TW202019141A - 增加主電腦系統與射頻產生器之間之通訊速率的系統及方法 - Google Patents

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Abstract

揭露增加射頻(RF)產生器與主電腦系統間之數據傳輸速率的系統與方法。藉著在射頻產生器與主電腦系統之間施用與射頻產生器及主電腦系統相關的專用實體層以及專用實體通訊媒體能增加數據傳輸速率。又，在射頻產生器與主電腦系統之間使用雙推操作。毋需自射頻產生器對主電腦系統發送數據要求或毋需自主電腦系統對射頻產生器發送數據要求。

Description

增加主電腦系統與射頻產生器之間之通訊速率的系統及方法
本發明之實施例係關於用於主電腦系統與射頻(RF)產生器之間之雙推的系統與方法。
在一電漿系統中，複數射頻(RF)產生器係連接至一電漿室。射頻產生器係藉由電腦所控制。例如，電腦提供與射頻產生器所產生之射頻訊號相關的數值。射頻產生器使用此些數值以產生射頻訊號，接著射頻訊號被發送至電漿室。在接收到射頻訊號時電漿室中產生電漿。
射頻產生器與電腦間的通訊是緩慢的。此緩慢的通訊會阻礙射頻產生器之電腦的效率控制。
本發明所揭露之實施例係於此文義下產生。
本發明之實施例提供主電腦系統與射頻(RF)產生器之間之雙推用的設備、方法、及電腦程式。應瞭解，本發明之實施例可以多種方式實施，如處理、設備、系統、裝置、或電腦可讀媒體上的方法。下面將說明數個實施例。
在某些實施例中，相較於其他傳輸協定，如乙太網控制自動化技術(EtherCAT)協定、傳輸控制協定/網際網路協定(TCP/IP)等，主系統與射頻產生器之間的雙推使主系統與射頻產生器之間能有更快速的通訊。EtherCAT協定受限於響應時間與淨負載，如從屬伺服器(slaves)的數目等。又，TCP/IP協定具有與封包重送和超時相關的管理成本。其他傳輸協定涉及針對封包中之錯誤的錯誤檢查、指示錯誤的通訊、及重新傳輸封包。錯誤檢查、通訊、及重新傳輸皆耗時。雙推在主系統與射頻產生器之間應用一通訊協定（如通用數據報協定(UDP)、客製化之協定等）以在主系統與射頻產生器之間持續推動傳遞單元（如封包等）。例如，封包接收器不會針對每一封包進行錯誤檢查、接收器不會進行指示錯誤的通訊、且封包傳送器不會進行重新傳輸。又例如，沒有任何封包會被再次發送、且在封包被接收時不會自接收器接收確認訊息。又更例如，主系統不會要求來自射頻產生器之與一或多個參數相關的資訊、且射頻產生器不會要求來自主系統之一或多個參數的一或多個設定點。一旦射頻產生器受主電腦配置以發送與一或多個參數相關的資訊，射頻產生器發送一或多個封包至主電腦、且主電腦分析被儲存在該一或多個封包中與一或多個參數相關的資訊，以判斷是否發送修改後的設定點或發送先前發送予射頻產生器的相同設定點。
在某些實施例中，雙推使用用以推動第一固定UDP 數據報的一乙太網堆疊、並使用用以推動第二固定UDP 數據報的一乙太網堆疊，該第一固定UDP 數據報係用以監控射頻產生器的輸出而該第二固定UDP 數據報係用以控制該射頻產生器。
在各種實施例中，在一雙推設備中，主系統與射頻產生器係藉由實體通訊媒體之專用通訊鏈結及專用傳送器與專用接收器而彼此連接。例如，主系統之專用傳送器係藉由實體通訊媒體之專用通訊鏈結而連接至射頻產生器之專用接收器 ，射頻產生器之專用傳送器係藉由實體通訊媒體之專用通訊鏈結而連接至主系統之專用接收器。主系統之專用接收器將該通訊協定應用至自射頻產生器之專用傳送器所接收的一封包，以擷取該封包內與一或多個參數相關的資訊。與一或多個參數相關的資訊被提供至主系統之處理器。處理器自與一或多個參數相關的資訊產生之一參數之一值、並判斷該值是否落入先前發送予射頻產生器之專用接收器之該參數的一值的一預定範圍內。在判斷出該值未落入該預定範圍時，處理器將該參數的一值修改至落入該預定範圍內、並將該值提供予主系統之專用傳送器，以藉由實體通訊媒體之專用通訊鏈結通訊至射頻產生器之專用接收器。又例如，十億位元的實體層將512位元組的訊框推至亦具有用以接受該訊框之十億位元實體層的客戶。該推送係以達到100千赫茲之速度的方式達成。
在某些實施例中，雙推設備不進行錯誤檢查、指示錯誤之通訊、有錯誤之封包的重送可節省時間與成本。
又，在各種實施例中，專用通訊鏈結減少來自不同源接口之封包碰撞與掉包的機會。不被不同射頻產生器或不同控制器所分享的專用通訊鏈結能減少封包碰撞與掉包的機會。例如，若藉由共享的通訊鏈結將封包發送予兩個不同的射頻產生器，封包間可能會碰撞而導致被發送至射頻產生器的數據遺失或錯誤。藉著使用連接至單一射頻產生器的專用通訊鏈結，主系統無法藉由該射頻產生器發送封包予不同的射頻產生器，因此避免了碰撞。
相較於其他協定如EtherCAT協定、TCP/IP等，雙推設備的額外優點包含增加射頻產生器對主系統之控制器或控制器對射頻產生器之響應的響應時間數倍，如100倍、1000倍、100至1000倍。
自下列參照附圖之詳細說明當能瞭解其他態樣。
下面的實施例說明主電腦系統與射頻(RF)產生器之間之雙推用的系統與方法。當明白，本發明之實施例可在缺乏部分或所有此些特定細節的情況下施行。在其他情況下，不詳細說明習知的處理操作以免不必要地模糊本發明之實施例。
在某些實施例中，雙推在進行時：不會有來自主電腦系統對射頻產生器要求與一或多個參數相關的資訊的要求、且不會有來自射頻產生器對主電腦系統要求該一或多個參數之一或多個設定點（如一或多個值等）的要求。一旦射頻產生器受主電腦系統配置以發送與一或多個參數相關的資訊，射頻產生器開始發送並持續發送一或多個封包。一旦主電腦接收到一或多個封包，主電腦判斷是否修改一或多個設定點、並基於該判斷而發送包含了未被修改之一或多個設定點的一或多個封包或發送一或多個修改後的設定點予射頻產生器。在數個實施例中，推送為在數據接收器未要求數據的情況下藉由發送器傳輸數據的動作。
在各種實施例中，射頻產生器與主電腦系統的共控制器係藉由連接至共控制器的專用實體層、藉由將射頻產生器連接至主電腦系統的專用實體通訊媒體、並藉由連接至射頻產生器之專用處理器的專用實體層而彼此連接。射頻產生器與主電腦系統之專用實體層及專用實體通訊媒體能促進射頻產生器與主電腦系統之間的快速數據傳輸。在射頻產生器與主電腦系統之間毋需錯誤檢查、或重新發送具有錯誤的封包等。
圖1A顯示使用在控制器 20（如局部控制器等）與射頻產生器(RFG)22之間之雙推之電漿系統10之一實施例。電漿系統10包射頻產生器22、阻抗匹配電路(IMC)14、控制器20、及電漿室24。電漿室24係藉由RF傳輸線12而連接至阻抗匹配電路14。射頻產生器22係藉由RF纜線16而連接至阻抗匹配電路14。在某些實施例中，控制器的實例包含中央處理單元(CPU)、電腦、處理器、微處理器、特殊應用積體電路(ASIC)、及可程式化之邏輯裝置(PLD)。在各種實施例中，控制器包含處理器與記憶體的組合。記憶體裝置的實例包含唯讀記憶體 (ROM)、隨機存取記憶體(RAM)、硬碟、揮發性記憶體、非揮發性記憶體、儲存碟的冗餘陣列(RAID)、快閃記憶體等。
控制器20對射頻產生器22產生一控制訊號，且該控制訊號包含對射頻產生器22之一或多個狀態（如狀態S0、狀態S1、狀態S2、狀態S3、狀態S4等）之一或多個參數（如頻率、功率等）的一或多個設定點（如複數值）。控制器20之專用實體層23的專用傳送器(Tx)將一通訊協定（如通用數據報協定(UDP)、UDP/網際網路協定(UDP/ IP)、UDP/IP/乙太網、客製協定等）應用至該控制訊號，以產生一或多個傳遞單元（如複數數據報、複數UDP 數據報、複數封包等），並在時脈週期 CA期間藉由專用通訊鏈結30將該一或多個傳遞單元發送至射頻產生器22。在各種實施例中，實體通訊媒體的實例包含同軸纜線、導體纜線、有線媒體、扭絞雙線電纜、光纖鏈結、纜線、乙太網纜線、無線媒體等。
在某些實施例中，專用通訊鏈結係用以進行兩裝置之間的點到點通訊，兩裝置例如是控制器20之專用實體層23與射頻產生器22之專用實體層21等。例如，專用通訊鏈結30為一或多個傳遞單元的一通道用以將來自控制器20之實體層23之一或多個參數的一或多個設定點發送至射頻產生器22的專用實體層21，專用通訊鏈結32為一或多個傳遞單元的一通道用以將來自射頻產生器22之實體層21的數據發送至控制器20之實體層23。在各種實施例中，通道為用以在纜線上傳遞數據的邏輯連接件且具有以每秒多少位元作為單位的容量。
在某些實施例中，實體層為一接口，如乙太網接口、UDP接口、通訊接口等。在各種實施例中，專用實體層以每秒十億位元(Gbps)等級的速度傳輸如發送、接收等。在各種實施例中，專用實體層為能以每秒十億位元的速度或高於每秒十億位元的速度，如每秒萬億位元(Tbps)之速度等傳輸如發送、接收等一或多個傳遞單元的一通訊裝置，如收發器等。
時脈週期為控制器20內或控制器20外之時脈源所產生之時脈訊號的週期。時脈源的實例包含振盪器、具有鎖相迴路的振盪器等。在某些實施例中，產生時脈訊號的時脈源係位於射頻產生器或控制器中。例如，時脈源係位於控制器20內且將時脈訊號提供予連接至控制器20且受控制器20所控制的射頻產生器22或其他射頻產生器。
在某些實施例中，文中所指之一狀態為射頻產生器所產生之射頻訊號的狀態。一狀態應與控制器所產生的另一狀態有所區別。例如，一射頻訊號之一狀態具有複數功率值，此複數功率值係排除於射頻訊號之另一狀態的複數功率值之外。一狀態的複數功率值所具有的位準係不同於另一狀態之複數功率值所具有的位準，因此在時脈週期中的一預定時間期間兩位準之間存在一差異。
在數個實施例中，一射頻訊號之一狀態係與一時脈訊號的一狀態同步。例如，時脈訊號具有一高位準（如位元1等）與一低位準（如位元0等）。當時脈訊號在該兩狀態之間轉換時，正弦射頻訊號在兩狀態之間轉換。為了例示，當時脈訊號係處於高位準時，射頻訊號係處於高位準。當時脈訊號自時脈訊號的高位準轉換至時脈訊號的低位準時，射頻訊號自射頻訊號的高位準轉換至射頻訊號的低位準。當時脈訊號係處於時脈訊號的低位準時，射頻訊號係處於射頻訊號的低位準。當時脈訊號自時脈訊號的低位準轉換至時脈訊號的高位準時，射頻訊號自射頻訊號的低位準轉換至射頻訊號的高位準。
在各種實施例中，一射頻訊號可具有任何數目之狀態。例如，當時脈訊號係處於高位準時，射頻訊號在不同位準之間轉換，且當時脈訊號係處於低位準時，射頻訊號具有一狀態。又例如，當時脈訊號係處於低位準時，射頻訊號在不同位準之間轉換，且當時脈訊號係處於高位準時，射頻訊號具有一狀態。又更例如，當時脈訊號係處於高位準時，射頻訊號在不同位準之間轉換，且當時脈訊號係處於低位準時，射頻訊號在不同位準之間轉換。
射頻產生器22之實體層21包含藉由專用通訊鏈結30接收一或多個傳遞單元的專用接收器(Rx)，並應用通訊協定以自傳遞單元擷取控制訊號。射頻產生器22之專用接收器為射頻產生器22之專用實體層21的一部分。射頻產生器22之專用處理器，如數位訊號處理器(DSP)、場可編輯之閘極陣列、特殊應用積體電路等，解析控制訊號以分辨一狀態之一或多個參數的一或多個設定點與另一狀態之一或多個參數的一或多個設定點。射頻產生器22之專用處理器將一狀態之一或多個參數的一或多個設定點提供予一參數控制器（如自動頻率協調器(AFT)、功率控制器等），並將另一狀態之該參數的一或多個設定點提供予另一參數控制器（如AFT、功率控制器等）。與一狀態相關的每一參數控制器藉由驅動元件（如一電晶體、一群電晶體等）驅動射頻產生器22的一RF電源，以產生具有該些狀態的射頻訊號。
自射頻產生器22藉由RF纜線16將具有複數狀態的射頻訊號發送至阻抗匹配電路14。阻抗匹配電路14匹配連接至阻抗匹配電路14之輸出之一負載的阻抗與連接至阻抗匹配電路14之輸入之一源的阻抗，以產生一修改過的射頻訊號。源的實例包含藉由對應之RF纜線耦合至阻抗匹配電路14且可操作的一或多個射頻產生器，該源的實例更包含將射頻產生器耦合至阻抗匹配電路14的RF纜線。負載的實例包含RF傳輸線12與電漿室24。
阻抗匹配電路14藉由RF傳輸線12將該修改過的射頻訊號提供至電漿室24的夾頭18。當該修改過的射頻訊號由阻抗匹配電路14供應至夾頭18時，處理氣體（如含氧氣體、含氟氣體、含碳與氟之氣體等）藉由上電極26中的氣體入口而被供給至電漿室24的上電極與夾頭18之間。含氧氣體的實例包含氧氣，含氟氣體的實例包含四氟甲烷(CF4 )、六氟化硫(SF6 )、六氟乙烷(C2 F6 )、C4 F6 氣體、C4 F3 氣體、C3 F8 氣體等。當處理氣體與該修改過的射頻訊號皆被供給至電漿室24時，電漿室24內產生電漿或維持電漿。
電漿係用以在基板（如晶圓等）上進行一或多個操作，如蝕刻、摻雜、離子植入、清潔、沉積、微影圖案化等，以在基板上形成積體電路。接著切割並封裝積體電路，積體電路可被用於各種電子裝置，如手機、電腦、平板、相機、運動器材、手錶等。
在某些實施例中，射頻產生器22包含一或多個感測器，如電壓感測器、電流感測器、複數阻抗感測器、功率感測器等，感測器可感測（如偵測、量測）自射頻產生器22之輸出節點發送之射頻訊號的特性（如功率、電壓、電流、阻抗等）。一或多個感測器係連接至射頻產生器22的輸出節點、且射頻訊號係由射頻產生器22於輸出處所提供。
在某些實施例中，一或多個感測器係連接至電漿系統10的任何其他部分，以量測該部分處之射頻訊號的特性。
射頻產生器22之專用處理器自射頻產生器22所產生之射頻訊號之特性或自控制器20所接收之一參數的一值，判斷（例如識別、計算）一或多個參數相關的資訊。與一或多個參數相關的資訊的實例包含被供給之功率的值、被輸送之功率的值、被反射之功率的值、伽馬的實部的值、伽馬的虛部的值、電壓駐波率(VSWR)的值、自時脈訊號之時脈緣經過的時間的量、射頻產生器22之控制器內的設定點、狀態向量（如用以判斷資訊是否超出預定範圍的警示向量等）、參數的量測值、自控制器20接收之參數的值、其組合等。為了例示，經輸送的功率被計算為被供給之功率與被反射之功率之間的差。射頻產生器22之控制器內的設定點係藉由專用通訊鏈結30自控制器20所接收。被供給的功率為自射頻產生器22藉由RF纜線16供給至阻抗匹配電路14的功率。被反射的功率為自電漿室24藉由RF傳輸線12與阻抗匹配電路14被反射至射頻產生器22之輸出的功率。另一例示為，判斷被反射之功率訊號與被供給之功率訊號之間的關係而產生伽馬的值。
射頻產生器22之實體層21的專用傳送器(Tx)將通訊協定應用至與一或多個參數相關的資訊，以產生一或多個傳遞單元，並在時脈週期CB或時脈週期CA期間藉由專用通訊鏈結32將一或多個傳遞單元提供至控制器20之實體層23的專用接收器Rx。專用通訊鏈結32為實體通訊媒體31的一部分。在各種實施例中，具有實體層31之專用通訊鏈結30與32降低了封包碰撞的機會。例如，當封包沿著控制器20與複數射頻產生器(包含射頻產生器22)間共用的通訊鏈結被發送時，封包間存在著碰撞，因此某些封包遺失。射頻產生器22與控制器20間的專用通訊鏈結30與32降低了此類碰撞的機會。例如，封包無法在非射頻產生器22之另一射頻產生器與控制器20之間發送，因此降低了碰撞的機會。
控制器20之實體層23的專用接收器Rx將通訊協定應用至包含與一或多個參數相關之資訊的一或多個傳遞單元以擷取資訊，並將資訊發送至控制器20之處理器。控制器20的處理器處理與一或多個參數相關的資訊。例如，控制器20的處理器自該訊息計算或識別一射頻訊號之一狀態之一參數的一值、並比較該參數的該值與時脈週期CA期間藉由專用通訊鏈結30發送予射頻產生器22之該參數的一值，自該訊息計算或識別例如自被輸送的功率與被反射的功率計算被供給的功率、自伽馬與被反射的功率計算被供給的功率、識別量測到的功率、識別射頻產生器22之控制器內的設定點、識別用以指示錯誤的狀態向量等。控制器20的處理器判斷一射頻訊號之一狀態之一參數的計算值是否落在先前時脈週期CA期間藉由專用通訊鏈結30發送予射頻產生器22之該狀態之該參數之該值的預定範圍內。在判斷出參數的計算值係落在先前時脈週期CA期間發送予射頻產生器22之該參數之該值的該預定範圍內後，控制器20的處理器決定不改變先前發送予射頻產生器22之該參數之該值。另一方面，在判斷出參數的計算值係超出先前時脈週期CA期間發送予射頻產生器22之該參數之該值的該預定範圍後，控制器20的處理器決定改變射頻訊號之相同狀態之該參數的一值(此值為先前發送予射頻產生器22之該參數之該值)。
此類的參數值比較使得控制器20與射頻產生器22能以高速推送數據而毋需檢查數據的精準度、毋需等待相同封包的重新傳輸、且毋需指示超時。例如，射頻產生器22之實體層21的專用接收器不會產生射頻產生器22是否自控制器20接收封包的肯認訊息，且控制器20之實體層23的專用接收器不會產生控制器20是否自射頻產生器22接收封包的肯認訊息。又例如，當控制器20在預定時間期間內未自射頻產生器22接收自控制器20發送封包至射頻產生器22的肯認訊息時，控制器20不會對自己指示超時。又例如，當射頻產生器22在預定時間期間內未自控制器20接收自射頻產生器22發送封包至控制器20的肯認訊息時，射頻產生器22不會對自己指示超時。在某些實施例中，超時會啟動封包發送端重新傳輸封包。
在各種實施例中，射頻產生器22之實體層21的專用傳送器 Tx在相同的時脈週期 CA 期間發送和一或多個參數相關的資訊，在此相同的時脈週期 CA期間，射頻產生器22之專用接收器 Rx接收用以產生資訊的一或多個傳遞單元。
在某些實施例中，在時脈週期CA與CB之間存在著預定數目的時脈週期。例如，在射頻產生器22自時脈週期CA期間所接收之一參數產生一射頻訊號的期間發生了多個一或多個時脈週期，在此期間一或多個感測器感測該射頻訊號的特性且在此期間射頻產生器22之專用處理器自該特性判斷與該參數相關之資訊。複數時脈週期係落在時脈週期CB與時脈週期CA之間。在某些實施例中，在CA與CB之間之預定數目的時脈週期期間，控制器20之實體層23的專用傳送器 Tx持續藉由專用通訊鏈結30發送一或多個傳遞單元至射頻產生器22。
在數個實施例中，與一或多個參數相關的資訊包含一或多個位元，此一或多個位元指示先前控制器20之實體層23的專用接收器在時脈週期CA期間所發送之一參數的一值是否被射頻產生器22之實體層21的專用接收器所接收。控制器20的處理器自該一或多個位元判斷射頻產生器22之專用接收器是否已接收該參數之該值。例如，控制器20的處理器比較該些位元與先前在時脈週期CA期間發送予射頻產生器22之該參數的值，在判斷出該些位元與該值相匹配後，處理器判斷射頻產生器22已接收到在時脈週期CA期間所發送之該參數的該值。另一方面，在判斷出該些位元與該值不相匹配後，處理器判斷射頻產生器22未接收到在時脈週期CA期間所發送之該參數的該值。
在各種實施例中，與一或多個參數相關的資訊包含該參數的量測值。例如，射頻產生器22包含用以量測一參數之一值的一或多個感測器，藉著應用通訊協定而將量測值自射頻產生器22發送至控制器20。控制器20比較該量測值與先前在時脈週期CA期間被發送予射頻產生器22之該參數的一值，以判斷先前射頻產生器22是否已接收到該參數之該值。例如，控制器20的處理器處理和該參數相關的資訊，以判斷一參數的計算值是否落在先前在時脈週期CA期間藉由專用通訊鏈結30發送至射頻產生器22之該參數之該值的預定範圍內。在判斷出一狀態的量測值係落在先前在時脈週期CA期間發送至射頻產生器22之該狀態之該參數之該值的該預定範圍內後，控制器20的處理器不會改變用以在時脈週期（如時脈週期CA、時脈週期CB、或下一時脈週期CC）期間發送至射頻產生器22之該狀態之該參數的該值。該下一時脈週期CC係於時脈週期CB之後發生。另一方面，在判斷出該狀態的量測值係超出先前在時脈週期CA 期間發送至射頻產生器22之該狀態之該參數之該值的該預定範圍後，控制器20的處理器會改變用以在下一時脈週期期間藉由專用通訊鏈結30發送至射頻產生器22之該狀態之該參數的該值，而使其落在該預定範圍內。
在某些實施例中，與一或多個參數相關的資訊包含先前在時脈週期CA期間藉由控制器20之實體層23的專用接收器發送至射頻產生器22之實體層21的專用接收器之一參數的一設定點。控制器20的處理器自該設定點判斷射頻產生器22之實體層21的專用接收器是否已在時脈週期CA期間接收到該參數之該設定點。例如，在判斷出控制器20自射頻產生器22所接收之一參數之一設定點係落在先前控制器20在時脈週期CA期間發送至射頻產生器22之一參數之一值的預定範圍內後，控制器20的處理器決定不改變用以在下一時脈週期期間發送至射頻產生器22之該狀態之該參數的該設定點。另一方面，在判斷出控制器20自射頻產生器22所接收之該狀態之該參數之該設定點係超出先前控制器20發送至射頻產生器22之該參數之該值的預定範圍後，控制器20的處理器決定改變用以在下一時脈週期期間發送至射頻產生器22之該狀態之該參數的該設定點而使其落在該預定範圍內。
在數個實施例中，在判斷出與一或多個參數相關的資訊係超出先前控制器20在時脈週期CA期間發送至射頻產生器22之一設定點之一值的預定範圍後，控制器20的處理器產生警示數據。控制器20的處理器將警示數據發送至顯示裝置上以對使用者顯示、或以閃爍發光裝置的形式顯示、或以音效輸出的形式對使用者提供例如下面的資訊：電漿系統10的一部分如射頻產生器22內的一或多個元件、或電漿室24內的一或多個元件、或阻抗匹配電路14內的一或多個元件、或其組合故障或未操作。
在某些實施例中，射頻產生器22之專用處理器判斷與一或多個參數相關的資訊是否超出先前在時脈週期CA期間發送至射頻產生器22之一設定點的一值的預定範圍。在判斷出與一或多個參數相關的資訊係超出先前在時脈週期CA期間發送至射頻產生器22之一設定點的一值的預定範圍後，射頻產生器22之專用處理器產生警示數據。警示數據係由射頻產生器22之專用處理器發送至射頻產生器22的專用實體層21的傳送器。射頻產生器22之實體層21的專用傳送器Tx產生包含警示數據作為酬載的一或多個傳遞單元，並將該一或多個傳遞單元發送至控制器20之實體層23的專用接收器。控制器20之實體層23的專用接收器接收一或多個傳遞單元並解析一或多個傳遞單元以擷取警示數據。控制器20之專用接收器將警示數據提供予控制器20的處理器，控制器20的處理器將警示數據發送至顯示裝置上以對使用者顯示、或以閃爍發光裝置的形式顯示、或以音效輸出的形式對使用者提供音效資訊，以便通知電漿系統10的一部分故障或未操作。
在數個實施例中，控制器20提供腔室設施，如欲提供至電漿室24之氣體的類型、進入電漿室24之處理氣體流的流率、電漿室24內的壓力、夾頭18與上電極26之間的分隔等，以控制各種機構，如用以驅動馬達而控制上電極26與夾頭18之移動以控制上電極26與夾頭18間之分隔的驅動器、用以提供功率至加熱器以控制電漿室24內之溫度的電源、用以驅動用以控制流入電漿室24之處理氣體之流率之閥件的驅動器、用以驅動用以控制限制環之移動而控制電漿室24內之壓力之馬達的驅動器等。
在各種實施例中，應用通訊協定之專用接收器（如實體層21的接收器、實體層23的接收器等）不會對傳遞單元施加錯誤檢查且不會將錯誤指示予發送傳遞單元之專用傳送器（如實體層21的傳送器、實體層23的傳送器等）。例如，專用接收器不會對傳遞單元施行校驗和。又例如，專用接收器不會發送包含了未接收到來自專用傳送器之另一傳遞單元的訊息的傳遞單元。排除錯誤檢查及修正的此類排除動作為即時動態電漿系統10節省時間且增加了與電漿系統10相關的數據速率。
在某些實施例中，文中所用之專用接收器為收發器電路的一元件，其將通訊協定應用至一或多個傳遞單元，以擷取一或多個參數之一或多個設定點、或擷取與一或多個參數相關的資訊。在此些實施例中，專用接收器包含記憶體裝置（如緩衝、佇列等）以儲存欲被連接至專用接收器之控制器之處理器、或專用處理器所讀取之已擷取的一或多個設定點、或已擷取之與一或多個參數相關的資訊。
在各種實施例中，文中所用之專用傳送器為收發器電路的一元件，其將通訊協定應用至一或多個參數之一或多個設定點、或與一或多個參數相關的資訊，以產生一或多個傳遞單元。在此些實施例中，專用傳送器包含記憶體裝置（如緩衝、佇列等）以接收來自連接至用以產生一或多個傳遞單元之專用接收器之控制器之處理器、或專用處理器的一或多個設定點、或與一或多個參數相關的資訊。
在數個實施例中，文中所用之實體層為收發器、或包含傳送器電路與接收器電路兩者的裝置、或應用通訊協定的通訊裝置。
圖1B為系統35之一實施例圖，其係用以例示控制器20與射頻產生器22之間之通訊。控制器20之處理器產生一或多個參數之一或多個設定點並將一或多個設定點提供予控制器20之實體層23的專用傳送器Tx。控制器20之專用實體層23的傳送器將通訊協定應用至一或多個設定點，以產生一或多個傳遞單元，並在時脈週期CA期間藉由專用通訊鏈結30將一或多個傳遞單元發送予射頻產生器22之實體層21的接收器接口Rx。射頻產生器22之實體層21之接收器接口Rx 將通訊協定應用至一或多個傳遞單元以擷取一或多個設定點，並將一或多個設定點提供予射頻產生器22之專用處理器。
專用處理器自一或多個設定點判斷設定點係對應至射頻訊號的狀態S0還是S1及設定點為頻率值還是功率值。又，專用處理器判斷自時脈源所接收之時脈訊號具有狀態S1還是狀態S0。在判斷出設定點係針對射頻訊號之狀態S1且具有功率值後並在判斷出時脈訊號指示狀態S1後，專用處理器將設定點發送至功率控制器PWR S1。另一方面，在判斷出設定點係針對射頻訊號之狀態S0且具有功率值後並在判斷出時脈訊號指示狀態S0後，專用處理器將設定點發送至功率控制器PWR S0。又，在判斷出設定點係針對射頻訊號之狀態S1且具有頻率值後並在判斷出時脈訊號指示狀態S1後，專用處理器將設定點發送至自動頻率協調器(AFT)AFT S1。在判斷出設定點係針對射頻訊號之狀態S0且具有頻率值後並在判斷出時脈訊號指示狀態S0後，專用處理器將設定點發送至AFT S0。在某些實施例中，自動頻率協調器為控制器。
在時脈訊號的狀態S1期間，功率控制器 PWR S1產生一驅動功率值(自一射頻訊號之狀態S1的功率設定點所識別或與其相同)並將該驅動功率值提供予射頻產生器22之RF電源，俾使射頻產生器22產生具有該驅動功率值的射頻訊號。類似地，在時脈訊號之狀態S0期間，功率控制器 PWR S0產生一驅動功率值(自一射頻訊號之狀態S0的功率設定點所識別或與其相同)並將該驅動功率值提供予射頻產生器22之RF電源，俾使射頻產生器22產生具有該驅動功率值的射頻訊號。
又，在時脈訊號的狀態S1期間，AFT S1產生一驅動頻率值(自一射頻訊號之狀態S1的頻率設定點所識別或與其相同)並將該驅動頻率值提供予射頻產生器22之RF電源，俾使射頻產生器22產生具有該驅動頻率值的射頻訊號。類似地，在時脈訊號之狀態S0期間，AFT S0產生一驅動頻率值(自一射頻訊號之狀態S0的頻率設定點所識別或與其相同)並將該驅動頻率值提供予射頻產生器22之RF電源，俾使射頻產生器22產生具有該驅動頻率值的射頻訊號。
在某些實施例中，一設定點包含功率或頻率之一值以及一射頻訊號之一狀態，其中該值應在該狀態期間達到。
感測器（如複數電壓與電流感測器、功率感測器、阻抗感測器等）測量射頻產生器22之輸出處的一或多個參數。射頻產生器22所產生的射頻訊號係藉由輸出而發送至阻抗匹配電路14。量測到的一或多個參數被提供予專用處理器，然後專用處理器自該量測到的一或多個參數產生與一或多個參數相關的資訊。在某些實施例中，與一或多個參數相關的資訊為量測到的一或多個參數。專用處理器將與一或多個參數相關的資訊發送至射頻產生器22之實體層21的專用傳送器Tx。
射頻產生器22之實體層21的專用傳送器Tx將通訊協定應用至與一或多個參數相關的資訊，以產生一或多個傳遞單元，然後在時脈週期CB、時脈週期CA、或另一時脈週期期間藉由專用通訊鏈結32將一或多個傳遞單元發送至控制器20之實體層23的專用接收器Rx。控制器20之實體層23的專用接收器應用通訊協定以擷取與一或多個參數相關的資訊，並將與一或多個參數相關的資訊提供予控制器20的處理器。
控制器20的處理器自與一或多個參數相關的資訊判斷一或多個參數之一或多個設定點是否應改變，若應改變，產生改變後的設定點。處理器將改變後的設定點提供至控制器20之實體層23的專用接收器。控制器20之實體層23的專用接收器將通訊協定應用至一或多個設定點以產生一或多個傳遞單元，並在時脈週期CC、時脈週期CB、時脈週期CA、或另一時脈週期期間藉由專用通訊鏈結30將一或多個傳遞單元發送至射頻產生器22之專用傳送器Tx以改變射頻產生器22所產生之一射頻訊號的一或多個參數。
圖2A為系統202之一實施例圖，其例示在多個局部控制器、多個射頻產生器、與一主系統控制器204之間使用通訊協定。系統202包含一主電腦系統 200，主電腦系統 200更包含多個局部控制器，如共控制器1、共控制器2、共控制器3、原始控制功能共控制器、及一非關鍵數據控制器等。主電腦系統200為控制器20(圖1A)的一實例。應明白，共控制器1在圖2A 中被顯示為「CoreBd-共處理#1」。又，共控制器2在圖2A 中被顯示為「CoreBd-共處理#2」且共控制器3在圖2A 中被顯示為「CoreBd-共處理#3」。又，原始控制功能共控制器在圖2A 中被顯示為「CoreBd-原始控制功能」，且非關鍵數據控制器在圖2A 中被顯示為 「CoreBd-局部主機(非關鍵數據處理器)」。 主電腦系統200更包含主系統控制器204與開關212。
主系統控制器204的處理器產生欲發送至多個局部控制器中之一者的一指令。例如，主系統控制器204之處理器產生之該指令包含射頻產生器RFG 1之一或多個參數的一或多個設定點（如複數值）。連接至主系統控制器204之實體層的傳送器藉著應用通訊協定自主系統控制器204之處理器所產生之該指令產生一或多個傳遞單元，然後藉由將與主系統控制器204相關的實體層連接至開關212之實體通訊媒體207a的通訊鏈結將一或多個傳遞單元發送至開關212。與主系統控制器204相關的實體層為連接至主系統控制器204的實體層。
開關212藉由將開關212連接至專用接收器之實體通訊媒體207b的專用通訊鏈結將一或多個傳遞單元傳輸至原始控制功能共控制器之專用實體層202d的專用接收器。例如，開關212辨識被包含在傳遞單元內之原始控制功能共控制器的目的地接口的身分、並將傳遞單元傳輸至目的地接口。
連接至原始控制功能共控制器之專用實體層 202d的專用接收器自主系統控制器204接收一或多個傳遞單元、並將通訊協定應用至一或多個傳遞單元，以自一或多個傳遞單元擷取該指令。原始控制功能共控制器之專用實體層202d的專用接收器亦決定該指令被指定發送至射頻產生器RFG 1。該指令及該指令被指定發送至射頻產生器RFG 1的該決定係皆自專用實體層 202d的專用接收器提供予原始控制功能共控制器之處理器。原始控制功能共控制器之處理器將該指令及該指令被指定發送至射頻產生器RFG 1的該決定提供予連接至原始控制功能共控制器之專用板內實體層208d。原始控制功能共控制器之專用板內實體層208d藉由實體通訊媒體207c之專用通訊鏈結將該指令發送至開關212，開關212藉由實體通訊媒體207d之專用通訊鏈結將該指令傳輸至連接至共控制器1的專用板內實體層208a。專用板內實體層208a將該指令發送至共控制器1的處理器。共控制器1之處理器自該指令及該指令被指定發送至射頻產生器RFG 1的該決定判斷出欲發送至射頻產生器RFG 1之一或多個參數，如參數的設定點、參數值等，並將包含該一或多個參數之一控制訊號提供予連接至共控制器1之專用實體層202a的專用傳送器。
共控制器1之專用實體層202a的專用傳送器將通訊協定應用至一或多個參數，以產生一或多個傳遞單元，並在時脈週期CA期間藉由實體通訊媒體206a之專用通訊鏈結DCL 1將一或多個傳遞單元發送至射頻產生器RFG 1之實體層203a的專用接收器。實體層203a之專用接收器將通訊協定應用至一或多個傳遞單元，以自該一或多個傳遞單元擷取一或多個參數，並將該一或多個參數提供予射頻產生器RFG 1之專用處理器。射頻產生器RFG 1之專用處理器控制射頻產生器RFG 1之RF電源，以產生具有自共控制器1所接收之該一或多個參數之一或多個設定點（如一或多個值等）的一射頻訊號。
射頻產生器RFG 1之專用處理器產生與一或多個參數相關的資訊、並將該資訊提供予射頻產生器RFG 1之實體層203a的專用傳送器。射頻產生器RFG 1之實體層203a的專用傳送器將通訊協定應用至與一或多個參數相關的資訊，以產生一或多個傳遞單元，並在時脈週期CB、時脈週期CA、或另一時脈週期期間藉由實體通訊媒體206a之專用通訊鏈結DCL 2和連接至共控制器1之專用實體層202a的專用接收器溝通一或多個傳遞單元。
專用實體層202a之專用接收器應用通訊協定，以自一或多個傳遞單元擷取與一或多個參數相關的資訊，並將該資訊提供予共控制器1之處理器。共控制器1之處理器將與一或多個參數相關的資訊提供予連接至共控制器1的專用板內實體層208a。專用板內實體層208a藉由實體通訊媒體207d之專用通訊鏈結將與一或多個參數相關的資訊發送至開關212。開關212藉由實體通訊媒體207c之專用通訊鏈結將與一或多個參數相關的資訊傳輸至連接至原始控制功能共控制器的專用板內實體層208d。專用板內實體層208d將與一或多個參數相關的資訊提供至原始控制功能控制器之處理器。原始控制功能控制器之處理器將與一或多個參數相關的資訊發送至連接至原始控制功能控制器之專用實體層202d的專用傳送器。連接至原始控制功能控制器之專用實體層202d的專用傳送器將通訊協定應用至與一或多個參數相關的資訊，以產生一或多個傳遞單元，並藉由實體通訊媒體207b之專用通訊鏈結將一或多個傳遞單元發送至開關212。開關212 自一或多個傳遞單元決定該一或多個傳遞單元被指定發送至主系統控制器204，並藉由實體通訊媒體207a將該一或多個傳遞單元發送至與主系統控制器204相關之實體層的接收器。開關212藉由實體通訊媒體207a之通訊鏈結將一或多個傳遞單元傳輸至與主系統控制器204相關之實體層的接收器 。
與主系統控制器204相關之實體層的接收器應用通訊協定擷取與一或多個參數相關的資訊、並將該資訊提供予主系統控制器204之處理器。主系統控制器204之處理器自與一或多個參數相關的資訊判斷是否應改變共控制器1先前在時脈週期CA期間發送至射頻產生器RFG 1之一或多個參數之相同狀態的一或多個參數的一值。在判斷出應改變該一或多個參數的一或多個值後，以類似於上述的方式藉由共控制器1將改變後的一或多個值發送至射頻產生器RFG 1。另一方面，在判斷出不應改變該一或多個參數的值後，以類似於上述的方式藉由共控制器1將未改變的值發送至射頻產生器RFG 1。共控制器1在時脈週期CA或時脈週期CA後的任何其他時脈週期期間發送改變後或未改變的值。
在某些實施例中，主系統控制器204利用傳輸控制協定(TCP)或TCP/IP與射頻產生器通訊。
在數個實施例中，主系統控制器204指定指令發送至射頻產生器2或射頻產生器RFG 3而非發送至射頻產生器RFG 1。當指令被指定發送至射頻產生器RFG 2時，其以類似於上述發送至射頻產生器RFG 1的方式發送，但指令係藉由實體通訊媒體207a、開關212、實體通訊媒體207e之專用通訊鏈結、連接至共控制器2之專用板內實體層208b、實體通訊媒體206b的專用通訊鏈結、射頻產生器RFG 2之實體層 203b的專用接收器發送至射頻產生器RFG 2之專用處理器。又，當指令被指定發送至射頻產生器RFG 3時，其以類似於上述發送至射頻產生器RFG 1的方式發送，但指令係藉由實體通訊媒體207a、開關212、實體通訊媒體207f之專用通訊鏈結、連接至共控制器3之專用板內實體層208c、實體通訊媒體206c之專用通訊鏈結、射頻產生器RFG 3之實體層 203c的專用接收器發送至射頻產生器RFG 3之專用處理器。
在某些實施例中，複數指令係同時或依序自主系統控制器204發送至所有的射頻產生器RFG 1、RFG 2、與RFG 3。
在各種實施例中，與一或多個參數相關的資訊係由射頻產生器RFG 2所產生，並藉由實體通訊媒體206b的專用通訊鏈結、實體層208b之專用接收器、連接至共控制器2之專用板內實體層202b、實體通訊媒體207e的專用通訊鏈結、開關212、及實體通訊媒體207a之通訊鏈結自實體層203b之專用傳送器發送至主系統控制器204。又，與一或多個參數相關的資訊係由射頻產生器RFG 3所產生，並藉由實體通訊媒體206c的專用通訊鏈結、實體層202c的專用接收器、連接至共控制器3之專用板內實體層208c、實體通訊媒體207f的專用通訊鏈結、開關212、及實體通訊媒體207a的通訊鏈結自實體層203c之專用傳送器發送至主系統控制器204。
在某些實施例中，共控制器1、專用實體層202a、及專用板內實體層208a係位於板209a上。又，共控制器2、專用實體層202b、及專用板內實體層208b係位於板209b上。又，共控制器3、專用實體層202c、及專用板內實體層208c係位於板209c上。原始控制功能共控制器、專用實體層202d、及專用板內實體層208d係位於板209d上。非關鍵數據控制器、連接至非關鍵數據控制器的實體層、連接至非關鍵數據控制器的專用板內實體層係位於板209e上。在某些實施例中，板為印刷電路板。
在各種實施例中，系統202內所用之板的數目係隨著所用之射頻產生器的數目而改變。例如，若系統202包含射頻產生器RFG 1與射頻產生器RFG 2，則使用板209a與209b但不使用板209c。
在某些實施例中，系統202排除板209e與複數元件（如非關鍵數據控制器、連接至非關鍵數據控制器的實體層、連接至非關鍵數據控制器的專用板內實體層等）。
在各種實施例中，射頻產生器RFG 1、射頻產生器RFG 2、射頻產生器RFG 3、與主系統控制器204每一者皆包含TCP/IP接口且藉由TCP/IP接口彼此通訊。
在某些實施例中，主系統控制器204藉由連接至主系統控制器204的實體層或連接至主系統控制器204之TCP/IP接口配置多個射頻產生器中的一或多者。例如，主系統控制器204藉由連接至主系統控制器204的 TCP/IP 接口及連接至射頻產生器RFG 1的TCP/IP 接口而將一指令發送至射頻產生器RFG 1，該指令指示射頻產生器RFG 1之實體層203a與一或多個參數相關的資訊應被發送至共控制器1。又，主系統控制器204藉由連接至主系統控制器204之TCP/IP 接口及連接至射頻產生器RFG 2之TCP/IP 接口將一指令發送至射頻產生器RFG 2，該指令指示射頻產生器RFG 2之實體層203b與一或多個參數相關的資訊應被發送至共控制器2。主系統控制器204藉由連接至主系統控制器204之TCP/IP 接口及連接至射頻產生器RFG 3之TCP/IP 接口將一指令發送至射頻產生器RFG 3，該指令指示射頻產生器RFG 3之實體層203c與一或多個參數相關的資訊應被發送至共控制器3。又例如，每一射頻產生器係藉由連接至主系統控制器204的實體層及連接至射頻產生器的共用實體層所配置。
在某些實施例中，與一共控制器相關（如連接至一共控制器）之實體層的專用傳送器無法將一或多個傳遞單元傳輸至一個以上的射頻產生器。類似地，在各種實施例中，一射頻產生器之實體層的專用傳送器無法將一或多個傳遞單元傳輸至多個共控制器。又，在某些實施例中，與一共控制器相關之實體層的專用接收器無法自一個以上之射頻產生器接收一或多個傳遞單元。在數個實施例中，一射頻產生器之實體層的專用接收器無法自多個共控制器接收一或多個傳遞單元。
在各種實施例中，和一共控制器相關之專用實體層與和一射頻產生器相關之專用實體層(如連接至射頻產生器之專用處理器的實體層)之間存在著雙推。例如，共控制器不會產生提供與一或多個參數相關的資訊以發送至射頻產生器之專用處理器的要求。一旦主系統控制器204或共控制器配置射頻產生器以傳輸與一或多個參數相關的資訊，與射頻產生器相關的專用實體層在例如不被要求的情況下持續將具有與一或多個參數相關之資訊的一或多個傳遞單元發送至與共控制器相關的專用實體層。與射頻產生器相關的專用實體層持續發送具有資訊之一或多個傳遞單元，直到主系統控制器204或共控制器發送一指令至射頻產生器，令射頻產生器停止發送與一或多個參數相關的資訊。又，射頻產生器之專用處理器不會產生要求共控制器發送一或多個參數之一或多個設定點的要求。共控制器受到程式化以自射頻產生器接收與一或多個參數相關的資訊，並分析資訊以判斷是否應修改用以發送至射頻產生器之一或多個參數的一或多個設定點。
圖2B為系統211之一實施例圖，其例示多個共控制器係位於相同的板213（如印刷電路板等）上而非位在分離的複數板上。在系統211中，不使用專用板內實體層，如板內接收器與板內傳送器等。系統211係類似於系統202(圖2A)，但系統211包含一主電腦系統 217，主電腦系統 217為控制器20(圖1A)的一實例。主電腦系統217不具有專用板內實體層。又，系統211不具有開關212。在系統211中，連接至主控制器204的實體層係用以發送指令或接收與一或多個參數相關的資訊。又，主控制器204係藉由實體通訊媒體219連接至專用實體層202d。使用專用實體通訊媒體219在專用實體層202d與連接至主系統控制器204的實體層之間溝通一或多個傳遞單元，而非藉由實體通訊媒體207a(圖2A)、開關212、及專用實體通訊媒體207b(圖2A)與主系統控制器204通訊。又，系統211具有內連共控制器1、共控制器2、共控制器3、原始控制功能共控制器、及非關鍵數據控制器的平行匯流排215。主電腦系統217之多個共控制器藉由匯流排215彼此通訊，而非藉由專用板內實體層與開關212通訊。
在某些實施例中，匯流排215為專用的且被客製化，以在共控制器1、共控制器2、共控制器3、原始控制功能共控制器、及非關鍵數據控制器之間通訊。例如，匯流排215以奈秒的等級促進共控制器1、共控制器2、共控制器3、原始控制功能共控制器、及非關鍵數據控制器中任兩者之間的通訊。共控制器1、共控制器2、共控制器3、原始控制功能共控制器、及非關鍵數據控制器中的每一者係連接至一通用輸入/輸出(GPIO)控制器，此通用輸入/輸出(GPIO)控制器更藉由複數GPIO接腳而連接至匯流排215。GPIO控制器進行各種功能，如基於匯流排215的頻寬控制共控制器1、共控制器2、共控制器3、原始控制功能共控制器、及非關鍵數據控制器之間的通訊速率、協商共控制器1、共控制器2、共控制器3、原始控制功能共控制器、及非關鍵數據控制器之間的通訊速率等。
在某些實施例中，每一共控制器與連接至該共控制器之專用實體層係位於分離的板上。例如，共控制器1與專用實體層202a係位於第一印刷電路板上、共控制器2與專用實體層202b係位於第二印刷電路板上、而共控制器3 與專用實體層202c係位於第三印刷電路板上。每一板係藉由對應的GPIO 控制器與對應的GPIO接腳而連接至匯流排215。此類複數板的配置提供模組化並促進複數板的連接與移除。
在各種實施例中，專用實體層203a係位於射頻產生器RFG 1內、專用實體層203b係位於射頻產生器RFG 2內、而專用實體層203c係位於射頻產生器RFG 3內。
圖2C為系統250之一實施例圖，其例示專用板內實體層254a、254b、與254c及共控制器 1、2、與3之間的點到點通訊。系統250係類似於系統202(圖2A)，但系統250排除了板209d與209e(圖2A)及開關212(圖2A)。在系統250中，專用板內實體層254a、254b、與254c每一者係連接至主系統控制器204。又，專用板內實體層254a係藉由專用實體通訊媒體256a而連接至專用板內實體層208a、專用板內實體層254b係藉由專用實體通訊媒體 256b而連接至專用板內實體層208b、而專用板內實體層254c係藉由專用實體通訊媒體 256c而連接至專用板內實體層208c。板209a、209b、及209c係位於主電腦系統252內，主電腦系統252例如是控制器20(圖1A)的一實例。
又，在系統250中，自連接至主系統控制器204之專用板內實體層254a藉由專用實體通訊媒體256a將一指令發送至專用板內實體層208a、或自連接至主系統控制器204之專用板內實體層254b藉由專用通訊媒體256b將一指令發送至專用板內實體層208b、及/或自連接至主系統控制器204之專用板內實體層254c藉由專用實體通訊媒體256c將一指令發送至專用板內實體層208c。類似地，在系統250中，當自射頻產生器RFG 1接收與一或多個參數相關的資訊時，自連接至共控制器1之專用板內實體層208a藉由專用實體通訊媒體256a將此資訊發送至連接至主系統控制器204的專用板內實體層254a。又，當自射頻產生器RFG 2接收與一或多個參數相關的資訊時，自連接至共控制器2之專用板內實體層208b藉由專用實體通訊媒體256b將此資訊發送至連接至主系統控制器204的專用板內實體層254b。又，當自射頻產生器RFG 3接收與一或多個參數相關的資訊時，自連接至共控制器3之專用板內實體層208c藉由專用實體通訊媒體256c將此資訊發送至連接至主系統控制器204的專用板內實體層254c。
在某些實施例中，文中所述之由主系統控制器204所進行的操作係由共控制器1、共控制器2、或共控制器3進行。例如，並非是主系統控制器基於接收自射頻產生器RFG 1之與一或多個參數相關的資訊而判斷是否觸發警示，而是由共控制器作出判斷。又例如，並非是主系統控制器204應用電腦生成模型而決定應提供予射頻產生器RFG 1之一參數的一設定點，而是由共控制器1作出決定。下面將更進一步地說明電腦生成模型。
圖3之一實施例係用以例示如數據報、封包等的傳遞單元 300。傳遞單元包含一標題域及一酬載域，例如包含與一射頻訊號之一或多個狀態之一或多個參數相關之資訊的一場域、包含一或多個狀態之一參數之一設定點的一場域、包含一參數類型的一場域等。參數類型的實例包含射頻訊號的功率、頻率、脈衝寬度等。標題域包含傳遞單元之發送源接口的身分的一場域、指定接收傳遞單元之目的地接口的身分的一場域、標題及附接至標題之酬載的總合長度的一場域、及校驗和之值的一場域。
在各種實施例中，傳遞單元300 係受到客製化，例如利用客製化的協定所產生等，以排除用以識別源接口的源接口場域及用以識別目的地接口的目的地接口場域。在點到點通訊中，毋需識別源接口及目的地接口。此排除動作增加了控制器20與射頻產生器22(圖1A)之間的數據速率。
在某些實施例中，標題係受到客製化，例如利用客製化的協定所產生等，以排除校驗和之值的場域及/或標題與酬載之總和長度的場域。此排除動作增加了控制器20與射頻產生器22之間的數據速率。
在各種實施例中，校驗和之值係由發送傳遞單元300的傳送器（如源接口等）所產生。校驗和之值係自傳遞單元300的酬載、或傳遞單元300的標題、或其組合所產生。將校驗和之值與傳遞單元300之接收器（如目的地接口等）所計算得到之另一校驗和的值比較，以判斷傳遞單元300之酬載及/或標題在自傳送器傳輸至接收器的傳輸期間是否改變。
在某些實施例中，數據報係嵌於IP封包內，IP封包係更進一步地被嵌於乙太網封包內。
在各種實施例中，傳遞單元300係受到客製化，例如利用客製化的協定所產生等，俾使場域位於不同於圖3中所示之位置。例如，酬載的場域在長度的場域之前。又例如，目的地的場域在源接口的場域之前或在長度場域之後。產生一或多個客製化傳遞單元的實體層應用客製化協定，客製化傳遞單元為利用客製化協定所產生之傳遞單元。
圖4顯示複數圖402與404，以例示射頻訊號406之多個狀態S0至Sn，其中n為大於0之整數。射頻訊號406為射頻產生器所產生之一射頻訊號的一實例。圖402繪示時脈訊號408（如電晶體-電晶體邏輯(TTL)訊號等）對時間t的作圖。圖404繪示射頻訊號406對時間 t的作圖。當時脈訊號408係處於狀態1（如高狀態等）時，射頻訊號406具有複數狀態S0、S1、S2、S3、S4等直到狀態S(n-1)與Sn。例如，射頻訊號406具有八個狀態，即狀態S0至S7。又例如，射頻訊號406具有20個狀態，即狀態S0至S20。複數狀態S0至Sn係對應至射頻訊號406的高狀態，例如，射頻訊號406在每一狀態中的功率值係高於當時脈訊號408係處於狀態0（如低狀態、低位準等）時射頻訊號406的功率值。
射頻訊號406係與時脈訊號408同步。例如，當時脈訊號408係處於高狀態時，射頻訊號406亦處於高狀態，例如狀態S0至Sn之RF值係大於當時脈訊號處於狀態0時射頻訊號406的RF值。又例如，當時脈訊號408係處於低狀態時，射頻訊號406亦處於低狀態，例如當時脈訊號係處於狀態1時，射頻訊號406的RF值係低於射頻訊號在狀態S0至Sn等中的RF值。
在某些實施例中，射頻訊號406在時脈訊號408的高狀態期間具有複數狀態，或者或此外，射頻訊號406在時脈訊號408的低狀態期間具有複數狀態。在時脈訊號408的低狀態期間具有複數狀態之射頻訊號406的RF值係低於射頻訊號在時脈訊號408之高狀態期間的RF值。
在數個實施例中，當時脈訊號408係處於狀態0時，發生類似一射頻訊號之狀態S1至Sn的一或多個狀態。例如，當時脈訊號408係處於狀態1時一射頻訊號具有複數狀態，且當時脈訊號408係處於狀態0時該射頻訊號具有複數狀態。
在某些實施例中，當時脈訊號408係處於狀態0時，發生類似一射頻訊號之狀態S1至Sn的一或多個狀態，且當時脈訊號408係處於狀態1時，不會發生射頻訊號的狀態S1至Sn。
在各種實施例中，射頻訊號406具有正弦形式。例如，在每一狀態期間射頻訊號振盪以形成一正弦訊號。
圖5為系統500之一實施例圖，其例示局部處理器板系統510與一射頻產生器之間以及局部處理器板系統510與另一局部處理器板系統514之間的數據溝通。局部處理器板系統510為板209a(圖2A)、或板209b(圖2A)、或板209c(圖2A)的一實例。局部處理器板系統514為板209d(圖2A)的一實例。射頻產生器為射頻產生器RFG 1、或射頻產生器RFG 2、或射頻產生器RFG 3的一實例。
射頻產生器係用以藉由射頻產生器的實體層521將與一或多個參數相關的資訊發送予局部處理器板系統510。局部處理器板系統514的處理器藉由局部處理器板系統514的共用實體層513、實體通訊媒體527的共用通訊鏈結、射頻產生器的實體層521配置射頻產生器。例如，共用實體層513應用通訊協定以配置資訊而產生一或多個傳遞單元。實體層521藉由實體通訊媒體527的共用通訊鏈結自共用實體層513接收具有該資訊之一或多個傳遞單元。實體層521將通訊協定應用至具有該配置資訊的一或多個傳遞單元以擷取該配置資訊，並將該配置資訊提供予射頻產生器之專用處理器。射頻產生器之專用處理器在讀取該配置資訊後，決定啟動發送與一或多個參數相關的資訊。在決定發送與一或多個參數相關的資訊後，射頻產生器之專用處理器將資訊發送至用以應用通訊協定以產生一或多個傳遞單元之射頻產生器的專用實體層523。
共用實體層513與實體通訊媒體527的共用通訊鏈結係在射頻產生器RFG 1、射頻產生器RFG 2、與射頻產生器RFG 3之間共用。例如，局部處理器板系統514之處理器配置射頻產生器RFG 1之專用實體層、射頻產生器RFG 2之專用實體層、及射頻產生器RFG 3之專用實體層以啟動發送與一或多個參數相關的資訊。該配置係藉著自共用實體層513藉由實體通訊媒體527的共用通訊鏈結發送配置指令予射頻產生器RFG 1、射頻產生器RFG 2、及射頻產生器RFG 3每一者的實體層所達成。射頻產生器RFG 1、射頻產生器RFG 2、及射頻產生器RFG 3中的每一者係藉由其對應的實體層而連接至實體通訊媒體527。
在被局部處理器板系統514配置後，射頻產生器之專用實體層523藉著將UDP或客製化的協定應用至與一或多個參數相關的資訊，以產生一或多個傳遞單元。射頻產生器之專用實體層523的專用傳送器藉由實體通訊媒體507之專用通訊鏈結506將具有與一或多個參數相關的資訊的一或多個傳遞單元等推送（如傳輸等）至局部處理器板系統510之實體層502的專用接收器（如晶片、積體電路等）。接著，局部處理器板系統510之實體層502的專用傳送器產生包含一或多個參數之一或多個設定點，如一或多個值的傳遞單元，如傳遞單元300(圖3)。在某些實施例中，局部處理器板系統510自主系統控制器204(圖2A)接收該一或多個設定點。
設定點係基於與一或多個參數相關的資訊所產生。例如，將與一或多個參數相關的資訊和一預定範圍進行比較以產生該設定點。該設定點之生成俾使在該設定點被發送至射頻產生器後所接收之與一或多個參數相關的資訊落在預定範圍內。實體層502之專用傳送器所產生並發送之傳遞單元的一實例係提供於圖6中。一或多個參數的一或多個設定點係與一射頻訊號之一或多個狀態相關，該一或多個狀態例如是狀態S0與S1、或狀態S0、或狀態S1、或狀態S0與S1與S2、或狀態S0至S2、或狀態S0至S3、或狀態S0至S4、或狀態S0至S5、或狀態S0至S(n-1)、或狀態S0至Sn等。實體層502之專用傳送器藉由實體通訊媒體507之專用通訊鏈結504將傳遞單元發送至射頻產生器（如射頻產生器RFG 1等）之實體層523的專用接收器。
射頻產生器產生具有藉由專用通訊鏈結504所接收之該設定點的一射頻訊號。基於該射頻訊號，與一或多個參數相關的資訊係由射頻產生器產生並藉由實體層523之專用傳送器封裝於一或多個傳遞單元內。接著，實體層502的專用接收器藉由實體通訊媒體507之專用通訊鏈結506接收包含來自射頻產生器之實體層523的專用傳送器之與一或多個參數相關的資訊的一或多個傳遞單元，如傳遞單元300等。實體層502之專用接收器所接收之傳遞單元的一實例係提供於圖7中。
實體層502之專用接收器應用通訊協定以自傳遞單元擷取與一或多個參數相關的資訊、並將該資訊提供予處理器，如局部處理器板系統510之共控制器1的處理器、或共控制器2的處理器、或共控制器3的處理器等。在某些實施例中，當局部處理器板系統510具有與其整合在一起之共控制器1 時，射頻產生器為射頻產生器RFG 1而射頻產生器的實體層為實體層203a(圖2A)。又，當局部處理器板系統510具有與其整合在一起之共控制器2時，射頻產生器為射頻產生器RFG 2而射頻產生器之實體層為實體層203b (圖2A)。又，當局部處理器板系統510具有與其整合在一起之共控制器3時，射頻產生器為射頻產生器RFG 3而射頻產生器 之實體層為實體層203c (圖2A)。
局部處理器板系統510之處理器自與一或多個參數相關的資訊決定射頻訊號之與該一或多個狀態相關的一或多個設定點應被修改、並修改該一或多個設定點以產生一或多個修改後的設定點，該一或多個狀態例如是狀態S0與S1、或狀態S0、或狀態S1、或狀態S0與S1與S2、或狀態S0至S2、或狀態S0至S3、或狀態S0至S4、或狀態S0至S5、或狀態S0至S(n-1)、或狀態S0至Sn等。
局部處理器板系統510之處理器將該一或多個修改後的設定點提供予實體層502之專用傳送器。實體層502之專用傳送器將通訊協定應用至該一或多個修改後的設定點以產生傳遞單元，如傳遞單元300、圖6中所示之傳遞單元等，並藉由專用通訊鏈結504將傳遞單元發送至射頻產生器之實體層523的專用接收器。在各種實施例中，該一或多個修改後的設定點係由局部處理器板系統510自主系統控制器204接收。
在某些實施例中，局部處理器板系統510與局部處理器板系統514之間具有板對板通訊。例如，與一或多個參數相關的資訊係藉由實體通訊媒體519之第一專用通訊鏈結，而自連接至局部處理器板系統510之共控制器如共控制器1、共控制器2、共控制器3等之實體層516的專用傳送器 Tx2傳輸至局部處理器板系統514之實體層512的專用接收器。實體層512的專用接收器將與一或多個參數相關的資訊發送至連接至實體層512與513的共控制器，如共控制器1、共控制器2、共控制器3、原始控制功能共控制器等。又例如，一或多個參數之一或多個設定點係由局部處理器板系統514之實體層512的專用接收器自局部處理器板系統514之共控制器接收，然後由專用傳送器藉由實體通訊媒體519之專用通訊鏈結發送至局部處理器板系統510之實體層516的專用接收器。
在某些實施例中，局部處理器板系統514包含主系統控制器204(圖2A)而非共控制器。
在各種實施例中，局部處理器板系統510之實體層502之專用接收器自射頻產生器之實體層523之專用傳送器接收傳遞單元的速率係大於或等於自實體層502之專用傳送器將傳遞單元發送至射頻產生器之實體層523之專用接收器的速率。此類匹配或增加的接收速率能協助局部處理器板系統510之處理器基於自射頻產生器之實體層523的專用傳送器所接收之傳遞單元中與一或多個參數相關的資訊判斷是否應改變一或多個狀態之一或多個參數的一或多個值。
在某些實施例中，實體層502之專用接收器自射頻產生器之實體層523的專用傳送器接收傳遞單元的速率係小於自局部處理器板系統510之專用傳送器將傳遞單元發送至射頻產生器之實體層523的專用接收器的速率。
在一實施例中，專用傳送器（如局部處理器板系統510之實體層502的傳送器、射頻產生器之實體層523的專用傳送器等）藉著組合複數傳遞單元而產生一系列之傳遞單元以產生叢集傳遞單元，如叢集封包、叢集訊框等。叢集傳遞單元能減少每一傳遞單元的標題，且相較於分別發送複數傳遞單元，叢集傳遞單元能達到較高的數據速率。例如，指示每一傳遞單元中之源接口與目的地接口之身分的指示並非必要。在此實例中，源接口及/或目的地接口係針對組合的複數傳遞單元指示。又例如，在叢集傳遞單元的情況中，傳遞單元內每一封包的標題並非必須，例如指示一封包之起始與結束的分離位元並非必須。例如，在叢集傳遞單元之訊框的情況中，在該訊框中的第一封包之前使用一標題而該訊框中的剩餘封包皆不具有標題。在第一封包之前的標題指示該訊框的起始。此類削減節省時間並增加數據傳輸速率。
又，局部處理器板系統510之專用傳送器產生並組合複數傳遞單元所需的時間允許局部處理器板系統510之處理器或主系統控制器204產生電漿系統10(圖1A)之一部分的模型及/或計算模型之輸出處的輸出數據。電漿系統10之一部分的模型係儲存在局部處理器板系統510的記憶體裝置中或主系統控制器204的記憶體裝置中，電漿系統10之一部分例如是RF纜線16(圖1A)、阻抗匹配電路14(圖1A)、RF傳輸線12(圖1A)、夾頭18(圖1A)、RF纜線16與阻抗匹配電路14的組合、RF纜線16與阻抗匹配電路14與RF傳輸線12的組合、或RF纜線16與阻抗匹配電路14與RF傳輸線12與夾頭18的組合等。該模型與電漿系統10之該部分具有類似的特性，如電容、電感、複數功率、複數電壓與電壓等。例如，模型與電漿系統10之該部分具有相同數目的電容器及/或電感，且電容器及/或電感彼此連接的方式係同於電漿系統10之該部分內電容器及/或電感彼此連接的方式。為了提供例示，當阻抗匹配電路14包含一電容器與一電感串連耦合時，阻抗匹配電路14之模型亦包含一電容器與一電感串連耦合。
又例如，電漿系統10之該部分包含一或多個電子元件且模型為該部分的一設計，如電腦生成模型。在某些實施例中，電腦生成的模型係由局部處理器板系統510或主系統控制器204之處理器基於使用者藉由輸入硬體單元所輸入的輸入訊號所生成。輸入訊號包含和模型中所包含之電子元件（如電容器、電感等）相關的訊號以及和此些電子元件彼此耦合的方式（如串聯、並聯相關的訊號）。又更例如，電漿系統10之該部分包含硬體電子元件及電子元件之間的硬體連接件，而模型包含代表硬體電子元件及硬體連接件的軟體。在本文中所用的電子元件的實例可包含電阻器、電容器、及電感。
在某些實施例中，主系統控制器204或局部處理器板系統510之處理器基於輸入至模型之數據以及模型之元件的特性產生模型之輸出處的輸出數據。例如，主系統控制器204或局部處理器板系統510之處理器計算模型之複數電子元件的複數電壓與模型之輸入節點處的複數電壓的一方向和，以計算模型之輸出節點處的複數電壓。輸入節點處的複數電壓為與一或多個參數相關的資訊的一實例。又例如，主系統控制器204或局部處理器板系統510之處理器計算模型之複數電子元件的複數電流與模型之輸入節點處的複數電流的一方向和，以計算模型之輸出節點處的複數電流。輸入節點處的複數電流為與一或多個參數相關的資訊的一實例。應注意，在某些實施例中，主系統控制器204或局部處理器板系統510之處理器自與一或多個參數相關的資訊計算複數電壓、複數電流、或複數電壓與電流。模型之輸入節點處的輸入的實例包含藉由實體層502之專用接收器自射頻產生器所接收之與一或多個參數相關的資訊。主系統控制器204或局部處理器板系統510之處理器使用輸出節點處的輸出來判斷是否改變一射頻訊號在時脈週期(如時脈週期CC、時脈週期CA、時脈週期CB等)期間之一或多個狀態(如狀態S0至S7中任一者)之一參數的一值。
在各種實施例中，主系統控制器204或局部處理器板系統510自與一或多個參數相關的資訊大量削減數據以減少資訊量。例如，主系統控制器204或局部處理器板系統510之處理器對與一或多個參數相關的資訊應用統計操作，如插入排序操作、或合併排序操作、或移動四分位距(IQR)計算操作、或四分位距計算操作、或最大值計算操作、或最小值計算操作、或均值計算操作、或中間值計算方法、或變異值計算方法、或標準差值計算方法、或移動平均值計算方法、或移動中間值計算方法、或移動變異值計算方法、或移動標準差值計算方法、或模式、移動模式、或其組合等，以自與一或多個參數相關的資訊的複數值產生第一統計值。主系統控制器204或局部處理器板系統510之處理器比較第一統計值與第二統計值，第二統計值係由處理器自先前時脈週期（如時脈週期CA等）期間所發送之一或多個設定點所產生。在判斷出第一統計值未落入第二統計值之預定範圍內後，主系統控制器204或局部處理器板系統510之處理器改變一或多個參數之一或多個設定點以達到第一統計值，並以上面所述的方式將改變後之一或多個設定點發送至射頻產生器。另一方面，在判斷出第一統計值係落入第二統計值之預定範圍內後，主系統控制器204或局部處理器板系統510之處理器不會改變一或多個參數之一或多個設定點並將一或多個設定點重新發送至射頻產生器。
在各種實施例中，主系統控制器204或局部處理器板系統510之處理器使用第一統計值判斷是否應產生警示數據。例如，在判斷出第一統計值未落入第二統計值之預定範圍內後，主系統控制器204或局部處理器板系統510之處理器產生警示數據。另一方面，在判斷出第一統計值係落入第二統計值之預定範圍內後，主系統控制器204或局部處理器板系統510之處理器不會產生警示數據。主系統控制器204或局部處理器板系統510之處理器提供警示數據以顯示於顯示裝置上或藉由其他上述機構顯示。
在某些實施例中，一射頻訊號之第一狀態（如狀態S0等）之一參數的一值係自控制器利用一傳遞單元傳送至射頻產生器，此傳遞單元係不同於用以傳送第二狀態（如狀態S1等）之該參數的一值的傳遞單元。在此實施例中，第一狀態之與該參數相關之資訊係自射頻產生器利用一傳遞單元傳送至控制器，此傳遞單元係不同於用以傳送第二狀態之與該參數相關之資訊的傳遞單元。
在各種實施例中，一射頻訊號之第一組狀態（如狀態S0及/或S1等）之一參數的一值係自控制器利用一傳遞單元傳送至射頻產生器，此傳遞單元係不同於用以傳送第二組狀態（如狀態S2、S3、及/或S4等）之該參數的一值的傳遞單元。在此實施例中，第一組狀態之與該參數相關之資訊係自射頻產生器利用一傳遞單元傳送至控制器，此傳遞單元係不同於用以傳送第二組狀態之與該參數相關之資訊的傳遞單元。
在某些實施例中，實體層512與516之間的通訊係藉由開關212(圖2A)而非板對板通訊。
在數個實施例中，共用實體層513係位於局部處理器板系統510上而非位於局部處理器板系統514上。例如，局部處理器板系統510的共控制器藉由實體通訊媒體527之共用通訊鏈結與實體層521配置射頻產生器之專用實體層523。
圖6為自與共控制器相關之實體層發送至射頻產生器之實體層的數據報的一實施例，該與共控制器相關之實體層例如是實體層202a、或實體層202b、或實體層202c(圖2A)等，該射頻產生器之實體層例如是實體層203a、或實體層203b、或實體層203c(圖2A)等。數據報包含一射頻訊號之狀態S0至Sn的功率與頻率設定點。每一設定點解譯為複數位元組，如M位元組，其中M為整數。例如，M為4、或8、或16、或32、或64等。M的值取決於處理器（如共控制器1、共控制器2、共控制器3等）及/或耦合至共控制器之專用實體層的處理速度。
在各種實施例中，除了提供功率與頻率設定點外，可提供脈狀寬度作為一射頻訊號之一狀態的設定點，或者提供脈狀寬度作為一射頻訊號之一狀態的設定點代替功率與頻率設定點。例如，針對一射頻訊號的八個狀態，提供射頻訊號的八個不同脈動寬度作為八個設定點。
在某些實施例中，控制器20利用阻抗匹配電路14(圖1A)之電腦生成模型計算狀態S1至Sn之複數頻率設定點。對於阻抗匹配電路之電腦生成模型之輸出處的特定阻抗Zo與阻抗匹配電路之電腦生成模型之一或多個可變電容器的電容值C1，計算複數頻率設定點之每一者，以達到在阻抗匹配電路14之電腦生成模型之輸出處之一參數（如反射係數、被反射的功率等）的最小值。例如，對於狀態S1，針對特定阻抗Zo與一或多個可變電容器的電容值C1計算射頻產生器22欲操作之頻率設定點f1，以在阻抗匹配電路14之電腦生成模型之輸出處達到反射係數的最小值Γ1。又例如，對於狀態S2，針對特定阻抗Zo與一或多個可變電容器的電容值C1計算射頻產生器22欲操作之頻率設定點f2，以在阻抗匹配電路14之電腦生成模型之輸出處達到反射係數的最小值Γ2。阻抗匹配電路14之電腦生成模型之輸出處的阻抗係自感測器在射頻產生器22(圖1A)之輸出處所量測到的阻抗及自阻抗匹配電路14之電腦生成模型之複數元件的值所計算獲得。複數頻率設定點係藉由專用通訊鏈結30(圖1A)以塊狀形式（如訊框、一或多個傳遞單元等）自控制器20發送至射頻產生器22，俾使射頻產生器22利用複數頻率設定點在快速的速率下操作，以達到反射係數的最小值。例如，當射頻產生器22為y兆赫射頻產生器，且連接至阻抗匹配電路14的另一射頻產生器為x1千赫、或x2兆赫射頻產生器、或y MHz 射頻產生器時，在x1千赫、或x2兆赫射頻產生器、或y兆赫射頻產生器的操作週期期間，射頻產生器22循環歷經狀態S1至Sn。y兆赫射頻產生器的實例為60兆赫射頻產生器、或27兆赫射頻產生器。x1千赫射頻產生器的實例包含400千赫射頻產生器。x2兆赫射頻產生器的實例包含2兆赫射頻產生器。y兆赫射頻產生器的實例包含27兆赫射頻產生器。
圖7顯示包含複數傳遞單元（如複數子封包等）之叢集傳遞單元（如訊框等）的一實施例，複數傳遞單元包含用以自射頻產生器22(圖1A)發送至控制器20而受到控制器20(圖1A)監控之與一或多個參數相關的資訊。例如，子封包1內的資訊1為射頻產生器22所輸送的功率、子封包1內的資訊2為自射頻產生器22輸送至阻抗匹配電路14之一射頻訊號所決定之伽馬的實部、子封包1內的資訊3為該伽馬的虛部、子封包1內的資訊4為自從時脈訊號之時脈緣發生後所經過的時間量、子封包1內的資訊5為射頻產生器22供給至阻抗匹配電路14之一射頻訊號的協調頻率、子封包1內的資訊6為射頻產生器22之內部設定點、子封包1內的資訊7為時間戳、子封包1內的資訊8為狀態向量、子封包1內的資訊9為射頻產生器22所輸送之一射頻訊號之第二諧波頻率下的均方根電壓、子封包1內的資訊10為第二諧波頻率下的均方根電流、子封包1內的資訊11為射頻訊號之第三諧波頻率下的電壓、子封包1內的資訊12為第三諧波頻率下的電流、子封包1內的資訊13為射頻訊號之第四諧波頻率下的電壓、子封包1內的資訊14為第四諧波頻率下的電流等。在此實例中，資訊1至14為一射頻訊號之相同狀態之不同參數的值。射頻產生器22所輸送的功率係藉由位於射頻產生器22內並耦合至射頻產生器22之輸出處的功率感測器所量測，在射頻產生器22之該輸出處具有該功率的射頻訊號而被輸送至阻抗匹配電路14。在某些實施例中，提供射頻產生器22所輸送之功率作為控制器20對射頻產生器22的一設定點。射頻產生器22之內部設定點的實例包含自控制器20所接收之功率設定點或自控制器20所接收之頻率設定點。時間戳之實例包含錯誤發生的時間處、或一射頻訊號之一狀態改變的時間處等。在某些實施例中，藉著連接至射頻產生器22之輸出的電壓與電流感測器量測在諧波頻率下的電壓與電流。
又例如，資訊1為一射頻訊號之狀態S0之一參數的一值、資訊2為射頻訊號之狀態S1之該參數的一值、資訊3為射頻訊號之狀態S2之該參數的一值、資訊4為射頻訊號之狀態S3之該參數的一值、資訊5為射頻訊號之狀態S4之該參數的一值、資訊6為射頻訊號之狀態S5之該參數的一值、資訊7為射頻訊號之狀態S6之該參數的一值、資訊8為射頻訊號之狀態S7之該參數的一值、資訊9為射頻訊號之狀態S8之該參數的一值、資訊10為射頻訊號之狀態S9之該參數的一值、資訊11為射頻訊號之狀態S10之該參數的一值、資訊12為射頻訊號之狀態S11之該參數的一值、資訊13為射頻訊號之狀態S12之該參數的一值、資訊14為射頻訊號之狀態S13之該參數的一值。在此實例中，資訊1至14為一射頻訊號之不同狀態之相同參數的值。
該複數傳遞單元（如複數子封包等）係在訊框中以叢集模式發送，其中資訊1至14係自射頻產生器22的實體層發送至控制器20的實體層。資訊1至14中的每一者解譯為複數位元組，如M位元組。M之值取決於處理器（如射頻產生器RFG 1之專用處理器、射頻產生器RFG 2之專用處理器、射頻產生器RFG 3之專用處理器等）及/或耦合至專用處理器之專用實體層的處理速度。
在各種實施例中，子封包包含p片資訊，如12片、13片等，其中p為大於零的整數。
在某些實施例中，一叢集傳遞單元係自控制器20發送至射頻產生器22(圖1A)。自控制器20發送至射頻產生器22之該叢集傳遞單元具有類似於圖7中所示之叢集傳遞單元的格式，後者之叢集傳遞單元包含複數封包，如數據報等。
圖8之圖802係用以例示射頻訊號之一RF脈動內之一射頻訊號的一參數的變化。圖802包含圖806、圖804、及圖808，圖806繪示欲產生之射頻訊號之功率值對時間的作圖，圖804繪示射頻訊號之頻率值對時間的作圖，圖808繪示時脈訊號。圖802顯示射頻產生器22之專用實體層21(圖1A)自控制器20之專用實體層23(圖1A)所接收之傳遞單元的一實例以及專用實體層21之專用接收器取樣傳遞單元以擷取一或多個參數。例如，圖804顯示連接至射頻產生器RFG 1之專用實體層203a(圖2A)自連接至控制器20之共控制器1之專用實體層202a(圖2A)所接收之傳遞單元的一實例。專用實體層23的傳送器產生包含了一射頻訊號之狀態S0至S7之一參數之複數值的傳遞單元。應注意，圖802中的點A係對應至一射頻訊號的狀態S0、點B係對應至該射頻訊號之狀態S1、點C係對應至該射頻訊號之狀態S2、點D係對應至該射頻訊號之狀態S3、點E係對應至該射頻訊號之狀態S4、點F係對應至該射頻訊號之狀態S5、點G係對應至該射頻訊號之狀態S6、點H係對應至該射頻訊號之狀態S7。在某些實施例中，在圖802中使用一射頻訊號之任何其他數目的狀態。
在點A處射頻產生器22之專用實體層21的專用接收器取樣該射頻訊號之狀態S0的功率設定點與狀態S0的頻率設定點，在點B處射頻產生器22之專用實體層21的專用接收器取樣該射頻訊號之狀態S1的功率設定點與狀態S1的頻率設定點，在點C處射頻產生器22之專用實體層21的專用接收器取樣該射頻訊號之狀態S2的功率設定點與狀態S2的頻率設定點，在點D處射頻產生器22之專用實體層21的專用接收器取樣該射頻訊號之狀態S3的功率設定點與狀態S3的頻率設定點，在點E處射頻產生器22之專用實體層21的專用接收器取樣該射頻訊號之狀態S4的功率設定點與狀態S4的頻率設定點，在點F處射頻產生器22之專用實體層21的專用接收器取樣該射頻訊號之狀態S5的功率設定點與狀態S5的頻率設定點，在點G處射頻產生器22之專用實體層21的專用接收器取樣該射頻訊號之狀態S6的功率設定點與狀態S6的頻率設定點，在點H處射頻產生器22之專用實體層21的專用接收器取樣該射頻訊號之狀態S7的功率設定點與狀態S7的頻率設定點。在一時脈訊號之時脈週期的結束處，控制器之專用實體層23的專用傳送器藉由實體通訊媒體31(圖1A)之專用通訊鏈結30(圖1A)將傳遞單元推送至射頻產生器22之專用實體層21的專用接收器。在某些實施例中，在每一時脈週期的結束處推送傳遞單元。
圖9為一方法之一實施例的流程圖，其係用以例示利用射頻產生器22之專用傳送器與控制器20之間的通訊協定推送一或多個傳遞單元。如圖9中所示，射頻產生器22包含一或多個脈動內轉變控制器，以控制射頻產生器22所產生之一射頻訊號之兩連續狀態之間之轉變狀態期間的複數頻率。例如，一脈動內轉變控制器提供在一射頻訊號自一狀態轉變至另一連續狀態的時間期間內，射頻產生器22之RF電源欲產生之射頻訊號的複數頻率。又，如圖9中所示，射頻產生器22包含一或多個脈動內轉變控制器，以控制射頻產生器22所產生之一射頻訊號之兩連續狀態之間之轉變狀態期間的複數功率。例如，一脈動內轉變控制器提供在一射頻訊號自一狀態轉變至另一連續狀態的時間期間內射頻產生器22之RF電源欲產生之射頻訊號的複數功率。又，射頻產生器22包含一或多個AFT，以控制射頻產生器22所產生之一射頻訊號之狀態S1至Sn期間的複數頻率。例如，當射頻訊號係處於狀態S0或狀態S1時，一AFT提供射頻產生器22之RF電源欲產生之射頻訊號的複數頻率。又，射頻產生器22包含一或多個脈動內功率控制器，以控制射頻產生器22所產生之一射頻訊號之狀態S0至Sn期間的複數功率量。例如，一脈動內功率控制器提供在射頻訊號係處於狀態S(n-1)或狀態Sn之時間期間內，射頻產生器22之RF電源欲產生之射頻訊號的複數功率量。
在叢集模式期間，射頻產生器22之專用傳送器將與一或多個參數相關的資訊嵌入一或多個傳遞單元內，並藉由專用通訊鏈結32自射頻產生器22之實體層21的專用傳送器將資訊發送至控制器20之專用接收器，如控制器20之實體層23的專用接收器，一或多個參數相關的資訊例如是一射頻訊號在射頻訊號自一狀態轉變至另一連續狀態的時間期間內的頻率、射頻訊號在射頻訊號於兩連續狀態之間轉變之時間期間內的功率、射頻訊號在射頻訊號係處於狀態S(n-1)或狀態Sn之時間期間的頻率、及射頻訊號在射頻訊號係處於狀態S(n-1)或狀態Sn之時間期間的功率等。控制器20之實體層23的專用接收器應用通訊協定以擷取與一或多個參數相關的資訊，然後將資訊提供予和射頻產生器22相關之共控制器，如共控制器1等。例如，共控制器1係連接至射頻產生器RFG 1，因此與射頻產生器RFG 1相關。又例如，共控制器2係連接至射頻產生器RFG 2，因此與射頻產生器RFG 2相關，共控制器3係連接至射頻產生器RFG 3，因此與射頻產生器RFG 3相關。
共控制器以上述方式將與一或多個參數相關的資訊提供至主系統控制器204(圖2A-2C)。主系統控制器204將電漿系統10之一部分的模型應用至與一或多個參數相關的資訊，以上述方式產生一或多個參數之一或多個設定點。在某些實施例中，主系統控制器204基於與一或多個參數相關的資訊判斷是否產生警示數據及/或基於該資訊判斷是否改變一或多個參數的一或多個設定點。控制器20之實體層23的專用接收器（如連接至控制器20之共控制器1之實體層202a的專用傳送器(圖2A)等）以上述方式自主系統控制器204接收一或多個參數的一或多個設定點，然後應用通訊協定以產生包含該一或多個設定點的一或多個傳遞單元。該一或多個傳遞單元係藉由實體通訊媒體31的專用通訊縺結30自控制器20之實體層23的專用接收器被發送至射頻產生器22之實體層21的專用接收器，如連接至共控制器1之射頻產生器RFG 1之實體層203a的之專用接收器等。
射頻產生器22之實體層21的專用接收器接收一或多個傳遞單元，並將通訊協定應用至一或多個傳遞單元以解析一或多個傳遞單元、並擷取用以提供至射頻產生器22之專用處理器之一或多個參數的一或多個設定點。射頻產生器22之專用處理器分析一或多個設定點，以判斷該設定點是於兩連續狀態之間轉變之時間期間內欲產生之射頻訊號的頻率、還是在該轉變期間欲產生之射頻訊號的功率、還是在狀態S(n-1)或Sn期間欲產生之射頻訊號的功率、還是在狀態S(n-1)或Sn期間欲產生之射頻訊號的頻率。基於該判斷，射頻產生器22之專用處理器將該轉變之頻率設定點提供予射頻產生器22之脈動內轉變頻率控制器、將該轉變之功率設定點提供予射頻產生器22之脈動內轉變功率控制器、將一狀態期間欲施加之頻率設定點提供予射頻產生器22之AFT、將該狀態期間欲施加之功率設定點提供予射頻產生器22之脈動內轉變功率控制器。射頻產生器22之RF電源自射頻產生器22之脈動內轉變頻率控制器接收該轉變之該頻率設定點、自射頻產生器22之另一脈動內轉變功率控制器接收該轉變之該功率設定點、自射頻產生器22之AFT 接收狀態S(n-1)或Sn之該頻率設定點、及自射頻產生器22之脈動內功率控制器接收狀態S(n-1)或Sn之該功率設定點，以產生一射頻訊號在該轉變期間具有該頻率設定點、在該轉變期間具有該功率設定點、在狀態S(n-1)或Sn期間具有該頻率設定點、且在狀態S(n-1)或Sn期間具有該功率設定點。
圖10A係用以例示藉著分析與一狀態之一或多個參數相關的資訊改變該狀態之一參數之一值之方法的一實施例。利用圖1002與表1008說明該方法。圖1002包含傳遞單元對時間t 的作圖1006，其係利用時脈訊號加以量測。
當控制器20之專用接收器自射頻產生器22之實體層21的專用傳送器接收傳遞單元2R內之與一或多個參數相關的資訊時，控制器20之處理器（如共控制器1的處理器、共控制器2的處理器、共控制器3的處理器、主系統控制器204的處理器等）處理自控制器20之專用實體層23(圖1A)之專用接收器所接收之傳遞單元1R內之與一或多個參數相關的資訊所產生之一參數之一值。例如，當實體層202a之專用接收器藉由專用通訊鏈結自連接至射頻產生器RFG 1之專用傳送器接收傳遞單元2R時，共控制器1或主系統控制器204處理自傳遞單元1R所產生之一參數的一值，該傳遞單元1R係由實體層202a(圖2A)之專用接收器藉由實體通訊媒體206a之專用通訊鏈結(圖2A)自與射頻產生器RFG 1相關之實體層203a之專用傳送器(圖2A)所接收。控制器20的處理器基於自傳遞單元1R 內所接收之與一或多個參數相關的資訊所產生之一參數的一值來判斷，傳遞單元 3S內欲發送予射頻產生器22之該參數的一值應改變如表1008中自傳遞單元3S至傳遞單元3S'所示之改變。控制器20之實體層23的專用接收器將改變後的參數嵌入傳遞單元3S'內，並將其藉由實體通訊媒體31的專用通訊鏈結30發送至射頻產生器22之實體層21的專用接收器。例如，連接至共控制器1之實體層202a之專用傳送器將改變後的參數嵌入傳遞單元3S'內，並將其藉由實體通訊媒體206a之專用通訊鏈結發送至與射頻產生器RFG 1相關之實體層203a的專用接收器。
類似地，當實體層23的專用接收器自射頻產生器22之實體層21的專用傳送器接收傳遞單元3R內之與一或多個參數相關的資訊時，主電腦系統200的處理器處理自控制器20之專用實體層23之專用接收器所接收之傳遞單元2R內之與一或多個參數相關的資訊所產生之一參數之一值。控制器20的處理器基於自傳遞單元2R 內所接收之與一或多個參數相關的資訊所產生之該參數的該值來判斷，傳遞單元 4S內欲發送予射頻產生器之一參數的一值應改變如表1008中自傳遞單元4S至傳遞單元 4S'所示之改變。控制器20之實體層23的專用接收器將改變後的參數嵌入傳遞單元4S'內並將其藉由實體通訊媒體31的專用通訊鏈結30(圖1A)發送至射頻產生器22之實體層21。
又，類似地，當實體層23的專用接收器自射頻產生器22之實體層21的專用傳送器接收傳遞單元4R內之與一或多個參數相關的資訊時，主電腦系統200的處理器處理自控制器20之專用實體層23之專用接收器所接收之傳遞單元3R內之與一或多個參數相關的資訊所產生之一參數之一值。主電腦系統200的處理器基於自傳遞單元3R內所接收之與一或多個參數相關的資訊所產生之該參數的該值來判斷，傳遞單元 5S內欲發送予射頻產生器之一參數的一值應改變如表1008中自傳遞單元5S至傳遞單元 5S'所示之改變。控制器20之實體層23的專用接收器將改變後的參數嵌入傳遞單元5S'內，並將其藉由實體通訊媒體31的專用通訊鏈結30發送至射頻產生器22之專用實體層21。
又，類似地，當實體層23的專用接收器自射頻產生器22之實體層21的專用傳送器接收傳遞單元5R內之與一或多個參數相關的資訊時，主電腦系統200的處理器處理自控制器20之專用實體層23之專用接收器所接收之傳遞單元4R內之與一或多個參數相關的資訊所產生之一參數之一值。主電腦系統200的處理器基於自傳遞單元4R 內所接收之與一或多個參數相關的資訊所產生之該參數的該值來判斷，傳遞單元 6S內欲發送予射頻產生器之一參數的一值應改變如表1008中自傳遞單元6S至傳遞單元6S'所示之改變。控制器20之實體層23的專用接收器將改變後的參數嵌入傳遞單元6S'內並將其藉由實體通訊媒體31的專用通訊鏈結30發送至射頻產生器22之專用實體層21。
在某些實施例中，接收傳遞單元1R與發送傳遞單元3S'之間、接收傳遞單元2R與發送傳遞單元4S'之間、接收傳遞單元3R與發送傳遞單元5S'之間、接收傳遞單元4R與發送傳遞單元6S'之間存在著固定延遲。
圖10B係用以例示藉著分析與一狀態之一或多個參數相關的資訊改變該狀態之一參數之一值之方法的一實施例。利用圖1020與表1022說明該方法。圖1020包含傳遞單元對時間t的作圖1024。
在控制器20之專用接收器自射頻產生器22之實體層21的專用傳送器接收傳遞單元2R內之與一或多個參數相關的資訊之前，控制器20之處理器（如共控制器1的處理器、共控制器2的處理器、共控制器3的處理器、主系統控制器204的處理器等）處理自控制器20之專用實體層23(圖1A)之專用接收器所接收之傳遞單元1R內之與一或多個參數相關的資訊所產生之一參數之一值。例如，在連接至共控制器1之專用接收器藉由專用通訊鏈結自與射頻產生器RFG 1相關之專用傳送器接收傳遞單元2R之前，共控制器1或主系統控制器204處理自傳遞單元1R所產生之一參數的一值，該傳遞單元1R係由實體層202a(圖2A)之專用接收器藉由實體通訊媒體206a之專用通訊鏈結(圖2A)自與射頻產生器RFG 1相關之實體層203a之專用傳送器(圖2A)所接收。控制器20的處理器基於自傳遞單元1R 內所接收之與一或多個參數相關的資訊所產生之一參數的一值來判斷，傳遞單元 3S內欲發送予射頻產生器22之該參數的一值應改變如表1022中自傳遞單元3S至傳遞單元 3S'所示之改變。控制器20之實體層23的專用接收器將改變後的參數嵌入傳遞單元3S'內並將其藉由實體通訊媒體31的專用通訊鏈結30發送至射頻產生器22之實體層21的專用接收器。例如，連接至共控制器1之實體層202a之專用傳送器將改變後的參數嵌入傳遞單元3S'內並將其藉由實體通訊媒體206a之專用通訊鏈結發送至與射頻產生器RFG 1相關之實體層203a的專用接收器。
類似地，在實體層23的專用接收器自射頻產生器22之實體層21的專用傳送器接收傳遞單元3R內之與一或多個參數相關的資訊之前，主電腦系統200的處理器處理自控制器20之實體層23之專用接收器所接收之傳遞單元2R內之與一或多個參數相關的資訊所產生之一參數之一值。控制器20的處理器基於自傳遞單元2R 內所接收之與一或多個參數相關的資訊所產生之該參數的該值來判斷，傳遞單元 4S內欲發送予射頻產生器之一參數的一值應改變如表1022中自傳遞單元4S至傳遞單元 4S'所示之改變。控制器20之實體層23的專用接收器將改變後的參數嵌入傳遞單元4S'內，並將其藉由實體通訊媒體31的專用通訊鏈結30(圖1A)發送至射頻產生器22之專用實體層21。
又，類似地，在實體層23的專用接收器自射頻產生器22之實體層21的專用傳送器接收傳遞單元4R內之與一或多個參數相關的資訊之前，主電腦系統200的處理器處理自控制器20之實體層23之專用接收器所接收之傳遞單元3R內之與一或多個參數相關的資訊所產生之一參數之一值。控制器20的處理器基於自傳遞單元3R內所接收之與一或多個參數相關的資訊所產生之該參數的該值來判斷，傳遞單元 5S內欲發送予射頻產生器之一參數的一值應改變如表1022中自傳遞單元5S至傳遞單元 5S'所示之改變。控制器20之實體層23的專用接收器將改變後的參數嵌入傳遞單元5S'內，並將其藉由實體通訊媒體31的專用通訊鏈結30發送至射頻產生器22之專用實體層21。
又，類似地，在實體層23的專用接收器自射頻產生器22之實體層21的專用傳送器接收傳遞單元5R內之與一或多個參數相關的資訊之前，主電腦系統200的處理器處理自控制器20之實體層23之專用接收器所接收之傳遞單元4R內之與一或多個參數相關的資訊所產生之一參數之一值。控制器20的處理器基於自傳遞單元4R 內所接收之與一或多個參數相關的資訊所產生之該參數的該值來判斷，傳遞單元6S內欲發送予射頻產生器22之一參數的一值應改變如表1022中自傳遞單元6S至傳遞單元6S'所示之改變。控制器20之實體層23的專用接收器將改變後的參數嵌於傳遞單元6S'內並藉由實體通訊媒體31的專用通訊鏈結30將參數發送至射頻產生器22的專用實體層21。
應注意，傳遞單元(x+1)R係接著傳遞單元xR被接收到，其中x為大於零的整數。例如，在傳遞單元1R與2R之間接收器不會接收到任何傳遞單元。類似地，應注意，傳遞單元(x+1)S係接著傳遞單元xS被發送。例如，在傳遞單元3S與4S之間傳送器不會接收到任何傳遞單元。
在某些實施例中，在傳遞單元3S'被發送後不會接收到傳遞單元2R。例如，傳遞單元3S'包含一參數指示射頻產生器應被關閉，如在零功率下操作等。在此情況下，傳遞單元2R不會被主電腦系統200接收。
更應注意，雖然上述實施例係關於將修改後的射頻訊號提供予夾頭18的下電極(圖1A)並將上電極26(圖1A)接地，但在數個實施例中，修改後的射頻訊號係提供予上電極26而夾頭18之下電極接地。
在某些實施例中，射頻產生器之處理器在文中所被稱為是射頻產生器之專用處理器。在各種實施例中，專用處理器為射頻產生器內的處理器。
本文中所述的實施例可利用各種電腦系統配置施行之，此些電腦系統配置包含手持硬體單元、微處理器系統、微處理器系或可程式化的消費電子裝置、迷你電腦、主機等。本文中所述的實施例亦可在分散式的計算環境中施行，在此種環境中任務係由經由電腦網路鏈結的複數遠端處理硬體單元所執行。
在某些實施例中，控制器為系統的一部分，其為上述實例的一部分。此類系統包含半導體處理設備，半導體處理設備包含處理工具或複數工具、處理室或複數處理室、處理平臺或複數平臺、及/或特定的處理元件(晶圓座臺、氣體流動系統等)。此些系統係與一些電子裝置整合，此些電子裝置係用以在半導體晶圓或基板處理之前、期間及之後控制系統的操作。此些電子裝置係稱為「控制器」，其可控制系統或複數系統的各種元件或子部件。取決於處理需求及/或系統類型，控制器可被程式化，以控制文中所揭露的任何處理，包含輸送處理氣體、溫度設定(如加熱及/或冷卻)、壓力設定、真空設定、功率設定、射頻產生器設定、RF匹配電路設定、頻率設定、流率設定、流體輸送設定、位置與操作設定、晶圓傳輸進入或離開設備與連接至系統或與系統具有界面的其他傳輸設備及/或裝載互鎖機構。
概括地說，在各種實施例中，控制器可被定義為具有各種積體電路、邏輯、記憶體及/或軟體的電子裝置，其可接收指令、發佈指令、控制操作、致能清理操作、致能終點量測等。積體電路可包含儲存了程式指令之具有韌體形式的晶片、數位訊號處理器(DSP)、被定義為特殊應用積體電路(ASIC)的晶片、PLD、能執行程式指令(如軟體)的一或多個微處理器或微控制器。程式指令可為與控制器通訊之具有各種獨立設定(或程式檔案)形式的指令，其定義為了在半導體晶圓上或針對半導體晶圓進行處理所用的操作參數。在某些實施例中，操作參數為處理工程師為了完成一或多膜層、材料、金屬、氧化物、矽、二氧化矽、表面、電路及/或晶圓之晶粒之製造期間的一或多個處理步驟所定義之配方的一部分。
在某些實施例中控制器為整合至系統、耦合至系統、藉由網路連接至系統、或其組合的電腦的一部分或控制器耦合至電腦。例如，控制器係位於雲端中或工廠主機電腦系統的全部或部分中，這允許使用者遠端接取晶圓處理。控制器致能遠端接取系統以監控製造操作的目前進展、檢視過去製造操作的歷程、自複數製造操作檢視驅勢或效能度量、改變現有處理的參數、設定處理步驟以符合現有處理、或開始一新的處理。
在某些實例中，遠端電腦(或伺服器)可經由電腦網路對系統提供處理配方，電腦網路包含區域網路或網際網路。遠端電腦可包含使用者介面，使用者介面讓使用者能進入或程式化參數及/或設定，然後自遠端電腦與系統通訊。在某些實例中，控制器接收處理晶圓用之設定的形式的指令。應瞭解，設定係特別針對欲在晶圓上施行之處理的類型及控制器用以交界或控制之設備的類型。因此如上所述，可分散控制器，如藉著包含一或多個藉由網路互連並朝向共同目的如文中所述之處理工作的離散控制器。為了此類目的的分散控制器的實例為處理室上的一或多個積體電路，其係與一或多個位於遠端(例如位於平臺位準或遠端電腦的一部分)的積體電路通訊而共同控制處理室中的處理。
不受限地，在各種實施例中，系統可包含電漿蝕刻室、沉積室、旋轉沖洗室、金屬鍍室、清理室、邊緣蝕刻室、物理氣相沉積(PVD)室、化學氣相沉積(CVD)室、原子層沉積(ALD)室、原子層蝕刻(ALE)室、離子植入室、軌道室、及和半導體晶圓之製造相關或用於製造的任何其他半導體處理室。
更應注意，雖然上述操作係參考平行板電漿室（如電容耦合電漿室等），但在某些實施例中，上述的操作可應用至其他類型的電漿室，如包含感應耦合電漿(ICP)反應室、變壓器耦合電漿(TCP)反應室、導體設備、介電設備、包含電子迴旋共振(ECR)反應室的電漿室等。例如，多個射頻產生器係耦合至ICP 電漿室內的電感。
如上所述，取決於設備所欲進行的處理操作，控制器可與下列的一或多者通訊交流：其他設備的電路或模組、其他設備的元件、叢集設備、其他設備的界面、相鄰設備、鄰近設備、位於工廠內的設備、主電腦、另一控制器、或半導體製造工廠中用以將晶圓容器載入與載出設備位置及/或裝載接口的材料運輸用設備。
考慮到上述實施例，應瞭解，實施例可進行涉及儲存在電腦系統中之數據的各種電腦施行操作。此些電腦施行操作需要操控物理數量。
某些實施例亦關於執行此些操作的硬體單元或設備。可針對專門用途的電腦專門建構設備。當一電腦被定義為專門用途之電腦時，此電腦除了能夠針對專門用途運行之外，亦可進行其他處理、程式執行或其他非屬特別用途的子程式。
在某些實施例中，操作可由選擇性活化的電腦執行或者可由儲存在電腦記憶體、或自電腦網路所獲得的一或多個電腦程式所配置。當數據係自電腦網路獲得時，該數據可由電腦網路上的其他電腦如電端計算資源所處理。
亦可將文中所述之一或多個實施例製作成非暫態電腦可讀媒體上的電腦可讀碼。非暫態電腦可讀媒體可以是可儲存數據且後續可被電腦系統讀取的任何數據儲存硬體單元如記憶體裝置。非暫態電腦可讀媒體的實例包含硬碟、網路附加儲存(NAS)、ROM、RAM、光碟-ROM (CD-ROM)、可錄CD (CD-R)、可重覆寫入之CD (CD-RW)、磁帶及其他光學式及非光學式儲存硬體單元。在某些實施例中，非暫態電腦可讀媒體可包含分散於網路耦合電腦系統的電腦可讀實質媒體，因此電腦可讀碼係以分散方式儲存及執行。
雖然上述某些方法操作係以特定順序說明之，但應瞭解，在各種實施例中，在方法操作之間可進行其他閒雜步驟或者可調整方法操作使其發生的時間略有不同，或者可將方法操作分配至允許方法操作以各種間隔進行的系統中，或者可以不同於文中所示的順序來進行方法操作。
更應明白，在不脫離本文所述之各種實施例的範圍的情況下，在一實施例中，來自任何上述實施例的一或多個特徵可與任何其他實施例的一或多個徵特結合。
為了讓熟知此項技藝者能清楚瞭解本發明，已詳細說明了前面的實施例，應明白，在隨附之申請專利範圍的範疇內可進行某些變化與修改。因此，此些實施例應被視為是說明性而非限制性的，且實施例並不限於文中所述的細節，在隨附申請範圍的範疇與等效物內可修改此些實施例。
1:共控制器 2:共控制器 3:共控制器 10:電漿系統 12:RF傳輸線 14:阻抗匹配電路 16:RF纜線 18:夾頭 20:控制器 21:專用實體層 22:射頻產生器 23:專用實體層 24:電漿室 26:上電極 30:專用通訊鏈結 31:實體通訊媒體 32:專用通訊鏈結 35:系統 200:主電腦系統 202:系統 202a:專用實體層 202b:專用實體層 202c:專用實體層 202d:專用實體層 203a:實體層 203b:實體層 203c:實體層 204:主系統控制器 206a:實體通訊媒體 206b:實體通訊媒體 206c:實體通訊媒體 207a:實體通訊媒體 207b:實體通訊媒體 207c:實體通訊媒體 207d:實體通訊媒體 207e:實體通訊媒體 207f:實體通訊媒體 208a:專用板內實體層 208b:專用板內實體層 208c:專用板內實體層 208d:專用板內實體層 209a:板 209b:板 209c:板 209d:板 209e:板 211:系統 212:開關 213:板 215:平行匯流排 217:主電腦系統 219:實體通訊媒體 250:系統 252:主電腦系統 254a:專用板內實體層 254b:專用板內實體層 254c:專用板內實體層 256a:專用實體通訊媒體 256b:專用實體通訊媒體 256c:專用實體通訊媒體 300:傳遞單元 402:圖 404:圖 406:射頻訊號 408:時脈訊號 500:系統 502:實體層 504:專用通訊鏈結 506:專用通訊鏈結 507:實體通訊媒體 510:局部處理器板系統 512:實體層 513:共用實體層 514:局部處理器板系統 516:實體層 519:第一實體通訊媒體 521:實體層 523:專用實體層 527:實體通訊媒體 802:圖 804:圖 806:圖 808:圖 1002:圖 1006:圖 1008:表 1020:圖 1022:圖 1024:圖 1R-5R:傳遞單元 3S-6S:傳遞單元 3S'-6S':傳遞單元 xR:傳遞單元 (x+1)R:傳遞單元 xS:傳遞單元 (x+1)S:傳遞單元 AFT S0:自動頻率協調器 AFT S1:自動頻率協調器 C1:電容值 CA:時脈週期 CB:時脈週期 CC:時脈週期 DCL 1:專用通訊鏈結 DCL 2:專用通訊鏈結 f1:頻率設定點 f2:頻率設定點 PWR S0:功率控制器 PWR S1:功率控制器 RFG 1:射頻產生器 RFG 2:射頻產生器 RFG 3:射頻產生器 Rx:專用接收器 S0-Sn:狀態 Tx:專用傳送器 Zo:阻抗 Γ1:最小值 Γ2:最小值 Γ3:最小值
藉著參考下列說明與附圖，可最佳地瞭解本發明之實施例。
圖1A顯示根據本發明所述之一實施例之控制器與射頻產生器(RFG)之間之雙推用的電漿系統。
圖1B顯示根據本發明所述之一實施例之圖 1A 之電漿系統之控制器與頻率產生器的一實施例，其係用以例示控制器與頻率產生器之間的通訊。
圖2A顯示根據本發明所述之一實施例之一系統，其係用以例示使用複數局部控制器、複數射頻產生器、與一主系統控制器之間的通訊協定。
圖2B顯示根據本發明所述之一實施例之一系統，其係用以例示置於一板上的複數局部控制器。
圖2C顯示根據本發明所述之一實施例之一系統，其係用以例示毋需使用局部控制器與主系統控制器間之開關的局部控制器與主系統控制器之間的通訊。
圖3顯示根據本發明所述之一實施例之通用數據報協定(universal datagram protocol, UDP)傳遞單元或客製化傳遞單元。
圖4顯示根據本發明所述之一實施例之複數圖，其係用以例示射頻訊號的複數狀態。
圖5顯示根據本發明所述之一實施例之系統，其係用以例示一局部處理器板系統與一射頻產生器之間以及該局部處理器板系統與另一處理器板系統之間的數據通訊。
圖6顯示根據本發明所述之一實施例之一傳遞單元的酬載，此酬載係由主電腦系統的控制器的專用傳送器所產生並發送予射頻產生器。
圖7顯示根據本發明所述之一實施例之一傳遞單元的酬載，此酬載係由射頻產生器的專用傳送器所產生並發送予主電腦系統的控制器。
圖8顯示根據本發明所述之一實施例之圖，其係用以例示欲用於產生射頻訊號之一或多個參數之設定點的抽樣。
圖9為根據本發明所述之一實施例之方法流程圖，其係用以例示利用射頻產生器之專用傳送器與控制器之專用接收器之間以及控制器之專用傳送器與射頻產生器之專用接收器之間的通訊協定推送傳遞單元。
圖10A顯示根據本發明所述之一實施例之圖，其係用以例示藉著分析當傳遞單元正被接收器所接收時一狀態之一參數的一值而改變該狀態之該參數之該值的方法。
圖10B顯示根據本發明所述之一實施例之圖，其係用以例示藉著分析當傳遞單元被接收器所接收之前一狀態之一參數的一值而改變該狀態之該參數之該值的方法。
10:電漿系統
12:RF傳輸線
14:阻抗匹配電路
16:RF纜線
18:夾頭
20:控制器
21:專用實體層
22:射頻產生器
23:專用實體層
24:電漿室
26:上電極
30:專用通訊鏈結
31:實體通訊媒體
32:專用通訊鏈結

Claims (40)

  1. 一種增加通訊速率的系統，包含： 一射頻(RF)產生器，包含一專用收發器； 一主電腦系統，包含耦合至該射頻產生器之該專用收發器的一專用收發器；及 一專用實體通訊媒體，將該射頻產生器的該專用收發器耦合至該主電腦系統的該專用收發器， 該射頻產生器的該專用收發器係用以藉由該專用實體通訊媒體將包含與一參數相關之資訊的一或多個傳遞單元發送至該主電腦系統的該專用收發器， 該主電腦系統係用以處理與該參數相關之該資訊，以判斷是否改變該參數之一設定點，以更進一步地產生一變化後設定點， 該主電腦系統的該專用收發器係用以藉由該專用實體通訊媒體將包含該變化後設定點的一或多個傳遞單元發送至該射頻產生器的該專用收發器， 其中該主電腦系統係用以在毋需肯認接收自該射頻產生器之一或多個傳遞單元之接收的情況下，將一或多個傳遞單元發送至該射頻產生器。
  2. 如申請專利範圍第1項之增加通訊速率的系統，其中該主電腦系統的該專用收發器包含一傳送器及一接收器，其中該射頻產生器的該專用收發器包含一傳送器及一接收器，其中該主電腦系統的該傳送器係藉由一專用通訊鏈結耦合至該射頻產生器的該接收器，其中該射頻產生器的該傳送器係藉由一專用通訊鏈結耦合至該主電腦系統的該接收器。
  3. 如申請專利範圍第2項之增加通訊速率的系統，其中將該主電腦系統之該傳送器耦合至該射頻產生器之該接收器的該專用通訊鏈結為具有用於從該主電腦系統將一或多個傳遞單元傳輸至該射頻產生器之容量的邏輯通道，其中將該射頻產生器之該傳送器耦合至該主電腦系統之該接收器的該專用通訊鏈結為具有用於從該射頻產生器將一或多個傳遞單元傳輸至該主電腦系統之容量的邏輯通道。
  4. 如申請專利範圍第1項之增加通訊速率的系統，其中該射頻產生器包含一控制器，其中與該參數相關之該資訊包含被該射頻產生器供給之功率的值、被該射頻產生器輸送之功率的值、被朝向該射頻產生器反射之功率的值、伽馬的實部的值、伽馬的虛部的值、電壓駐波率的值、該射頻產生器之該控制器內的設定點、用以判斷資訊是否超出預定範圍的狀態向量、該參數的量測值、自該主電腦系統接收之該參數的值、或其組合。
  5. 如申請專利範圍第1項之增加通訊速率的系統，其中該主電腦系統的該專用收發器係用以接收由該射頻產生器之該專用收發器在未要求來自該射頻產生器之與該參數相關之該資訊的情況下、藉由該專用實體通訊媒體發送的一或多個傳遞單元，其中該射頻產生器的該專用收發器係用以接收由該主電腦系統在未要求來自該主電腦系統之該變化後設定點的情況下、藉由該專用實體通訊媒體發送的一或多個傳遞單元。
  6. 如申請專利範圍第1項之增加通訊速率的系統，其中該主電腦系統係用以不對藉由該專用實體通訊媒體從該射頻產生器之該專用收發器接收的一或多個傳遞單元進行一校驗和操作，其中該射頻產生器係用以不對藉由該專用實體通訊媒體從該主電腦系統之該專用收發器接收的一或多個傳遞單元進行一校驗和操作。
  7. 如申請專利範圍第1項之增加通訊速率的系統，其中該射頻產生器係用以在毋需肯認接收自該主電腦系統之一或多個傳遞單元之接收的情況下，將一或多個傳遞單元發送至該主電腦系統。
  8. 一種增加射頻(RF)產生器與主電腦系統間之通訊速率的方法，其步驟包含： 從射頻產生器之一專用收發器藉由一專用實體通訊媒體將包含與一參數相關之資訊的一或多個傳遞單元發送至主電腦系統的一專用收發器； 藉由該主電腦系統處理與該參數相關之該資訊，以判斷是否改變該參數之一設定點以更進一步地產生一變化後設定點；及 從該主電腦系統的該專用收發器藉由該專用實體通訊媒體將包含該變化後設定點的一或多個傳遞單元發送至該射頻產生器的該專用收發器，其中發送該一或多個傳遞單元至該射頻產生器係在毋需肯認接收自該射頻產生器之一或多個傳遞單元之接收的情況下進行。
  9. 如申請專利範圍第8項之增加射頻(RF)產生器與主電腦系統間之通訊速率的方法，其中從該射頻產生器發送一或多個傳遞單元至該主電腦系統係在毋需肯認接收自該主電腦系統之一或多個傳遞單元之接收的情況下進行。
  10. 如申請專利範圍第8項之增加射頻(RF)產生器與主電腦系統間之通訊速率的方法，其步驟更包含： 在毋需要求來自該射頻產生器之該參數相關之該資訊的情況下，由該主電腦系統的該專用收發器藉由該專用實體通訊媒體接收來自該射頻產生器之該專用收發器的一或多個傳遞單元；及 在毋需要求來自該主電腦系統之該變化後設定點的情況下，由該射頻產生器的該專用收發器藉由該專用實體通訊媒體接收來自該主電腦系統之該專用收發器的一或多個傳遞單元。
  11. 如申請專利範圍第8項之增加射頻(RF)產生器與主電腦系統間之通訊速率的方法，其步驟更包含： 不對藉由該專用實體通訊媒體從該射頻產生器之該專用收發器接收的一或多個傳遞單元進行一校驗和操作；及 不對藉由該專用實體通訊媒體從該主電腦系統之該專用收發器接收的一或多個傳遞單元進行一校驗和操作。
  12. 如申請專利範圍第8項之增加射頻(RF)產生器與主電腦系統間之通訊速率的方法，其中該主電腦系統的該專用收發器包含一傳送器及一接收器，其中該射頻產生器的該專用收發器包含一傳送器及一接收器，其中該主電腦系統的該傳送器係藉由一專用通訊鏈結耦合至該射頻產生器的該接收器，其中該射頻產生器的該傳送器係藉由一專用通訊鏈結耦合至該主電腦系統的該接收器。
  13. 如申請專利範圍第12項之增加射頻(RF)產生器與主電腦系統間之通訊速率的方法，其中將該主電腦系統之該傳送器耦合至該射頻產生器之該接收器的該專用通訊鏈結為具有用於從該主電腦系統將一或多個傳遞單元傳輸至該射頻產生器之容量的邏輯通道，其中將該射頻產生器之該傳送器耦合至該主電腦系統之該接收器的該專用通訊鏈結為具有用於從該射頻產生器將一或多個傳遞單元傳輸至該主電腦系統之容量的邏輯通道。
  14. 如申請專利範圍第8項之增加射頻(RF)產生器與主電腦系統間之通訊速率的方法，其中與該參數相關之該資訊包含被該射頻產生器供給之功率的值、被該射頻產生器輸送之功率的值、被朝向該射頻產生器反射之功率的值、伽馬的實部的值、伽馬的虛部的值、電壓駐波率的值、該射頻產生器之一控制器內的設定點、用以判斷資訊是否超出預定範圍的狀態向量、該參數的量測值、自該主電腦系統接收之該參數的值、或其組合。
  15. 一種非暫態電腦可讀媒體，其含有增加射頻(RF)產生器與主電腦系統間之通訊速率的程式指令，其中由一電腦系統之一或多個處理器執行該程式指令致使該一或多個處理器進行下列者的複數個操作： 從射頻產生器之一專用收發器藉由一專用實體通訊媒體將包含與一參數相關之資訊的一或多個傳遞單元發送至主電腦系統的一專用收發器； 藉由該主電腦系統處理與該參數相關之該資訊，以判斷是否改變該參數之一設定點以更進一步地產生一變化後設定點；及 從該主電腦系統的該專用收發器藉由該專用實體通訊媒體將包含該變化後設定點的一或多個傳遞單元發送至該射頻產生器的該專用收發器，其中發送該一或多個傳遞單元至該射頻產生器係在毋需肯認接收自該射頻產生器之一或多個傳遞單元之接收的情況下進行。
  16. 如申請專利範圍第15項之非暫態電腦可讀媒體，其中從該射頻產生器發送一或多個傳遞單元至該主電腦系統的操作係在毋需肯認接收自該主電腦系統之一或多個傳遞單元之接收的情況下進行。
  17. 如申請專利範圍第15項之非暫態電腦可讀媒體，其中該等操作更包含： 在毋需要求來自該射頻產生器之該參數相關之該資訊的情況下，由該主電腦系統的該專用收發器藉由該專用實體通訊媒體接收來自該射頻產生器之該專用收發器的一或多個傳遞單元；及 在毋需要求來自該主電腦系統之該變化後設定點的情況下，由該射頻產生器的該專用收發器藉由該專用實體通訊媒體接收來自該主電腦系統之該專用收發器的一或多個傳遞單元。
  18. 如申請專利範圍第15項之非暫態電腦可讀媒體，其中該等操作更包含： 不對藉由該專用實體通訊媒體從該射頻產生器之該專用收發器接收的一或多個傳遞單元進行一校驗和操作；及 不對藉由該專用實體通訊媒體從該主電腦系統之該專用收發器接收的一或多個傳遞單元進行一校驗和操作。
  19. 如申請專利範圍第15項之非暫態電腦可讀媒體，其中該主電腦系統的該專用收發器包含一傳送器及一接收器，其中該射頻產生器的該專用收發器包含一傳送器及一接收器，其中該主電腦系統的該傳送器係藉由一專用通訊鏈結耦合至該射頻產生器的該接收器，其中該射頻產生器的該傳送器係藉由一專用通訊鏈結耦合至該主電腦系統的該接收器。
  20. 如申請專利範圍第19項之非暫態電腦可讀媒體，其中將該主電腦系統之該傳送器耦合至該射頻產生器之該接收器的該專用通訊鏈結為具有用於從該主電腦系統將一或多個傳遞單元傳輸至該射頻產生器之容量的邏輯通道，其中將該射頻產生器之該傳送器耦合至該主電腦系統之該接收器的該專用通訊鏈結為具有用於從該射頻產生器將一或多個傳遞單元傳輸至該主電腦系統之容量的邏輯通道。
  21. 一種促進雙推的系統，包含： 一射頻(RF)產生器；及 一控制器，藉由一專用通訊媒體及一共享通訊媒體耦合至該射頻產生器， 其中該射頻產生器藉由該共享通訊媒體接收一配置訊號， 其中在接收到該配置訊號後，該射頻產生器用以藉由該專用通訊媒體將一或多個傳遞單元發送至該控制器， 其中在從該射頻產生器接收到該一或多個傳遞單元後，該控制器用以處理該一或多個傳遞單元內的資訊，以判斷是否改變該射頻產生器之一或多個設定點， 其中該控制器用以藉由該專用通訊媒體將包含一或多個變化後設定點的一或多個傳遞單元發送至該射頻產生器。
  22. 如申請專利範圍第21項之促進雙推的系統，其中該控制器係用以不肯認來自該射頻產生器之一或多個傳遞單元的接收。
  23. 如申請專利範圍第21項之促進雙推的系統，其中該射頻產生器係用以不肯認發送自該控制器之一或多個傳遞單元的接收。
  24. 如申請專利範圍第21項之促進雙推的系統，其中該控制器為一主電腦系統的一部分。
  25. 如申請專利範圍第21項之促進雙推的系統，其中該控制器係藉由該共享通訊媒體及另一專用通訊媒體耦合至另一射頻產生器，其中該控制器係用以發送另一配置訊號至該另一射頻產生器，其中在接收到該另一配置訊號後，該另一射頻產生器係用以藉由該另一專用通訊媒體發送一或多個傳遞單元至該控制器。
  26. 如申請專利範圍第21項之促進雙推的系統，其中該專用通訊媒體為具有一第一通訊通道及一第二通訊通道的一纜線，其中發送至該控制器的一或多個傳遞單元係用以藉由該第一通訊通道傳輸，且發送至該射頻產生器的一或多個傳遞單元係用以藉由該第二通訊通道傳輸。
  27. 如申請專利範圍第21項之促進雙推的系統，其中從該射頻產生器發送至該控制器的一或多個傳遞單元之各者為一數據報，且發送至該控制器的一或多個傳遞單元之各者為一數據報。
  28. 如申請專利範圍第21項之促進雙推的系統，其中發送至該控制器的一或多個傳遞單元內之該資訊包含該射頻產生器的頻率及該射頻產生器的功率。
  29. 如申請專利範圍第21項之促進雙推的系統，其中該射頻產生器的該一或多個設定點包含複數個設定點，且該複數個設定點包含該射頻產生器的操作頻率及該射頻產生器的操作功率，其中該一或多個變化後設定點包含複數個設定點，其中該複數個設定點包含該射頻產生器的頻率及該射頻產生器的功率。
  30. 一種促進雙推的射頻產生器，包含： 一處理器； 一電源，耦合至該處理器； 一專用實體層，耦合至該處理器，其中該專用實體層係藉由一專用通訊媒體耦合至一控制器； 一共享實體層，其中該共享實體層係藉由一共享通訊媒體耦合至該控制器， 其中該共享實體層係用以藉由該共享通訊媒體從該控制器接收一配置訊號， 其中回應該配置訊號的接收，該專用實體層用以藉由該專用通訊媒體發送一或多個傳遞單元至該控制器， 其中在發送一或多個傳遞單元後，該專用實體層用以藉由該專用通訊媒體從該控制器接收包含一或多個變化後設定點的一或多個傳遞單元， 其中該專用實體層係用以不提供接收自該控制器之一或多個傳遞單元的肯認， 其中該處理器係用以依據該一或多個變化後設定點改變該電源的操作。
  31. 如申請專利範圍第30項之促進雙推的射頻產生器，其中該控制器為一主電腦系統的一部分。
  32. 如申請專利範圍第30項之促進雙推的射頻產生器，其中該專用通訊媒體為具有一第一通訊通道及一第二通訊通道的一纜線，其中發送至該控制器的一或多個傳遞單元係用以藉由該第一通訊通道傳輸，且該專用實體層所接收的一或多個傳遞單元係用以藉由該第二通訊通道傳輸。
  33. 如申請專利範圍第30項之促進雙推的射頻產生器，其中從該專用實體層發送至該控制器的一或多個傳遞單元之各者為一數據報，且接收自該控制器的一或多個傳遞單元之各者為一數據報。
  34. 如申請專利範圍第30項之促進雙推的射頻產生器，其中該電源係用以產生一射頻訊號，其中發送至該控制器的一或多個傳遞單元包含該射頻訊號的頻率及該射頻訊號的功率。
  35. 如申請專利範圍第30項之促進雙推的射頻產生器，其中該電源係用以產生一射頻訊號，其中該一或多個變化後設定點包含複數個變化後設定點，且該複數個變化後設定點包含該射頻訊號的頻率及該射頻訊號的功率。
  36. 一種促進雙推的控制器，包含： 一處理器； 一專用實體層，耦合至該處理器，其中該專用實體層係藉由一專用通訊媒體耦合至一射頻(RF)產生器； 一共享實體層，其中該共享實體層係藉由一共享通訊媒體耦合至該射頻產生器， 其中該共享實體層係用以藉由該共享通訊媒體發送一配置訊號至該射頻產生器， 其中回應該配置訊號的發送，該專用實體層用以藉由該專用通訊媒體從該射頻產生器接收一或多個傳遞單元， 其中接收自該射頻產生器的一或多個傳遞單元包含關於該射頻產生器之操作的資訊， 其中該專用實體層係用以不提供接收自該射頻產生器之一或多個傳遞單元的肯認， 其中回應該資訊的接收，該控制器係用以改變該射頻產生器的一或多個設定點，以輸出一或多個變化後設定點， 其中該專用實體層係用以藉由該專用通訊媒體發送包含該一或多個變化後設定點的一或多個傳遞單元至該射頻產生器， 其中該一或多個變化後設定點係用以改變該射頻產生器的操作。
  37. 如申請專利範圍第36項之促進雙推的控制器，其中該專用通訊媒體為具有一第一通訊通道及一第二通訊通道的一纜線，其中接收自該射頻產生器的一或多個傳遞單元係用以藉由該第一通訊通道接收，且該專用實體層所發送的一或多個傳遞單元係用以藉由該第二通訊通道傳輸。
  38. 如申請專利範圍第36項之促進雙推的控制器，其中從該專用實體層發送至該射頻產生器的一或多個傳遞單元之各者為一數據報，且接收自該射頻產生器的一或多個傳遞單元之各者為一數據報。
  39. 如申請專利範圍第36項之促進雙推的控制器，其中接收自該射頻產生器的該資訊包含由該射頻產生器產生之一射頻訊號的頻率及該射頻訊號的功率。
  40. 如申請專利範圍第36項之促進雙推的控制器，其中該一或多個變化後設定點包含複數個變化後設定點，其中該複數個變化後設定點包含待由該射頻產生器產生之一射頻訊號的頻率及該射頻訊號的功率。
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