを送信できないので、衝突の可能性が低減される。

コントローラ２０の物理レイヤ２１の専用レシーバＲｘが、１または複数のパラメータに関連する情報を含む１または複数の転送単位に通信プロトコルを適用して、情報を抽出し、その情報をコントローラ２０のプロセッサに送信する。コントローラ２０のプロセッサは、１または複数のパラメータに関連する情報を処理する。例えば、コントローラ２０のプロセッサは、情報からＲＦ信号の状態に対するパラメータの値を計算または特定し（例えば、配電電力および反射電力から供給電力を計算する、ガンマおよび反射電力から供給電力を計算する、測定された電力を特定する、ＲＦＧ２２のコントローラ内の設定点を特定する、状態ベクトルが障害を示唆することを特定するなど）、そのパラメータの値を、クロックサイクルＣＡ中に専用通信リンク３０を介してＲＦＧ２２に送信されたパラメータの値と比較する。コントローラ２０のプロセッサは、ＲＦ信号の状態に対するパラメータの計算値が、クロックサイクルＣＡ中に専用通信リンク３０を介してＲＦＧ２２へ以前に送信された状態に対するパラメータの値の所定の範囲内にあるか否かを判定する。パラメータの計算値がクロックサイクルＣＡ中にＲＦＧ２２へ以前に送信されたパラメータの値の所定の範囲内にあると判定すれば、コントローラ２０のプロセッサは、ＲＦＧ２２へ以前に送信されたパラメータの値を変更しないことを決定する。逆に、パラメータの計算値がクロックサイクルＣＡ中にＲＦＧ２２へ以前に送信されたパラメータの値の所定の範囲を外れると判定されると、コントローラ２０のプロセッサは、ＲＦＧ２２へ以前に送信されたパラメータの値と同じＲＦ信号状態に対するパラメータの値を変更することを決定する。

パラメータ値のかかる比較は、コントローラ２０およびＲＦＧ２２が、データの精度をチェックするのを待たず、同じパケットの再伝送を待たず、かつ、タイムアウトの示唆を待たずに、高速でデータをプッシュすることを可能にする。例えば、パケットがＲＦＧ２２によってコントローラ２０から受信されたか否かの確認応答が、ＲＦＧ２２の物理レイヤ２１の専用レシーバによって生成されず、パケットがコントローラ２０によってＲＦＧ２２から受信されたか否かの確認応答が、コントローラ２０の物理レイヤ２３の専用レシーバによって生成されない。別の例として、コントローラ２０からＲＦＧ２２へ送信されたパケットの確認応答が所定の期間内にコントローラ２０によってＲＦＧ２２から受信されない時に、コントローラ２０による自身へのタイムアウトの示唆がない。別の例として、ＲＦＧ２２からコントローラ２０へ送信されたパケットの確認応答が所定の期間内にＲＦＧ２２によってコントローラ２０から受信されない場合に、ＲＦＧ２２による自身へのタイムアウトの示唆がない。一部の実施形態において、タイムアウトは、パケットの送信側によるパケットの再伝送を開始する。

様々な実施形態において、ＲＦＧ２２の物理レイヤ２１の専用トランスミッタＴｘは、情報を生成するために用いられた１または複数の転送単位がＲＦＧ２２の専用レシーバＲｘによって受信されるのと同じクロックサイクルＣＡ中に１または複数のパラメータに関する情報を送信する。

一部の実施形態では、所定の数のクロックサイクルが、クロックサイクルＣＡおよびＣＢの間に存在する。例えば、或る数の１または複数のクロックサイクルが起こり、その間に、クロックサイクルＣＡ中に受信されたパラメータからＲＦＧ２２によってＲＦ信号が生成され、その間に、１または複数のセンサがＲＦ信号の特性を検知し、その間に、ＲＦＧ２２の専用プロセッサが、パラメータに関連する情報を特性から決定する。これらのクロックサイクルは、クロックサイクルＣＢおよびクロックサイクルＣＡの間に位置する。一部の実施形態において、ＣＡおよびＣＢの間の所定の数のクロックサイクル中に、コントローラ２０の物理レイヤ２３の専用トランスミッタＴｘは、専用通信リンク３０を介して１または複数の転送単位をＲＦＧ２２に送信する。

いくつかの実施形態において、１または複数のパラメータに関連する情報は、クロックサイクルＣＡ中にコントローラ２０の物理レイヤ２３の専用トランスミッタによって以前に送信されたパラメータの値がＲＦＧ２２の物理レイヤ２１の専用レシーバによって受信されたか否かを示す１または複数のビットを含む。コントローラ２０のプロセッサは、ＲＦＧ２２の専用レシーバがパラメータの値を受信したか否かを１または複数のビットから判定する。例えば、コントローラ２０のプロセッサは、それらのビットを、クロックサイクルＣＡ中にＲＦＧ２２へ以前に送信されたパラメータの値と比較し、ビットと値との間で一致があると判定すれば、クロックサイクルＣＡ中に送信されたパラメータの値をＲＦＧ２２が受信したと判定する。逆に、ビットと値との間に一致がないと判定すれば、プロセッサは、クロックサイクルＣＡ中に送信されたパラメータの値をＲＦＧ２２が受信しなかったと判定する。

様々な実施形態において、１または複数のパラメータに関連する情報は、パラメータの測定値を含む。例えば、ＲＦＧ２２は、パラメータの値を測定する１または複数のセンサを備えており、測定値は、通信プロトコルを適用することによってＲＦＧ２２からコントローラ２０へ送信される。測定値は、コントローラ２０によって、クロックサイクルＣＡ中にＲＦＧ２２へ以前に送信されたパラメータの値と比較され、パラメータの値がＲＦＧ２２によって以前に受信されたか否かが判定される。例えば、コントローラ２０のプロセッサは、パラメータに関する情報を処理して、パラメータの計算値が、専用通信リンク３０を介してクロックサイクルＣＡ中にＲＦＧ２２に以前に送信されたパラメータの値の所定の範囲内にあるか否かを判定する。状態に対する測定値が、クロックサイクルＣＡ中にＲＦＧ２２へ以前に送信された状態に対するパラメータの値の所定の範囲内にあると判定すれば、コントローラ２０のプロセッサは、クロックサイクル（例えば、クロックサイクルＣＡ、クロックサイクルＣＢ、または、次のクロックサイクルＣＣ）中にＲＦＧ２２へ送信するのに向けて、状態に対するパラメータの値を変更しない。次のクロックサイクルＣＣは、クロックサイクルＣＢの後に起きる。逆に、状態に対する測定値が、クロックサイクルＣＡ中にＲＦＧ２２へ以前に送信された状態に対するパラメータの値の所定の範囲内にないと判定すれば、コントローラ２０のプロセッサは、次のクロックサイクル中に専用通信リンク３０を介してＲＦＧ２２へ送信するのに向けて、状態に対するパラメータの値が所定の範囲内に収まるように変更する。

一部の実施形態において、１または複数のパラメータに関連する情報は、コントローラ２０の物理レイヤ２３の専用トランスミッタによってＲＦＧ２２の物理レイヤ２１の専用レシーバへクロックサイクルＣＡ中に以前に送信されたパラメータの設定点を含む。コントローラ２０のプロセッサは、ＲＦＧ２２の物理レイヤ２１の専用レシーバがクロックサイクルＣＡ中にパラメータの設定点を以前に受信したか否かを設定点から判定する。例えば、ＲＦＧ２２からコントローラ２０によって受信された状態に対するパラメータの設定点が、クロックサイクルＣＡ中にコントローラ２０によってＲＦＧ２２へ以前に送信されたパラメータの値の所定の範囲内にあると判定すれば、コントローラ２０のプロセッサは、次のクロックサイクル中にＲＦＧ２２に送信するのに向けて、状態に対するパラメータの設定点を変更しないと決定する。逆に、コントローラ２０によってＲＦＧ２２から受信された状態に対するパラメータの設定点が、コントローラ２０によってＲＦＧ２２へ以前に送信されたパラメータの値の所定の範囲を外れると判定すれば、コントローラ２０のプロセッサは、次のクロックサイクル中にＲＦＧ２２へ送信するのに向けて、状態に対するパラメータの設定点が所定の範囲内に収まるように変更すると決定する。

いくつかの実施形態において、１または複数のパラメータに関連する情報が、クロックサイクルＣＡ中にコントローラ２０からＲＦＧ２２へ以前に送信された設定点の値の所定の範囲を外れると判定した場合、コントローラ２０のプロセッサは、警告データを生成する。警告データは、ユーザに対して表示するためにコントローラ２０のプロセッサによって表示デバイス上にレンダリングされるか、もしくは、フォームまたは点滅発光体に表示されるか、もしくは、音声出力の形態で提供されて、プラズマシステム１０の一部（例えば、ＲＦＧ２２内の１または複数の構成要素、または、プラズマチャンバ２４内の１または複数の構成要素、または、ＩＭＣ１４内の１または複数の構成要素、または、それらの組み合わせなど）が誤動作しているかまたは動作していないことをユーザに知らせる。

一部の実施形態において、ＲＦＧ２２の専用プロセッサは、１または複数のパラメータに関連する情報が、クロックサイクルＣＡ中にＲＦＧ２２へ以前に送信された設定点の値の所定の範囲を外れるか否かを判定する。１または複数のパラメータに関連する情報が、クロックサイクルＣＡ中にＲＦＧ２２へ以前に送信された設定点の値の所定の範囲を外れると判定すれば、ＲＦＧ２２の専用プロセッサは、警告データを生成する。警告データは、ＲＦＧ２２の専用プロセッサによってＲＦＧ２２の物理レイヤ２３の専用トランスミッタに送信される。ＲＦＧ２２の物理レイヤ２３の専用トランスミッタＴｘは、ペイロードとして警告データを含む１または複数の転送単位を生成し、１または複数の転送単位をコントローラ２０の物理レイヤ２３の専用レシーバに送信する。コントローラ２０の物理レイヤ２３の専用レシーバは、１または複数の転送単位を受信し、１または複数の転送単位を構文解析して、警告データを抽出する。警告データは、コントローラ２０の専用レシーバからコントローラ２０のプロセッサに提供され、コントローラ２０のプロセッサは、ユーザに表示するために表示デバイス上に警告データをレンダリングするか、もしくは、フォームまたは点滅発光体に警告データを表示するか、もしくは、音声出力の形態で音声データを提供して、プラズマシステム１０の一部が誤動作しているかまたは動作していないことをユーザに知らせる。

いくつかの実施形態において、コントローラ２０は、チャンバ設備を準備して（例えば、プラズマチャンバ２４へ供給されるガスのタイプ、プラズマチャンバ２４への処理ガスの流れの流量、プラズマチャンバ２４内の圧力、チャック１８と上側電極２６との間の分離距離など）、様々なメカニズム（例えば、上側電極２６とチャック１８との間の分離距離を制御するために上側電極２６およびチャック１８の移動を制御するモータを駆動するためのドライバ、プラズマチャンバ２４内の温度を制御するためにヒータに電力を供給するための電源、プラズマチャンバ２４への処理ガスの流量を制御するバルブを駆動するためのドライバ、プラズマチャンバ２４内の圧力を制御するための閉じ込めリングの移動を制御するモータを駆動するためのドライバ）を制御する。

様々な実施形態において、通信プロトコルを適用する専用レシーバ（例えば、物理レイヤ２１のレシーバ、物理レイヤ２３のレシーバなど）は、転送単位にエラーチェックを適用せず、転送単位を送信した専用トランスミッタ（例えば、物理レイヤ２１のトランスミッタ、物理レイヤ２３のトランスミッタなど）にエラーを示唆しない。例えば、専用レシーバは、転送単位にチェックサムを適用しない。別の例として、専用レシーバは、別の転送単位が専用トランスミッタから受信されていない旨のメッセージを含む転送単位を送信しない。エラーチェックおよび補正のかかる排除は、リアルタイムな動的プラズマシステム１０において時間を節約し、プラズマシステム１０に関連するデータ速度を高める。

一部の実施形態において、専用レシーバは、本明細書で用いられているように、１または複数の転送単位に通信プロトコルを適用して１または複数のパラメータの１または複数の設定点もしくは１または複数のパラメータに関連する情報を抽出するトランシーバ回路の構成要素である。これらの実施形態において、専用レシーバは、コントローラのプロセッサまたは専用レシーバに接続された専用プロセッサによって読み出される抽出済みの１または複数の設定点もしくは１または複数のパラメータに関連する抽出済みの情報を格納するために、メモリデバイス（例えば、バッファ、キューなど）を備える。

様々な実施形態において、専用トランスミッタは、本明細書で用いられているように、１または複数のパラメータの１または複数の設定点もしくは１または複数のパラメータに関連する情報に通信プロトコルを適用して１または複数の転送単位を生成するトランシーバ回路の構成要素である。これらの実施形態において、専用トランスミッタは、１または複数の転送単位を生成するためにコントローラのプロセッサまたは専用トランスミッタに接続された専用プロセッサから１または複数の設定点もしくは１または複数のパラメータに関連する情報を受信するために、メモリデバイス（例えば、バッファ、キューなど）を備える。

いくつかの実施形態において、物理レイヤは、本明細書で用いられているように、トランシーバ回路、トランスミッタ回路およびレシーバ回路の両方を含むデバイス、もしくは、通信プロトコルを適用する通信デバイスである。

図１Ｂは、コントローラ２２とＲＦＧ２２との間の通信を示すシステム３０の一実施形態の図である。コントローラ２２のプロセッサは、１または複数のパラメータの１または複数の設定点を生成し、１または複数の設定点をコントローラ２２の物理レイヤ２３の専用トランスミッタＴｘに提供する。コントローラ２２の物理レイヤ２３の専用トランスミッタは、１または複数の設定点に通信プロトコルを適用して１または複数の転送単位を生成し、ＲＦＧ２２の物理レイヤ２１のレシーバポートＲｘに専用通信リンク３０を介してクロックサイクルＣＡ中に１または複数の転送単位を送信する。ＲＦＧ２２の物理レイヤ２１のレシーバポートＲｘは、通信プロトコルを１または複数の転送単位に適用して１または複数の設定点を抽出し、ＲＦＧ２２の専用プロセッサに１または複数の設定点を提供する。

専用プロセッサは、設定点がＲＦ信号の状態Ｓ０に対応するのか状態Ｓ１に対応するのか、そして、設定点が周波数値であるのか電力値であるのかを、１または複数の設定点から判定する。さらに、専用プロセッサは、クロック源から受信されたクロック信号が状態Ｓ１を有するか状態Ｓ０を有するかを判定する。設定点がＲＦ信号の状態Ｓ１のための設定点であると共に電力値を有すると判定し、クロック信号が状態Ｓ１を示すと判定すれば、専用プロセッサは、電力コントローラＰＷＲ Ｓ１に設定点を送信する。一方、設定点がＲＦ信号の状態Ｓ０のための設定点である共に電力値を有すると判定し、クロック信号が状態Ｓ０を示すと判定すれば、専用プロセッサは、電力コントローラＰＷＲ Ｓ０に設定点を送信する。さらに、設定点がＲＦ信号の状態Ｓ１のための設定点であると共に周波数値を有すると判定し、クロック信号が状態Ｓ１を示すと判定すれば、専用プロセッサは、自動周波数チューナ（ＡＦＴ）ＡＦＴ Ｓ１に設定点を送信する。設定点がＲＦ信号の状態Ｓ０のための設定点あると共に周波数値を有すると判定し、クロック信号が状態Ｓ０を示すと判定すれば、専用プロセッサは、ＡＦＴ Ｓ０に設定点を送信する。一部の実施形態において、ＡＦＴはコントローラである。

クロック信号の状態Ｓ１中、電力コントローラＰＷＲ Ｓ１は、駆動電力値（ＲＦ信号の状態Ｓ１に対する電力設定点から特定されるか、または、その電力設定点と同じである）を生成し、ＲＦＧ２２が駆動電力値を有するＲＦ信号を生成するように、ＲＦＧ２２のＲＦ電源に駆動電力値を提供する。同様に、クロック信号の状態Ｓ０中、電力コントローラＰＷＲ Ｓ０は、駆動電力値（ＲＦ信号の状態Ｓ０に対する電力設定点から特定されるか、または、その電力設定点と同じである）を生成し、ＲＦＧ２２が駆動電力値を有するＲＦ信号を生成するように、ＲＦＧ２２のＲＦ電源に駆動電力値を提供する。

さらに、クロック信号の状態Ｓ１中、ＡＦＴ Ｓ１は、駆動周波数値（ＲＦ信号の状態Ｓ１に対する周波数設定点から特定されるか、または、その周波数設定点と同じである）を生成し、ＲＦＧ２２が周波数電力値を有するＲＦ信号を生成するように、ＲＦＧ２２のＲＦ電源に周波数電力値を提供する。同様に、クロック信号の状態Ｓ０中、ＡＦＴ Ｓ０は、駆動周波数値（ＲＦ信号の状態Ｓ０に対する周波数設定点から特定されるか、または、その周波数設定点と同じである）を生成し、ＲＦＧ２２が周波数電力値を有するＲＦ信号を生成するように、ＲＦＧ２２のＲＦ電源に周波数電力値を提供する。

一部の実施形態において、設定点は、電力または周波数の値と、その値が達成されるＲＦ信号の状態と、を含む。

センサ（例えば、複素電圧／電流センサ、電力センサ、インピーダンスセンサなど）が、ＲＦＧ２２の出力側で１または複数のパラメータを測定する。ＲＦＧ２２によって生成されたＲＦ信号は、出力を介してＩＭＣ１４に送信される。測定された１または複数のパラメータは、専用プロセッサに提供され、専用プロセッサは、１または複数の測定されたパラメータから１または複数のパラメータに関連する情報を生成する。一部の実施形態において、１または複数のパラメータに関連する情報は、測定された１または複数のパラメータである。専用プロセッサは、１または複数のパラメータに関連する情報をＲＦＧ２２の物理レイヤ２１の専用トランスミッタＴｘに送信する。

ＲＦＧ２２の物理レイヤ２１の専用トランスミッタＴｘは、１または複数のパラメータに関連する情報に通信プロトコルを適用して、１または複数の転送単位を生成し、クロックサイクルＣＢまたはクロックサイクルＣＡまたは別のクロックサイクル中に専用通信リンク３２を介してコントローラ２２の物理レイヤ２３の専用レシーバＲｘに１または複数の転送単位を送信する。コントローラ２２の物理レイヤ２３の専用レシーバは、通信プロトコルを適用して、１または複数のパラメータに関連する情報を抽出し、１または複数のパラメータに関連する情報をコントローラ２２のプロセッサに提供する。

コントローラ２２のプロセッサは、１または複数のパラメータに関連する情報から、１または複数のパラメータの１または複数の設定点が変更されるか否かを判定し、変更される場合には、変更設定点を生成する。変更設定点は、プロセッサによって、コントローラ２０の物理レイヤ２３の専用トランスミッタに提供される。コントローラ２０の物理レイヤ２３の専用トランスミッタは、１または複数の設定点に通信プロトコルを適用して、１または複数の転送単位を生成し、ＲＦＧ２２によって生成されるＲＦ信号の１または複数のパラメータを変更するために、クロックサイクルＣＣ、クロックサイクルＣＢ、クロックサイクルＣＡ、または、別のクロックサイクル中に、専用通信リンク３０を介してＲＦＧ２２の専用トランスミッタＴｘに１または複数の転送単位を送信する。

図２Ａは、複数のローカルコントローラ、複数のＲＦ発生器、および、マスタシステムコントローラ２０４の間の通信プロトコルの利用を説明するシステム２０２の一実施形態の図である。システム２０２は、ホストコンピュータシステム２００を備えており、ホストコンピュータシステム２００は、さらに、ローカルコントローラ（例えば、副コントローラ１、副コントローラ２、副コントローラ３、基本制御機能副コントローラ、および、非クリティカルデータコントローラなど）を備える。ホストコンピュータシステム２００は、コントローラ２０（図１Ａ）の一例である。図２Ａにおいて副コントローラ１は「コアボード−コプロセス＃１」と示されていることに注意されたい。さらに、副コントローラ２は、図２Ａで「コアボード−コプロセス＃２」と示され、副コントローラ３は、図２Ａで「コアボード−コプロセス＃３」と示されている。また、基本制御機能副コントローラは、図２Ａにおいて「コアボード−基本制御機能」と示されており、非クリティカルデータコントローラは、「コアボード−ローカルマスタ（非クリティカルデータプロセッサ）」と示されている。ホストコンピュータシステム２００は、さらに、マスタシステムコントローラ２０４およびスイッチ２１２を備える。

マスタシステムコントローラ２０４のプロセッサが、コマンドを生成して、ローカルコントローラの１つに送信する。例えば、マスタシステムコントローラ２０４のプロセッサは、ＲＦＧ１のための１または複数のパラメータの１または複数の設定点（例えば、値）を生成する。マスタシステムコントローラ２０４に接続された物理レイヤのトランスミッタが、通信プロトコルを適用することによって、マスタシステムコントローラ２０４のプロセッサによって生成されたコマンドから１または複数の転送単位を生成し、マスタシステムコントローラ２０４に関連する物理レイヤをスイッチ２１２に接続する物理通信媒体２０７ａの通信リンクを介してスイッチ２１２に１または複数の転送単位を送信する。マスタシステムコントローラ２０４に関連する物理レイヤは、マスタシステムコントローラ２０４に接続された物理レイヤである。

スイッチ２１２は、スイッチ２１２を専用レシーバに接続する物理通信媒体２０７ｂの専用通信リンクを介して、基本制御機能副コントローラの専用物理レイヤ２０２ｄの専用レシーバに、１または複数の転送単位を転送する。例えば、スイッチ２１２は、転送単位内に含まれる基本制御機能副コントローラの宛先ポートのＩＤを認識し、転送単位を宛先ポートに転送する。

基本制御機能副コントローラに接続された専用物理レイヤ２０２ｄの専用レシーバは、マスタシステムコントローラ２０４から１または複数の転送単位を受信し、通信プロトコルを１または複数の転送単位に適用して、１または複数の転送単位からコマンドを抽出する。基本制御機能副コントローラの専用物理レイヤ２０２ｄの専用レシーバは、さらに、コマンドがＲＦＧ１に送信されるよう指定されていると判定する。コマンド、ならびに、コマンドがＲＦＧ１に送信されるよう指定されているとの判定が、専用物理レイヤ２０２ｄの専用レシーバから基本制御機能副コントローラのプロセッサに提供される。基本制御機能副コントローラのプロセッサは、コマンド、ならびに、コマンドがＲＦＧ１に送信されるよう指定されているとの判定を、基本制御機能副コントローラに接続された専用イントラボード物理レイヤ２０８ｄに提供する。基本制御機能副コントローラの専用イントラボード物理レイヤ２０８ｄは、物理通信媒体２０７ｃの専用通信リンクを介してスイッチ２１２にコマンドを送信し、スイッチ２１２は、物理通信媒体２０７ｄの専用通信リンクを介して、副コントローラ１に接続された専用イントラボード物理レイヤ２０８ａにコマンドを転送する。専用イントラボード物理レイヤ２０８ａは、副コントローラ１のプロセッサにコマンドを送信する。副コントローラ１のプロセッサは、コマンド、ならびに、コマンドがＲＦＧ１に送信されるよう指定されているとの判定から、１または複数のパラメータ（例えば、パラメータの設定点、パラメータ値など）がＲＧＦ１に送信されることを決定し、副コントローラ１に接続された専用物理レイヤ２０２ａの専用トランスミッタに１または複数のパラメータを含む制御信号を提供する。

副コントローラ１の専用物理レイヤ２０２ａの専用トランスミッタは、通信プロトコルを１または複数のパラメータに適用して、１または複数の転送単位を生成し、クロックサイクルＣＡ中に物理通信媒体２０６ａの専用通信リンクＤＣＬ１を介してＲＦＧ１の物理レイヤ２０３ａの専用レシーバに１または複数の転送単位を送信する。物理レイヤ２０３ａの専用レシーバは、通信プロトコルを１または複数の転送単位に適用して、１または複数の転送単位から１または複数のパラメータを抽出し、ＲＦＧ１の専用プロセッサに１または複数のパラメータを提供する。ＲＦＧ１の専用プロセッサは、ＲＦＧ１のＲＦ電源を制御して、副コントローラ１から受信した１または複数のパラメータの１または複数の設定点（例えば、１または複数の値など）を有するＲＦ信号を生成する。

ＲＦＧ１の専用プロセッサは、１または複数のパラメータに関連する情報を生成し、ＲＦＧ１の物理レイヤ２０３ａの専用トランスミッタにその情報を提供する。ＲＦＧ１の物理レイヤ２０３ａの専用トランスミッタは、１または複数のパラメータに関連する情報に通信プロトコルを適用して、１または複数の転送単位を生成し、クロックサイクルＣＢまたはクロックサイクルＣＡまたは別のクロックサイクル中に、物理通信媒体２０６ａの専用通信リンクＤＣＬ２を介して副コントローラ１に接続された専用物理レイヤ２０２ａの専用レシーバに１または複数の転送単位を送信する。

専用物理レイヤ２０２ａの専用レシーバは、通信プロトコルを適用して１または複数の転送単位から１または複数のパラメータに関連する情報を抽出し、副コントローラ１のプロセッサにその情報を提供する。副コントローラ１のプロセッサは、１または複数のパラメータに関連する情報を副コントローラ１に接続された専用イントラボード物理レイヤ２０８ａに提供する。専用イントラボード物理レイヤ２０８ａは、物理通信媒体２０７ｄの専用通信リンクを介してスイッチ２１２に１または複数のパラメータに関連する情報を送信する。スイッチ２１２は、物理通信媒体２０７ｃの専用通信リンクを介して、基本制御機能副コントローラに接続された専用イントラボード物理レイヤ２０８ｄに１または複数のパラメータに関連する情報を転送する。専用イントラボード物理レイヤ２０８ｄは、１または複数のパラメータに関連する情報を基本制御機能コントローラに提供する。基本制御機能コントローラのプロセッサは、基本制御機能コントローラに接続された専用物理レイヤ２０２ｄの専用トランスミッタに１または複数のパラメータに関連する情報を送信する。基本制御機能コントローラに接続された専用物理レイヤ２０２ｄの専用トランスミッタは、１または複数のパラメータに関連する情報に通信プロトコルを適用して、１または複数の転送単位を生成し、物理通信媒体２０７ｂの専用通信リンクを介してスイッチ２１２に１または複数の転送単位を送信する。スイッチ２１２は、１または複数の転送単位から、１または複数の転送単位がマスタシステムコントローラ２０４に送信されるよう指定されていると判定し、物理通信媒体２０７ａを介して、マスタシステムコントローラ２０４に関連する物理レイヤのレシーバに１または複数の転送単位を送信する。スイッチ２１２は、物理通信媒体２０７ａの通信リンクを介して、マスタシステムコントローラ２０４に関連する物理レイヤのレシーバに１または複数の転送単位を転送する。

マスタシステムコントローラ２０４に関連する物理レイヤのレシーバは、通信プロトコルを適用して、１または複数のパラメータに関連する情報を抽出し、マスタシステムコントローラ２０４のプロセッサにその情報を提供する。マスタシステムコントローラ２０４のプロセッサは、１または複数のパラメータに関連する情報から、クロックサイクルＣＡ中に副コントローラ１によってＲＦＧ１へ以前に送信された１または複数のパラメータと同じ状態に対する１または複数のパラメータの値を変更するか否かを決定する。１または複数のパラメータの１または複数の値を変更すると決定すれば、変更された１または複数の値が、上述したのと同様の方法で、副コントローラ１を介してＲＦＧ１に送信される。逆に、１または複数のパラメータの値を変更しないと決定すれば、変更されていない値が、上述したのと同様の方法で、副コントローラ１を介してＲＦＧ１に送信される。副コントローラ１は、クロックサイクルＣＡ中またはクロックサイクルＣＡ後の他のクロックサイクル中に、変更された値または変更されていない値を送信する。

一部の実施形態において、マスタシステムコントローラ２０４は、伝送制御プロトコル（ＴＣＰ）またはＴＣＰｏｖｅｒＩＰを用いてＲＦＧと通信する。

いくつかの実施形態では、コマンドが、ＲＦＧ１ではなくＲＦＧ２またはＲＦＧ３に送信されるように、マスタシステムコントローラ２０４によって指定される。コマンドは、ＲＦＧ２に送信されるよう指定された場合、物理通信媒体２０７ａ、スイッチ２１２、物理通信媒体２０７ｅの専用通信リンク、副コントローラ２に接続された専用イントラボード物理レイヤ２０８ｂ、物理通信媒体２０６ｂの専用通信リンク、および、ＲＦＧ２の物理レイヤ２０３ｂの専用レシーバを介して、ＲＦＧ２の専用プロセッサに送信されることを除けば、ＲＦＧ１に送信される場合に上述したのと同様の方法で送信される。さらに、コマンドは、ＲＦＧ３に送信されるよう指定された場合、物理通信媒体２０７ａ、スイッチ２１２、物理通信媒体２０７ｆの専用通信リンク、副コントローラ３に接続された専用イントラボード物理レイヤ２０８ｃ、物理通信媒体２０６ｃの専用通信リンク、および、ＲＦＧ３の物理レイヤ２０３ｃの専用レシーバを介して、ＲＦＧ３の専用プロセッサに送信されることを除けば、ＲＦＧ１に送信される場合に上述したのと同様の方法で送信される。

一部の実施形態において、コマンドは、マスタシステムコントローラ２０４からＲＦＧ１、２、および、３すべてに同時または順次に送信される。

様々な実施形態において、１または複数のパラメータに関連する情報が、ＲＦＧ２によって生成され、物理レイヤ２０３ｂの専用トランスミッタから、物理通信媒体２０６ｂの専用通信リンク、物理レイヤ２０８ｂの専用レシーバ、副コントローラ２に接続された専用イントラボード物理レイヤ２０２ｂ、物理通信媒体２０７ｅの専用通信リンク、スイッチ２１２、および、物理通信媒体２０７ａの通信リンクを介して、マスタシステムコントローラ２０４に送信される。さらに、１または複数のパラメータに関連する情報が、ＲＦＧ３によって生成され、物理レイヤ２０３ｃの専用トランスミッタから、物理通信媒体２０６ｃの専用通信リンク、物理レイヤ２０２ｃの専用レシーバ、副コントローラ３に接続された専用イントラボード物理レイヤ２０８ｃ、物理通信媒体２０７ｆの専用通信リンク、スイッチ２１２、および、物理通信媒体２０７ａの通信リンクを介して、マスタシステムコントローラ２０４に送信される。

一部の実施形態において、副コントローラ１、専用物理レイヤ２０２ａ、および、専用イントラボード物理レイヤ２０８ａは、ボード２０９ａ上に配置されている。さらに、副コントローラ２、専用物理レイヤ２０２ｂ、および、専用イントラボード物理レイヤ２０８ｂは、ボード２０９ｂ上に配置されている。また、副コントローラ３、専用物理レイヤ２０２ｃ、および、専用イントラボード物理レイヤ２０８ｃは、ボード２０９ｃ上に配置されている。基本制御機能副コントローラ、専用物理レイヤ２０２ｄ、および、専用イントラボード物理レイヤ２０８ｄは、ボード２０９ｄ上に配置されている。非クリティカルデータコントローラ、非クリティカルデータコントローラに接続された物理レイヤ、および、非クリティカルデータコントローラに接続された専用イントラボード物理レイヤは、ボード２０９ｅ上に配置されている。一部の実施形態において、ボードは、プリント回路基板である。

様々な実施形態において、システム２０２内で利用されるボードの数は、利用されるＲＦ発生器の数と共に変化する。例えば、システム２０２がＲＦＧ１およびＲＦＧ２を備える場合、ボード２０９ａおよび２０９ｂが利用され、ボード２０９ｃは利用されない。

一部の実施形態において、システム２０２は、ボード２０９ｅおよび構成要素（例えば、非クリティカルデータコントローラ、非クリティカルデータコントローラに接続された物理レイヤ、および、非クリティカルデータコントローラに接続された専用イントラボード物理レイヤなど）を備えない。

様々な実施形態において、ＲＦＧ１、ＲＦＧ２、ＲＦＧ３、および、マスタシステムコントローラ２０４の各々は、ＴＣＰ／ＩＰポートを備えており、ＴＣＰ／ＩＰポートを介して互いに通信する。

一部の実施形態において、マスタシステムコントローラ２０４は、マスタシステムコントローラ２０４に接続された物理レイヤを介して、または、マスタシステムコントローラ２０４に接続されたＴＣＰ／ＩＰポートを介して、ＲＦＧの内の１または複数を構成する。例えば、マスタシステムコントローラ２０４は、マスタシステムコントローラ２０４に接続されたＴＣＰ／ＩＰポートおよびＲＦＧ１に接続されたＴＣＰ／ＩＰポートを介して、コマンドをＲＦＧ１に送信し、そのコマンドは、１または複数のパラメータに関連する情報が副コントローラ１に送信されることを、ＲＦＧ１の物理レイヤ２０３ａに示唆する。さらに、マスタシステムコントローラ２０４は、マスタシステムコントローラ２０４に接続されたＴＣＰ／ＩＰポートおよびＲＦＧ２に接続されたＴＣＰ／ＩＰポートを介して、コマンドをＲＦＧ２に送信し、そのコマンドは、１または複数のパラメータに関連する情報が副コントローラ２に送信されることを、ＲＦＧ２の物理レイヤ２０３ｂに示唆する。マスタシステムコントローラ２０４は、マスタシステムコントローラ２０４に接続されたＴＣＰ／ＩＰポートおよびＲＦＧ３に接続されたＴＣＰ／ＩＰポートを介して、コマンドをＲＦＧ３に送信し、そのコマンドは、１または複数のパラメータに関連する情報が副コントローラ３に送信されることを、ＲＦＧ３の物理レイヤ２０３ｃに示唆する。別の例として、各ＲＦＧは、マスタシステムコントローラ２０４に接続された物理レイヤおよびＲＦＧに接続された共有物理レイヤを介して構成される。

一部の実施形態において、副コントローラに関連する（例えば、接続された）物理レイヤの専用トランスミッタは、１または複数の転送単位を２以上のＲＦＧに送信できない。同様に、様々な実施形態において、ＲＦＧの物理レイヤの専用トランスミッタは、１または複数の転送単位を２以上の副コントローラに送信できない。さらに、一部の実施形態において、副コントローラに関連する物理レイヤの専用レシーバは、１または複数の転送単位を２以上のＲＦＧから受信できない。いくつかの実施形態において、ＲＦＧの物理レイヤの専用レシーバは、１または複数の転送単位を２以上の副コントローラから受信できない。

様々な実施形態において、副コントローラに関連する専用物理レイヤと、ＲＦＧに関連する専用物理レイヤ（例えば、ＲＦＧの専用プロセッサに接続された物理レイヤ）との間に、デュアルプッシュがある。例えば、１または複数のパラメータに関連する情報を提供するのにＲＦＧの専用プロセッサに送信を行うために、副コントローラによって生成される要求がない。ＲＦＧが１または複数のパラメータに関連する情報を転送するようにマスタシステムコントローラ２０４または副コントローラによって構成されると、ＲＦＧに関連する専用物理レイヤは、例えば、要求などをされることなしに、１または複数のパラメータに関連する情報を有する１または複数の転送単位を、副コントローラに関連する専用物理レイヤに送信する。ＲＦＧに関連する専用物理レイヤは、マスタシステムコントローラ２０４または副コントローラが１または複数のパラメータに関連する情報の送信を停止するためのコマンドをＲＦＧに送信するまで、１または複数の転送単位を連続的に送信する。さらに、１または複数のパラメータの１または複数の設定点を送信するように副コントローラに要求するために、ＲＦＧの専用プロセッサによって生成される要求がない。副コントローラは、１または複数のパラメータに関連する情報をＲＦＧから受信し、ＲＦＧへの送信に向けて１または複数のパラメータの１または複数の設定点を修正するか否かを決定するために情報を解析するようにプログラムされている。

図２Ｂは、複数の副コントローラが、別個のボードではなく、同じボード２１３（プリント回路基板など）に配置されていることを示すシステム２１１の一実施形態の図である。システム２１１では、専用イントラボード物理レイヤ（例えば、イントラボードレシーバおよびイントラボードトランスミッタなど）の利用はない。システム２１１は、ホストコンピュータシステム２１７（コントローラ２０（図１Ａ）の一例）を備えることを除けば、システム２０２（図２Ａ）と類似している。ホストコンピュータシステム２１７は、専用イントラボード物理レイヤを有していない。さらに、システム２１１は、スイッチ２１２を有していない。システム２１１では、マスタコントローラ２０４に接続された物理レイヤが、コマンドを送信したり、１または複数のパラメータに関連する情報を受信したりするために用いられる。さらに、マスタコントローラ２０４は、物理通信媒体２１９を介して専用物理レイヤ２０２ｄに接続されている。物理通信媒体２０７ａ（図２Ａ）、スイッチ２１２、および、専用物理媒体２０７ｂ（図２Ａ）を介して、マスタシステムコントローラ２０４と通信する代わりに、専用物理通信媒体２１９は、専用物理レイヤ２０２ｄと、マスタシステムコントローラ２０４に接続された物理レイヤとの間で、１または複数の転送単位を通信するために用いられる。また、システム２１１は、副コントローラ１、副コントローラ２、副コントローラ３、基本制御機能副コントローラ、および、非クリティカルデータコントローラと相互接続するパラレルバス２１５を有する。専用イントラボード物理レイヤおよびスイッチ２１２を介して副コントローラの間で通信する代わりに、ホストコンピュータシステム２１７の副コントローラは、バス２１５を介して互いに通信する。

一部の実施形態において、バス２１５は、副コントローラ１、副コントローラ２、副コントローラ３、基本制御機能副コントローラ、および、非クリティカルデータコントローラの間で通信を行うように、特化およびカスタマイズされる。例えば、バス２１５は、ナノ秒のオーダーで、副コントローラ１、副コントローラ２、副コントローラ３、基本制御機能副コントローラ、および、非クリティカルデータコントローラの内の任意の２つの間の通信を円滑にする。副コントローラ１、副コントローラ２、副コントローラ３、基本制御機能副コントローラ、および、非クリティカルデータコントローラの各々は、汎用入力／出力（ＧＰＩＯ）コントローラに接続されており、ＧＰＩＯコントローラは、さらに、複数のＧＰＩＯピンを介してバス２１５に接続している。ＧＰＩＯコントローラは、様々な機能（例えば、バス２１５の帯域幅に基づいて、副コントローラ１、副コントローラ２、副コントローラ３、基本制御機能副コントローラ、および、非クリティカルデータコントローラの間の通信速度を制御する機能；副コントローラ１、副コントローラ２、副コントローラ３、基本制御機能副コントローラ、および、非クリティカルデータコントローラの間の通信速度をネゴシエートする機能など）を実行する。

一部の実施形態において、各副コントローラおよびその副コントローラに接続された専用物理レイヤは、別個のボード上にある。例えば、副コントローラ１および専用物理レイヤ２０２ａは、第１のプリント回路基板上に配置され、副コントローラ２および専用物理レイヤ２０２ｂは、第２のプリント回路基板上に配置され、副コントローラ３および専用物理レイヤ２０２ｃは、第３のプリント回路基板上に配置されている。各ボードは、対応するＧＰＩＯコントローラおよび対応するＧＰＩＯピンを介してバス２１５に接続される。かかるボードの配列は、モジュール性を提供し、ボードの接続および除去を容易にする。

様々な実施形態において、専用物理レイヤ２０３ａはＲＦＧ１内に配置され、専用物理レイヤ２０３ｂはＲＦＧ２内に配置され、専用物理レイヤ２０３ｃはＲＦＧ３内に配置されている。

図２Ｃは、専用イントラボード物理レイヤ２５４ａ、２５４ｂ、および、２５４ｃと、副コントローラ１、２、および、３との間のポイントツーポイント通信を示すシステム２５０の一実施形態の図である。システム２５０は、ボード２０９ｄおよび２０９ｅ（図２Ａ）ならびにスイッチ２１２（図２Ａ）を備えないことを除けば、システム２０２（図２Ａ）と同様である。システム２５０において、専用イントラボード物理レイヤ２５４ａ、２５４ｂ、および、２５４ｃの各々は、マスタシステムコントローラ２０４に接続されている。さらに、専用イントラボード物理レイヤ２５４ａは、専用物理通信媒体２５６ａを介して専用イントラボード物理レイヤ２０８ａに接続され、専用イントラボード物理レイヤ２５４ｂは、専用物理通信媒体２５６ｂを介して専用イントラボード物理レイヤ２０８ｂに接続され、専用イントラボード物理レイヤ２５４ｃは、専用物理通信媒体２５６ｃを介して専用イントラボード物理レイヤ２０８ｃに接続されている。ボード２０９ａ、２０９ｂ、および、２０９ｃは、ホストコンピュータシステム２５２内に配置されており、ホストコンピュータシステム２５２は、コントローラ２０（図１Ａ）の一例である。

また、システム２５０では、コマンドが、マスタシステムコントローラ２０４に接続された専用イントラボード物理レイヤ２５４ａから専用物理通信媒体２５６ａを介して専用イントラボード物理レイヤ２０８ａに送信される、または、コマンドが、マスタシステムコントローラ２０４に接続された専用イントラボード物理レイヤ２５４ｂから専用通信媒体２５６ｂを介して専用イントラボード物理レイヤ２０８ｂに送信される、および／または、コマンドが、マスタシステムコントローラ２０４に接続された専用イントラボード物理レイヤ２５４ｃから専用物理通信媒体２５６ｃを介して専用イントラボード物理レイヤ２０８ｃに送信される。同様に、システム２５０では、１または複数のパラメータに関連する情報が、ＲＦＧ１から受信されると、副コントローラ１に接続された専用イントラボード物理レイヤ２０８ａから、専用物理通信媒体２５６ａを介して、マスタシステムコントローラ２０４に接続された専用イントラボード物理レイヤ２５４ａに送信される。さらに、１または複数のパラメータに関連する情報が、ＲＦＧ２から受信されると、副コントローラ２に接続された専用イントラボード物理レイヤ２０８ｂから、専用物理通信媒体２５６ｂを介して、マスタシステムコントローラ２０４に接続された専用イントラボード物理レイヤ２５４ｂに送信される。また、１または複数のパラメータに関連する情報が、ＲＦＧ３から受信されると、副コントローラ３に接続された専用イントラボード物理レイヤ２０８ｃから、専用物理通信媒体２５６ｃを介して、マスタシステムコントローラ２０４に接続された専用イントラボード物理レイヤ２５４ｃに送信される。

一部の実施形態では、マスタシステムコントローラ２０４によって実行されると本明細書に記載した動作が、副コントローラ１、副コントローラ２、または、副コントローラ３によって実行される。例えば、マスタシステムコントローラが、ＲＦＧ１から受信された１または複数のパラメータに関連する情報に基づいて、警告をトリガするか否かを判定する代わりに、副コントローラがその判定を行う。別の例として、マスタシステムコントローラ２０４が、コンピュータ生成モデルを適用して、ＲＦＧ１に提供されるパラメータの設定点を決定する代わりに、副コントローラがその決定を行う。コンピュータ生成モデルについてはさらに後述する。

図３は、転送単位３００（例えば、データグラム、パケットなど）を示す一実施形態の図である。転送単位は、ヘッダフィールドと、ペイロードフィールド（例えば、ＲＦ信号の１または複数の状態に対する１または複数のパラメータに関連する情報を含むフィールド、１または複数の状態に対するパラメータの設定点を含むフィールド、パラメータのタイプを含むフィールドなど）と、を備える。パラメータのタイプの例は、ＲＦ信号の電力、周波数、パルス幅などを含む。ヘッダフィールドは、転送単位の送信元である送信元ポートのＩＤのためのフィールド、転送単位を受信するように指定された宛先ポートのＩＤのためのフィールド、ヘッダとヘッダに結合されたペイロードとの合計長のためのフィールド、および、チェックサム値のためのフィールドを含む。

様々な実施形態において、転送単位３００は、送信元ポートを識別するための送信元ポートフィールドおよび宛先ポートを識別するための宛先ポートフィールドを除外するように、カスタマイズされる（例えば、カスタマイズされたプロトコルを用いて生成される、など）。ポイントツーポイント通信においては、送信元ポートおよび宛名ポートを識別する必要がない。この除外は、コントローラ２０およびＲＦＧ２２（図１Ａ）の間のデータ速度を高める。

一部の実施形態において、ヘッダは、チェックサム値のためのフィールド、および／または、ヘッダとペイロードとの合計長のためのフィールドを排除するように、カスタマイズされる（例えば、カスタマイズされたプロトコルなどを用いて生成される）。この除外は、コントローラ２０およびＲＦＧ２２の間のデータ速度を高める。

様々な実施形態において、チェックサム値は、転送単位３００を送信するトランスミッタ（例えば、ソースポートになど）によって生成される。チェックサム値は、転送単位３００のペイロード、転送単位３００のヘッダ、または、それらの組み合わせから生成される。チェックサム値は、転送単位３００のペイロードおよび／またはヘッダがトランスミッタからレシーバへの転送中に変化したか否かを判定するために、転送単位３００のレシーバ（例えば、宛先ポートなど）によって計算された別のチェックサム値と比較される。

一部の実施形態では、データグラムが、ＩＰパケット内に埋め込まれ、ＩＰパケットが、さらに、イーサネットパケット内に埋め込まれる。

様々な実施形態において、転送単位３００は、フィールドが図３に図示したものと異なる配置になるように、カスタマイズされる（例えば、カスタマイズされたプロトコルを用いて生成される）。例えば、ペイロードのためのフィールドが、長さのためのフィールドの前になる。別の例として、宛先ポートのためのフィールドが、送信元ポートのためのフィールドの前または長さのためのフィールドの後になる。カスタマイズされたプロトコルは、カスタマイズされた転送単位（カスタマイズされたプロトコルを用いて生成された転送単位）の内の１または複数を生成する物理レイヤによって適用される。

図４は、複数のグラフ４０２および４０４を示す図であり、ＲＦ信号４０６の複数の状態Ｓ０からＳｎを示す（ここで、ｎは１以上の整数）。ＲＦ信号４０６は、ＲＦ発生器によって生成されたＲＦ信号の一例である。グラフ４０２は、クロック信号４０８（例えば、トランジスタ−トランジスタロジック（ＴＴＬ）信号など）を時間ｔに対してプロットしている。グラフ４０４は、ＲＦ信号４０６を時間ｔに対してプロットしている。ＲＦ信号４０６は、クロック信号４０８が状態１（例えば、高状態、高レベルなど）にある時に、複数の状態Ｓ０、Ｓ１、Ｓ２、Ｓ３、Ｓ４、・・・、状態Ｓ（ｎ−１）、および、Ｓｎを有する。例えば、ＲＦ信号４０６は、８つの状態Ｓ０〜Ｓ７を有する。別の例として、ＲＦ信号４０６は、２０の状態Ｓ０〜Ｓ２０を有する。複数の状態Ｓ０〜Ｓｎは、ＲＦ信号４０６の高状態に対応しており、例えば、状態の各々におけるＲＦ信号４０６の電力値は、クロック信号４０８が状態０（例えば、低状態、低レベルなど）にある時のＲＦ信号４０６の電力値よりも高い。

ＲＦ信号４０６は、クロック信号４０８と同期する。例えば、クロック信号４０８が高状態にある時、ＲＦ信号４０６も高状態にあり、例えば、状態Ｓ０〜ＳｎのＲＦ値は、クロック信号が状態０にある時のＲＦ信号４０６のＲＦ値よりも高い。別の例として、クロック信号４０８が低状態にある時、ＲＦ信号も低状態にあり、例えば、クロック信号が状態１にある時のＲＦ信号４０６のＲＦ値は、状態Ｓ０〜ＳｎにあるＲＦ信号のＲＦ値よりも低い。

一部の実施形態において、ＲＦ信号４０６が、クロック信号４０８の高状態中に複数の状態を有する代わりに、または、それに加えて、ＲＦ信号４０６は、クロック信号４０８の低状態中に複数の状態を有する。クロック信号４０８の低状態中に複数の状態を有するＲＦ信号４０６のＲＦ値は、クロック信号４０８の高状態中のＲＦ信号のＲＦ値よりも低い。

いくつかの実施形態では、クロック信号４０８が状態０にある時に、ＲＦ信号の状態Ｓ１〜Ｓｎと同じ１または複数の状態が発生する。例えば、ＲＦ信号は、クロック信号４０８が状態１にある時に複数の状態を有し、クロック信号４０８が状態０にある時に複数の状態を有する。

一部の実施形態において、クロック信号４０８が状態０にある時に、ＲＦ信号の状態Ｓ１〜Ｓｎと同じ１または複数の状態が発生し、クロック信号４０８が状態１にある時には、ＲＦ信号の状態Ｓ１〜Ｓｎは発生しない。

様々な実施形態において、ＲＦ信号４０６は、正弦波の形態である。例えば、各状態中、ＲＦ信号は振動して、正弦波信号を形成する。

図５は、ローカルプロセッサボードシステム５１０とＲＦＧとの間、および、ローカルプロセッサボードシステム５１０と別のローカルプロセッサボードシステム５１４との間のデータ通信を示すシステム５００の一実施形態の図である。ローカルプロセッサボードシステム５１０は、ボード２０９ａ（図２Ａ）、ボード２０９ｂ（図２Ａ）、または、ボード２０９ｃ（図２Ａ）の一例である。ローカルプロセッサボードシステム５１４は、ボード２０９ｄ（図２Ａ）の一例である。ＲＦＧは、ＲＦＧ１、ＲＦＧ２、または、ＲＦＧ３の一例である。

ＲＦＧは、ＲＦＧの物理レイヤ５２１を介してローカルプロセッサボードシステム５１０に１または複数のパラメータに関連する情報を送信することを開始するように構成されている。ＲＦＧは、ローカルプロセッサボードシステム５１４の共有物理レイヤ５１３、物理通信媒体５２７の共有通信リンク、および、ＲＦＧの物理レイヤ５２１を介して、ローカルプロセッサボードシステム５１４のプロセッサによって構成される。例えば、共有物理レイヤ５１３は、通信プロトコルを構成情報（コンフィギュレーション情報）に適用して、１または複数の転送単位を生成する。物理レイヤ５２１は、構成情報を有する１または複数の転送単位を、物理通信媒体５２７の共有通信リンクを介して共有物理レイヤから受信する。物理レイヤ５２１は、構成情報を有する１または複数の転送単位に通信プロトコルを適用して構成情報を抽出し、その構成情報をＲＦＧの専用プロセッサに提供する。ＲＦＧの専用プロセッサは、構成情報を読み出した後、１または複数のパラメータに関連する情報の送信を開始することを決定する。１または複数のパラメータに関連する情報の送信を決定すると、ＲＦＧの専用プロセッサは、通信プロトコルを適用して１または複数の転送単位を生成するために、ＲＦＧの専用物理レイヤ５２３に情報を送信する。

共有物理レイヤ５１３、および、物理通信媒体５２７の共有通信リンクは、ＲＦＧ１、ＲＦＧ２、および、ＲＦＧ３の間で共有される。例えば、ローカルプロセッサボードシステム５１４のプロセッサは、１または複数のパラメータに関連する情報の送信を開始するために、ＲＦＧ１の専用物理レイヤ、ＲＦＧ２の専用物理レイヤ、および、ＲＦＧ３の専用物理レイヤを構成する。その構成は、共有物理レイヤ５１３から物理通信媒体５２７の共有通信リンクを介してＲＦＧ１、ＲＦＧ２、および、ＲＦＧ３の各々の物理レイヤに、構成コマンドを送信することによってなされる。ＲＦＧ１、ＲＦＧ２、および、ＲＦＧ３の各々は、それに対応する物理レイヤを介して物理通信媒体５２７に接続されている。

ローカルプロセッサボードシステム５１４によって構成されると、ＲＦＧの専用物理レイヤ５２３は、ＵＤＰまたはカスタマイズされたプロトコルを１または複数のパラメータに関連する情報に適用することによって、１または複数の転送単位を生成する。ＲＦＧの専用物理レイヤ５２３の専用トランスミッタが、物理通信媒体５０７の専用通信リンク５０６を介して、ローカルプロセッサボードシステム５１０の物理レイヤ５０２（例えば、チップ、集積回路など）の専用レシーバに、１または複数のパラメータに関連する情報を有する１または複数の転送単位などをプッシュ（例えば、転送）する。次いで、ローカルプロセッサボードシステム５１０の物理レイヤ５０２の専用トランスミッタが、１または複数のパラメータに対する１または複数の設定点（例えば、１または複数の値など）を含む転送単位（例えば、転送単位３００（図３）など）を生成する。一部の実施形態において、設定点は、ローカルプロセッサボードシステム５１０によってマスタシステムコントローラ２０４（図２Ａ）から受信される。

設定点は、１または複数のパラメータに関連する情報に基づいて生成される。例えば、１または複数のパラメータに関連する情報を所定の範囲と比較して、設定点を生成する。設定点は、設定点がＲＦＧに送信された後に受信される１または複数のパラメータに関連する情報が所定の範囲内になるように生成される。生成されて、物理レイヤ５０２の専用トランスミッタによって送信された転送単位の一例を、図６に提供する。１または複数のパラメータの１または複数の設定点は、１または複数の状態（例えば、ＲＦ信号などの状態Ｓ０およびＳ１、状態Ｓ０、状態Ｓ１、状態Ｓ０およびＳ１およびＳ２、状態Ｓ０〜Ｓ２、状態Ｓ０〜Ｓ３、状態Ｓ０〜Ｓ４、状態Ｓ０〜Ｓ５、状態Ｓ０〜Ｓ（ｎ−１）、もしくは、状態Ｓ０〜Ｓｎなど）に関連する。物理レイヤ５０２の専用トランスミッタは、物理通信媒体５０７の専用通信リンク５０４を介してＲＦＧ（例えば、ＲＦＧ１など）の物理レイヤ５２３の専用レシーバに転送単位を送信する。

ＲＦＧは、専用通信リンク５０４を介して受信した設定点を有するＲＦ信号を生成する。ＲＦ信号に基づいて、１または複数のパラメータに関連する情報がＲＦＧによって生成され、物理レイヤ５２３の専用トランスミッタによって１または複数の転送単位内にパッケージングされる。次いで、物理レイヤ５０２の専用レシーバは、物理通信媒体５０７の専用通信リンク５０６を介して、ＲＦＧの物理レイヤ５２３の専用トランスミッタから、１または複数のパラメータに関連する情報を含む１または複数の転送単位（例えば、転送単位３００など）を受信する。物理レイヤ５０２の専用レシーバによって受信された転送単位の一例を、図７に提供する。

物理レイヤ５０２の専用レシーバは、通信プロトコルを適用して、転送単位から１または複数のパラメータに関連する情報を抽出し、ローカルプロセッサボードシステム５１０のプロセッサ（例えば、副コントローラ１のプロセッサ、副コントローラ２のプロセッサ、または、副コントローラ３のプロセッサなど）にその情報を提供する。一部の実施形態において、ローカルプロセッサボードシステム５１０が、副コントローラ１と一体化されている場合、ＲＦＧはＲＦＧ１であり、ＲＦＧの物理レイヤは物理レイヤ２０３ａ（図２Ａ）である。さらに、ローカルプロセッサボードシステム５１０が、副コントローラ２と一体化されている場合、ＲＦＧはＲＦＧ２であり、ＲＦＧの物理レイヤは物理レイヤ２０３ｂ（図２Ａ）である。また、ローカルプロセッサボードシステム５１０が、副コントローラ３と一体化されている場合、ＲＦＧはＲＦＧ３であり、ＲＦＧの物理レイヤは物理レイヤ２０３ｃ（図２Ａ）である。

ローカルプロセッサボードシステム５１０のプロセッサは、１または複数のパラメータに関連する情報から、１または複数の状態（例えば、ＲＦ信号の状態Ｓ０およびＳ１、状態Ｓ０、状態Ｓ１、状態Ｓ０およびＳ１およびＳ２、状態Ｓ０〜Ｓ２、状態Ｓ０〜Ｓ３、状態Ｓ０〜Ｓ４、状態Ｓ０〜Ｓ５、状態Ｓ０〜Ｓ（ｎ−１）、もしくは、状態Ｓ０〜Ｓｎなど）に関連する１または複数の設定点が修正されることを決定し、１または複数の設定点を修正して１または修正済み設定点を生成する。

ローカルプロセッサボードシステム５１０のプロセッサは、１または複数の修正された設定点を物理レイヤ５０２の専用トランスミッタに提供する。物理レイヤ５０２の専用トランスミッタは、１または複数の修正された設定点に通信プロトコルを適用して、転送単位（例えば、転送単位３００、図６に示す転送単位など）を生成し、専用通信リンク５０６を介してＲＦＧの物理レイヤ５２３の専用レシーバに転送単位を送信する。様々な実施形態において、１または複数の修正された設定点は、ローカルプロセッサボードシステム４１０によってマスタシステムコントローラ２０４から受信される。

一部の実施形態において、ローカルプロセッサボードシステム５１０と、ローカルプロセッサボードシステム５１４との間には、ボード間通信が存在する。一例として、１または複数のパラメータに関連する情報は、ローカルプロセッサボードシステム５１０の副コントローラ（例えば、副コントローラ１、副コントローラ２、副コントローラ３など）に接続された物理レイヤ５１６の専用トランスミッタＴｘ２から、物理通信媒体５１９の第１の専用通信リンクを介して、ローカルプロセッサボードシステム５１４の物理レイヤ５１２の専用レシーバに転送される。物理レイヤ５１２の専用レシーバは、物理レイヤ５１２および５１３に接続された副コントローラ（例えば、副コントローラ１、副コントローラ２、副コントローラ３、基本制御機能副コントローラなど）に、１または複数のパラメータに関連する情報を送信する。別の例として、１または複数のパラメータの１または複数の設定点が、ローカルプロセッサボードシステム５１４の物理レイヤ５１２の専用トランスミッタによってローカルプロセッサボードシステム５１４の副コントローラから受信され、専用トランスミッタによって物理通信媒体５１９の専用通信リンクを介してローカルプロセッサボードシステム５１０の物理レイヤ５１６の専用レシーバに送信される。

一部の実施形態において、ローカルプロセッサボードシステム５１４は、副コントローラの代わりにマスタシステムコントローラ２０４（図２Ａ）を備える。

様々な実施形態において、転送単位がローカルプロセッサボードシステム５１０の物理レイヤ５０２の専用レシーバによってＲＦＧの物理レイヤ５２３の専用トランスミッタから受信される速度は、転送単位が物理レイヤ５０２の専用トランスミッタからＲＦＧの物理レイヤ５２３の専用レシーバに送信される速度以上である。かかる同等以上の受信速度は、ローカルプロセッサボードシステム５１０のプロセッサが、ＲＦＧの物理レイヤ５２３の専用トランスミッタから受信された転送単位内の１または複数のパラメータに関連する情報に基づいて、１または複数の状態に対する１または複数のパラメータの１または複数の値が変更されるか否かを決定することを容易にする。

一部の実施形態において、転送単位が物理レイヤ５０２の専用レシーバによってＲＦＧの物理レイヤ５２３の専用トランスミッタから受信される速度は、転送単位がローカルプロセッサボードシステム５１０の専用トランスミッタからＲＦＧの物理レイヤ５２３の専用レシーバに送信される速度よりも小さい。

一実施形態において、専用トランスミッタ（例えば、ローカルプロセッサボードシステム５１０の物理レイヤ５０２のトランスミッタ、ＲＦＧの物理レイヤ５２３の専用トランスミッタなど）は、複数の転送単位を組み合わせることによってバースト転送単位（例えば、バーストパケット、バーストフレームなど）を生成して、一連の転送単位を生成する。バースト転送単位は、各転送単位のオーバーヘッドを削減し、転送単位を別個に送信するよりも高いデータ速度を達成する。例えば、各転送単位内に送信元ポートおよび宛先ポートのＩＤを示す必要がない。この例において、送信元ポートおよび／または宛先ポートは、組み合わされた複数の転送単位に対して示される。別の例において、バースト転送単位の場合、バースト転送単位内の各パケットのためのヘッダは必要ない（例えば、パケットの開始および終了を示す分割ビットが必要ない、など）。例えば、バースト転送単位のフレームの場合、ヘッダが、フレーム内の最初のパケットの前に用いられ、フレーム内の残りのパケットはヘッダを持たない。最初のパケットの前のヘッダは、フレームの開始を示す。かかる削減は、ペイロードであり、時間を節約し、データ転送速度を高める。

さらに、ローカルプロセッサボードシステム５１０の専用トランスミッタが複数の転送単位を生成して組み合わせるのにかかる時間中に、ローカルプロセッサボードシステム５１０またはマスタシステムコントローラ２０４のプロセッサが、プラズマシステム１０（図１Ａ）の一部のモデルを生成することおよび／またはモデルの出力側の出力データを計算することが可能である。プラズマシステム１０の一部（例えば、ＲＦケーブル１６（図１Ａ）、ＩＭＣ１４（図１Ａ）、ＲＦ伝送線路１２（図１Ａ）、チャック１８（図１Ａ）、ＲＦケーブル１６およびＩＭＣ１４の組み合わせ、ＲＦケーブル１６およびＩＭＣ１４およびＲＦ伝送線路１２の組み合わせ、もしくは、ＲＦケーブル１６およびＩＭＣ１４およびＲＦ伝送線路１２およびチャック１８の組み合わせ、など）のモデルが、ローカルプロセッサボードシステム５１０のメモリデバイスまたはマスタシステムコントローラ２０４のメモリデバイスに格納される。モデルは、プラズマシステム１０の一部と同様の特性（例えば、静電容量、インダクタンス、複素電力、複素電圧および電流、など）を有する。例えば、モデルは、プラズマシステム１０の一部に含まれるのと同じ数のコンデンサおよび／またはインダクタを有し、それらのコンデンサおよび／またはインダクタは、プラズマシステム１０の一部におけるのと同じ方法（例えば、直列、並列など）で互いに接続される。一例を示すと、ＩＭＣ１４が、インダクタと直列に接続されたコンデンサを備える時に、ＩＭＣ１４のモデルも、インダクタと直列に接続されたコンデンサを備える。

別の例として、プラズマシステム１０の一部は、１または複数の電気構成要素を含み、モデルは、その部分の設計（例えば、コンピュータ生成モデルなど）である。一部の実施形態において、コンピュータ生成モデルは、入力ハードウェアユニットを介してユーザから受信された入力信号に基づいて、ローカルプロセッサボードシステム５１０またはマスタシステムコントローラ２０４のプロセッサによって生成される。入力信号は、どの電気構成要素（例えば、コンデンサ、インダクタなど）をモデルに含めるかに関する信号、および、互いに電気構成要素を接続する方法（例えば、直列、並列など）に関する信号を含む。さらに別の例として、プラズマシステム１０の一部は、ハードウェア電気構成要素と、電気構成要素間のハードウェア接続とを含み、モデルは、ハードウェア電気構成要素およびハードウェア接続のソフトウェア表現を含む。本明細書で用いられているように、電気構成要素の例は、抵抗器、コンデンサ、および、インダクタを含む。

一部の実施形態において、マスタシステムコントローラ２０４またはローカルプロセッサボードシステム５１０のプロセッサは、モデルに入力されたデータと、モデルの構成要素の特性とに基づいて、モデルの出力側の出力データを生成する。例えば、モデルの電気構成要素の複素電圧およびモデルの入力ノードでの複素電圧の方向和（ｄｉｒｅｃｔｉｏｎａｌ ｓｕｍ）が、モデルの出力ノードでの複素電圧を計算するために、マスタシステムコントローラ２０４またはローカルプロセッサボードシステム５１０のプロセッサによって計算される。入力ノードでの複素電圧は、１または複数のパラメータに関連する情報の一例である。別の例として、モデルの電気構成要素の複素電流およびモデルの入力ノードでの複素電流の方向和が、モデルの出力ノードでの複素電流を計算するために、マスタシステムコントローラ２０４またはローカルプロセッサボードシステム５１０のプロセッサによって計算される。入力ノードでの複素電流は、１または複数のパラメータに関連する情報の一例である。一部の実施形態において、マスタシステムコントローラ２０４またはローカルプロセッサボードシステム５１０のプロセッサは、１または複数のパラメータに関連する情報から複素電圧、複素電流、もしくは、複素電圧および複素電流を計算する。モデルの入力ノードにおける入力の例は、物理レイヤ５０２の専用レシーバによってＲＦＧから受信された１または複数のパラメータに関連する情報を含む。出力ノードにおける出力は、クロックサイクル（例えば、クロックサイクルＣＣ、クロックサイクルＣＡ、クロックサイクルＣＢなど）中のＲＦ信号の１または複数の状態（例えば、状態Ｓ０〜Ｓ７のいずれか、など）に対するパラメータの値を変更するか否かを決定するために、マスタシステムコントローラ２０４またはローカルプロセッサボードシステム５１０のプロセッサによって用いられる。

様々な実施形態において、マスタシステムコントローラ２０４またはローカルプロセッサボードシステム５１０のプロセッサは、１または複数のパラメータに関連する情報からデータを間引いて、情報量を削減する。例えば、マスタシステムコントローラ２０４またはローカルプロセッサボードシステム５１０のプロセッサは、統計的演算（例えば、挿入ソート演算、マージソート演算、移動四分位範囲（ＩＱＲ）計算、四分位範囲計算、最大値計算、最小値計算、平均値計算、中央値計算法、分散値計算法、標準偏差値計算法、移動平均値計算法、移動中央値計算法、移動分散値計算法、移動標準偏差値計算法、最頻値、移動最頻値、または、これらの組み合わせなど）を、１または複数のパラメータに関連する情報に適用して、１または複数のパラメータに関連する情報の複数の値から第１の統計値を生成する。マスタシステムコントローラ２０４またはローカルプロセッサボードシステム５１０のプロセッサは、第１の統計値と、以前のクロックサイクル（例えば、クロックサイクルＣＡなど）中に送信された１または複数の設定点からプロセッサによって生成された第２の統計値とを比較する。第１の統計値が第２の統計値から所定の範囲内に含まれないと判定すれば、マスタコントローラシステム２０４またはローカルプロセッサボードシステム５１０のプロセッサは、第１の統計値を達成するように１または複数のパラメータの１または複数の設定点を変更し、１または複数の変更済みの設定点を上述の方法でＲＦＧに送信する。逆に、第１の統計値が第２の統計値から所定の範囲内に含まれると判定すれば、マスタコントローラシステム２０４またはローカルプロセッサボードシステム５１０のプロセッサは、１または複数のパラメータの１または複数の設定点を変更せずに、１または複数の設定点を上述の方法でＲＦＧに再送信する。

様々な実施形態において、第１の統計値は、警告データを生成するか否かを決定するために、マスタコントローラシステム２０４またはローカルプロセッサボードシステム５１０のプロセッサによって用いられる。例えば、第１の統計値が第２の統計値から所定の範囲内に含まれていないと判定すれば、マスタコントローラシステム２０４またはローカルプロセッサボードシステム５１０のプロセッサは、警告データを生成する。逆に、第１の統計値が第２の統計値から所定の範囲内に含まれると判定すれば、マスタコントローラシステム２０４またはローカルプロセッサボードシステム５１０のプロセッサは、警告データを生成しない。警告データは、ディスプレイデバイス上に表示するためにマスタシステムコントローラ２０４またはローカルプロセッサボードシステム５１０のプロセッサによってレンダリングされるか、もしくは、上述のその他のメカニズムによって提供される。

一部の実施形態において、ＲＦ信号の第１の状態（例えば、状態Ｓ０など）に対するパラメータの値が、第２の状態（例えば、状態Ｓ１など）に対するパラメータの値を通信するために用いられる転送単位とは異なる転送単位を用いて、コントローラからＲＦＧに通信される。この実施形態では、第１の状態に対するパラメータに関連する情報が、第２の状態に対するパラメータに関連する情報を通信するために用いられる転送単位とは異なる転送単位を用いて、ＲＦＧからコントローラに通信される。

様々な実施形態において、ＲＦ信号の第１のセットの状態（例えば、状態Ｓ０および／またはＳ１など）に対するパラメータの値が、第２のセットの状態（例えば、状態Ｓ２、Ｓ３、および／または、Ｓ４など）に対するパラメータの値を通信するために用いられる転送単位とは異なる転送単位を用いて、コントローラからＲＦＧに通信される。この実施形態では、第１のセットの状態に対するパラメータに関連する情報が、第２のセットの状態に対するパラメータに関連する情報を通信するために用いられる転送単位とは異なる転送単位を用いて、ＲＦＧからコントローラに通信される。

一部の実施形態において、物理レイヤ５１２および５１６の間のボード間通信の代わりに、物理レイヤ５１２および５１６の間の通信が、スイッチ２１２（図２Ａ）を介して行われる。

いくつかの実施形態において、共有物理レイヤ５１３は、ローカルプロセッサボードシステム５１４の代わりに、ローカルプロセッサボードシステム５１０上に配置される。例えば、ローカルプロセッサボードシステム５１０の副コントローラは、物理通信媒体５２７の共有通信リンクと物理レイヤ５２１とを介して、ＲＦＧの専用物理レイヤ５２３を構成する。

図６は、副コントローラに関連する物理レイヤ（例えば、物理レイヤ２０２ａ、物理レイヤ２０２ｂ、または、物理レイヤ２０２ｃ（図２Ａ）など）から、ＲＦＧの物理レイヤ（例えば、物理レイヤ２０３ａ、物理レイヤ２０３ｂ、または、物理レイヤ２０３ｃ（図２Ａ）など）に送信されるデータグラムの一実施形態である。データグラムは、ＲＦ信号の状態Ｓ０〜Ｓｎに対する電力および周波数の設定点を含む。各設定点は、数バイト（例えば、Ｍバイト）に変換される（Ｍは整数）。例えば、Ｍは、４、８、１６、３２、または、６４などである。Ｍの値は、プロセッサ（例えば、副コントローラ１、副コントローラ２、副コントローラ３など）および／または副コントローラに接続された専用物理レイヤの処理速度によって決まる。

様々な実施形態において、電力および周波数の設定点を提供することに加えて、または、その代わりに、パルス幅が、ＲＦ信号の状態に対する設定点として提供される。例えば、ＲＦ信号の８つの状態に対して、ＲＦ信号の８つの異なるパルス幅が、８つの設定点として提供される。

一部の実施形態において、状態Ｓ１〜Ｓｎに対する複数の周波数設定点が、ＩＭＣ１４（図１Ａ）のコンピュータ生成モデルを用いてコントローラ２０によって計算される。ＩＭＣのコンピュータ生成モデルの出力側での所与のインピーダンスＺｏ、および、ＩＭＣのコンピュータ生成モデルの１または複数の可変コンデンサの容量値Ｃ１に対して、複数の周波数設定点の各々が、ＩＭＣ１４のコンピュータ生成モデルの入力側で、パラメータ（例えば、反射係数、反射電力など）の最小値を達成するように計算される。例えば、状態Ｓ１については、所与のインピーダンスＺｏと、１または複数の可変コンデンサの容量値Ｃ１とに対して、ＲＦＧ２２が動作される周波数設定点ｆ１が、ＩＭＣ１４のコンピュータ生成モデルの入力側で反射係数の最小値Γ１を達成するように計算される。別の例として、状態Ｓ２については、所与のインピーダンスＺｏと、１または複数の可変コンデンサの容量値Ｃ１とに対して、ＲＦＧ２２が動作される周波数設定点ｆ２が、ＩＭＣ１４のコンピュータ生成モデルの入力側で反射係数の最小値Γ２を達成するように計算される。ＩＭＣ１４のコンピュータ生成モデルの出力側でのインピーダンスは、ＲＦＧ２２（図１Ａ）の出力側でセンサによって測定されたインピーダンス、および、ＩＭＣ１４のコンピュータ生成モデルの要素の値から計算される。複数の周波数設定点は、ＲＦＧ２２が、高速で複数の周波数設定点を用いて反射係数の最小値を達成するよう動作するように、専用通信リンク（図１Ａ）を介してコントローラ２０からＲＦＧ２２に、ブロック（例えば、フレーム、１または複数の転送単位など）で送信される。例えば、ＲＦＧ２２がｙメガヘルツのＲＦ発生器であり、ＩＭＣ１４に接続された別のＲＦ発生器がｘ１キロヘルツまたはｘ２メガヘルツのＲＦ発生器もしくはｙＭＨｚのＲＦ発生器である場合、ＲＦＧ２２は、ｘ１キロヘルツまたはｘ２メガヘルツのＲＦ発生器もしくはｙメガヘルツのＲＦ発生器の動作サイクル中に状態Ｓ１〜Ｓｎまでサイクルする。ｙメガヘルツのＲＦ発生器の例は、６０メガヘルツのＲＦ発生器または２７メガヘルツのＲＦ発生器を含む。ｘ１キロヘルツのＲＦ発生器の一例は、４００キロヘルツのＲＦ発生器を含む。ｘ２メガヘルツのＲＦ発生器の一例は、２メガヘルツのＲＦ発生器を含む。ｙメガヘルツＲＦ発生器の一例は、２７メガヘルツのＲＦ発生器を含む。

図７は、コントローラ２０（図１Ａ）による監視に向けてＲＦＧ２２（図１Ａ）からコントローラ２０に送信するための１または複数のパラメータに関連する情報を含む複数の転送単位（例えば、複数のサブパケットなど）を含むバースト転送単位（例えば、フレームなど）の一実施形態を示す。例えば、サブパケット１内の情報１は、ＲＦＧ２２によって供給された電力であり；サブパケット１内の情報２は、ＲＦＧ２によってＩＭＣ１４に供給されたＲＦ信号から決定されたガンマの実部であり；サブパケット１内の情報３は、ガンマの虚部であり；サブパケット１内の情報４は、クロック信号のクロックエッジが起こってから経過した時間であり；サブパケット１内の情報５は、ＲＦＧ２２によってＩＭＣ１４に供給されたＲＦ信号の同調周波数であり；サブパケット１内の情報６は、ＲＦＧ２２の内部設定点であり；サブパケット１内の情報７は、タイムスタンプであり；サブパケット１内の情報８は、状態ベクトルであり；サブパケット１内の情報９は、ＲＦＧ２２によって供給されたＲＦ信号の第２高調波周波数での二乗平均平方根電圧であり；サブパケット１内の情報１０は、第２高調波周波数での二乗平均平方根電流であり；サブパケット１内の情報１１は、ＲＦ信号の第３高調波周波数での電圧であり；サブパケット１内の情報１２は、第３高調波周波数での電流であり；サブパケット１内の情報１３は、ＲＦ信号の第４高調波周波数での電圧であり；サブパケット１内の情報１４は、第４高調波周波数での電流である、など。この例において、情報１〜１４は、ＲＦ信号の同じ状態に対する異なるパラメータの値である。ＲＦＧ２２によって供給された電力は、ＲＦＧ２２内に配置され、その電力を有するＲＦ信号がＩＭＣ１４に供給されるＲＦＧ２２の出力側に接続された電力センサによって測定される。一部の実施形態において、ＲＦＧ２２によって供給された電力は、コントローラ２０によって設定点としてＲＦＧ２２に提供される。ＲＦＧ２２の内部設定点の例は、コントローラ２０から受信された電力設定点、または、コントローラ２０から受信された周波数設定点を含む。タイムスタンプの例は、障害が発生した時刻、または、ＲＦ信号の状態が変化した時刻などを含む。一部の実施形態において、高調波周波数での電圧および電流は、ＲＦＧ２２の出力側に接続された電圧／電流センサによって測定される。

別の例として、情報１は、状態Ｓ０に対するパラメータの値であり；情報２は、ＲＦ信号の状態Ｓ１に対するパラメータの値であり；情報３は、ＲＦ信号の状態Ｓ２に対するパラメータの値であり；情報４は、ＲＦ信号の状態Ｓ３に対するパラメータの値であり；情報５は、ＲＦ信号の状態Ｓ４に対するパラメータの値であり；情報６は、ＲＦ信号の状態Ｓ５に対するパラメータの値であり；情報７は、ＲＦ信号の状態Ｓ６に対するパラメータの値であり；情報８は、ＲＦ信号の状態Ｓ７に対するパラメータの値であり；情報９は、ＲＦ信号の状態Ｓ８に対するパラメータの値であり；情報１０は、ＲＦ信号の状態Ｓ９に対するパラメータの値であり；情報１１は、ＲＦ信号の状態Ｓ１０に対するパラメータの値であり；情報１２は、ＲＦ信号の状態Ｓ１１に対するパラメータの値であり；情報１３は、ＲＦ信号の状態Ｓ１２に対するパラメータの値であり；情報１４は、ＲＦ信号の状態Ｓ１３に対するパラメータの値である。この例において、情報１〜１４は、ＲＦ信号の異なる状態に対する同じパラメータの値である。

複数の転送単位（例えば、複数のサブパケットなど）が、フレーム内でバーストモードで送信され、情報１〜１４がＲＦＧ２２の物理レイヤからコントローラ２０の物理レイヤに送信される。情報１〜１４の各々は、数バイト（例えば、Ｍバイトなど）に変換される。Ｍの値は、プロセッサ（例えば、ＲＦＧ１の専用プロセッサ、ＲＦＧ２の専用プロセッサ、ＲＦＧ３の専用プロセッサなど）および／または専用プロセッサに接続された専用物理レイヤの処理速度によって決まる。

様々な実施形態において、サブパケットは、ｐ個の情報（例えば、１２個、１３個など）を含み、ここで、ｐはゼロより大きい整数である。

一部の実施形態では、バースト転送単位が、コントローラ２０からＲＦＧ２２（図１Ａ）に送信される。コントローラ２０からＲＦＧ２２に送信されるバースト転送単位は、バースト転送単位が複数のパケット（例えば、データグラムなど）を含む点で、図７に示したバースト転送単位と同様のフォーマットを有する。

図８は、ＲＦ信号のＲＦパルスにおけるＲＦ信号のパラメータの変化を示すグラフ８０２である。グラフ８０２は、生成されるＲＦ信号の電力の値の時間ｔに対するプロット８０６、ＲＦ信号の周波数の値の時間に対するプロット８０４、および、クロック信号のプロット８０８を含む。グラフ８０２は、ＲＦＧ２２の専用物理レイヤ２１（図１Ａ）によってコントローラ２０の専用物理レイヤ２３（図１Ａ）から受信された転送単位の一例と、１または複数のパラメータを抽出するための専用物理レイヤ２１の専用レシーバによる転送単位のサンプリングと、を示す。例えば、グラフ８０４は、ＲＦＧ１に接続された専用物理レイヤ２０３ａ（図２Ａ）によってコントローラ２０の副コントローラ１に接続された専用物理レイヤ２０２ａ（図２Ａ）から受信された転送単位の一例を示す。物理レイヤ２３の専用トランスミッタは、ＲＦ信号の状態Ｓ０〜Ｓ７に対するパラメータの値を含む転送単位を作成する。グラフ８０２に示す点ＡはＲＦ信号の状態Ｓ０に対応し、点ＢはＲＦ信号の状態Ｓ１に対応し、点ＣはＲＦ信号の状態Ｓ２に対応し、点ＤはＲＦ信号の状態Ｓ３に対応し、点ＥはＲＦ信号の状態Ｓ４に対応し、点ＦはＲＦ信号の状態Ｓ５に対応し、点ＧはＲＦ信号の状態Ｓ６に対応し、点ＨはＲｆ信号の状態Ｓ７に対応することに注意されたい。一部の実施形態では、ＲＦ信号の任意の他の数の状態が、グラフ８０２で用いられる。

ＲＦ信号の状態Ｓ０に対する電力設定点および状態Ｓ０に対する周波数設定点の両方が、ＲＦＧ２２の専用物理レイヤ２１の専用レシーバによって点Ａでサンプリングされ；ＲＦ信号の状態Ｓ１に対する電力設定点および状態Ｓ１に対する周波数設定点が、ＲＦＧ２２の専用物理レイヤ２１の専用レシーバによって点Ｂでサンプリングされ；ＲＦ信号の状態Ｓ２に対する電力設定点および状態Ｓ２に対する周波数設定点が、ＲＦＧ２２の専用物理レイヤ２１の専用レシーバによって点Ｃでサンプリングされ；ＲＦ信号の状態Ｓ３に対する電力設定点および状態Ｓ３に対する周波数設定点が、ＲＦＧ２２の専用物理レイヤ２１の専用レシーバによって点Ｄでサンプリングされ；ＲＦ信号の状態Ｓ４に対する電力設定点および状態Ｓ４に対する周波数設定点が、ＲＦＧ２２の専用物理レイヤ２１の専用レシーバによって点Ｅでサンプリングされ；ＲＦ信号の状態Ｓ５に対する電力設定点および状態Ｓ５に対する周波数設定点が、ＲＦＧ２２の専用物理レイヤ２１の専用レシーバによって点Ｆでサンプリングされ；ＲＦ信号の状態Ｓ６に対する電力設定点および状態Ｓ６に対する周波数設定点が、ＲＦＧ２２の専用物理レイヤ２１の専用レシーバによって点Ｇでサンプリングされ；ＲＦ信号の状態Ｓ７に対する電力設定点および状態Ｓ７に対する周波数設定点が、ＲＦＧ２２の専用物理レイヤ２１の専用レシーバによって点Ｈでサンプリングされる。クロック信号のクロックサイクルの終わりに、コントローラの専用物理レイヤ２３の専用トランスミッタは、物理通信媒体３１（図１Ａ）の専用通信リンク３０（図１Ａ）を介して、ＲＦＧ２２の専用物理レイヤ２１の専用レシーバに転送単位をプッシュする。一部の実施形態では、転送単位が、各クロックサイクルの終わりにプッシュされる。

図９は、ＲＦＧ２２およびコントローラ２０の専用トランスミッタの間に通信プロトコルを用いた１または複数の転送単位のプッシュを説明する、方法の一実施形態のフローチャートである。図９に示すように、ＲＦＧ２２は、ＲＦＧ２２によって生成されたＲＦ信号の２つの連続した状態の間の遷移状態中に周波数を制御するための１または複数のパルス間遷移コントローラを備える。例えば、パルス間遷移コントローラは、ＲＦ信号が或る状態から別の連続した状態に遷移する期間中にＲＦＧ２２のＲＦ電源によって生成されるＲＦ信号の周波数を提供する。さらに、図９に示すように、ＲＦＧ２２は、ＲＦＧ２２によって生成されたＲＦ信号の２つの連続した状態の間の遷移状態中に電力量を制御するための１または複数のパルス間遷移コントローラを備える。例えば、パルス間遷移コントローラは、ＲＦ信号が或る状態から別の連続した状態に遷移する期間中にＲＦＧ２２のＲＦ電源によって生成されるＲＦ信号の電力量を提供する。さらに、ＲＦＧ２２は、ＲＦＧ２２によって生成されたＲＦ信号の状態Ｓ１〜Ｓｎ中に周波数を制御するための１または複数のＡＦＴを備える。例えば、ＡＦＴは、ＲＦ信号が状態Ｓ０または状態Ｓ１にある時にＲＦＧ２２のＲＦ電源によって生成されるＲＦ信号の周波数を提供する。また、ＲＦＧ２２は、ＲＦＧ２２によって生成されたＲＦ信号の状態Ｓ０〜Ｓｎ中に電力量を制御するための１または複数のパルス内電力コントローラを備える。例えば、パルス内電力コントローラは、ＲＦ信号が状態Ｓ（ｎ−１）または状態Ｓｎにある期間中にＲＦＧ２２のＲＦ電源によって生成されるＲＦ信号の電力量を提供する。

バーストモード中、１または複数のパラメータ（例えば、ＲＦ信号が或る状態から別の連続した状態に遷移している時間中のＲＦ信号の周波数、ＲＦ信号が２つの連続した状態間を遷移している時間中のＲＦ信号の電力、ＲＦ信号が状態Ｓ（ｎ−１）または状態Ｓｎにある時間中のＲＦ信号の周波数、および、ＲＦ信号が状態Ｓ（ｎ−１）または状態Ｓｎにある時間中のＲＦ信号の電力など）に関連する情報が、ＲＦＧ２２の専用トランスミッタによって１または複数の転送単位内に埋め込まれ、ＲＦＧ２２の物理レイヤ２１の専用トランスミッタから専用通信リンク３２を介してコントローラ２０の専用レシーバ（例えば、コントローラ２０の物理レイヤ２３の専用レシーバ）に送信される。コントローラ２０の物理レイヤ２３の専用レシーバは、通信プロトコルを適用して１または複数のパラメータに関連する情報を抽出し、ＲＦＧ２２に関連する副コントローラ（例えば、副コントローラ１など）にその情報を提供する。例えば、副コントローラ１は、ＲＦＧ１に接続されており、したがってＲＦＧ１に関連している。別の例として、副コントローラ２は、ＲＦＧ２に接続されているため、ＲＦＧ２に関連しており、副コントローラ３は、ＲＦＧ３に接続されているため、ＲＦＧ３に関連している。

副コントローラは、上述の方法で、１または複数のパラメータに関連する情報をマスタシステムコントローラ２０４（図２Ａ〜図２Ｃ）に提供する。マスタシステムコントローラ２０４は、上述の方法で、プラズマシステム１０の一部のモデルを１または複数のパラメータに関連する情報に適用して、１または複数のパラメータに対する１または複数の設定点を生成する。一部の実施形態において、マスタシステムコントローラ２０４は、１または複数のパラメータに関連する情報に基づいて、１または複数のパラメータに関連する情報に基づいた警告データを生成するか否か、および／または、その情報に基づいて、１または複数のパラメータに対する１または複数の設定点を変更するか否かを決定する。コントローラ２０の物理レイヤ２３の専用トランスミッタ（例えば、コントローラ２０の副コントローラ１に接続された物理レイヤ２０２ａ（図２Ａ）の専用トランスミッタなど）は、上述の方法で、マスタシステムコントローラ２０４から１または複数のパラメータに対する１または複数の設定点を受信し、通信プロトコルを適用して、１または複数の設定点を含む１または複数の転送単位を生成する。１または複数の転送単位は、コントローラ２０の物理レイヤ２３の専用トランスミッタから物理通信媒体３１の専用通信リンク３０を介してＲＦＧ２２の物理レイヤ２１の専用レシーバ（例えば、副コントローラ１に接続されたＲＦＧ１の物理レイヤ２０３ａの専用レシーバ）に送信される。

ＲＦＧ２２の物理レイヤ２１の専用レシーバは、１または複数の転送単位を受信し、ＲＦＧ２２の専用プロセッサに提供するために、１または複数の転送単位に通信プロトコルを適用して、１または複数の転送単位を構文解析し、１または複数のパラメータに対する１または複数の設定点を抽出する。１または複数の設定点は、設定点が、２つの連続する状態間の遷移中に生成されるＲＦ信号の周波数であるか、遷移中に生成されるＲＦ信号の電力であるか、状態Ｓ（ｎ−１）またはＳｎ中に生成されるＲＦ信号の電力であるか、もしくは、状態Ｓ（ｎ−１）またはＳｎ中に生成されるＲＦ信号の周波数であるかを判定するために、ＲＦＧ２２の専用プロセッサによって解析される。その判定に基づいて、ＲＦＧ２２の専用プロセッサは、遷移中の周波数設定点をＲＦＧ２２のパルス間遷移周波数コントローラに提供し、遷移中の電力設定点をＲＦＧ２２のパルス間遷移電力コントローラに提供し、或る状態中に適用される周波数設定点をＲＦＧ２２のＡＦＴに提供し、その状態中に適用される電力設定点をＲＦＧ２２のパルス内電力コントローラに提供する。ＲＦＧ２２のＲＦ電源は、ＲＦＧ２２のパルス間遷移周波数コントローラから遷移中の周波数設定点、ＲＦＧ２２の別のパルス間遷移周波数コントローラから遷移中の電力設定点、ＲＦＧ２２のＡＦＴから状態Ｓ（ｎ−１）またはＳｎに対する周波数設定点、および、ＲＦＧ２２のパルス内電力コントローラから状態Ｓ（ｎ−１）またはＳｎに対する電力設定点を受信して、遷移中の周波数設定点、遷移中の電力設定点、状態Ｓ（ｎ−１）またはＳｎに対する周波数設定点、ならびに、状態Ｓ（ｎ−１）またはＳｎに対する電力設定点を有するＲＦ信号を生成する。

図１０Ａは、或る状態に対する１または複数のパラメータに関連する情報を解析することにより、その状態に対するパラメータの値を変更する方法の一実施形態を示す図である。方法は、グラフ１００２および表１００８を用いて図示されている。グラフ１００２は、時間ｔに対する転送単位のプロット１００６を含んでおり、時間は、クロック信号を用いて測定されている。

コントローラ２０のプロセッサ（例えば、副コントローラ１のプロセッサ、副コントローラ２のプロセッサ、副コントローラ３のプロセッサ、マスタシステムコントローラ２０４のプロセッサなど）は、コントローラ２０の専用レシーバが、ＲＦＧ２２の物理レイヤ２１の専用トランスミッタから１または複数のパラメータに関連する情報を転送単位２Ｒで受信する間に、コントローラ２０の専用物理レイヤ２３（図１Ａ）の専用レシーバによって転送単位１Ｒで受信した１または複数のパラメータに関する情報から生成されたパラメータの値を処理する。例えば、副コントローラ１またはマスタシステムコントローラ２０４は、物理レイヤ２０２ａの専用レシーバが、ＲＦＧ１に接続された専用トランスミッタから専用通信リンクを介して転送単位２Ｒを受信する間に、ＲＦＧ１に関連する物理レイヤ２０３ａ（図２Ａ）の専用トランスミッタから物理通信媒体２０６ａ（図２Ａ）の専用通信リンクを介して物理レイヤ２０２ａ（図２Ａ）の専用レシーバによって受信された転送単位１Ｒから生成されたパラメータの値を処理する。コントローラ２０のプロセッサは、転送単位１Ｒで受信された１または複数のパラメータに関連する情報から生成されたパラメータの値に基づいて、転送単位３ＳでＲＦＧ２２に送信されるパラメータの値が変更される（例えば、表１００８内の転送単位３Ｓから転送単位３Ｓ’への変更として示されている）ことを決定する。変更されたパラメータは、コントローラ２０の物理レイヤ２３の専用トランスミッタによって転送単位３Ｓ’内に埋め込まれ、物理通信媒体３１の専用通信リンク３０を介してＲＦＧ２２の物理レイヤ２１の専用レシーバに送信される。例えば、変更されたパラメータは、コントローラ１に接続された物理レイヤ２０２ａの専用トランスミッタによって転送単位３Ｓ’内に埋め込まれ、物理通信媒体２０６ａの専用通信リンクを介して、ＲＦＧ１に関連する物理レイヤ２０３ａの専用レシーバに送信される。

同様に、ホストコンピュータシステム２００のプロセッサは、物理レイヤ２３の専用レシーバが、ＲＦＧ２２の物理レイヤ２１の専用トランスミッタから１または複数のパラメータに関連する情報を転送単位３Ｒで受信する間に、コントローラ２０の専用物理レイヤ２３の専用レシーバによって転送単位２Ｒで受信した１または複数のパラメータに関する情報から生成されたパラメータの値を処理する。コントローラ２０のプロセッサは、転送単位２Ｒで受信された１または複数のパラメータに関連する情報から生成されたパラメータの値に基づいて、転送単位４ＳでＲＦＧに送信されるパラメータの値が変更される（例えば、表１００８内の４Ｓから４Ｓ’への変更として示されている）ことを決定する。変更されたパラメータは、コントローラ２０の物理レイヤ２３の専用トランスミッタによって転送単位４Ｓ’内に埋め込まれ、物理通信媒体３１（図１Ａ）の専用通信リンク３０を介してＲＦＧ２２の専用物理レイヤ２１に送信される。

さらに、同様に、ホストコンピュータシステム２００のプロセッサは、物理レイヤ２３の専用レシーバが、ＲＦＧ２２の物理レイヤ２１の専用トランスミッタから１または複数のパラメータに関連する情報を転送単位４Ｒで受信する間に、コントローラ２０の専用物理レイヤ２３の専用レシーバによって転送単位３Ｒで受信した１または複数のパラメータに関する情報から生成されたパラメータの値を処理する。ホストコンピュータシステム２００プロセッサは、転送単位３Ｒで受信された１または複数のパラメータに関連する情報から生成されたパラメータの値に基づいて、転送単位５ＳでＲＦＧに送信されるパラメータの値が変更される（例えば、表１００８内の５Ｓから５Ｓ’への変更として示されている）ことを決定する。変更されたパラメータは、コントローラ２０の物理レイヤ２３の専用トランスミッタによって転送単位５Ｓ’内に埋め込まれ、物理通信媒体３１の専用通信リンク３０を介してＲＦＧ２２の専用物理レイヤ２１に送信される。

また、同様に、ホストコンピュータシステム２００のプロセッサは、物理レイヤ２３の専用レシーバが、ＲＦＧ２２の物理レイヤ２１の専用トランスミッタから１または複数のパラメータに関連する情報を転送単位５Ｒで受信する間に、コントローラ２０の専用物理レイヤ２３の専用レシーバによって転送単位４Ｒで受信した１または複数のパラメータに関する情報から生成されたパラメータの値を処理する。ホストコンピュータシステム２００プロセッサは、転送単位４Ｒで受信された１または複数のパラメータに関連する情報から生成されたパラメータの値に基づいて、転送単位６ＳでＲＦＧに送信されるパラメータの値が変更される（例えば、表１００８内の６Ｓから６Ｓ’への変更として示されている）ことを決定する。変更されたパラメータは、コントローラ２０の物理レイヤ２３の専用トランスミッタによって転送単位６Ｓ’内に埋め込まれ、物理通信媒体３１の専用通信リンク３０を介してＲＦＧ２２の専用物理レイヤ２１に送信される。

一部の実施形態において、転送単位１Ｒの受信と転送単位３Ｓ’の送信との間、転送単位２Ｒの受信と転送単位４Ｓ’の送信との間、転送単位３Ｒの受信と転送単位５Ｓ’の送信との間、および、転送単位４Ｒの受信と転送単位６Ｓ’の送信との間には、固定遅延がある。

図１０Ｂは、或る状態に対する１または複数のパラメータに関連する情報を解析することにより、その状態に対するパラメータの値を変更する方法の一実施形態を示す図である。方法は、グラフ１０２０および表１０２２を用いて図示されている。グラフ１０２０は、時間ｔに対する転送単位のプロット１０２４を含む。

コントローラ２０のプロセッサ（例えば、副コントローラ１のプロセッサ、副コントローラ２のプロセッサ、副コントローラ３のプロセッサ、マスタシステムコントローラ２０４のプロセッサなど）は、コントローラ２０の専用レシーバが、ＲＦＧ２２の物理レイヤ２１の専用トランスミッタから１または複数のパラメータに関連する情報を転送単位２Ｒで受信する前に、コントローラ２０の専用物理レイヤ２３（図１Ａ）の専用レシーバによって転送単位１Ｒで受信した１または複数のパラメータに関する情報から生成されたパラメータの値を処理する。例えば、副コントローラ１またはマスタシステムコントローラ２０４は、副コントローラ１に接続された専用レシーバが、ＲＦＧ１に関連する専用トランスミッタから専用通信リンクを介して転送単位２Ｒを受信する前に、ＲＦＧ１に関連する物理レイヤ２０３ａ（図２Ａ）の専用トランスミッタから物理通信媒体２０６ａ（図２Ａ）の専用通信リンクを介して物理レイヤ２０２ａ（図２Ａ）の専用レシーバによって受信された転送単位１Ｒから生成されたパラメータの値を処理する。コントローラ２０のプロセッサは、転送単位１Ｒで受信された１または複数のパラメータに関連する情報から生成されたパラメータの値に基づいて、転送単位３ＳでＲＦＧ２２に送信されるパラメータの値が変更される（例えば、表１０２２内の転送単位３Ｓから転送単位３Ｓ’への変更として示されている）ことを決定する。変更されたパラメータは、コントローラ２０の物理レイヤ２３の専用トランスミッタによって転送単位３Ｓ’内に埋め込まれ、物理通信媒体３１の専用通信リンク３０を介してＲＦＧ２２の物理レイヤ２１の専用レシーバに送信される。例えば、変更されたパラメータは、コントローラ１に接続された物理レイヤ２０２ａの専用トランスミッタによって転送単位３Ｓ’内に埋め込まれ、物理通信媒体２０６ａの専用通信リンクを介して、ＲＦＧ１に関連する物理レイヤ２０３ａの専用レシーバに送信される。

同様に、ホストコンピュータシステム２００のプロセッサは、物理レイヤ２３の専用レシーバが、ＲＦＧ２２の物理レイヤ２１の専用トランスミッタから１または複数のパラメータに関連する情報を転送単位３Ｒで受信する前に、コントローラ２０の専用物理レイヤ２３の専用レシーバによって転送単位２Ｒで受信した１または複数のパラメータに関する情報から生成されたパラメータの値を処理する。コントローラ２０のプロセッサは、転送単位２Ｒで受信された１または複数のパラメータに関連する情報から生成されたパラメータの値に基づいて、転送単位４ＳでＲＦＧに送信されるパラメータの値が変更される（例えば、表１０２２内の４Ｓから４Ｓ’への変更として示されている）ことを決定する。変更されたパラメータは、コントローラ２０の物理レイヤ２３の専用トランスミッタによって転送単位４Ｓ’内に埋め込まれ、物理通信媒体３１（図１Ａ）の専用通信リンク３０を介してＲＦＧ２２の専用物理レイヤ２１に送信される。

さらに、同様に、ホストコンピュータシステム２００のプロセッサは、物理レイヤ２３の専用レシーバが、ＲＦＧ２２の物理レイヤ２１の専用トランスミッタから１または複数のパラメータに関連する情報を転送単位４Ｒで受信する前に、コントローラ２０の専用物理レイヤ２３の専用レシーバによって転送単位３Ｒで受信した１または複数のパラメータに関する情報から生成されたパラメータの値を処理する。コントローラ２０のプロセッサは、転送単位３Ｒで受信された１または複数のパラメータに関連する情報から生成されたパラメータの値に基づいて、転送単位５ＳでＲＦＧ２２に送信されるパラメータの値が変更される（例えば、表１０２２内の５Ｓから５Ｓ’への変更として示されている）ことを決定する。変更されたパラメータは、コントローラ２０の物理レイヤ２３の専用トランスミッタによって転送単位５Ｓ’内に埋め込まれ、物理通信媒体３１の専用通信リンク３０を介してＲＦＧ２２の専用物理レイヤ２１の専用物理レイヤ２１に送信される。

また、同様に、ホストコンピュータシステム２００のプロセッサは、物理レイヤ２３の専用レシーバが、ＲＦＧ２２の物理レイヤ２１の専用トランスミッタから１または複数のパラメータに関連する情報を転送単位５Ｒで受信する前に、コントローラ２０の専用物理レイヤ２３の専用レシーバによって転送単位４Ｒで受信した１または複数のパラメータに関する情報から生成されたパラメータの値を処理する。コントローラ２０のプロセッサは、転送単位４Ｒで受信された１または複数のパラメータに関連する情報から生成されたパラメータの値に基づいて、転送単位６ＳでＲＦＧ２２に送信されるパラメータの値が変更される（例えば、表１０２２内の６Ｓから６Ｓ’への変更として示されている）ことを決定する。変更されたパラメータは、コントローラ２０の物理レイヤ２３の専用トランスミッタによって転送単位６Ｓ’内に埋め込まれ、物理通信媒体３１の専用通信リンク３０を介してＲＦＧ２２の専用物理レイヤ２１に送信される。

転送単位（ｘ＋１）Ｒが転送単位ｘＲの次に受信される（ｘは、ゼロより大きい整数）ことに注意されたい。例えば、転送単位１Ｒと２Ｒとの間に、レシーバが転送単位を受信することはない。同様に、転送単位（ｘ＋１）Ｓが転送単位ｘＳの次に送信されることに注意されたい。例えば、転送単位３Ｓと４Ｓとの間に、トランスミッタが転送単位を送信することはない。

一部の実施形態において、転送単位２Ｒは、転送単位３Ｓ’が送信された後に受信されない。例えば、転送単位３Ｓ’は、ＲＦＧがシャットダウンされること（例えば、ゼロ電力で動作するなど）を示すパラメータを含む。この場合、転送単位２Ｒは、ホストコンピュータシステム２００によって受信されない。

上述の実施形態は、チャック１８（図１Ａ）の下側電極に修正ＲＦ信号を供給すると共に上側電極２６（図１Ａ）を接地することに関連するが、いくつかの実施形態では、修正ＲＦ信号が上側電極２６に供給され、チャック１８の下側電極が接地されることにも注意されたい。

一部の実施形態において、ＲＦＧのプロセッサは、ＲＦＧの専用プロセッサと呼ばれている。様々な実施形態において、専用プロセッサは、ＲＦＧ内のプロセッサである。

本明細書に記載の実施形態は、ハンドヘルドハードウェアユニット、マイクロプロセッサシステム、マイクロプロセッサベースまたはプログラム可能な家電、ミニコンピュータ、メインフレームコンピュータなど、様々なコンピュータシステム構成で実施されてもよい。本明細書に記載の実施形態は、コンピュータネットワークを通して接続された遠隔処理ハードウェアユニットによってタスクが実行される分散コンピューティング環境で実施されてもよい。

一部の実施形態において、コントローラは、システムの一部であり、システムは、上述の例の一部であってよい。システムは、１または複数の処理ツール、１または複数のチャンバ、処理のための１または複数のプラットフォーム、および／または、特定の処理構成要素（ウエハペデスタル、ガスフローシステムなど）など、半導体処理装置を備える。システムは、半導体ウエハまたは基板の処理前、処理中、および、処理後に、システムの動作を制御するための電子機器と一体化される。電子機器は、「コントローラ」と呼ばれてもよく、システムの様々な構成要素または副部品を制御しうる。コントローラは、処理要件および／またはシステムのタイプに応じて、処理ガスの供給、温度設定（例えば、加熱および／または冷却）、圧力設定、真空設定、電力設定、ＲＦ発生器設定、ＲＦ整合回路設定、周波数設定、流量設定、流体供給設定、位置および動作設定、ならびに、ツールおよび他の移動ツールおよび／またはシステムに接続または結合されたロードロックの内外へのウエハ移動など、本明細書に開示の任意の処理を制御するようにプログラムされる。

概して、様々な実施形態において、コントローラは、命令を受信する、命令を発行する、動作を制御する、洗浄動作を可能にする、エンドポイント測定を可能にすることなどを行う様々な集積回路、ロジック、メモリ、および／または、ソフトウェアを有する電子機器として定義される。集積回路は、プログラム命令を格納するファームウェアの形態のチップ、ＤＳＰ、ＡＳＩＣとして定義されるチップ、ＰＬＤ、１または複数のマイクロプロセッサ、もしくは、プログラム命令（例えば、ソフトウェア）を実行するマイクロコントローラを含む。プログラム命令は、様々な個々の設定（またはプログラムファイル）の形態でコントローラに伝えられる命令であり、半導体ウエハに対するまたは半導体ウエハのための処理を実行するための動作パラメータを定義する。動作パラメータは、一部の実施形態において、ウエハの１または複数の層、材料、金属、酸化物、シリコン、二酸化シリコン、表面、回路、および／または、ダイの加工中に１または複数の処理工程を達成するために処理エンジニアによって定義されるレシピの一部である。

コントローラは、一部の実施形態において、コンピュータの一部であるか、または、コンピュータに接続されており、かかるコンピュータは、システムと一体化されるか、システムに接続されるか、その他の方法でシステムとネットワーク化されるか、または、それらの組み合わせでシステムに結合されている。例えば、コントローラは、「クラウド」内にあるか、もしくは、ウエハ処理のためのリモートアクセスを可能にするファブホストコンピュータシステムの全部または一部である。コントローラは、現在の処理のパラメータを変更する、現在の処理に従って処理工程を設定する、または、新たな処理を開始するために、システムへのリモートアクセスを可能にして製造動作の現在の進捗を監視する、過去の製造動作の履歴を調べる、複数の製造動作からの傾向または性能指標を調べる。

一部の実施形態では、リモートコンピュータ（例えば、サーバ）が、コンピュータネットワーク（ローカルネットワークまたはインターネットを含む）を介してシステムに処理レシピを提供する。リモートコンピュータは、パラメータおよび／または設定の入力またはプログラミングを可能にするユーザインターフェースを備え、パラメータおよび／または設定は、リモートコンピュータからシステムに通信される。一部の例において、コントローラは、ウエハを処理するための設定の形態で命令を受信する。設定は、ウエハに対して実行される処理のタイプ、ならびに、コントローラがインターフェースをとるまたは制御するツールのタイプに固有であることを理解されたい。したがって、上述のように、コントローラは、ネットワーク化されて共通の目的（本明細書に記載の遂行処理など）に向けて動作する１または複数の別個のコントローラを備えることなどによって分散される。かかる目的のための分散コントローラの一例は、チャンバでの処理を制御するために協働するリモートに配置された（プラットフォームレベルにある、または、リモートコンピュータの一部として配置されるなど）１または複数の集積回路と通信するチャンバ上の１または複数の集積回路を含む。

限定はしないが、様々な実施形態において、システムは、プラズマエッチングチャンバ、蒸着チャンバ、スピンリンスチャンバ、金属メッキチャンバ、洗浄チャンバ、ベベルエッジエッチングチャンバ、物理蒸着（ＰＶＤ）チャンバ、化学蒸着（ＣＶＤ）チャンバ、原子層蒸着（ＡＬＤ）チャンバ、原子層エッチング（ＡＬＥ）チャンバ、イオン注入チャンバ、トラックチャンバ、ならびに、半導体ウエハの加工および／または製造に関連するかまたは利用される任意のその他の半導体処理システムを含む。

上述の動作は、平行板プラズマチャンバ（例えば、容量結合プラズマチャンバなど）に関して説明されているが、一部の実施形態において、上述の動作は、その他のタイプのプラズマチャンバ、例えば、誘導結合プラズマ（ＩＣＰ）リアクタ、トランス結合プラズマ（ＴＣＰ）リアクタ、導体ツール、誘電体ツールを備えるプラズマチャンバ、電子サイクロトロン共鳴（ＥＣＲ）リアクタを備えるプラズマチャンバなど、に適用されることにも注意されたい。例えば、複数のＲＦ発生器は、ＩＣＰプラズマチャンバ内のインダクタに接続される。

上述のように、ツールによって実行される処理動作に応じて、コントローラは、他のツール回路またはモジュール、他のツール構成要素、クラスタツール、他のツールインターフェース、隣接するツール、近くのツール、工場の至る所に配置されるツール、メインコンピュータ、別のコントローラ、もしくは、半導体製造工場内のツール位置および／またはロードポートに向かってまたはそこからウエハのコンテナを運ぶ材料輸送に用いられるツール、の内の１または複数と通信する。

上述の実施形態を念頭に置いて、実施形態の一部は、コンピュータシステムに格納されたデータを含め、コンピュータによって実行される様々な動作を用いることを理解されたい。コンピュータによって実行される動作は、物理量を扱う動作である。

実施形態の一部は、さらに、これらの動作を実行するためのハードウェアユニットまたは装置に関する。装置は、専用コンピュータ向けに特別に構成される。専用コンピュータとして規定された場合、コンピュータは、特定の目的に含まれない他の処理、プログラム実行、または、ルーチンを実行しつつ、特定の目的のために動作することができる。

一部の実施形態において、本明細書に記載された動作は、コンピュータメモリに格納されたまたはコンピュータネットワークを介して取得された１または複数のコンピュータプログラムによって選択的にアクティベートまたは構成されたコンピュータで処理される。データがコンピュータネットワークを介して取得されると、そのデータは、コンピュータネットワーク（例えば、コンピューティングリソースのクラウド）上の他のコンピュータによって処理されてもよい。

本明細書に記載の１または複数実施形態は、非一時的なコンピュータ読み取り可能媒体上にコンピュータ読み取り可能なコードとして製造されてもよい。非一時的なコンピュータ読み取り可能媒体は、データを格納する任意のデータ記憶ハードウェアユニット（例えば、メモリデバイスなど）であり、データは、その後、コンピュータシステムによって読み出される。非一時的なコンピュータ読み取り可能媒体の例としては、ハードドライブ、ネットワーク接続ストレージ（ＮＡＳ）、ＲＯＭ、ＲＡＭ、コンパクトディスク−ＲＯＭ（ＣＤ−ＲＯＭ）、ＣＤ−レコーダブル（ＣＤ−Ｒ）、ＣＤ−リライタブル（ＣＤ−ＲＷ）、磁気テープ、および、その他の光学式および非光学式のデータ記憶ハードウェアユニットが挙げられる。一部の実施形態において、非一時的なコンピュータ読み取り可能媒体は、コンピュータ読み取り可能なコードが分散的に格納および実行されるように、ネットワーク接続されたコンピュータシステム上に分散されたコンピュータ読み取り可能なタンジブル媒体を含む。

上述したいくつかの方法動作は、特定の順序で提示されているが、様々な実施形態において、その他のハウスキーピング処理が方法動作の合間に実行される、もしくは、方法動作が、若干異なる時間に実行される、様々な間隔で方法動作が起きることを許容するシステムに方法動作が分散される、または、上述したのと異なる順序で実行されるように調整されることを理解されたい。

さらに、一実施形態において、本開示に記載された様々な実施形態に記載された範囲を逸脱することなしに、本明細書に記載の任意の実施形態の１または複数の特徴が、任意の他の実施形態の１または複数の特徴と組み合わされることに注意されたい。

理解を深めるために、本実施形態について、ある程度詳しく説明したが、添付の特許請求の範囲内でいくらかの変更および変形を行ってもよいことは明らかである。したがって、本実施形態は、例示的なものであって、限定的なものではないとみなされ、実施形態は、本明細書に示した詳細に限定されず、添付の特許請求の範囲および等価物の範囲内で変形されてよい。

ＲＦＧ２２の物理レイヤ２１の専用トランスミッタ（Ｔｘ）が、１または複数のパラメータに関連する情報に通信プロトコルを適用して、１または複数の転送単位を生成し、クロックサイクルＣＢ中またはクロックサイクルＣＡ中に専用通信リンク３２を介してコントローラ２０の物理レイヤ２３の専用レシーバＲｘに１または複数の転送単位を送信する。専用通信リンク３２は、物理通信媒体３１の一部である。様々な実施形態において、物理レイヤ３１の専用通信リンク３０および３２を有することにより、パケットの衝突の可能性が低減される。例えば、コントローラ３０と複数のＲＦＧとの間の共有通信リンクに沿ってパケットが送信される場合、パケット間に衝突が生じ、パケットの一部が衝突の結果として失われる。ＲＦＧ２２とコントローラ３０との間の専用通信リンク３０および３２は、かかる衝突の可能性を低減する。例えば、ＲＦＧ２２以外の別のＲＦＧとコントローラ２０との間では、パケットを送信できないので、衝突の可能性が低減される。

コントローラ２０の物理レイヤ２３の専用レシーバＲｘが、１または複数のパラメータに関連する情報を含む１または複数の転送単位に通信プロトコルを適用して、情報を抽出し、その情報をコントローラ２０のプロセッサに送信する。コントローラ２０のプロセッサは、１または複数のパラメータに関連する情報を処理する。例えば、コントローラ２０のプロセッサは、情報からＲＦ信号の状態に対するパラメータの値を計算または特定し（例えば、配電電力および反射電力から供給電力を計算する、ガンマおよび反射電力から供給電力を計算する、測定された電力を特定する、ＲＦＧ２２のコントローラ内の設定点を特定する、状態ベクトルが障害を示唆することを特定するなど）、そのパラメータの値を、クロックサイクルＣＡ中に専用通信リンク３０を介してＲＦＧ２２に送信されたパラメータの値と比較する。コントローラ２０のプロセッサは、ＲＦ信号の状態に対するパラメータの計算値が、クロックサイクルＣＡ中に専用通信リンク３０を介してＲＦＧ２２へ以前に送信された状態に対するパラメータの値の所定の範囲内にあるか否かを判定する。パラメータの計算値がクロックサイクルＣＡ中にＲＦＧ２２へ以前に送信されたパラメータの値の所定の範囲内にあると判定すれば、コントローラ２０のプロセッサは、ＲＦＧ２２へ以前に送信されたパラメータの値を変更しないことを決定する。逆に、パラメータの計算値がクロックサイクルＣＡ中にＲＦＧ２２へ以前に送信されたパラメータの値の所定の範囲を外れると判定されると、コントローラ２０のプロセッサは、ＲＦＧ２２へ以前に送信されたパラメータの値と同じＲＦ信号状態に対するパラメータの値を変更することを決定する。

いくつかの実施形態において、１または複数のパラメータに関連する情報が、クロックサイクルＣＡ中にコントローラ２０からＲＦＧ２２へ以前に送信された設定点の値の所定の範囲を外れると判定した場合、コントローラ２０のプロセッサは、警告データを生成する。警告データは、ユーザに対して表示するためにコントローラ２０のプロセッサによって表示デバイス上にレンダリングされるか、もしくは、点滅発光体の形態で表示されるか、もしくは、音声出力の形態で提供されて、プラズマシステム１０の一部（例えば、ＲＦＧ２２内の１または複数の構成要素、または、プラズマチャンバ２４内の１または複数の構成要素、または、ＩＭＣ１４内の１または複数の構成要素、または、それらの組み合わせなど）が誤動作しているかまたは動作していないことをユーザに知らせる。

一部の実施形態において、ＲＦＧ２２の専用プロセッサは、１または複数のパラメータに関連する情報が、クロックサイクルＣＡ中にＲＦＧ２２へ以前に送信された設定点の値の所定の範囲を外れるか否かを判定する。１または複数のパラメータに関連する情報が、クロックサイクルＣＡ中にＲＦＧ２２へ以前に送信された設定点の値の所定の範囲を外れると判定すれば、ＲＦＧ２２の専用プロセッサは、警告データを生成する。警告データは、ＲＦＧ２２の専用プロセッサによってＲＦＧ２２の物理レイヤ２１の専用トランスミッタに送信される。ＲＦＧ２２の物理レイヤ２１の専用トランスミッタＴｘは、ペイロードとして警告データを含む１または複数の転送単位を生成し、１または複数の転送単位をコントローラ２０の物理レイヤ２３の専用レシーバに送信する。コントローラ２０の物理レイヤ２３の専用レシーバは、１または複数の転送単位を受信し、１または複数の転送単位を構文解析して、警告データを抽出する。警告データは、コントローラ２０の専用レシーバからコントローラ２０のプロセッサに提供され、コントローラ２０のプロセッサは、ユーザに表示するために表示デバイス上に警告データをレンダリングするか、もしくは、点滅発光体の形態で警告データを表示するか、もしくは、音声出力の形態で音声データを提供して、プラズマシステム１０の一部が誤動作しているかまたは動作していないことをユーザに知らせる。

図１Ｂは、コントローラ２０とＲＦＧ２２との間の通信を示すシステム３５の一実施形態の図である。コントローラ２０のプロセッサは、１または複数のパラメータの１または複数の設定点を生成し、１または複数の設定点をコントローラ２０の物理レイヤ２３の専用トランスミッタＴｘに提供する。コントローラ２０の物理レイヤ２３の専用トランスミッタは、１または複数の設定点に通信プロトコルを適用して１または複数の転送単位を生成し、ＲＦＧ２２の物理レイヤ２１のレシーバポートＲｘに専用通信リンク３０を介してクロックサイクルＣＡ中に１または複数の転送単位を送信する。ＲＦＧ２２の物理レイヤ２１のレシーバポートＲｘは、通信プロトコルを１または複数の転送単位に適用して１または複数の設定点を抽出し、ＲＦＧ２２の専用プロセッサに１または複数の設定点を提供する。

ＲＦＧ２２の物理レイヤ２１の専用トランスミッタＴｘは、１または複数のパラメータに関連する情報に通信プロトコルを適用して、１または複数の転送単位を生成し、クロックサイクルＣＢまたはクロックサイクルＣＡまたは別のクロックサイクル中に専用通信リンク３２を介してコントローラ２０の物理レイヤ２３の専用レシーバＲｘに１または複数の転送単位を送信する。コントローラ２０の物理レイヤ２３の専用レシーバは、通信プロトコルを適用して、１または複数のパラメータに関連する情報を抽出し、１または複数のパラメータに関連する情報をコントローラ２０のプロセッサに提供する。

コントローラ２０のプロセッサは、１または複数のパラメータに関連する情報から、１または複数のパラメータの１または複数の設定点が変更されるか否かを判定し、変更される場合には、変更設定点を生成する。変更設定点は、プロセッサによって、コントローラ２０の物理レイヤ２３の専用トランスミッタに提供される。コントローラ２０の物理レイヤ２３の専用トランスミッタは、１または複数の設定点に通信プロトコルを適用して、１または複数の転送単位を生成し、ＲＦＧ２２によって生成されるＲＦ信号の１または複数のパラメータを変更するために、クロックサイクルＣＣ、クロックサイクルＣＢ、クロックサイクルＣＡ、または、別のクロックサイクル中に、専用通信リンク３０を介してＲＦＧ２２の専用トランスミッタＴｘに１または複数の転送単位を送信する。

ローカルプロセッサボードシステム５１０のプロセッサは、１または複数の修正された設定点を物理レイヤ５０２の専用トランスミッタに提供する。物理レイヤ５０２の専用トランスミッタは、１または複数の修正された設定点に通信プロトコルを適用して、転送単位（例えば、転送単位３００、図６に示す転送単位など）を生成し、専用通信リンク５０４を介してＲＦＧの物理レイヤ５２３の専用レシーバに転送単位を送信する。様々な実施形態において、１または複数の修正された設定点は、ローカルプロセッサボードシステム５１０によってマスタシステムコントローラ２０４から受信される。

一実施形態において、専用トランスミッタ（例えば、ローカルプロセッサボードシステム５１０の物理レイヤ５０２のトランスミッタ、ＲＦＧの物理レイヤ５２３の専用トランスミッタなど）は、複数の転送単位を組み合わせることによってバースト転送単位（例えば、バーストパケット、バーストフレームなど）を生成して、一連の転送単位を生成する。バースト転送単位は、各転送単位のオーバーヘッドを削減し、転送単位を別個に送信するよりも高いデータ速度を達成する。例えば、各転送単位内に送信元ポートおよび宛先ポートのＩＤを示す必要がない。この例において、送信元ポートおよび／または宛先ポートは、組み合わされた複数の転送単位に対して示される。別の例において、バースト転送単位の場合、バースト転送単位内の各パケットのためのヘッダは必要ない（例えば、パケットの開始および終了を示す分割ビットが必要ない、など）。例えば、バースト転送単位のフレームの場合、ヘッダが、フレーム内の最初のパケットの前に用いられ、フレーム内の残りのパケットはヘッダを持たない。最初のパケットの前のヘッダは、フレームの開始を示す。かかる削減は、時間を節約し、データ転送速度を高める。

副コントローラは、上述の方法で、１または複数のパラメータに関連する情報をマスタシステムコントローラ２０４（図２Ａ〜図２Ｃ）に提供する。マスタシステムコントローラ２０４は、上述の方法で、プラズマシステム１０の一部のモデルを１または複数のパラメータに関連する情報に適用して、１または複数のパラメータに対する１または複数の設定点を生成する。一部の実施形態において、マスタシステムコントローラ２０４は、１または複数のパラメータに関連する情報に基づいて警告データを生成するか否か、および／または、その情報に基づいて、１または複数のパラメータに対する１または複数の設定点を変更するか否かを決定する。コントローラ２０の物理レイヤ２３の専用トランスミッタ（例えば、コントローラ２０の副コントローラ１に接続された物理レイヤ２０２ａ（図２Ａ）の専用トランスミッタなど）は、上述の方法で、マスタシステムコントローラ２０４から１または複数のパラメータに対する１または複数の設定点を受信し、通信プロトコルを適用して、１または複数の設定点を含む１または複数の転送単位を生成する。１または複数の転送単位は、コントローラ２０の物理レイヤ２３の専用トランスミッタから物理通信媒体３１の専用通信リンク３０を介してＲＦＧ２２の物理レイヤ２１の専用レシーバ（例えば、副コントローラ１に接続されたＲＦＧ１の物理レイヤ２０３ａの専用レシーバ）に送信される。

Claims (25)

1. 通信速度を高めるためのシステムであって、
   専用トランシーバを備えた高周波（ＲＦ）発生器と、
   専用トランシーバおよび当該専用トランシーバに接続されたコントローラを備えたホストコンピュータシステムと、
   前記ＲＦ発生器を前記ホストコンピュータシステムに接続する共有物理通信媒体と、
   前記ＲＦ発生器の前記専用トランシーバを前記ホストコンピュータシステムの前記専用トランシーバに接続する専用物理通信媒体と、
   を備え、
   前記ホストコンピュータシステムは、前記共有物理通信媒体を介して、前記ＲＦ発生器を構成するための構成信号を送信するように構成されており、
   前記ＲＦ発生器の前記専用トランシーバは、前記構成信号を受信すると、前記専用物理通信媒体を介して、前記ホストコンピュータシステムの前記専用トランシーバに、パラメータに関連する情報を含む１または複数の転送単位を送信し始めるように構成されており、
   前記ホストコンピュータシステムの前記コントローラは、前記パラメータに関連する前記情報を処理して、前記パラメータの設定点を変更することを決定し、変更された設定点をさらに生成するように構成されており、
   前記ホストコンピュータシステムの前記専用トランシーバは、前記専用物理通信媒体を介して、前記ＲＦ発生器の前記専用トランシーバに、前記変更された設定点を含む１または複数の転送単位を送信するように構成されている、システム。
2. 請求項１に記載のシステムであって、
   前記ホストコンピュータシステムの前記専用トランシーバは、前記パラメータに関連する前記情報を前記ＲＦ発生器に要求することなしに、前記専用物理通信媒体を介して、前記ＲＦ発生器の前記専用トランシーバによって送信された前記１または複数の転送単位を受信するように構成されている、システム。
3. 請求項１に記載のシステムであって、
   前記ＲＦ発生器の前記専用トランシーバは、前記変更された設定点を前記ホストコンピュータシステムに要求することなしに、前記専用物理通信媒体を介して、前記ホストコンピュータシステムの前記専用トランシーバによって送信された前記１または複数の転送単位を受信するように構成されている、システム。
4. 請求項１に記載のシステムであって、
   前記ＲＦ発生器は、インピーダンス整合回路を介してプラズマチャンバに接続されている、システム。
5. 請求項１に記載のシステムであって、
   前記ホストコンピュータシステムは、前記共有物理通信媒体を介して、さらなるＲＦ発生器に接続されている、システム。
6. 請求項１に記載のシステムであって、
   前記ホストコンピュータシステムは、前記専用物理通信媒体を介して前記ＲＦ発生器の前記専用トランシーバによって送信された前記１または複数の転送単位に対してチェックサム演算を実行しないように構成されている、システム。
7. 請求項１に記載のシステムであって、
   前記ＲＦ発生器は、前記専用物理通信媒体を介して前記ホストコンピュータシステムの前記専用トランシーバによって送信された前記１または複数の転送単位に対してチェックサム演算を実行しないように構成されている、システム。
8. 高周波（ＲＦ）発生器とホストコンピュータシステムとの間の通信速度を高めるための方法であって、
   前記ＲＦ発生器を構成するために、前記ホストコンピュータシステムによって、共有物理通信媒体を介して前記ＲＦ発生器に構成信号を送信する工程と、
   前記構成信号を受信した後、前記ＲＦ発生器の専用トランシーバによって、専用物理通信媒体を介して前記ホストコンピュータシステムの専用トランシーバに、パラメータに関連する情報を含む１または複数の転送単位を送信する工程と、
   前記ホストコンピュータシステムによって、前記パラメータに関連する前記情報を処理して、前記パラメータの設定点を変更することを決定し、変更された設定点をさらに生成する工程と、
   前記ホストコンピュータシステムの前記専用トランシーバによって、前記専用物理通信媒体を介して、前記ＲＦ発生器の前記専用トランシーバに、前記変更された設定点を含む１または複数の転送単位を送信する工程と、
   を備える、方法。
9. 請求項８に記載の方法であって、さらに、
   前記ホストコンピュータシステムの前記専用トランシーバによって、前記ＲＦ発生器の前記専用トランシーバから送信された前記１または複数の転送単位を受信する工程を備え、
   前記１または複数の転送単位を受信する工程は、前記パラメータに関連する前記情報を前記ＲＦ発生器に要求することなしに実行される、方法。
10. 請求項８に記載の方法であって、さらに、
    前記ＲＦ発生器の前記専用トランシーバによって、前記ホストコンピュータシステムの前記専用トランシーバから送信された前記１または複数の転送単位を受信する工程を備え、
    前記１または複数の転送単位を受信する工程は、前記変更された設定点を前記ホストコンピュータシステムに要求することなしに実行される、方法。
11. 請求項８に記載の方法であって、
    前記ＲＦ発生器は、インピーダンス整合回路を介してプラズマチャンバに接続されている、方法。
12. 請求項８に記載の方法であって、さらに、
    前記ホストコンピュータシステムによって、前記共有物理通信媒体を介して、さらなるＲＦ発生器に構成信号を送信して、パラメータに関連する情報を提供するように前記さらなるＲＦ発生器を構成する工程を備える、方法。
13. 請求項８に記載の方法であって、さらに、
    前記専用物理通信媒体を介して前記ＲＦ発生器の前記専用トランシーバによって送信された前記１または複数の転送単位に対するチェックサム演算の実行をスキップする工程を備える、方法。
14. 請求項８に記載の方法であって、さらに、
    前記専用物理通信媒体を介して前記ホストコンピュータシステムの前記専用トランシーバによって送信された前記１または複数の転送単位に対するチェックサム演算の実行をスキップする工程を備える、方法。
15. ホストコンピュータシステムと高周波（ＲＦ）発生器との間の通信速度を高めるための方法であって、
    １または複数のパラメータに対する１または複数の設定点を含む１または複数の転送単位を生成する工程であって、各設定点は、ＲＦ信号の１または複数の状態に関連し、前記１または複数の設定点は、前記ＲＦ信号を生成するために前記ＲＦ発生器によって用いられる、工程と、
    前記ホストコンピュータシステムの物理レイヤの専用トランスミッタから物理通信媒体の第１の専用通信リンクを介して前記ＲＦ発生器の物理レイヤの専用レシーバに前記１または複数の転送単位を送信する工程と、
    前記物理通信媒体の第２の専用通信リンクを介して前記ＲＦ発生器の前記物理レイヤの専用トランスミッタから１または複数の転送単位を受信する工程であって、前記受信される１または複数の転送単位は、前記１または複数のパラメータならびに前記１または複数の状態に関連する情報を含み、前記第２の専用通信リンクを介した前記１または複数の転送単位の受信は、前記ホストコンピュータシステムの前記物理レイヤの専用レシーバによって実行される、工程と、
    前記１または複数のパラメータに関連する前記情報から、前記１または複数の状態に関連する前記１または複数の設定点を修正して、１または複数の修正された設定点を生成することを決定する工程と、
    前記物理通信媒体の前記第１の専用通信リンクを介して前記ＲＦ発生器の前記物理レイヤの前記専用レシーバに、前記１または複数の修正された設定点を含む１または複数の修正された転送単位を送信する工程と、
    を備え、
    前記方法は、前記ホストコンピュータシステムによって実行される、方法。
16. 請求項１５に記載の方法であって、さらに、
    前記１または複数の状態に関連する前記１または複数の設定点を修正することを決定する工程と同時に、前記物理通信媒体の前記第２の専用通信リンクを介して１または複数のさらなる転送単位を受信する工程を備え、
    前記１または複数の修正された設定点を含む前記１または複数の修正された転送単位を送信する工程は、前記１または複数のさらなる転送単位を受信する工程の後に実行される、方法。
17. 請求項１５に記載の方法であって、さらに、
    前記１または複数の状態に関連する前記１または複数の設定点を修正することを決定する工程の後に、前記物理通信媒体の前記第２の専用通信リンクを介して１または複数のさらなる転送単位を受信する工程を備え、
    前記１または複数の修正された設定点を含む前記１または複数の修正された転送単位を送信する工程は、前記１または複数のさらなる転送単位を受信する工程の前に実行される、方法。
18. 請求項１５に記載の方法であって、
    前記ＲＦ発生器の前記物理レイヤの前記専用レシーバは、前記ホストコンピュータシステムから前記ＲＦ発生器に送信された前記１または複数の転送単位ならびに前記１または複数の修正された転送単位に対してチェックサム演算を実行しないように構成されている、方法。
19. 請求項１５に記載の方法であって、
    前記ホストコンピュータシステムの前記物理レイヤの前記専用レシーバは、前記ＲＦ発生器の前記物理レイヤの前記専用トランスミッタから受信された前記１または複数の転送単位に対してチェックサム演算を実行しないように構成されている、方法。
20. 請求項１５に記載の方法であって、
    前記１または複数の転送単位は、前記１または複数の転送単位のためのフレーム内に単一のヘッダが含まれるバーストモードで、前記ホストコンピュータシステムから前記ＲＦ発生器に送信され、
    前記１または複数の修正された転送単位は、前記１または複数の修正された転送単位のためのフレーム内に単一のヘッダが含まれるバーストモードで、前記ホストコンピュータシステムから前記ＲＦ発生器に送信される、方法。
21. 請求項１５に記載の方法であって、
    前記ホストコンピュータシステムの前記物理レイヤの前記専用トランスミッタから送信された前記１または複数の転送単位は、送信元ポートフィールドおよび宛先ポートフィールドを備えず、
    前記ホストコンピュータシステムの前記物理レイヤの前記専用トランスミッタから送信された前記１または複数の修正された転送単位は、送信元ポートフィールドおよび宛先ポートフィールドを備えず、
    前記ＲＦＧの前記物理レイヤの前記専用レシーバから受信された前記１または複数の転送単位は、送信元ポートフィールドおよび宛先ポートフィールドを備えない、方法。
22. 請求項１５に記載の方法であって、さらに、
    共有物理通信媒体と前記ホストコンピュータシステムの共有物理レイヤとを介して１または複数のパラメータに関連する前記情報を提供するように前記ＲＦＧを構成する工程と、
    前記共有物理通信媒体と前記ホストコンピュータシステムの前記共有物理レイヤとを介して前記１または複数のパラメータに関連する情報を提供するように別のＲＦＧを構成する工程と、
    を備える、方法。
23. システムであって、
    第１のＲＦ信号を生成するための第１の高周波（ＲＦ）発生器であって、専用トランシーバを備える、第１のＲＦ発生器と、
    第２のＲＦ信号を生成するための第２のＲＦ発生器であって、専用トランシーバを備える、第２のＲＦ発生器と、
    前記第１および第２のＲＦ発生器に接続されたインピーダンス整合回路と、
    前記インピーダンス整合回路に接続された、プラズマを生成するためのプラズマチャンバと、
    第１のコントローラと、
    前記第１のコントローラに接続された専用トランシーバと、
    を備え、
    前記第１のコントローラに接続された前記専用トランシーバは、第１の専用物理通信媒体を介して前記第１のＲＦ発生器に接続され、前記第１のコントローラに接続された前記専用トランシーバは、
    １または複数のパラメータに対する１または複数の設定点を含む１または複数の転送単位を生成する工程であって、各設定点は、前記第１のＲＦ信号の１または複数の状態に関連し、前記１または複数の設定点は、前記第１のＲＦ信号を生成するために前記第１のＲＦ発生器によって用いられる、工程と、
    前記第１の専用物理通信媒体の第１の専用通信リンクを介して前記第１のＲＦ発生器の前記専用トランシーバに前記１または複数の転送単位を送信する工程と、
    前記第１の物理通信媒体の第２の専用通信リンクを介して前記第１のＲＦ発生器の前記専用トランシーバから１または複数の転送単位を受信する工程であって、前記受信する１または複数の転送単位は、前記１または複数のパラメータならびに前記１または複数の状態に関連する情報を含む、工程と、
    を実行するように構成されており、
    前記第１のコントローラは、前記１または複数のパラメータに関連する前記情報から、前記１または複数の状態に関連する前記１または複数の設定点を修正して、１または複数の修正された設定点を生成することを決定するように構成されており、
    前記第１のコントローラに接続された前記専用トランシーバは、前記第１の物理通信媒体の前記第１の専用通信リンクを介して前記第１のＲＦ発生器の前記専用トランシーバに、前記修正された１または複数の設定点を含む１または複数の修正された転送単位を送信するように構成されている、システム。
24. 請求項２３に記載のシステムであって、さらに、
    第２のコントローラと、
    前記第２のコントローラに接続された専用トランシーバと、
    を備え、
    前記第２のコントローラに接続された前記専用トランシーバは、前記第２のＲＦ発生器の前記専用トランシーバと通信するために、第２の専用物理通信媒体を介して前記第２のＲＦ発生器の前記専用トランシーバに接続されており、
    前記第２のコントローラに接続された前記専用トランシーバは、前記第１のＲＦ発生器の前記専用トランシーバには接続されておらず、
    前記第１のコントローラに接続された前記専用トランシーバは、前記第２のＲＦ発生器の前記トランシーバに接続されている、システム。
25. 請求項２３に記載のシステムであって、
    前記第１のＲＦ発生器の前記専用トランシーバは、前記第１のコントローラに接続された前記専用トランシーバから前記第１のＲＦ発生器に送信された前記１または複数の転送単位ならびに前記１または複数の修正された転送単位に対してチェックサム演算を実行しないように構成されており、
    前記第２のＲＦ発生器の前記専用トランシーバは、前記第２のコントローラに接続された前記専用トランシーバから受信された１または複数の転送単位に対してチェックサム演算を実行しないように構成されており、
    前記第１のコントローラに接続された前記専用トランシーバは、前記第１のＲＦＧの前記専用トランシーバから受信された前記１または複数の転送単位に対してチェックサム演算を実行しないように構成されており、
    前記第２のコントローラに関連する前記専用トランシーバは、前記第２のＲＦＧの前記専用トランシーバから受信された１または複数の転送単位に対してチェックサム演算を実行しないように構成されている、システム。

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