CN105824269A - 主计算机系统和rf产生器之间的双推送 - Google Patents

主计算机系统和rf产生器之间的双推送 Download PDF

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Abstract

本发明描述了主计算机系统和RF产生器之间的双推送，具体描述了一种用于提高在射频(RF)产生器和主计算机系统之间的数据传输速率的系统和方法。通过实现与所述RF产生器和所述主计算机系统相关联的专用物理层以及所述RF产生器和所述主计算机系统之间的专用物理通信介质，提高数据的传输速率。此外，在RF产生器和主计算机系统之间使用双推送操作。没有针对从RF产生器发送到主计算机系统或从主计算机系统发送到RF产生器的数据的请求。

Description

主计算机系统和RF产生器之间的双推送
技术领域
本发明的实施方式涉及用于在主计算机系统和射频(RF)产生器之间的双推送的系统和方法。
背景技术
在等离子体系统中，多个射频(RF)产生器被连接到等离子体室。RF产生器是由计算机控制的。例如，该计算机提供与由RF产生器产生的RF信号相关联的值。RF产生器使用该值以产生RF信号，然后将其发送到等离子体室中。在接收到RF信号时在等离子体室中产生等离子体。
RF产生器和计算机之间的通信是缓慢的。这种缓慢的通信阻碍了射频产生器的计算机的有效的控制。
正是在这样的背景下产生本发明描述的实施方式。
发明内容
本发明的实施方式提供了用于在主计算机系统和射频(RF)产生器之间的双推送的装置、方法和计算机程序。应当理解，本发明可以多种方式实现，这些方式例如，在计算机可读介质上的方法、装置、系统、设备。下面将描述若干本发明的实施方式。
在一些实施方式中，主机系统和RF产生器之间的双推送相比于另一种传输协议(例如，用于控制自动化技术(EtherCAT)协议的以太网，传输控制协议因特网协议(TCP/IP)，等)允许主系统和RF产生器之间通信较快。EtherCAT协议受限于响应时间和净负荷，例如，从站的数目，等。此外，TCP/IP协议具有与数据包重试和超时相关联的开销(overhead)。其他传输协议包括数据包中的错误的错误检查、错误的指示的通信，以及数据包的重传。错误检查、错误的指示的通信，以及重传消耗时间。双推送应用在主机系统和RF产生器之间连续地推送传输单元(例如，数据包，等)的通信协议，例如，通用数据报协议(UDP)、定制的协议，等。例如，数据包的接收器不执行针对每个数据包的错误检查，接收器不执行差错的指示的通信，并且该数据包的发送器不执行重新传输。作为另一个例子，不再次发送任何数据包，接收数据包而从接收器不接收确认。作为又一个例子，主机系统不请求与来自RFG的一个或多个参数相关联的信息，并且RFG不请求来自主机系统的一个或多个参数的一个或多个设定点。一旦RFG被配置为由主计算机发送与一个或多个参数相关联的信息，所述RFG发送一个或多个数据包到主计算机并且主计算机分析与存储在所述一个或多个数据包中的一个或多个参数相关联的信息，以判定是否发送修改的设定点或发送与先前发送至的RFG设定点相同的设定点。
在一些实施方式中，双推送利用以太网栈来推送用于监测RF产生器的输出的第一固定UDP数据报，并利用以太网栈来推送用于控制RF产生器的第二固定UDP数据报。
在多种实施方式中，在双推送装置中，主机系统和RF产生器经由物理通信介质的专用通信链路和专用发送器和专用接收器彼此连接。例如，主机系统的专用发送器经由物理通信介质的专用通信链路连接至RF产生器的专用接收器，RF产生器的专用发送器经由物理通信介质的专用通信链路连接到主机系统的专用接收器。主机系统的专用接收器应用通信协议至从RF产生器的专用发送器接收到的数据包，以提取与该数据包内的一个或多个参数相关联的信息。与一个或多个参数有关的信息被提供到主机系统的处理器。处理器根据与一个或多个参数有关的信息产生参数的值，并判定该值是否在先前发送到RF产生器的专用接收器的参数的值的预先确定的范围之内。当判定所述值不是在预先确定的范围内时，所述处理器将所述参数的值修改成处于预先确定的范围内，并提供该值到主机系统的专用发送器以经由物理通信介质的专用通信链路与RF产生器的专用接收器通信。作为另一个例子，1千兆位物理层推送512字节帧到也具有用于接收帧的1千兆位物理层的专用客户机。进行该推送以实现100千赫的速率。
在一些实施方式中，双推送装置不进行错误检查，错误的指示的通信，具有错误的数据包的重新传输，从而节省了时间和成本。
此外，在多种实施方式中，所述专用通信链路降低来自不同的源端口的数据包冲突和漏失的机会。所述专用通信链路在不同的RF产生器或不同控制器之间不共享，减少数据包冲突和漏失的机会。例如，如果数据包通过共享通信链路发送给两个不同的RF产生器，则数据包之间可能存在冲突，从而在被发送到RF产生器的数据中产生损失或错误。通过使用连接到一个RF产生器的专用通信链路，主系统无法经由专用通信链路发送数据包到不同的RF产生器，从而防止冲突。
相比于其他协议(例如，EtherCAT协议，TCP/IP，等)，双推送装置的其它优点包括提高由RF产生器对主机系统的控制器或由控制器对RF产生器的响应的响应时间很多倍，例如，100倍、1000倍、100至1000倍等，
结合附图，根据下面的详细描述，其它方面将变得显而易见。
附图说明
参考以下描述结合附图可以最好地理解本发明。
图1A是根据本公开中描述的实施方式的用于使用控制器和射频产生器(RFG)之间的双推送的等离子体系统的示意图。
图1B是根据本公开中描述的实施方式的图1A的等离子体系统的控制器和RFG的实施方式的示意图，以示出控制器和RFG之间的通信。
图2A是根据本公开中描述的实施方式的系统的示意图，以示出在多个本地控制器、多个RF产生器和主系统控制器之间通信协议的使用。
图2B是根据本公开中描述的实施方式的系统的示意图，以示出放置在板上的一定数量的本地控制器。
图2C是根据本公开中描述的实施方式的系统的示意图，以示出在不使用本地控制器和主系统控制器之间的交换机的情况下本地控制器和主系统控制器之间的通信。
图3是根据本公开中描述的实施方式的示出通用数据报协议(UDP)传输单元或定制的传输单元的示意图。
图4是根据本公开中描述的实施方式的多个图形的示意图，以示出RF信号的多个状态。
图5是根据本公开中描述的实施方式的系统的示意图，以示出本地处理器板系统和RFG之间以及本地处理器板系统和另一处理器板系统之间的数据的通信。
图6是根据本公开中描述的实施方式的示意图，以示出由主计算机系统的控制器的专用发送器产生并发送到RF产生器的传输单元的有效载荷。
图7是根据本公开中描述的实施方式的示意图，以示出由RFG的专用发送器产生并发送到主计算机系统的传输单元的有效载荷。
图8是根据本公开中描述的实施方式的曲线图，以示出在产生RF信号中要使用的一个或多个参数的设定点的采样。
图9是根据本公开中描述的实施方式的方法的流程图，以示出通过使用RFG的专用发送器和控制器的专用接收器之间以及控制器的专用发送器和RFG的专用接收器之间的通信协议推送传输单元。
图10A是根据本公开中描述的实施方式的说明用于在传输单元由接收器接收时通过分析针对状态的参数的值修改针对状态的参数的值的方法的示意图。
图10B是根据本公开中描述的实施方式的说明用于在传输单元由接收器接收之前通过分析针对状态的参数的值修改针对状态的参数的值的方法的示意图。
具体实施方式
下面的实施方式描述了用于主计算机系统和射频(RF)产生器之间的双推送的系统和方法。但显然的是，这些实施方式可以在没有这些具体细节中的一些或全部的情况下实践。在其它情况下，公知的处理操作未被详细描述，以便不会不必要地混淆这些实施方式中。
在一些实施方式中，当不存在针对与一个或多个参数相关联的信息的从主计算机系统发送到RF产生器的请求时，以及不存在针对一个或多个参数的一个或多个设定点(例如，一个或多个值等)的从RF产生器发送到主计算机系统的请求时，执行双推送。RF产生器由主计算机系统配置以发送具有与一个或多个参数相关联的信息的一个或多个数据包，并且一旦RF产生器被配置，RF产生器启动并继续发送一个或多个数据包。一旦主计算机接收一个或多个数据包，主计算机就判定是否修改一个或多个设定点，以及基于所述判定，将包括未修改的一个或多个设定点或一个或多个经修改的设定点的一个或多个数据包发送给RFG。在一些实施方式中，推送是在数据的接收器不请求数据的情况下通过发送器进行的数据输送。
在多种实施方式中，RFG和主计算机系统的共控制器经由连接到共控制器的专用物理层、经由将RFG连接到主计算机系统的专用物理通信介质，并经由连接到RFG的专用处理器的专用物理层彼此连接。RFG的专用物理层和主计算机系统以及专用物理通信介质有利于RFG和主计算机系统之间的数据的快速传输。在RFG和主计算机系统之间没有必要错误检查或重新发送具有错误的数据包等。
图1A是用于使用在控制器20(例如，本地控制器等)和RF产生器(RFG)22之间的双推送的等离子体系统10的实施方式的示意图。等离子体系统10包括RFG22、阻抗匹配电路(IMC)14、控制器20，和等离子体室24。等离子体室24经由RF传输线12连接到IMC14。RFG22经由RF缆线16连接到IMC14。在一些实施方式中，控制器的实施例包括CPU、计算机、处理器、微处理器、专用集成电路(ASIC)和可编程逻辑器件(PLD)。在多种实施方式中，控制器包括处理器和存储器设备的组合。存储器装置的实施例包括只读存储器(ROM)、随机存取存储器(RAM)、硬盘、易失性存储器、非易失性存储器、存储磁盘冗余阵列、闪存存储器等。
控制器20产生给RFG22的控制信号，控制信号包括给RFG22的一个或更多个状态(例如，状态S0、状态S1、状态S2、状态S3、状态S4等)的一个或多个参数(例如，频率、功率等)的一个或多个设定点(例如，值等)。控制器20的专用物理层23的专用发送器(Tx)应用通信协议(例如，通用数据报协议(UDP)、UDP经过因特网协议(UDP经过IP)，UDP经过IP经过以太网，定制的协议等)到控制信号，以产生一个或多个传输单元(例如，数据报、UDP数据报、数据包等)并在时钟周期CA期间经由专用通信链路30发送一个或多个传输单元到RFG22。专用通信链路30是物理通信介质31的一部分。在多种实施方式中，物理通信介质的例子包括同轴缆线、导体缆线、有线介质、双绞线、光纤链路、缆线、以太网缆线、无线介质等。
在一些实施方式中，专用通信链路被用来执行两个设备(例如，控制器20的专用物理层23和RFG22等的专用物理层21，等)之间的点对点通信。例如，专用通信链路30是用于从控制器20的物理层23发送一个或多个参数的一个或多个设定点到RFG22的专用物理层21的一个或多个传输单元的信道，并且通信链路32是用于从RFG22的物理层21发送到控制器20的物理层23的一个或多个传输单元的信道。在多种实施方式中，信道是用于通过缆线传送数据的逻辑连接并具有以每秒比特测量的容量。
在一些实施方式中，物理层是端口，例如以太网端口、UDP端口、通信端口等。在多种实施方式中，专用物理层以吉比特每秒(Gbp)的数量级的速率传送(例如发送、接收，等)。在多种实施方式中，专用物理层是以每秒吉比特的速率或高于每秒吉比特的速率(例如，以每秒万亿比特(Tbp)的速率，等)传送(例如，发送、接收，等)一个或多个传输单元的通信设备(例如，收发器，等)。
时钟周期是由位于控制器20内部或控制器20外部的时钟源产生的时钟信号的时钟周期。时钟源的实施例包括振荡器，具有锁相环的振荡器等。在一些实施方式中，产生时钟信号的时钟源位于RFG或控制器中。例如，时钟源位于控制器20的内部，并提供时钟信号给RFG22或连接到控制器20并由控制器20控制的其它RFG。
在一些实施方式中，本文中的状态指的是由RF产生器产生的RF信号的状态。通过控制器区分一状态与另一状态。例如，RF信号的状态具有除RF信号的另一种状态的多个功率值以外的多个功率值。状态的多个功率值具有与另一状态的多个功率值相比不同的电平，使得在时钟周期期间在预定的时间段期间，两个电平之间存在差别。
在若干实施方式中，RF信号的状态与时钟信号的状态同步。例如，时钟信号具有高电平(例如，位1，等)和低电平(例如，位0等)。当时钟信号在两种状态之间转换时，属于正弦信号的RF信号在两个状态之间转换。为了说明，当时钟信号在高电平时，RF信号在高电平。当时钟信号从时钟信号的高电平转换成时钟信号的低电平时，RF信号从RF信号的高电平转换成RF信号的低电平。当该时钟信号在时钟信号的低电平时，RF信号在RF信号的低电平。当时钟信号从时钟信号的低电平转换成时钟信号的高电平时，RF信号从RF信号的低电平转换成RF信号的高电平。
在多种实施方式中，RF信号具有任何数量的状态。例如，当时钟信号在高电平时，RF信号在不同的电平之间转换，当时钟信号在低电平时，RF信号具有一个状态。作为另一实施例，当时钟信号在低电平时，RF信号在不同的电平之间转换，当时钟信号在高电平时，RF信号具有一个状态。作为又一实施例，当时钟信号在高电平时，RF信号在不同电平之间转换，当时钟信号在低电平时，RF信号在不同的电平之间转换。
RFG22的物理层21包括经由专用通信链路30接收一个或多个传输单元并应用通信协议以从传输单元提取控制信号的专用接收器(Rx)。RFG22的专用接收器是RFG22的专用物理层21的一部分。RFG22的专用处理器(例如，数字信号处理器(DSP)、现场可编程门阵列、专用集成电路等)解析该控制信号，以将状态的一个或多个参数的一个或多个设定点与另一种状态的一个或多个参数的一个或多个设定点区分开。RFG22的专用处理器将用于一种状态的一个或多个参数的一个或多个设定点提供给参数控制器(例如，自动频率调谐器(AFT)、功率控制器，等)以及将用于另一种状态的参数的一个或多个设定点提供给另一参数控制器(例如，AFT、功率控制器等)。与状态相关联的每个参数控制器经由驱动器(例如，晶体管，成组晶体管等)驱动RFG22的RF功率源(例如，RF电源等)，以产生具有所述状态的RF信号。
具有多个状态的RF信号是从RFG22经由RF缆线16发送到IMC14。IMC14将连接到IMC14的输出的负载的阻抗与连接到IMC14的输入的源极的阻抗相匹配，以产生修改的RF信号。源的实施例包括经由相应的RF缆线耦合到IMC14并且可操作的一个或多个RF产生器，并进一步包括将RF产生器耦合到IMC14的RF缆线。负载的实施例包括RF传输线12与等离子体室24。
IMC14经由RF传输线12提供修改的RF信号到等离子体室24的卡盘18。在修改的RF信号从IMC14供给到卡盘18时，工艺气体(例如，含氧气体、含氟气体、含碳和氟的气体，等)经由等离子体室24的上电极26中气体入口被供给到上电极26和卡盘18之间。含氧气体的例子包括氧气，含氟气体的例子包括四氟甲烷(CF4)、六氟化硫(SF6)、六氟乙烷(C2F6)、C4F6气体、C4F3气体、C3F8气体，等。当工艺气体和修改的RF信号两者被供给到等离子体室24时，在等离子体室24内产生或维持等离子体。
等离子体用于在衬底(例如，晶片，等)上执行一个或多个操作(例如，蚀刻、掺杂、离子注入、清洗、沉积、光刻图案化，等)以在衬底上形成集成电路。然后集成电路被切片和包装并在多种电子设备中使用，电子设备例如手机、电脑、平板电脑、相机、运动器材、手表等。
在一些实施方式中，RFG22包括感测(例如，检测、测量等)从RFG22的输出节点发送的RF信号的特性(例如，功率、电压、电流、阻抗，等)的一个或多个传感器(例如，电压传感器、电流传感器、复阻抗传感器、功率传感器等)。一个或多个传感器连接到RFG22的输出节点，并且RF信号是在输出端由RF产生器提供的。
在一些实施方式中，一个或多个传感器被连接到等离子体系统10的任何其他部分以在该部分测量RF信号的特性。
RFG22的专用处理器根据由RFG22产生的RF信号的特性或根据从控制器20接收的参数的值确定(例如，识别、计算，等)与一个或多个参数相关联的信息。与一个或多个参数相关联的信息的实施例包括供给的功率的值、输送功率的值、反射功率的值、伽马实部的值、伽马虚部的值、电压驻波比(VSWR)的值、从时钟信号的时钟沿推移的时间量、RFG22的控制器内的设定点、用于确定信息是否在预定范围的外部的状态向量(例如，报警矢量等)、参数的测得值、从控制器20接收的参数的值，它们的组合等。为了说明，输送的功率被计算为供给功率和反射功率之间的差。RFG22的控制器内的设定点经由专用通信链路30从控制器20接收。供给功率是从RFG22的输出经由RF缆线16供给到IMC14的功率。反射功率是经由RF传输线12和IMC14从等离子体室24反射的功率。作为另一说明，确定反射功率信号与供给功率信号之间的关系以产生伽玛值。
RFG22的物理层21的专用发送器(Tx)应用通信协议至一个或多个参数相关联的信息，以产生一个或多个传输单元，并且在时钟周期CB或时钟周期CA期间经由专用通信链路32发送一个或多个传输单元至控制器20的物理层23的专用接收器Rx。专用通信链路32是物理通信介质31的一部分。在多种实施方式中，物理层31的专用通信链路30和32减少数据包的冲突的几率。例如，当数据包沿控制器20和多个RFG(包括RFG22)之间的共享的通信链路发送时，数据包之间存在冲突，并且作为冲突的结果数据包中的一些丢失。在RFG22和控制器30之间的专用通信链路30和32降低这种冲突的机会。例如，数据包不能在另一RFG(而不是RFG22)和控制器20之间发送，因此，减少了冲突的机会。
控制器20的物理层21的专用接收器Rx应用通信协议至包括与一个或多个参数相关联的信息的一个或多个传输单元以提取信息，并将信息发送到控制器20的处理器。控制器20的处理器处理与一个或多个参数相关联的信息。例如，控制器20的处理器根据信息计算或确定针对RF信号的状态的参数的值(例如，根据传送功率和反射功率计算供给的功率，根据伽马和反射功率计算供给的功率，确定测量的功率，确定RFG22的控制器内的设定点，确定状态向量指示出现故障，等)，并且将该参数的值与在时钟周期CA期间经由专用通信链路30发送到RFG22的参数的值进行比较。控制器20的处理器判定针对RF信号的状态的参数的计算值是否经由专用通信链路30先前在时钟周期CA期间发送至RFG22的针对状态的参数的值的预定范围内。当判定参数的计算值先前在时钟周期CA期间发送至RFG22的针对状态的参数的值的预定范围内时，控制器20的处理器判定不修改先前发送到RFG22的参数的值。另一方面，在判定参数的计算值在先前在时钟周期CA期间发送至RFG22的参数的值的预定范围外时，控制器20的处理器判定修改针对RF信号的相同状态的参数的值，针对该状态的参数的值先前被发送到RFG22。
参数值的这种比较允许控制器20和RFG22在不等待以查询数据的准确性、不等待相同的数据包的重传以及没有超时的指示的情况下以高速率推送数据。例如，数据包是否由RFG22从控制器20接收的确认不是由RFG22的物理层21的专用接收器产生，以及数据包是否由控制器20从RFG22接收的确认不是由控制器20的物理层23的专用接收器产生。作为另一个例子，当从控制器20发送至RFG22的数据包的确认不是通过控制器22从RFG22在预定的时间段内接收时，不存在由控制器20对自身的超时的指示。作为另一个例子，当从RFG22发送至控制器20的数据包的确认不是通过RFG22从控制器20在预定的时间段内接收时，不存在由RFG22对自身的超时的指示。在一些实施方式中，超时通过数据包的发送者引发数据包的重新发送。
在多种实施方式中，在相同的时钟周期CA期间RFG22的物理层21的专用发送器Tx发送关于一个或多个参数的信息，其中用于产生信息的一个或多个传输单元由RFG22的专用接收器Rx接收。
在一些实施方式中，在时钟周期CA和CB之间存在预定数量的时钟周期。例如，出现一定数量的一个或多个时钟周期，在此期间，RF信号根据在时钟周期CA期间接收的参数由RFG22产生，在时钟周期CA期间一个或多个传感器感测RF信号的特性，并在此期间RFG22的专用处理器从所述特性确定与参数相关联的信息。时钟周期位于时钟周期CB和时钟周期CA之间。在一些实施方式中，在CA和CB之间预先确定数量的时钟周期期间，控制器20的物理层23的专用发送器Tx继续经由专用通信链路30发送一个或多个传输单元至RFG22。
在若干实施方式中，与一个或多个参数相关联的信息包括一个或多个位，该一个或多个位指示通过控制器20的物理层23的专用发送器先前在时钟周期CA期间发送的参数的值是否由RFG22的物理层21的专用接收器接收。控制器20的处理器根据一个或多个位判定RFG22的专用接收器是否接收参数的值。例如，控制器20的处理器比较位与先前在时钟周期CA期间发送给RFG22的参数的值，并且一旦确定位和值之间存在匹配，则处理器确定该RFG22接收在时钟周期CA期间发送的参数的值。另一方面，一旦确定位和值之间不存在匹配，则处理器确定RFG22不接收在时钟周期CA期间发送的参数的值。
在多种实施方式中，与一个或多个参数有关的信息包括参数的测量值。例如，RFG22包括测量参数的值的一个或多个传感器，通过应用通信协议从RFG22发送测量值到控制器20。由控制器20将测量值与先前在时钟周期CA期间发送至RFG22的参数的值相比较，以确定该参数的值是否由RFG22先前接收。例如，控制器20的处理器处理有关参数的信息来判定参数的计算值是否在经由专用通信链路30先前在时钟周期CA期间发送到RFG22的参数的值的预先确定的范围内。在判定针对状态的测量值是先前在时钟周期CA期间发送至RFG22的针对状态的参数的值的预先确定的范围内时，控制器20的处理器不修改在时钟周期期间发送到RFG22的针对状态的参数的值，所述时钟周期例如时钟周期CA、时钟周期CB，或下一时钟周期CC。在时钟周期CB之后发生下一时钟周期CC。另一方面，一旦判定状态的测量值不在先前在时钟周期CA期间发送至RFG22的针对状态的参数的值的预先确定的范围内时，控制器20的处理器将状态的测量值修改成处于预先确定的范围内，以在下一时钟周期期间经由专用通信链路30发送到RFG22。
在一些实施方式中，与一个或多个参数相关联的信息包括由控制器20的物理层23的专用发送器先前在时钟周期CA期间发送到RFG22的物理层21的专用接收器的参数的设定点。控制器20的处理器根据设定点判定是否RFG22的物理层21的专用接收器先前在时钟周期CA期间接收参数的设定点。例如，当判定从RFG22通过控制器20接收的针对状态的参数的设定值在由控制器20先前在时钟周期CA期间发送到RFG22的参数的值的预先确定的范围内，则控制器20的处理器确定不修改针对状态的参数的设定点以在下一个时钟周期期间发送到RFG22。另一方面，在确定从RFG22由控制器20接收的针对状态的参数的设定值在由控制器20先前发送至RFG22的参数的值的预先确定的范围之外时，控制器20的处理器确定将针对状态的参数的设定点修改成处于预先确定的范围内以用于在下一时钟周期期间发送到RFG22。
在一些实施方式中，当确定与一个或多个参数相关联的信息在时钟周期CA期间从控制器20向RFG22先前发送的设定点的值的预先确定的范围之外时，则控制器20的处理器产生报警数据。报警数据由控制器20的处理器呈现在显示设备上以显示给用户或以闪烁的光发送器的形式显示或以音频输出的形式提供来通知用户等离子体系统10的一部分(例如，RFG22内的一个或更多个组件、或等离子体室24内的一个或多个部件、或IMC14内的一个或多个组件，或它们的组合，等)出现故障或不操作。
在一些实施方式中，RFG22的专用处理器判定与一个或多个参数相关联的信息是否在先前在时钟周期CA期间发送至RFG22的设定点的值的预先确定的范围之外。当判定与一个或多个参数相关联的信息在先前在时钟周期CA期间发送至RFG22的设定点的值的预先确定的范围之外时，则RFG22的专用处理器产生报警数据。报警数据由RFG22的专用处理器发送到RFG22的物理层23的专用发送器。RFG22的物理层23的专用发送器Tx产生包括作为有效载荷的警报数据的一个或多个传输单元，并发送所述一个或多个传输单元至控制器20的物理层23的专用接收器。控制器20的物理层23的专用接收器接收一个或多个传输单元，并解析一个或多个传输单元以提取报警数据。报警数据从控制器20的专用接收器提供给控制器20的处理器，并且控制器20的处理器在显示装置上呈现报警数据以显示给用户，或以闪烁的光发送器的形式显示报警数据或以音频输出的形式提供音频数据来通知用户等离子体系统10的一部分出现故障或不操作。
在若干实施方式中，控制器20提供室设施(例如，将被提供到等离子体室24的气体的类型、进入等离子体室24的处理气体的速率、等离子体室24内的压强、卡盘18和上部电极26等之间的分隔，等)以控制各种机构件，例如，用于驱动用于控制卡盘18的运动与上部电极26的运动的电机以控制在上部电极26和卡盘18之间的分隔的驱动器，用于提供功率给加热器以控制等离子体室24内的温度的功率源，用于驱动控制到等离子体室24中的处理气体的流速的阀的驱动器，用于驱动控制约束环的运动以控制等离子体室24内的压力的马达的驱动器，等。
在多种实施方式中，应用通信协议的专用接收器(例如，物理层21的接收器、物理层23的接收器，等)不应用错误检查至传输单元，并不将错误指示给发送该传输单元的专用发送器(例如，物理层21的发送器、物理层23的发送器，等)。例如，专用接收器不应用校验和(checksum)至传输单元。作为另一例子，专用接收器不发送包括另一传输单元不从专用发送器接收的消息的传输单元。在实时动态等离子体系统10中错误检查和纠正的这种排除节省了时间，并增大与等离子体系统10相关联的数据速率。
在一些实施方式中，如本文中所使用的专用接收器是应用通信协议至一个或多个传输单元以提取一个或多个参数的一个或多个设定点或提取与一个或多个参数相关联的信息的收发器电路的部件。在这些实施方式中，专用接收器包括存储器设备(例如，缓冲器、队列，等)以存储所提取的一个或多个设定点或所提取的与一个或多个参数相关联的信息，以通过控制器的处理器或连接到专用接收器的专用处理器来读取。
在多种实施方式中，如本文所用的专用发送器是应用通信协议至一个或多个参数的一个或多个设定点或与一个或多个参数相关联的信息以产生一个或多个传输单元的收发器电路的部件。在这些实施方式中，专用发送器包括存储器设备(例如，缓冲器、队列，等)以从控制器的处理器或连接到专用发送器的专用处理器接收一个或多个设定点或与一个或多个参数相关联的信息，以产生一个或多个传输单元。
在若干实施方式中，如本文所用的物理层是既包括发送器电路又包括接收器电路或应用通信协议的通信装置的收发器或装置。
图1B是系统30的实施方式的示意图，以说明控制器22和RFG22之间的通信。控制器22的处理器产生一个或更多个参数的一个或更多个设定点，并提供一个或多个设定点给控制器22的物理层23的专用发送器Tx。控制器22的物理层23的专用发送器应用通信协议至一个或更多个设定点，以产生一个或更多个传输单元，并在时钟周期CA期间经由专用通信链路30发送一个或更多个传输单元给RFG22的物理层21的接收器接口Rx。RFG22的物理层21的接收器接口Rx应用通信协议至一个或更多个传输单元，以提取一个或更多个设定点，并提供一个或更多个设定点至RFG22的专用处理器。
专用处理器根据一个或更多个设定点判定设定点是否对应于RF信号的状态S0或S1以及设定点是否是频率值或功率值。此外，专用处理器判定从时钟源接收到的时钟信号是否具有状态S1或状态S0。在确定设定点是针对RF信号的状态S1和具有功率值时并确定时钟信号指示状态S1时，专用处理器发送设定点至功率控制器PWRS1。另一方面，当确定设定点是针对射频信号的状态S0和具有功率值时并确定时钟信号表示状态S0时，专用处理器发送设定点至功率控制器PWRS0。此外，在确定设定点是针对RF信号的状态S1和具有频率值时并确定时钟信号指示状态S1时，专用处理器发送设定点至自动频率调谐器(AFT)AFTS1。在确定设定点是针对RF信号的状态S0和具有频率值时和确定时钟信号表示状态S0时，专用处理器发送设定点至AFTS0。在一些实施方式中，AFT是控制器。
在时钟信号的状态S1期间，功率控制器PWRS1产生驱动功率值，并且提供所述驱动功率值至RFG22的RF功率源，使得RFG22产生具有所述驱动功率值的RF信号，所述驱动功率值是根据针对RF信号的状态S1的功率设定点确定的或与其相同。类似地，在时钟信号的状态S0期间，功率控制器PWRS0产生驱动功率值，并且提供所述驱动功率值至RFG22的RF功率源，使得RFG22产生具有驱动功率值的RF信号，所述驱动功率值是根据针对RF信号的状态S0的功率设定点确定的或与其相同。
此外，在时钟信号的状态S1期间，AFTS1产生驱动频率值，并提供频率功率值至RFG22的RF功率源，使得RFG22产生具有所述频率功率值的RF信号，所述驱动频率值根据针对RF信号的状态S1的频率设定点确定或与其相同。类似地，在时钟信号的状态S0期间，AFTS0产生驱动频率值，并提供所述频率功率值至RFG22的RF功率源，使得RFG22产生具有所述频率功率值的RF信号，所述驱动频率值是根据针对RF信号的状态S0的频率设定点确定或与其相同。
在一些实施方式中，设定点包括功率值或频率值和RF信号的状态，该值将在该状态期间实现。
传感器(例如，复电压和电流传感器、功率传感器、阻抗传感器等)测量在RFG22的输出的一个或更多个参数。由RFG22产生的RF信号经由输出发送至IMC14。所测得的一个或多个参数被提供至专用处理器，专用处理器产生与来自一个或多个测得的参数中的一个或多个参数相关联的信息。在一些实施方式中，与一个或多个参数相关联的信息是测得的一个或多个参数。专用处理器发送与一个或多个参数相关联的信息至RFG22的物理层21的专用发送器Tx。
RFG22的物理层21的专用发送器Tx应用通信协议至与一个或多个参数有关的信息，以产生一个或多个传输单元并在时钟周期CB或时钟CA或另一时钟周期期间经由专用通信链路32发送一个或多个传输单元至控制器22的物理层23的专用接收器Rx。控制器22的物理层23的专用接收器应用通信协议以提取与一个或多个参数相关联的信息并提供与一个或多个参数相关联的信息至控制器22的处理器。
控制器22的处理器根据与一个或多个参数相关联的信息判定一个或多个参数的一个或多个设定点是否将被修改，并且如果是的话，则产生修改的设定点。修改的设定点由处理器提供至控制器20的物理层23的专用发送器。控制器20的物理层23的专用发送器应用通信协议至一个或多个设定点，以产生一个或多个传输单元，并在时钟周期CC、在时钟周期CB、时钟周期CA或另一时钟周期期间经由专用通信链路30发送一个或多个传输单元至RFG22的专用发送器Tx以用于修改由RFG22产生的RF信号的一个或多个参数。
图2A是示出了系统202的实施方式的示意图以说明在多个本地控制器、多个RF产生器和主系统控制器204之间使用通信协议。系统202包括主计算机系统200，主计算机系统200进一步包括本地控制器，如，共控制器1、共控制器2、共控制器3、原始控制功能共控制器，和非关键数据控制器等。主计算机系统200是控制器20的实施例(图1A)。应当注意的是，共控制器1被示为图2A中“CoreBd-共处理#1”。此外，共控制器2被示为在图2A中的“CoreBd-共处理#2”，而共控制器3被示出为在图2A中“CoreBd-共处理#3”。另外，原始控制功能共控制器被示为在图2A中“CoreBd-原始控制功能”，而非关键数据控制器被示为“CoreBd-本地主(非临界数据处理器)”。主计算机系统200还包括主系统控制器204和交换机212。
主系统控制器204的处理器产生命令以发送给本地控制器中的一个。例如，主系统控制器204的处理器产生包括用于RFG1的一个或多个参数的一个或多个设定点(例如，值等)的命令。连接到主系统控制器204的物理层的发送器根据由主系统控制器204的处理器通过应用通信协议产生的命令产生一个或多个传输单元并经由物理通信介质207a的通信链路发送一个或多个传输单元至交换机212，所述物理通信介质207a的通信链路将与主系统控制器204相关联的物理层与交换机212相连接。与主系统控制器204相关联的物理层是连接到主系统控制器204的物理层。
交换机212经由物理通信介质207b的专用通信链路传送一个或多个传输单元至原始控制功能共控制器的专用物理层202d的专用接收器，所述专用通信链路将交换机212连接到专用接收器。例如，交换机212识别包含于传输单元的原始控制功能共控制器的目标端口的身份并传送所述传输单元至目标端口。
连接到原始控制功能共控制器的专用物理层202d的专用接收器接收来自主系统控制器204的一个或多个传输单元并应用通信协议至一个或多个传输单元，以从一个或多个传输单元提取命令。原始控制功能共控制器的专用物理层202d的专用接收器还判定该命令指定要发送到RFG1。所述命令和关于该命令指定要发送到RFG1的判定是从专用物理层202d的专用接收器提供给原始控制功能共控制器的处理器。原始控制功能共控制器的处理器将命令和关于该命令指定要发送到RFG1的判定提供至连接到原始控制功能共控制器的专用板内物理层208d。原始控制功能共控制器的专用板内物理层208d经由物理通信介质207c的专用通信链路发送命令至交换机212，它经由物理通信介质207d的专用通信链路传送命令至连接到共控制器1的专用板内物理层208a。专用板内物理层208a发送命令至共控制器1的处理器。共控制器1的处理器根据命令和关于该命令被指定要发送到RFG1的判定来判定一个或多个参数(例如，参数的设定点、参数值，等)将被发送至RFG1，并提供包括一个或多个参数的控制信号至连接至共控制器1的专用物理层202a的专用发送器。
共控制器1的专用物理层202a的专用发送器应用通信协议至一个或多个参数，以产生一个或多个传输单元并在时钟周期CA期间经由物理通信介质206a的专用通信链路DCL1发送一个或多个传输单元至RFG1的物理层203a的专用接收器。物理层203a的专用接收器应用通信协议至一个或多个传输单元，以从一个或多个传输单元提取一个或多个参数，并提供一个或多个参数至RFG1的专用处理器。RFG1的专用处理器控制RFG1的RF功率源，以产生具有从共控制器1接收的一个或多个参数的一个或多个设定点(例如，一个或多个值，等)的RF信号。
RFG1的专用处理器产生与一个或多个参数有关的信息，并提供信息至RFG1的物理层203a的专用发送器。RFG1的物理层203a的专用发送器应用通信协议至与一个或多个参数相关联的信息，以产生一个或多个传输单元并在时钟周期CB或时钟周期CA或其他时钟周期期间使该一个或多个传输单元经由物理通信介质206a的专用通信链路DCL2与连接到共控制器1的专用物理层202a的专用接收器通信。
专用物理层202a的专用接收器应用通信协议以从一个或多个传输单元提取与一个或多个参数相关的信息，并提供该信息到共控制器1的处理器。共控制器1的处理器提供与一个或多个参数相关联的信息给与共控制器1连接的专用板内物理层208a。专用板内物理层208a经由物理通信介质207d的专用通信链路发送与一个或多个参数相关联的信息至交换机212。交换机212经由物理通信介质207c的专用通信链路传送与一个或多个参数相关联的信息至连接到原始控制功能共控制器的专用板内物理层208d。专用板内物理层208d提供与一个或多个参数相关联的信息至原始控制功能控制器的处理器。原始控制功能控制器的处理器发送与一个或多个参数相关联的信息至连接到原始控制功能控制器的专用物理层202d的专用发送器。连接到原始控制功能控制器的专用物理层202d的专用发送器应用通信协议至与一个或多个参数相关联的信息，以产生一个或多个传输单元并经由物理通信介质207b的专用通信链路发送一个或多个传输单元至交换机212。交换机212根据一个或多个传输单元判定一个或多个传输单元被指定要发送给主系统控制器204，并且经由物理通信介质207a发送一个或多个传输单元至与主系统控制器204相关联的物理层的接收器。交换机212经由物理通信介质207a的通信链路传送一个或多个传输单元至与主系统控制器204相关联的物理层的接收器。
与主系统控制器204相关联的物理层的接收器应用通信协议以提取与一个或多个参数有关的信息，并提供该信息到主系统控制器204的处理器。主系统控制器204的处理器根据与一个或多个参数相关联的信息判定针对相同的状态是否修改一个或多个参数的值，针对该状态先前在时钟周期CA期间一个或多个参数由控制器1发送到RFG1。一旦确定修改一个或多个参数的一个或多个值，那么将修改的一个或多个值以类似于上面描述的方式通过共控制器1发送至RFG1。另一方面，在确定不修改一个或多个参数的值时，将未修改的值以类似于上述的方式经由共控制器1发送到RFG1。在时钟周期CA或在时钟周期CA之后的任何其他时钟周期期间共控制器1发送修改或未修改的值。
在一些实施方式中，主系统控制器204使用传输控制协议(TCP)或TCP经过IP与RFG通信。
在一些实施方式中，命令由主系统控制器204指定以发送到RFG2或RFG3而不是RFG1。当命令指定被发送到RFG2时，命令以与命令被发送到RFG1的上述方式类似的方式发送，不同的是，该命令经由物理通信介质207a、交换机212、物理通信介质207e的专用通信链路、连接到共控制器2的专用板内物理层208b、物理通信介质206b的专用通信链路、RFG2的物理层203b的专用接收器203b被发送至RFG2的专用处理器。此外，当命令指定要发送到RFG3时，该命令以与命令被发送到RFG1的上述方式类似的方式发送，不同的是，该命令经由物理通信介质207a、交换机212、物理通信介质207f的专用通信链路、连接到共控制器3的专用板内物理层208c、物理通信介质206c的专用通信链路、和RFG3的物理层203c的专用接收器被发送至RFG3的专用处理器。
在一些实施方式中，命令从主系统控制器204同时或顺序地发送到所有的RFG1、RFG2、和RFG3。
在多种实施方式中，与一个或多个参数有关的信息由RFG2产生，并从物理层203b的专用发送器经由物理通信介质206b的专用通信链路、物理层208b的专用接收器、连接到共控制器2的专用板内物理层202b、物理通信介质207e的专用通信链路、交换机212、和物理通信介质207a的通信链路发送至主系统控制器204。此外，与一个或多个参数有关的信息由RFG3产生，并从物理层203c的专用发送器经由物理通信介质206c的专用通信链路、物理层202c的专用接收器、连接到共控制器3的专用板内物理层208c、物理通信介质207f的专用通信链路、交换机212和物理通信介质207a的通信链路发送至主系统控制器204。
在一些实施方式中，共控制器1、专用物理层202a、和专用板内物理层208a位于板209a上。此外，共控制器2、专用物理层202b和专用板内物理层208b位于板209b上。另外，共控制器3、专用物理层202c和专用板内物理层208c位于板209c上。原始控制功能共控制器、专用物理层202d和专用板内物理层208d位于板209d上。非关键数据控制器、连接到非关键数据控制器的物理层，和连接到非关键数据控制器的专用板内物理层位于板209e上。在一些实施方式中，板为印刷电路板。
在多种实施方式中，系统202中使用的板的数量随着使用的RF产生器的数量一起修改。例如，如果系统202包括RFG1和RFG2，则使用电路板209a和209b，而不使用板209c。
在一些实施方式中，系统202不包括板209e和例如非关键数据控制器、连接到非关键数据控制器的物理层，和连接到非关键数据控制器的专用板内物理层之类的部件。
在多种实施方式中，RFG1、RFG2、RFG3和主系统控制器204中的每个包括TCP/IP端口并通过TCP/IP端口相互通信。
在一些实施方式中，通过连接到主系统控制器204的物理层或通过连接到主系统控制器204、一个或多个RFG的TCP/IP端口配置主系统控制器204。例如，主系统控制器204通过连接到主系统控制器204的TCP/IP端口和连接到RFG1的TCP/IP端口发送命令至RFG1，并且该命令对RFG1的物理层203a指示与一个或多个参数相关联的信息要被发送至共控制器1。此外，主系统控制器204通过连接到主系统控制器204的TCP/IP端口和连接到RFG2的TCP/IP端口发送命令至RFG2，并且该命令对RFG2的物理层203b指示与一个或多个参数相关联的信息要被发送至共控制器2。主系统控制器204通过连接到主系统控制器204的TCP/IP端口和连接到RFG3的TCP/IP端口发送命令到RFG3，并且该命令对RFG3的物理层203c指示与一个或多个参数相关联的信息要被发送至共控制器3。作为另一例子，通过连接到主系统控制器204的物理层和连接到RFG的共享物理层配置每个RFG。
在一些实施方式中，与共控制器相关联(例如，连接，等)的物理层的专用发送器不能发送一个或多个传输单元到多于一个的RFG。类似地，在多种实施方式中，RFG的物理层的专用发送器不能发送一个或多个传输单元给多于一个的共控制器。此外，在一些实施方式中，与共控制器相关联的物理层的专用接收器不能从多于一个的RFG接收一个或多个传输单元。在若干实施方式中，RFG的物理层的专用接收器不能从多于一个的共控制器接收一个或多个传输单元。
在多种实施方式中，在与共控制器相关联的专用物理层和与RFG相关联的专用物理层(例如，连接到RFG的专用处理器的物理层)之间存在双推送。例如，不存在通过共控制器产生的用于发送给RFG的专用处理器以提供与一个或多个参数相关联的信息的请求。一旦RFG被配置为通过主系统控制器204或通过共控制器传送与一个或多个参数相关联的信息，与RFG相关联的专用物理层连续地发送(例如，没有被请求，等)具有与一个或多个参数相关联的信息的一个或多个传输单元至与共控制器相关联的专用物理层。与RFG相关联的专用物理层连续地发送具有该信息的一个或多个传输单元，直到主系统控制器204或共控制器发送命令到RFG以停止发送与一个或多个参数有关的信息。此外，不存在由RFG的专用处理器产生的用于请求共控制器发送一个或多个参数的一个或多个设定点的请求。共控制器被编程以从RFG接收与一个或多个参数相关联的信息，并分析该信息以判定是否修改一个或多个参数的一个或多个设定点以用于发送给RFG。
图2B是系统211的实施方式的示意图，以说明多个共控制器位于在同一板213(例如印刷电路板等)上而不是在分离的板上。在系统211中，没有使用专用板内物理层，例如，板内接收器和板内发送器等。系统211类似于系统202(图2A)，不同的是系统211包括主计算机系统217，主计算机系统217是控制器20(图1A)的实施例。主计算机系统217不具有专用板内物理层。此外，系统211不具有交换机212。在系统211中，连接到主控制器204的物理层用于发送命令或接收与一个或多个参数相关联的信息。此外，主控制器204经由物理通信介质219连接到专用物理层202d。替代经由物理通信介质207a(图2A)、交换机212，和专用物理通信线路207b(图2A)与主系统控制器204进行通信，专用物理通信介质219用于使一个或多个传输单元在专用物理层202d和连接到主系统控制器204的物理层之间通信。另外，系统211具有使共控制器1、共控制器2、共控制器3、原始控制功能共控制器，和非关键数据控制器互连的并行总线215。替代经由专用板内物理层和交换机212在共控制器之间通信，主计算机系统217的共控制器经由总线215彼此进行通信。
在一些实施方式中，总线215是专用的并定制成在共控制器1、共控制器2、共控制器3、原始控制功能共控制器和非关键数据控制器之间通信。例如，总线215有利于共控制器1、共控制器2、共控制器3、原始控制功能共控制器、和非关键数据控制器中的任何两个之间以纳秒的数量级通信。共控制器1、共控制器2、共控制器3、原始控制功能共控制器、和非关键数据控制器中的每个连接到通用输入/输出(GPIO)控制器，GPIO控制器通过多个GPIO引脚进一步连接到总线215。GPIO控制器执行各种功能，例如，基于总线215的带宽，共控制器1、共控制器2、共控制器3、原始控制功能共控制器、和非关键数据控制器之间的协商通信速率等控制共控制器1、共控制器2、共控制器3、原始控制功能共控制器、和非关键数据控制器之中的通信速率。
在一些实施方式中，每个共控制器和连接到共控制器的专用物理层是在单独的板上。例如，共控制器1与专用物理层202a位于第一印刷电路板上，共控制器2和专用物理层202b位于第二印刷电路板上，而共控制器3和专用物理层202c位于第三印刷电路板上。每个板通过相应的GPIO控制器和相应的GPIO引脚连接到总线215上。这样的板的配置提供了模块化，并便于板的连接和拆卸。
在多种实施方式中，专用物理层203a位于RFG1内，专用物理层203b位于RFG2内，并且专用物理层203c位于RFG3内。
图2C是系统250的实施方式以说明专用板内物理层254a、254b和254c，与共控制器1、2和3之间的点对点通信的示意图。系统250类似于系统202(图2A)，所不同的是系统250不包括板209d和209e(图2A)和交换机212(图2A)。在系统250中，专用板内物理层254a、254b以及254c中的每一个被连接到主系统控制器204。此外，专用板内物理层254a经由专用物理通信介质256a连接到专用板内物理层208a，专用板内物理层254b经由专用物理通信介质256b连接到专用板内物理层208b，而专用板内物理层254c经由专用物理通信介质256c连接到专用板内物理层208c。板209a、209b和209c位于主计算机系统252内，主计算机系统252是控制器20(图1A)的实施例。
另外，在系统250中，命令是从连接至主系统控制器204的专用板内物理层254a经由专用物理通信介质256a发送至专用板内物理层208a，或命令从连接至主系统控制器204的专用板内物理层254b经由专用通信介质256b发送到专用板内物理层208b，和/或指令从连接到主系统控制器204的专用板内物理层254c经由专用物理通信介质256c发送到专用板内物理层208c。同样，在系统250中，当与一个或多个参数相关联的信息从RFG1接收时，该信息从连接至共控制器1的专用板内物理层208a经由专用物理通信介质256a发送到连接至主系统控制器204的专用板内物理层254a。另外，当与一个或多个参数相关联的信息从RFG2接收时，该信息从连接至共控制器2的专用板内物理层208b经由专用物理通信介质256b发送到连接至主系统控制器204的专用板内物理层254b。另外，当与一个或多个参数相关联的信息从RFG3接收时，该信息从连接至共控制器3的专用板内物理层208c经由专用物理通信介质256c发送到连接至主系统控制器204的专用板内物理层254c。
在一些实施方式中，由主系统控制器204执行的本文所述的操作描由共控制器1、共控制器2，或共控制器3执行。例如，替代主系统控制器基于与从RFG1接收的一个或多个参数相关联的信息来判定是否触发报警，共控制器进行判定。作为另一实施例，替代主系统控制器204应用计算机产生的模型来确定要提供给RFG1的参数的设定点，共控制器1进行确定。下面进一步描述计算机产生的模型。
图3是说明传输单元300(例如，数据报，数据包等)的一种实施方式的示意图。传输单元包括报头字段和有效载荷字段，例如，包括与针对RF信号的一个或多个状态的一个或多个参数相关联的信息的字段，包括针对一个或多个状态的参数的设定点的字段，包括参数的类型的字段等。参数的类型的例子包括RF信号的功率、频率、脉冲宽度等。报头字段包括用于传输单元从其被发送的源端口的身份标识的字段，用于指定为接收传输单元的目的端口的身份标识的字段，用于报头和连接到报头的有效载荷的组合长度的字段，以及用于校验和值的字段。
在多种实施方式中，传输单元300被定制(例如，使用定制的协议产生等)以排除用于识别源端口的源端口字段和用于识别的目的端口的目的端口字段。在点对点通信中，无需识别源端口和目的端口。该排除增大了控制器20和RFG22(图1A)之间的数据速率。
在一些实施方式中，报头被定制(例如，使用定制的协议产生等)以排除用于校验和值的字段和/或用于有效载荷和报头的组合长度的字段。该排除增大了控制器20和RFG22之间的数据速率。
在多种实施方式中，校验和值由发送传输单元300的发送器(例如，源端口等)产生。校验和值从传输单元300的有效载荷、或传输单元300的报头或它们的组合产生。校验和值与由传输单元300的接收器(例如，目的端口，等)计算出的另一校验和值比较，以判定传输单元300的有效载荷和/或报头在从发送器到接收器的传送过程中是否修改。
在一些实施方式中，数据报被嵌入IP数据包中，IP数据包进一步嵌入以太网数据包中。
在多种实施方式中，传输单元300被定制(例如，使用定制的协议产生，等)使得字段在与图3所示的位置不同的位置。例如，用于有效载荷的字段在用于长度的字段之前。作为另一示例，用于目的端口的字段在用于源端口的字段之前或用于长度的字段之后。定制协议是由产生一个或多个定制的传输单元的物理层应用，所述一个或多个定制的传输单元是采用定制的协议产生的传输单元。
图4是多个曲线图402至404的示意图以说明RF信号406的多个状态S0至Sn，其中n是大于0的整数。RF信号406是由RF产生器所产生的RF信号的例子。曲线图402描绘时钟信号408(例如，晶体管-晶体管逻辑(TTL)信号，等)与时间t的关系。曲线图404绘制了RF信号406与时间t的关系。当时钟信号408处于状态1(例如，高状态、高电平，等)时，RF信号406具有多个状态S0、S1、S2、S3、S4等直到状态S(n-1)和Sn。例如，RF信号406具有八个状态S0到S7。作为另一实施例，RF信号406具有20个状态S0至S20。多个状态S0至Sn对应于RF信号406的高状态，例如，当时钟信号408处于状态0(例如，低状态、低电平，等)时，在每个状态的RF信号406的功率值比RF信号406的功率值高。
RF信号406同步于时钟信号408。例如，当时钟信号408在高状态时，RF信号406也处于高状态，例如，当时钟信号处于状态0时，状态S0至Sn的RF值大于RF信号406的RF值，等。作为另一实施例，当时钟信号408处于低状态时，RF信号406也处于低状态，例如，当时钟信号处于状态1时，RF信号406的RF值低于在状态S0至Sn的RF信号的RF值，等。
在一些实施方式中，替代或附加于RF信号406在时钟信号408的高状态期间具有多种状态，RF信号406在时钟信号408的低状态期间具有多个状态。在时钟信号408的低状态期间的具有多个状态的RF信号406的RF值比在时钟信号408的高状态期间RF信号的RF值低。
在一些实施方式中，在时钟信号408处于状态0时出现类似于RF信号的状态S1至Sn的一个或多个状态。例如，RF信号在时钟信号408在状态1时具有多个状态，并在时钟信号408处于状态0时具有多个状态。
在一些实施方式中，在时钟信号408处于状态0时出现类似于RF信号的状态S1至Sn的一个或多个状态，在时钟信号408处于状态1时不出现RF信号的状态S1至Sn。
在多种实施方式中，RF信号406为正弦形式。例如，每一个状态期间，RF信号振荡以形成正弦信号。
图5是系统500的实施方式的示意图以说明本地处理器板系统510和RFG之间以及本地处理器板系统510和另一本地处理器板系统514之间的数据通信。本地处理器板系统510是板209a(图2A)、或板209b(图2A)、或板209c(图2A)的实施例。本地处理器板系统514是板209d(图2A)的例子。RFG是RFG1、或RFG2、或RFG3的实施例。
RFG被配置为引发发送与一个或多个参数相关联的信息经由RFG的物理层521至本地处理器板系统510。RFG由本地处理器板系统514的处理器经由本地处理器板系统514的共享物理层513、物理通信介质527的共享通信链路、和RFG的物理层52配置。例如，共享物理层513应用通信协议至配置信息，以产生一个或多个传输单元。物理层521经由物理通信介质527的共享通信链路从共享物理层513接收具有配置信息的一个或多个传输单元。物理层521应用通信协议至具有配置信息的一个或多个传输单元以提取配置信息并提供配置信息给RFG的专用处理器。在阅读了配置信息时，RFG的专用处理器确定引发发送与一个或多个参数相关联的信息。当确定要发送与一个或多个参数相关联的信息时，RFG的专用处理器将信息发送到RFG的专用物理层523以应用通信协议来产生一个或多个传输单元。
共享的物理层513和物理通信介质527的共享通信链路在RFG1、RFG2和RFG3之间共享。例如，本地处理器板系统514的处理器配置RFG1的专用物理层、RFG2的专用物理层和RFG3的专用物理层以引发发送与一个或多个参数相关联的信息。通过从共享物理层513经由物理通信介质527的共享通信链路发送配置命令到RFG1、RFG2和RFG3中的每个的物理层完成配置。RFG1、RFG2和RFG3中的每个经由其相应的物理层连接到物理通信介质527。
RFG的专用物理层523在由本地处理器板系统514配置时，通过应用UDP或定制协议至与一个或多个参数相关联的信息来产生一个或多个传输单元。RFG的专用物理层523的专用的发送器经由物理通信介质507的专用通信链路506将具有与一个或多个参数相关联的信息的一个或多个传输单元等推送(例如，传送等)至本地处理器板系统510的物理层502，例如，芯片，集成电路等。然后，本地处理器板系统510的物理层502的专用发送器产生包括关于一个或多个参数的一个或更多个设定点(例如，一个或多个值，等)的传输单元，例如，传输单元300(图3)，等。在一些实施方式中，设定点由本地处理器板系统510从主系统控制器204(图2A)接收。
基于与一个或更多个参数关联的信息来产生设定点。例如，与一个或更多个参数关联的信息与预先确定的范围比较，以产生设定点。产生设定点，使得与在设定点发送至RFG之后接收的一个或更多个参数关联的信息位于预先确定的范围内。图6提供了由物理层502的专用发送器产生并发送的传输单元的示例。一个或更多个参数的一个或更多个设定点关联于RF信号等的一个或更多个状态，例如状态S0和S1、或者状态S0、或者状态S1、或者状态S0和S1以及S2、或者状态S0至S2、或者状态S0至S3、或者状态S0至S4、或者状态S0至S5、或者状态S0至S(n-1)、或者状态S0至Sn等。物理层502的专用发送器经由物理通信介质507的专用通信链路504将传输单元发送至RFG(例如RFG1等)的物理层523的专用接收器。
RFG产生具有经由专用通信链路504接收的设定点的RF信号。基于RF信号，与一个或更多个参数关联的信息由RFG产生并由物理层523的专用发送器封装在一个或更多个传输单元内。然后，物理层502的专用接收器从RFG的物理层523的专用发送器，经由物理通信介质507的专用通信链路506接收包含与一个或更多个参数关联的信息的一个或更多个传输单元(例如传输单元300等)。图7提供了由物理层502的专用接收器接收的传输单元的示例。
物理层502的专用接收器应用通信协议来从传输单元提取与一个或更多个参数关联的信息，并将该信息提供至处理器，例如本地处理器板系统510的共控制器1的处理器、或者共控制器2的处理器、或者共控制器3的处理器等。在一些实施例中，当本地处理器板系统510具有与其集成的共控制器1时，RFG是RFG1，并且RFG的物理层是物理层203a(图2A)。此外，当本地处理器板系统510具有与其集成的共控制器2时，RFG是RFG2，并且RFG的物理层是物理层203b(图2A)。此外，当本地处理器板系统510具有与其集成的共控制器3时，RFG是RFG3，并且RFG的物理层是物理层203c(图2A)。
本地处理器板系统510的处理器从与一个或更多个参数关联的信息确定与RF信号的一个或更多个状态(例如状态S0和S1、或者状态S0、或者状态S1、或者状态S0和S1以及S2、或者状态S0至S2、或者状态S0至S3、或者状态S0至S4、或者状态S0至S5、或者状态S0至S(n-1)、或者状态S0至Sn等)关联的一个或更多个设定点是要修改的，并修改一个或更多个设定点，以产生一个或更多个修改的设定点。
本地处理器板系统510的处理器将一个或更多个修改的设定点提供至物理层502的专用发送器。物理层502的专用发送器对一个或更多个修改的设定点适用通信协议以产生传输单元(例如传输单元300、图6所示的传输单元等)，并经由专用通信链路506将该传输单元发送至RFG的物理层523的专用接收器。在各种实施例中，由本地处理器板系统410从主系统控制器204接收一个或更多个修改的设定点。
在一些实施例中，在本地处理器板系统510与本地处理器板系统514之间有板对板通信。作为示例，与一个或更多个参数关联的信息从与本地处理器板系统510的共控制器(例如共控制器1、共控制器2、共控制器3等)连接的物理层516的专用发送器Tx2，经由物理通信介质519的第一专用通信链路，传输至本地处理器板系统514的物理层512的专用接收器。物理层512的专用接收器将与一个或更多个参数关联的信息发送至与物理层512和513连接的共控制器，例如共控制器1、共控制器2、共控制器3、基本控制功能共控制器等。作为另一个示例，一个或更多个参数的一个或更多个设定点由本地处理器板系统514的物理层512的专用发送器从本地处理器板系统514的共控制器接收，并由专用发送器经由物理通信介质519的专用通信链路发送至本地处理器板系统510的物理层516的专用接收器。
在一些实施例中，本地处理器板系统514包含主系统控制器204(图2A)，而非共控制器。
在多种实施例中，由本地处理器板系统510的物理层502的专用接收器从RFG的物理层523的专用发送器接收传输单元的速率大于或者等于传输单元从物理层502的专用发送器发送到RFG的物理层523的专用接收器的速率。这样的匹配的或者增加的接收速率便于本地处理器板系统510的处理器基于从RFG的物理层523的专用发送器接收的传输单元中的一个或更多个参数所关联的信息，确定是否要修改针对一个或更多个状态的一个或更多个参数的一个或更多个值。
在一些实施例中，由物理层502的专用接收器从RFG的物理层523的专用发送器接收传输单元的速率，小于传输单元从本地处理器板系统510的专用发送器发送到RFG的物理层523的专用接收器的速率。
在实施例中，专用发送器(例如本地处理器板系统510的物理层502的发送器、RFG的物理层523的专用发送器等)通过将多个传输单元组合来产生突发(burst)传输单元(例如突发数据包、突发帧等)，以产生一系列传输单元。突发传输单元减小每个传输单元的开销，并且与分开发送传输单元相比实现更高的数据速率。例如，每个传输单元中的源端口和目的地端口的身份的指示是不需要的。在该示例中，对于被组合的多个传输单元指示源端口和/或目的地端口。作为另一个示例，在突发传输单元的情况下，突发传输单元内的每个数据包的报头是不需要的，例如指示数据包的开始和终止的分离位是不需要的等。例如，在成帧的突发传输单元的情况下，在帧中的第一数据包之前使用报头，并且帧中的剩余数据包不具有报头。第一数据包之前的报头指示帧的开始。这样的减小的是有效载荷，节省时间，并增大数据传输速率。
此外，由本地处理器板系统510的专用发送器产生并组合多个传输单元所花费的时间允许本地处理器板系统510或者主系统控制器204的处理器在模型的输出处计算输出数据和/或产生等离子体系统10的一部分的模型(图1A)。等离子体系统10的一部分(例如RF线缆16(图1A)、IMC14(图1A)、RF传送线12(图1A)、吸盘18(图1A)、RF线缆16和IMC14的组合、RF线缆16和IMC14和RF传送线12的组合、或者RF线缆16和IMC14和RF传送线12和吸盘18的组合等)的模型存储在本地处理器板系统510的存储器设备或者主系统控制器204的存储器设备中。模型具有与等离子体系统10的部分的特性类似的特性，例如电容、电感、复功率、复电压和电流等。例如，模型与等离子体系统10的部分内具有相同数量的电容器和/或电感器，并且电容器和/或电感器彼此以与等离子体系统10的部分内的电容器和/或电感器的连接方式相同的方式连接，例如串联、并联等。举例而言，当IMC14包含与电感器串联耦合的电容器时，IMC14的模型也包含与电感器串联耦合的电容器。
作为另一个示例，等离子体系统10的部分包含一个或更多个电组件，并且模型是该部分的设计，例如计算机产生的模型等。在一些实施例中，计算机产生的模型基于经由输入硬件单元从用户接收的输入信号，由本地处理器板系统510或者主系统控制器204的处理器产生。输入信号包含关于哪些电组件(例如电容器、电感器等)要包含在模型中、以及电组件互相彼此耦合的方式(例如串联、并联等)的信号。作为又一个示例，等离子体系统10的部分包含硬件电组件和在电组件之间的硬件连接，并且模型包含硬件电组件和硬件连接的软件表示。本文使用的电组件的示例包含电阻器、电容器、和电感器。
在一些实施例中，主系统控制器204或者本地处理器板系统510的处理器基于输入至模型的数据以及模型的组件的特性，在模型的输出处产生输出数据。例如，由主系统控制器204或者本地处理器板系统510的处理器计算模型的电组件的复电压与模型的输入节点处的复电压的直和(directionalsum)，以计算模型的输出节点处的复电压。输入节点处的复电压是与一个或更多个参数关联的信息的示例。作为另一个示例，由主系统控制器204或者本地处理器板系统510的处理器计算模型的电组件的复电流与模型的输入节点处的复电流的直和，以计算模型的输出节点处的复电流。输入节点处的复电流是与一个或更多个参数关联的信息的示例。应该注意的是，在一些实施例中，主系统控制器204或者本地处理器板系统510的处理器根据与一个或更多个参数关联的信息，计算复电压、复电流、或者复电压和电流。模型的输入节点处的输入的示例包含由物理层502的专用接收器从RFG接收的一个或更多个参数所关联的信息。输出节点处的输出由主系统控制器204或者本地处理器板系统510的处理器使用，以确定是否针对时钟周期(例如时钟周期CC、时钟周期CA、时钟周期CB等)期间的RF信号的一个或更多个状态(例如状态S0至S7的任一个等)修改参数的值。
在多种实施例中，主系统控制器204或者本地处理器板系统510的处理器从一个或更多个参数所关联的信息抽取数据，以减小信息量。例如，主系统控制器204或者本地处理器板系统510的处理器对一个或更多个参数所关联的信息应用统计操作(诸如例如插入排序操作、或者合并排序操作、或者移动四分位距(IQR)计算操作、或者四分位距计算操作、或者最大值计算操作、或者最小值计算操作、或者均值计算操作、或者中位数值计算方法、或者方差值计算方法、或者标准偏差值计算方法、或者移动均值计算方法、或者移动中位数值计算方法、或者移动方差值计算方法、或者移动标准偏差值计算方法、或者模式、或者移动模式、或者其组合等)，以从与一个或更多个参数关联的信息的多个值产生第一统计值。主系统控制器204或者本地处理器板系统510的处理器将第一统计值与由处理器根据先前的时钟周期(例如时钟周期CA等)期间发送的一个或更多个设定点产生的第二统计值进行比较。当从第二统计值确定第一统计值不在预先确定的范围内时，主控制器系统204或者本地处理器板系统510的处理器修改一个或更多个参数的一个或更多个设定点来实现第一统计值并以上述方式将一个或更多个修改的设定点发送至RFG。另一方面，当从第二统计值确定第一统计值在预先确定的范围内时，主控制器系统204或者本地处理器板系统510的处理器不修改一个或更多个参数的一个或更多个设定点，并将一个或更多个设定点重新发送至RFG。
在多种实施例中，第一统计值由主控制器系统204或者本地处理器板系统510的处理器使用，以确定是否产生警报数据。例如，当从第二统计值确定为第一统计值不在预先确定的范围内时，主控制器系统204或者本地处理器板系统510的处理器产生警报数据。另一方面，当从第二统计值确定为第一统计值在预先确定的范围内时，主控制器系统204或者本地处理器板系统510的处理器不产生警报数据。警报数据由主系统控制器204或者本地处理器板系统510的处理器渲染，以显示在显示器设备上或者由上述其他机构显示。
在一些实施例中，使用与被用于将针对第二状态(例如状态S1等)的参数的值通信的传输单元不同的传输单元，将针对RF信号的第一状态(例如状态S0等)的参数的值从控制器通信至RFG。在该实施例中，使用与被用于将针对第二状态的参数所关联的信息通信的传输单元不同的传输单元，将针对第一状态的参数所关联的信息从RFG通信至控制器。
在多种实施例中，使用与被用于将针对第二组状态(例如状态S2、S3、和/或S4等)的参数的值传送的传输单元不同的传输单元，将针对RF信号的第一组状态(例如状态S0和/或S1等)的参数的值从控制器传送至RFG。在该实施例中，使用与被用于将针对第二组状态的参数所关联的信息传送的传输单元不同的传输单元，将针对第一组状态的参数所关联的信息从RFG传送至控制器。
在一些实施例中，经由交换机212(图2A)在物理层512与516之间发生通信，而非在物理层512与516之间的板对板通信。
在若干实施例中，共享物理层513位于本地处理器板系统510，而非本地处理器板系统514。例如，本地处理器板系统510的共控制器经由物理通信介质527和物理层521的共享通信链路，配置RFG的专用物理层523。
图6是数据报的实施例，该数据报从共控制器所关联的物理层(例如物理层202a、或者物理层202b、或者物理层202c(图2A)等)发送至RFG的物理层(例如物理层203a、或者物理层203b、或者物理层203c(图2A)等)。该数据报包含针对RF信号的状态S0至Sn的功率和频率设定点。每个设定点转换为多个字节，例如M个字节，其中M是整数。例如，M是4或者8或者16或者32或者64等。M的值依赖于由处理器(例如共控制器1、共控制器2、共控制器3等)处理和/或耦合至共控制器的专用物理层的速度。
在多种实施例中，附加于或替代提供功率和频率设定点，脉冲宽度被提供作为针对RF信号的状态的设定点。例如，对于RF信号的8个状态，RF信号的8个不同脉冲宽度被提供作为8个设定点。
在一些实施例中，针对状态S1至Sn的多频设定点由控制器20使用IMC14的计算机产生的模型(图1A)计算。对于IMC的计算机产生的模型的输出处的给定阻抗Zo以及IMC的计算机产生的模型的一个或更多个可变电容器的电容值C1，计算多频设定点中的每个来实现IMC14的计算机产生的模型的输入处的参数(例如反射系数、反射功率等)的最小值。例如，对于状态S1，对于给定的阻抗Zo以及一个或更多个可变电容器的电容值C1，计算频率设定点f1(RFG22将以该频率设定点f1操作)，以实现IMC14的计算机产生的模型的输入处的反射系数的最小值作为另一个示例，对于状态S2，对于给定的阻抗Zo以及一个或更多个可变电容器的电容值C1，计算频率设定点f2(RFG22以频率设定点f2操作)，以实现IMC14的计算机产生的模型的输入处的反射系数的最小值IMC14的计算机产生的模型的输出处的阻抗根据由传感器在RFG22的输出处(图1A)测得的阻抗以及根据IMC14的计算机产生的模型的元件的值计算。多频设定点以块(例如帧、一个或更多个传输单元等)从控制器20经由专用通信链路30(图1A)发送至RFG22，以便RFG22使用多频设定点以快速速率操作，以实现反射系数的最小值。例如，当RFG22是y兆赫RF产生器且连接至IMC14的另一个RF产生器是x1千赫或者x2兆赫RF产生器或者yMHzRF产生器时，RFG22在x1千赫或者x2兆赫RF产生器或者y兆赫RF产生器的操作周期期间循环通过状态S1至Sn。y兆赫RF产生器的示例包含60兆赫RF产生器或者27兆赫RF产生器。x1千赫RF产生器的示例包含400千赫RF产生器。x2兆赫RF产生器的示例包含2兆赫RF产生器。y兆赫RF产生器的示例包含27兆赫RF产生器。
图7示出了突发传输单元(例如帧等)的实施例，其包含多个传输单元(例如多个子数据包等)，该多个传输单元包含用来从RFG22(图1A)发送至控制器20的一个或更多个参数所关联的信息以被控制器20监控(图1A)。例如，子数据包1内的信息1是由RFG22输送的功率，子数据包1内的信息2是从由RFG22输送至IMC14的RF信号确定的伽马的实部，子数据包1内的信息3是伽马的虚部，子数据包1内的信息4是从发生的时钟信号的时钟沿起经过的时间量，子数据包1内的信息5是由RFG22供应至IMC14的RF信号的调谐频率，子数据包1内的信息6是RFG22的内部设定点，子数据包1内的信息7是时间戳，子数据包1内的信息8是状态矢量，子数据包1内的信息9是由RFG22输送的RF信号的二次谐波频率处的均方根电压，子数据包1内的信息10是二次谐波频率处的均方根电流，子数据包1内的信息11是RF信号的三次谐波频率处的电压，子数据包1内的信息12是三次谐波频率处的电流，子数据包1内的信息13是RF信号的第四谐波频率处的电压，并且子数据包1内的信息14是第四谐波频率处的电流等。在该示例中，信息1至14是针对RF信号的相同状态的不同参数的值。由RFG22输送的功率被功率传感器测量，该功率传感器位于RFG22内并耦合至RFG22的输出，具有该功率的RF信号在该输出处输送给IMC14。在一些实施例中，由RFG22输送的功率作为设定点由控制器20提供至RFG22。RFG22的内部设定点的示例包含从控制器20接收的功率设定点、或者从控制器20接收的频率设定点。时间戳的示例包含故障发生的时间，或者RF信号的状态修改的时间等。在一些实施例中，谐波频率处的电压和电流由连接至RFG22的输出的电压和电流传感器测量。
作为另一个示例，信息1是针对状态S0的参数的值，信息2是针对RF信号的状态S1的参数的值，信息3是针对RF信号的状态S2的参数的值，信息4是针对RF信号的状态S3的参数的值，信息5是针对RF信号的状态S4的参数的值，信息6是针对RF信号的状态S5的参数的值，信息7是针对RF信号的状态S6的参数的值，信息8是针对RF信号的状态S7的参数的值，信息9是针对RF信号的状态S8的参数的值，信息10是针对RF信号的状态S9的参数的值，信息11是针对RF信号的状态S10的参数的值，信息12是针对RF信号的状态S11的参数的值，信息13是针对RF信号的状态S12的参数的值，信息14是针对RF信号的状态S13的参数的值。在该示例中，信息条1至14是针对RF信号的不同状态的相同参数的值。
多个传输单元(例如多个子数据包等)在帧中以突发模式发送，其中，信息1至14从RFG22的物理层发送至控制器20的物理层。信息1至14中的每个转换为多个字节，例如M个字节等。M的值依赖于由处理器(例如RFG1的专用处理器、RFG2的专用处理器、RFG3的专用处理器等)处理和/或耦合至专用处理器的专用物理层的速度。
在多种实施例中，子数据包包含p条信息，例如12条、13条等，其中p是大于零的整数。
在一些实施例中，突发传输单元从控制器20发送至RFG22(图1A)。从控制器20发送至RFG22的突发传输单元具有与图7所示的突发传输单元的格式类似的格式，因为该突发传输单元包含多个数据包(例如数据报等)。
图8是曲线图802，示出了RF信号的RF脉冲内的RF信号的参数的修改。曲线图802包含：要产生的RF信号的功率的值与时间t的关系曲线图806；RF信号的频率的值与时间的关系曲线图804；以及时钟信号的曲线图808。曲线图802示出了由RFG22的专用物理层21(图1A)从控制器20的专用物理层23(图1A)接收的传输单元，并由专用物理层21的专用接收器将传输单元采样以提取一个或更多个参数的示例。例如，曲线图804示出了由与RFG1连接的专用物理层203a(图2A)从连接至共控制器20的控制器1的专用物理层202a(图2A)接收的传输单元的示例。物理层23的专用发送器创建传输单元，该传输单元包含针对RF信号的状态S0至S7的参数的值。应该注意的是曲线图802中示出的点A对应于RF信号的状态S0，点B对应于RF信号的状态S1，点C对应于RF信号的状态S2，点D对应于RF信号的状态S3，点E对应于RF信号的状态S4，点F对应于RF信号的状态S5，点G对应于RF信号的状态S6，并且点H对应于RF信号的状态S7。在一些实施例中，RF信号的任何其他数量的状态被用于曲线图802。
针对RF信号的状态S0的功率设定点和针对状态S0的频率设定点这两者在点A由RFG22的专用物理层21的专用接收器采样，针对RF信号的状态S1的功率设定点和针对状态S1的频率设定点在点B由RFG22的专用物理层21的专用接收器采样，针对RF信号的状态S2的功率设定点和针对状态S2的频率设定点在点C由RFG22的专用物理层21的专用接收器采样，针对RF信号的状态S3的功率设定点和针对状态S3的频率设定点在点D由RFG22的专用物理层21的专用接收器采样，针对RF信号的状态S4的功率设定点和针对状态S4的频率设定点在点E由RFG22的专用物理层21的专用接收器采样，针对RF信号的状态S5的功率设定点和针对状态S5的频率设定点在点F由RFG22的专用物理层21的专用接收器采样，针对RF信号的状态S6的功率设定点和针对状态S6的频率设定点在点G由RFG22的专用物理层21的专用接收器采样，并且针对RF信号的状态S7的功率设定点和针对状态S7的频率设定点在点H由RFG22的专用物理层21的专用接收器采样。在时钟信号的时钟周期的终止处，控制器的专用物理层23的专用发送器经由物理通信介质31(图1A)的专用通信链路30(图1A)将传输单元推送至RFG22的专用物理层21的专用接收器。在一些实施例中，传输单元在每个时钟周期的终止处被推送。
图9是一种方法的实施例的流程图，其示出了通过使用RFG22的专用发送器与控制器20之间的通信协议来推送一个或更多个传输单元。如图9所示，RFG22包含一个或更多个脉冲间过渡控制器，以控制由RFG22产生的RF信号的2个连续状态之间的过渡状态期间的频率。例如，在RF信号从一个状态过渡到另一个连续状态的时间段，脉冲间过渡控制器提供要由RFG22的RF电源产生的RF信号的频率。此外，如图9所示，RFG22包含一个或更多个脉冲间过渡控制器，以控制由RFG22产生的RF信号的2个连续状态之间的过渡状态期间的功率量。例如，在RF信号从一个状态过渡到另一个连续状态的时间段，脉冲间过渡控制器提供要由RFG22的RF电源产生的RF信号的功率量。此外，RFG22包含一个或更多个AFT以在由RFG22产生的RF信号的状态S1至Sn期间控制频率。例如，当RF信号处于状态S0或者状态S1时，AFT提供要由RFG22的RF电源产生的RF信号的频率。另外，RFG22包含一个或更多个内部脉冲功率控制器，以在由RFG22产生的RF信号的状态S0至Sn期间控制功率量。例如，内部脉冲功率控制器在RF信号为状态S(n-1)或者状态Sn的时间段，提供要由RFG22的RF电源产生的RF信号的功率量。
在突发模式期间，与一个或更多个参数(例如在RF信号从一个状态过渡到另一个连续状态的期间的RF信号的频率、在RF信号于2个连续状态之间过渡的期间的RF信号的功率、在RF信号为状态S(n-1)或者状态Sn的时间期间的RF信号的频率、以及在RF信号为状态S(n-1)或者状态Sn的时间期间的RF信号的功率等)关联的信息由RFG22的专用发送器嵌入在一个或更多个传输单元内，并经由专用通信链路32从RFG22的物理层21的专用发送器发送至控制器20的专用接收器(例如控制器20的物理层23的专用接收器)。控制器20的物理层23的专用接收器应用通信协议，以提取与一个或更多个参数关联的信息，并将该信息提供给与RFG22关联的共控制器(例如共控制器1等)。例如，共控制器1与RFG1连接并因此关联。作为另一个示例，共控制器2与RFG2连接并因此关联，并且共控制器3与RFG3连接并因此关联。
共控制器以上述方式将与一个或更多个参数关联的信息提供给主系统控制器204(图2A-2C)。主系统控制器204将等离子体系统10的部分的模型应用至一个或更多个参数所关联的信息，以便以上述方式产生用于一个或更多个参数的一个或更多个设定点。在一些实施例中，主系统控制器204基于与一个或更多个参数关联的信息，基于与一个或更多个参数关联的信息，来确定是否产生警报数据；和/或基于该信息，来确定是否修改针对一个或更多个参数的一个或更多个设定点。控制器20的物理层23的专用发送器(例如连接至控制器20的共控制器1等的物理层202a的专用发送器(图2A))以上述方式，从主系统控制器204接收针对一个或更多个参数的一个或更多个设定点，并应用通信协议来产生包含一个或更多个设定点的一个或更多个传输单元。一个或更多个传输单元从控制器20的物理层23的专用发送器经由物理通信介质31的专用通信链路30，发送至RFG22的物理层21的专用接收器(例如，连接共控制器1的RFG1的物理层203a的专用接收器等)。
RFG22的物理层21的专用接收器接收一个或更多个传输单元，并对一个或更多个传输单元应用通信协议来解析一个或更多个传输单元，并提取针对一个或更多个参数的一个或更多个设定点，以提供给RFG22的专用处理器。一个或更多个设定点由RFG22的专用处理器分析，以确定设定点是否是将在2个连续状态之间的过渡期间产生的RF信号的频率、或者将在该过渡期间产生的RF信号的功率、或者将在状态S(n-1)或者Sn期间产生的RF信号的功率、或者将在状态S(n-1)或者Sn期间产生的RF信号的频率。基于该确定，RFG22的专用处理器提供用于过渡的频率设定点至RFG22的脉冲间过渡频率控制器，提供用于过渡的功率设定点至RFG22的脉冲间过渡功率控制器，向RFG22的AFT提供将在状态期间应用的频率设定点，并向RFG22的脉冲间功率控制器提供将在该状态期间应用的功率设定点。RFG22的RF电源从RFG22的脉冲件过渡频率控制器接收用于过渡的该频率设定点，从另一个RFG22的脉冲间过渡功率控制器接收用于过渡的功率设定点，从RFG22的AFT接收用于状态S(n-1)或者Sn的频率设定点，并从RFG22的内部脉冲功率控制器接收用于状态S(n-1)或者Sn的功率设定点，从而产生具有在过渡期间的该频率设定点、在过渡期间的功率设定点、用于状态S(n-1)或者Sn的频率设定点、以及用于状态S(n-1)或者Sn的功率设定点的RF信号。
图10A是示出一种方法的实施例的图，该方法通过分析与用于状态的一个或更多个参数关联的信息来修改用于状态的参数的值。使用曲线图1002和表格1008来示出该方法。曲线图1002包含传输单元与时间t的关系曲线图1006，时间t是使用时钟信号测量的。
控制器20的处理器(例如共控制器1的处理器、共控制器2的处理器、共控制器3的处理器、主系统控制器204的处理器等)处理从由控制器20的专用物理层23的专用接收器(图1A)接收在传输单元1R内的一个或更多个参数所关联的信息产生的参数的值，而控制器20的专用接收器从RFG22的物理层21的专用发送器将与一个或更多个参数关联的信息接收在传输单元2R内。例如，共控制器1或者主系统控制器204处理由物理层202a的专用接收器(图2A)经由物理通信介质206a的专用通信链路(图2A)从与RFG1关联的物理层203a的专用发送器(图2A)接收的传输单元1R所产生的参数的值，而物理层202a的专用接收器经由专用通信链路从连接至RFG1的专用发送器接收传输单元2R。控制器20的处理器基于从与接收在传输单元1R内的一个或更多个参数关联的信息产生的参数的值，确定在传输单元3S内的将发送至RFG22的参数的值要修改，例如在表格1008中指示为从传输单元3S修改成传输单元3S'。修改的参数由控制器20的物理层23的专用发送器嵌入在传输单元3S'内，并且经由物理通信介质31的专用通信链路30发送至RFG22的物理层21的专用接收器。例如，修改的参数由连接至共控制器1的物理层202a的专用发送器嵌入在传输单元3S'内，并且经由物理通信介质206a的专用通信链路发送至与RFG1关联的物理层203a的专用接收器。
类似地，主计算机系统200的处理器处理从由控制器20的物理层23的专用接收器接收在传输单元2R内的一个或更多个参数所关联的信息产生的参数的值，而物理层23的专用接收器从RFG22的物理层21的专用发送器将与一个或更多个参数关联的信息接收在传输单元3R内。控制器20的处理器基于从与接收在传输单元2R内的一个或更多个参数关联的信息产生的参数的值，确定在传输单元4S内的将发送至RFG的参数的值要修改，例如在表格1008中指示为从4S修改成4S'等。修改的参数由控制器20的物理层23的专用发送器嵌入在传输单元4S'内，并且经由物理通信介质31的专用通信链路30(图1A)发送至RFG22的专用物理层21。
另外，类似地，主计算机系统200的处理器处理从由控制器20的物理层23的专用接收器接收在传输单元3R内的一个或更多个参数所关联的信息产生的参数的值，而物理层23的专用接收器从RFG22的物理层21的专用发送器将与一个或更多个参数关联的信息接收在传输单元4R内。主计算机系统控制器200的处理器基于从与接收在传输单元3R内的一个或更多个参数关联的信息产生的参数的值，确定在传输单元5S内的将发送至RFG的参数的值要修改，例如在表格1008中指示为从5S修改成传输单元5S'等。修改的参数由控制器20的物理层23的专用发送器嵌入在传输单元5S'内，并且经由物理通信介质31的专用通信链路30发送至RFG22的专用物理层21。
另外，类似地，主计算机系统200的处理器处理从由控制器20的物理层23的专用接收器接收在传输单元4R内的一个或更多个参数所关联的信息产生的参数的值，而物理层23的专用接收器从RFG22的物理层21的专用发送器将与一个或更多个参数关联的信息接收在传输单元5R内。主计算机系统控制器200的处理器基于从与接收在传输单元4R内的一个或更多个参数关联的信息产生的参数的值，确定在传输单元6S内的将发送至RFG的参数的值要修改，例如在表格1008中指示为从6S修改成传输单元6S'等。修改的参数由控制器20的物理层23的专用发送器嵌入在传输单元6S'内，并且经由物理通信介质31的专用通信链路30发送至RFG22的专用物理层21。
在一些实施例中，在接收传输单元1R与发送传输单元3S'之间；接收传输单元2R与发送传输单元4S'之间；接收传输单元3R与发送传输单元5S'之间；以及接收传输单元4R与发送传输单元6S'之间有固定的延迟。
图10B是示出了一种方法的实施例的图，该方法通过分析与针对状态的一个或更多个参数关联的信息来修改针对该状态的参数的值。使用曲线图1020和表格1022来示出该方法。曲线图1020包含传输单元与时间t的关系图1024。
在控制器20的专用接收器从RFG22的物理层21的专用发送器将与一个或更多个参数关联的信息接收在传输单元2R内之前，控制器20的处理器(例如共控制器1的处理器、共控制器2的处理器、共控制器3的处理器、主系统控制器204的处理器等)处理从由控制器20的专用物理层23的专用接收器(图1A)接收在传输单元1R内的一个或更多个参数所关联的信息产生的参数的值。例如，在连接至共控制器1的专用接收器经由专用通信链路从与RFG1关联的专用发送器接收传输单元2R之前，共控制器1或者主系统控制器204处理由物理层202a的专用接收器(图2A)经由物理通信介质206a的专用通信链路(图2A)从与RFG1关联的物理层203a的专用发送器(图2A)接收的传输单元1R所产生的参数的值。控制器20的处理器基于从与接收在传输单元1R内的一个或更多个参数关联的信息产生的参数的值，确定在传输单元3S内的将发送至RFG22的参数的值要修改，例如在表格1022中指示为从传输单元3S修改至传输单元3S'等。修改的参数由控制器20的物理层23的专用发送器嵌入在传输单元3S'内，并且经由物理通信介质31的专用通信链路30发送至RFG22的物理层21的专用接收器。例如，修改的参数由连接至共控制器1的物理层202a的专用发送器嵌入在传输单元3S'内，并且经由物理通信介质206a的专用通信链路发送至与RFG1关联的物理层203a的专用接收器。
类似地，在物理层23的专用接收器从RFG22的物理层21的专用发送器将与一个或更多个参数关联的信息接收在传输单元3R内之前，主计算机系统200的处理器处理从由控制器20的物理层23的专用接收器接收在传输单元2R内的一个或更多个参数所关联的信息产生的参数的值。控制器20的处理器基于从与接收在传输单元2R内的一个或更多个参数关联的信息产生的参数的值，确定在传输单元4S内的将发送至RFG的参数的值要修改，例如在表格1022中指示为从4S修改成传输单元4S'等。修改的参数由控制器20的物理层23的专用发送器嵌入在传输单元4S'内，并且经由物理通信介质31的专用通信链路30(图1A)发送至RFG22的专用物理层21。
另外，类似地，在物理层23的专用接收器从RFG22的物理层21的专用发送器将与一个或更多个参数关联的信息接收在传输单元4R内之前，主计算机系统200的处理器处理从由控制器20的物理层23的专用接收器接收在传输单元3R内的一个或更多个参数所关联的信息产生的参数的值。控制器20的处理器基于从与接收在传输单元3R内的一个或更多个参数关联的信息产生的参数的值，确定在传输单元5S内的将发送至RFG22的参数的值要修改，例如在表格1022中指示为从5S修改成5S'等。修改的参数由控制器20的物理层23的专用发送器嵌入在传输单元5S'内，并且经由物理通信介质31的专用通信链路30发送至RFG22的专用物理层21。
另外，类似地，在物理层23的专用接收器从RFG22的物理层21的专用发送器将与一个或更多个参数关联的信息接收在传输单元5R内之前，主计算机系统200的处理器处理从由控制器20的物理层23的专用接收器接收在传输单元4R内的一个或更多个参数所关联的信息产生的参数的值。控制器20的处理器基于从与接收在传输单元4R内的一个或更多个参数关联的信息产生的参数的值，确定在传输单元6S内的将发送至RFG22的参数的值要修改，例如在表格1022中指示为从传输单元6S修改成传输单元6S'等。修改的参数由控制器20的物理层23的专用发送器嵌入在传输单元6S'内，并且经由物理通信介质31的专用通信链路30发送至RFG22的专用物理层21。
应该注意的是与传输单元xR连续地接收传输单元(x+1)R，其中x是大于零的整数。例如，在传输单元1R和2R之间接收器不接收传输单元。类似地，应该注意的是，与传输单元xS连续地发送传输单元(x+1)S。例如，在传输单元3S和4S之间发送器不发送传输单元。
在一些实施例中，在发送传输单元3S'之后不接收传输单元2R。例如，传输单元3S'包含指示该RFG要关断(例如以零功率操作等)的参数。在这种情况下，主计算机系统200不接收传输单元2R。
还要注意的是，尽管上述实施例涉及向卡盘18的下电极(图1A)提供修改的RF信号并将上电极26接地(图1A)，但在若干实施例中，修改的RF信号可以提供给上电极26而卡盘18的下电极接地。
在一些实施例中，RFG的处理器本文称作RFG的专用处理器。在多种实施例中，专用处理器是RFG内的处理器。
本文说明的实施例可以用多种计算机系统配置付诸实践，这些计算机系统配置包含手持硬件单元、微处理器系统、基于微处理器或者可编程消费电子产品、小型计算机、大型计算机等。本文说明的实施例还能够在分布式计算环境中付诸实践，其中任务由通过计算机网络链接的远程处理硬件单元执行。
在一些实施方式中，控制器是系统的一部分，该系统可以是上述实例的一部分。系统可以包括半导体处理设备，半导体处理设备包括一个或多个处理工具、一个或多个处理室、用于处理的一个或多个平台和/或具体的处理组件(晶片基座、气流系统等)。系统可以与用于控制它在处理半导体晶片或衬底之前、期间和之后的操作的电子器件一体化。电子器件可以称为“控制器”，该控制器可以控制系统的各种元件或子部件。根据处理要求和/或系统的类型，控制器可以被编程以控制本文公开的任何工艺，包括控制工艺气体输送、温度设置(例如，加热和/或冷却)、压强设置、真空设置、功率设置、射频发生器设置、RF匹配电路设置、频率设置、流速设置、流体输送设置、位置及操作设置、晶片转移进出工具和其他转移工具和/或与具体系统连接或通过接口连接的装载锁。
宽泛地讲，在多种实施方式中，控制器可以定义为接收指令、发布指令、控制操作、启用清洗操作、启用端点测量等等的具有各种集成电路、逻辑、存储器和/或软件的电子器件。集成电路包括存储程序指令的固件形式的芯片、数字信号处理器(DSP)、定义为专用集成电路(ASIC)的芯片、一个或多个微处理器或执行程序指令(例如，软件)的微控制器。程序指令是以各种单独设置的形式(或程序文件)通信到控制器、定义用于在半导体晶片上或针对半导体晶片执行工艺的操作参数的指令。在一些实施方式中，操作参数可以是由工艺工程师定义的用于在制备晶片的一个或多个(种)层、材料、金属、氧化物、硅、二氧化硅、表面、电路和/或管芯期间完成一个或多个处理步骤的配方(recipe)的一部分。
在一些实施方式中，控制器可以是与系统集成、耦合或者说是通过网络连接系统或它们的组合的计算机的一部分或者与该计算机耦合。例如，控制器可以在“云端”或者是fab主机系统的全部或一部分，它们可以允许远程访问晶片处理。控制器可以启用对系统的远程访问以监测制造操作的当前进程，检查过去的制造操作的历史，检查多个制造操作的趋势或性能标准，修改当前处理的参数，设置处理步骤以跟随当前的处理或者开始新的工艺。
在一些实施方式中，远程计算机(例如，服务器)通计算机网络给系统提供工艺配方，网络包括本地网络或互联网。远程计算机包括允许输入或编程参数和/或设置的用户界面，该参数和/或设置然后从远程计算机通信到系统。在一些实例中，控制器接收用于处理晶片的设置形式的指令。应当理解，设置针对将要在晶片上执行的工艺类型以及工具类型，控制器连接或控制该工具类型。因此，如上所述，控制器例如通过包括一个或多个分立的控制器而分布，这些分立的控制器通过网络连接在一起并且朝着共同的目标(例如，本文所述实现工艺)工作。用于这些目的的分布式控制器的实例包括与结合以控制室内工艺的一个或多个远程集成电路(例如，在平台水平或作为远程计算机的一部分)通信的室上的一个或多个集成电路。
在没有限制的条件下，在一些实施方式中，系统包括等离子体蚀刻室、沉积室、旋转清洗室、金属电镀室、清洁室、倒角边缘蚀刻室、物理气相沉积(PVD)室、化学气相沉积(CVD)室、原子层沉积(ALD)室、原子层蚀刻(ALE)室、离子注入室、轨道室、以及在半导体晶片的制备和/或制造中关联上或使用的任何其他的半导体处理系统。
进一步要注意的是，尽管参考平行板等离子体室(例如电容耦合的等离子体室等)说明了上述操作，但在一些实施例中，上述操作可以适用于其他类型的等离子体室，例如包含电感耦合等离子体(ICP)反应器、变压器耦合等离子体(TCP)反应器、导体工具、电介质工具的等离子体室；包含电子回旋谐振(ECR)反应器的等离子体室等。例如，多个RF产生器在ICP等离子体室内耦合至电感器。
如上所述，根据工具将要执行的工艺步骤，控制器与一个或多个其他的工具电路或模块、其他工具组件、组合工具、其他工具界面、相邻的工具、邻接工具、位于整个工厂中的工具、主机、另一控制器、或者将晶片的容器搬运到半导体制造工厂中的工具位置和/或装载口以及从工具位置和/或装载口搬运晶片的容器的材料搬运中使用的工具通信。
考虑到上述实施发送，应该理解的是一些实施发送采用涉及在计算机系统中存储的数据的、各种计算机实现的操作。这些计算机实现的操作操纵物理量。
一些实施例还涉及用于执行这些操作的硬件单元或者装置。装置被特殊组成用于特殊用途计算机。当限定为特殊用途计算机时，该计算机执行并非特殊用途的部分的其他处理、程序执行或者例程，但仍然能够操作用于特殊用途。
在一些实施例中，本文说明的操作由选择性激活的计算机执行，或者由存储在计算机存储器中的一个或更多个计算机程序配置，或者通过计算机网络获得。当数据通过计算机网络获得时，该数据可以由计算机网络(例如计算资源的云)中的其他计算机处理。
本文说明的一个或更多个实施例还能够实现为非临时性计算机可读介质上的计算机可读代码。非临时性计算机可读介质是任何数据存储硬件单元(例如存储器设备等)，存储硬件单元存储在存储之后由计算机系统读取的数据。非临时性计算机可读介质的示例包含硬盘驱动器、网络附加存储装置(NAS)、ROM、RAM、压缩光盘ROM(CDROM)、可记录CD(CD-R)、可重写CD(CD-RW)、磁带以及其他光学和非光学数据存储硬件单元。在一些实施例中，非临时性计算机可读介质包含网络耦合的计算机系统中分布的计算机可读有形介质，以便以分布式方式存储并执行计算机可读代码。
尽管上述一些方法操作是以特定顺序呈现的，但应该理解的是在各种实施例中，在方法操作之间执行其他内务处理操作，或者调节方法操作使其在稍微不同的时间发生，或者分布在允许方法操作以各种间隔发生的系统中，或者以与上述不同的顺序执行。
还要注意的是，在实施例中，在没有脱离本公开中说明的各种实施例说明的范围内，来自任何上述实施例的一个或更多个特征可以与任何其他实施例的一个或更多个特征组合。
虽然为了清晰理解的目的，已经在一定程度上详细描述了上述实施方式，但显而易见，可以在所附权利要求的范围内实行某些变化和修改。因此，本发明的实施方式应被视为说明性的，而不是限制性的，并且实施方式并不限于本文给出的细节，而是可以在所附权利要求的范围和等同方案内进行修改。

Claims (25)

1.一种用于提高通信速率的系统，其包括：
射频(RF)产生器，其包括专用收发器；
主计算机系统，其包括专用收发器和连接到该专用收发器的控制器；以及
共享物理通信介质，其将所述RF产生器连接至所述主计算机系统；以及
专用物理通信介质，其将所述RF产生器的所述专用收发器连接至所述主计算机系统的所述专用收发器，
所述主计算机系统配置为经由所述共享物理通信介质发送配置信号以配置所述RF产生器，
所述RF产生器的所述专用收发器配置成在接收所述配置信号时引发经由所述专用物理通信介质发送包括与参数相关联的信息的一个或多个传输单元到所述主计算机系统的所述专用收发器，
所述主计算机系统的所述控制器配置为处理与所述参数相关联的所述信息，以判定修改所述参数的设定点，以进一步产生修改的设定点，
所述主计算机系统的所述专用收发器配置成经由所述专用物理通信介质发送包括所述修改的设定点的一个或多个传输单元到所述RF产生器的所述专用收发器。
2.根据权利要求1所述的系统，其中所述主计算机系统的所述专用收发器被配置成在不请求来自所述RF产生器的与所述参数相关联的所述信息的情况下接收由所述RF产生器的所述专用收发器经由所述专用物理通信介质发送的所述一个或多个传输单元。
3.根据权利要求1所述的系统，其中所述RF产生器的所述专用收发器被配置成在不请求来自所述主计算机系统的所述修改的设定点的情况下接收由所述主计算机系统的所述专用收发器经由所述专用物理通信介质发送的所述一个或多个传输单元。
4.根据权利要求1所述的系统，其中所述RF产生器经由阻抗匹配电路连接到等离子体室。
5.根据权利要求1所述的系统，其中所述主计算机系统经由所述共享物理通信介质连接到额外的RF产生器。
6.根据权利要求1所述的系统，其中所述主计算机系统被配置为在由所述RF产生器的所述专用收发器经由所述专用物理通信介质发送的所述一个或多个传输单元上不执行校验和操作。
7.根据权利要求1所述的系统，其中，所述RF产生器被配置为在由所述主计算机系统的所述专用收发器经由所述专用物理通信介质发送的所述一个或多个传输单元上不执行校验和操作。
8.一种用于提高射频(RF)产生器和主计算机系统之间的通信速率的方法，其包括：
由所述主计算机系统经由共享物理通信介质发送配置信号到所述RF产生器以配置所述RF产生器，
在接收所述配置信号时，由所述RF产生器的专用收发器经由专用物理通信介质发送一个或多个传输单元到所述主计算机系统的专用收发器，所述一个或多个传输单元包括与参数相关联的信息；
由所述主计算机系统处理与所述参数相关联的所述信息以确定修改所述参数的设定点，以进一步产生修改的设定点；以及
由所述主计算机系统的所述专用收发器经由所述专用物理通信介质发送包括所述修改的设定点的一个或多个传输单元到所述RF产生器的所述专用收发器。
9.根据权利要求8所述的方法，其还包括由所述主计算机系统的所述专用收发器接收由所述RF产生器的所述专用收发器发送的所述一个或多个传输单元，其中所述一个或多个传输单元的所述接收在不请求来自所述RF产生器的与所述参数相关联的所述信息的情况下进行。
10.根据权利要求8所述的方法，其还包括由所述RF产生器的所述专用收发器接收由所述主计算机系统的所述专用收发器发送的所述一个或多个传输单元，其中所述一个或多个传输单元的所述接收在不请求来自所述主计算机系统的所述修改的设定点的情况下进行。
11.根据权利要求8所述的方法，其中所述RF产生器经由阻抗匹配电路连接到等离子体室。
12.根据权利要求8所述的方法，其还包括由所述主计算机系统经由所述共享物理通信介质发送配置信号到额外的RF产生器以配置所述额外的RF产生器以提供与参数相关联的信息。
13.根据权利要求8所述的方法，其还包括跳过在由所述RF产生器的所述专用收发器经由所述专用物理通信介质发送的所述一个或多个传输单元上的校验和操作的执行。
14.根据权利要求8所述的方法，其还包括跳过在由所述主计算机系统的所述专用收发器经由所述专用物理通信介质发送的所述一个或多个传输单元上的校验和操作的执行。
15.一种用于提高主计算机系统和射频(RF)产生器之间的通信速率的方法，其包括：
产生包括针对一个或多个参数的一个或多个设定点的一个或多个传输单元，每个设定点与RF信号的一个或多个状态相关联，所述一个或多个设定点要由所述RF产生器使用以产生所述RF信号；
从所述主计算机系统的物理层的专用发送器经由物理通信介质的第一专用通信链路发送所述一个或多个传输单元到所述RF产生器的物理层的专用接收器；
从所述RF产生器的所述物理层的专用发送器经由所述物理通信介质的第二专用通信链路接收一个或多个传输单元，其中接收的所述一个或多个传输单元包括与所述一个或多个参数以及与所述一个或多个状态相关联的信息，其中经由所述一个或多个传输单元的所述第二专用通信链路接收通过所述主计算机系统的所述物理层的专用接收器来执行；
根据与所述一个或多个参数相关联的信息判定与所述一个或多个状态相关联的所述一个或多个设定点要被修改，以产生一个或多个修改的设定点；以及
经由所述物理通信介质的所述第一专用通信链路发送包括所述一个或多个修改的设定点的一个或多个修改的传输单元到所述RF产生器的所述物理层的所述专用接收器，
其中，所述方法通过所述主计算机系统执行。
16.根据权利要求15所述的方法，其还包括在判定与所述一个或多个状态相关联的所述一个或多个设定点要被修改时，经由所述物理通信介质的所述第二专用通信链路接收一个或多个额外的传输单元，其中，在所述接收所述一个或多个额外的传输单元之后执行所述发送含有一个或多个修改的设定点的所述一个或多个修改的传输单元。
17.根据权利要求15所述的方法，其还包括在判定与所述一个或多个状态相关联的一个或多个设定点要被修改之后，经由所述物理通信介质的所述第二专用通信链路接收一个或多个额外的传输单元，其中在所述接收所述一个或多个额外的传输单元之前执行所述发送含有所述一个或多个修改的设定点的所述一个或多个额外的传输单元。
18.根据权利要求15所述的方法，其中，所述RF产生器的所述物理层的所述专用接收器不被配置为在所述一个或多个传输单元上和在从所述主计算机系统发送到所述RF产生器的所述一个或多个修改的传输单元上执行校验和操作。
19.根据权利要求15所述的方法，其中所述主计算机系统的所述物理层的所述专用接收器不被配置为在从所述RF产生器的所述物理层的所述专用发送器接收的所述一个或多个传输单元上执行校验和操作。
20.根据权利要求15所述的方法，其中所述一个或多个传输单元以突发模式从所述主计算机系统发送到所述RF产生器，其中单个报头被包括在用于一个或多个传输单元的帧内，其中所述一个或多个修改的传输单元以所述突发模式从所述主计算机系统发送到所述RF产生器，其中单个报头被包括在用于一个或多个修改的传输单元的帧内。
21.根据权利要求15所述的方法，其中从所述主计算机系统的所述物理层的所述专用发送器发送的所述一个或多个传输单元不包括源端口字段和目的端口字段，其中，从所述主计算机系统的所述物理层的所述专用发送器发送的所述一个或多个修改的传输单元不包括源端口字段和目的端口字段，其中从所述RFG的所述物理层的所述专用接收器接收的所述一个或多个传输单元不包括源端口字段和目的端口字段。
22.根据权利要求15所述的方法，其还包括：
配置所述RFG以经由所述主计算机系统的共享物理通信介质和共享物理层提供与一个或多个参数相关联的信息；
配置另一RFG以经由所述主计算机系统的所述共享物理通信介质和所述共享物理层提供与所述一个或多个参数相关联的信息。
23.一种系统，其包括：
第一射频(RF)产生器，其用于产生第一RF信号，其中所述第一RF产生器包括专用收发器；
第二RF产生器，其用于产生第二RF信号，其中所述第二RF产生器包括专用收发器；
阻抗匹配电路，其耦合到所述第一RF产生器和所述第二RF产生器；
等离子体室，其耦合到所述阻抗匹配电路，以产生等离子体；和
第一控制器；
专用收发器，其连接到所述第一控制器，其中连接到所述第一控制器的所述专用收发器经由第一专用物理通信介质连接至所述第一RF产生器，其中连接到所述第一控制器的所述专用收发器被配置成：
产生包括针对一个或多个参数的一个或多个设定点的一个或多个传输单元，每个设定点与所述第一RF信号的一个或多个状态相关联，所述一个或多个设定点要由所述第一RF产生器使用以产生所述第一RF信号；
经由所述第一专用物理通信介质的第一专用通信链路发送所述一个或多个传输单元至所述第一RF产生器的所述专用收发器；
经由所述第一物理通信介质的第二专用通信链路从所述第一RF产生器的所述专用收发器接收一个或多个传输单元，所接收的所述一个或多个传输单元包括与所述一个或多个参数以及与所述一个或多个状态相关联的信息，
其中，所述第一控制器被配置成根据与所述一个或多个参数相关联的所述信息判定与所述一个或多个状态相关联的一个或多个设定点要进行修改，以产生一个或多个修改的设定点，
其中，连接到所述第一控制器的所述专用收发器被配置为经由所述第一物理通信介质的所述第一专用通信链路发送包括修改的一个或多个设定点的一个或多个修改的传输单元到所述第一RF产生器的所述专用收发器。
24.根据权利要求23所述的系统，其还包括：
第二控制器；以及
专用收发器，其连接到所述第二控制器，其中连接到所述第二控制器的所述专用收发器经由第二专用物理通信介质连接到所述第二RF产生器的所述专用收发器以与所述第二RF产生器的所述专用收发器通信，其中，连接到所述第二控制器的所述专用收发器不连接到所述第一RF产生器的所述专用收发器，其中连接到所述第一控制器的所述专用收发器连接到所述第二RF产生器的所述收发器。
25.根据权利要求23所述的系统，其中所述第一RF产生器的所述专用收发器不被配置为在所述一个或多个传输单元上和从连接到所述第一控制器的所述专用收发器发送至所述第一RF产生器的一个或多个修改的传输单元上执行校验和操作，其中所述第二RF产生器的所述专用收发器不配置成在从连接到所述第二控制器的所述专用收发器接收的一个或多个传输单元上执行校验和操作，其中连接到所述第一控制器的所述专用收发器不被配置为在从所述第一RFG的所述专用收发器接收的所述一个或多个传输单元上执行校验和操作，其中与所述第二控制器相关联的所述专用收发器不被配置为在从所述第二RFG的所述专用收发器接收的一个或多个传输单元上执行校验和操作。
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