JP2016181612A - 電子部品実装用接着剤及びフリップチップ実装用接着フィルム - Google Patents
電子部品実装用接着剤及びフリップチップ実装用接着フィルム Download PDFInfo
- Publication number
- JP2016181612A JP2016181612A JP2015061210A JP2015061210A JP2016181612A JP 2016181612 A JP2016181612 A JP 2016181612A JP 2015061210 A JP2015061210 A JP 2015061210A JP 2015061210 A JP2015061210 A JP 2015061210A JP 2016181612 A JP2016181612 A JP 2016181612A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- meth
- adhesive
- mounting
- acrylate
- electronic component
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/80—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected
- H01L2224/81—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected using a bump connector
Landscapes
- Adhesives Or Adhesive Processes (AREA)
- Wire Bonding (AREA)
- Adhesive Tapes (AREA)
Abstract
【課題】電子部品の実装工程時のボイドの発生を抑制でき、かつ、高い接続信頼性でフリップチップ実装を行うことができる電子部品実装用接着剤、及び、該電子部品実装用接着剤からなる接着剤層を有するフリップチップ実装用接着フィルムを提供する。
【解決手段】(メタ)アクリレート化合物とラジカル重合開始剤とを含有し、示差走査熱量計(DSC)を用いて測定温度30〜300℃、昇温10℃/minの条件で測定したときに、153〜190℃に反応ピークを有する電子部品実装用接着剤。
【選択図】 なし
【解決手段】(メタ)アクリレート化合物とラジカル重合開始剤とを含有し、示差走査熱量計(DSC)を用いて測定温度30〜300℃、昇温10℃/minの条件で測定したときに、153〜190℃に反応ピークを有する電子部品実装用接着剤。
【選択図】 なし
Description
本発明は、電子部品の実装工程時のボイドの発生を抑制でき、かつ、高い接続信頼性でフリップチップ実装を行うことができる電子部品実装用接着剤、及び、該電子部品実装用接着剤からなる接着剤層を有するフリップチップ実装用接着フィルムに関する。
半導体装置の小型化及び高密度化に伴い、半導体チップ等の電子部品を回路基板に実装する方法としてフリップチップ実装が注目され急速に広まってきている。フリップチップ実装は、はんだ等からなる多数のバンプ電極を回路基板上に直接一括で接合するため、従来のワイヤーボンディング方式に比べ、実装面積を小さくできる、電気的特性が良好、モールド封止が不要等の利点を有している。
フリップチップ実装においては、接合部分の接続信頼性を確保すること重要である。そこで、近年、半導体ウエハ又は半導体チップ表面或いは回路基板上に、ペースト状接着剤(NCP)又はフィルム状接着剤(NCF)を供給した後、半導体チップを加熱及び/又は加圧ボンディングする方法等のいわゆる先塗布型のフリップチップ実装が提案されている(例えば、特許文献1)。
ペースト状接着剤(NCP)やフィルム状接着剤(NCF)を用いてフリップチップ実装を行った場合、電子部品の実装工程時にボイドが発生して、接続信頼性が低下することがあるという問題があった。これに対して本発明者は、ペースト状接着剤(NCP)やフィルム状接着剤(NCF)の硬化成分としてラジカル硬化性樹脂を用いることを試みた。硬化速度の速いラジカル硬化性樹脂を用いることにより、実装工程時のボイドの発生を抑制することができる。しかしながら、硬化成分としてラジカル硬化性樹脂を含有する電子部品実装用接着剤を用いてフリップチップ実装を行うと、接続信頼性が低下することがあるという問題があった。
本発明は、上記現状に鑑み、電子部品の実装工程時のボイドの発生を抑制でき、かつ、高い接続信頼性でフリップチップ実装を行うことができる電子部品実装用接着剤、及び、該電子部品実装用接着剤からなる接着剤層を有するフリップチップ実装用接着フィルムを提供することを目的とする。
本発明は、(メタ)アクリレート化合物とラジカル重合開始剤とを含有し、示差走査熱量計(DSC)を用いて測定温度30〜300℃、昇温10℃/minの条件で測定したときに、153〜190℃に反応ピークを有する電子部品実装用接着剤である。
以下に本発明を詳述する。
以下に本発明を詳述する。
本発明者は、鋭意検討の結果、硬化成分としてラジカル硬化性樹脂を含有する電子部品実装用接着剤を用いてフリップチップ実装を行ったときに接続信頼性が低下する原因について検討した。その結果、ラジカル硬化性樹脂の硬化速度が速すぎるために、実装工程時に銅等の金属からなる被接合部に対してはんだが充分に濡れ広がらずに、接合部分のはんだ形状がいびつとなってしまうことが原因であることを見出した。本発明者は、更に鋭意検討の結果、ラジカル硬化性樹脂を含有し、示差走査熱量計(DSC)を用いて測定したときに153℃〜190℃に反応ピークを有する電子部品実装用接着剤であれば、ボイドの抑制効果を有しながら、はんだ濡れ性を改善して、高い接続信頼性を発揮できることを見出し、本発明を完成した。
本発明の半導体接着剤は、(メタ)アクリレート化合物とラジカル重合開始剤とを含有すものであって、示差走査熱量計(DSC)を用いて測定温度30〜300℃、昇温10℃/minの条件で測定したときに、153〜190℃に反応ピークを有する。特定の温度範囲に反応ピークが観測されるようにすることにより、実装工程時のボイドの発生を抑制しながら、はんだ濡れ性を改善して、高い接続信頼性を発揮することができる。好ましくは、167〜180℃に反応ピークを有することである。
DSCは、被検物質の状態の変化を観測することができる。(メタ)アクリレート化合物とラジカル重合開始剤を含有する半導体接着剤をDSC測定した場合、(メタ)アクリレート化合物の反応による状態の変化により、上に凸の曲線が描かれる。153〜190℃に反応ピークを有するとは、該ピーク温度において(メタ)アクリレート化合物の反応が最も盛んに起こっていることを意味する。(メタ)アクリレート化合物の反応が153〜190℃の範囲内で最も盛んに起こるようにすることにより、(メタ)アクリレ実装工程時のボイドの発生を抑制しながら、はんだ濡れ性を改善して、高い接続信頼性を発揮することができる。
上記(メタ)アクリレート化合物は、(メタ)アクリロイル基を有するものであれば特に限定されないが、ペースト状接着剤(NCP)やフィルム状接着剤(NCF)として用いるためには、側鎖に(メタ)アクリロイル基を有するアクリルポリマーと多官能(メタ)アクリレートモノマーとを含有することが好ましい。
上記側鎖に(メタ)アクリロイル基を有するアクリルポリマーは、側鎖に(メタ)アクリロイル基を有していれば特に限定されないが、側鎖にのみ(メタ)アクリロイル基を有することが好ましい。
なお、側鎖に(メタ)アクリロイル基を有するとは、最も長い炭素鎖である「主鎖」の片末端又は両末端ではなく、主鎖から分岐した「側鎖」中に(メタ)アクリロイル基を有することを意味する。
なお、側鎖に(メタ)アクリロイル基を有するとは、最も長い炭素鎖である「主鎖」の片末端又は両末端ではなく、主鎖から分岐した「側鎖」中に(メタ)アクリロイル基を有することを意味する。
上記側鎖に(メタ)アクリロイル基を有するアクリルポリマーは、二重結合当量の好ましい下限が1meq/g、好ましい上限が5meq/gである。二重結合当量がこの範囲内の側鎖に(メタ)アクリロイル基を有するアクリルポリマーを用いることにより、より確実にラジカル重合反応により硬化させることができ、ボイドの発生を抑制することができる。二重結合当量のより好ましい下限が1.1meq/g、より好ましい上限が4.5meq/gである。
なお、本明細書における二重結合当量とは、側鎖に(メタ)アクリロイル基を有するアクリルポリマー1g当たりの(メタ)アクリロイル基の平均個数に関する指標を意味し、具体的には、下記式(a)から算出される。
二重結合当量(meq/g)
=[側鎖に(メタ)アクリロイル基を有するアクリルポリマー1分子中の(メタ)アクリロイル基の平均個数]×1000/[側鎖に(メタ)アクリロイル基を有するアクリルポリマーの数平均分子量] (a)
なお、二重結合当量はヨウ素価を測定することにより算出できる。
なお、本明細書における二重結合当量とは、側鎖に(メタ)アクリロイル基を有するアクリルポリマー1g当たりの(メタ)アクリロイル基の平均個数に関する指標を意味し、具体的には、下記式(a)から算出される。
二重結合当量(meq/g)
=[側鎖に(メタ)アクリロイル基を有するアクリルポリマー1分子中の(メタ)アクリロイル基の平均個数]×1000/[側鎖に(メタ)アクリロイル基を有するアクリルポリマーの数平均分子量] (a)
なお、二重結合当量はヨウ素価を測定することにより算出できる。
上記側鎖に(メタ)アクリロイル基を有するアクリルポリマーは、官能基含有アクリルポリマーに、その官能基と反応可能であり、かつ、(メタ)アクリロイル基を有する化合物を反応させて得られたポリマーであることが好ましい。
なお、必ずしも官能基含有アクリルポリマーの官能基の全てが、その官能基と反応可能であり、かつ、(メタ)アクリロイル基を有する化合物と反応している必要はない。
なお、必ずしも官能基含有アクリルポリマーの官能基の全てが、その官能基と反応可能であり、かつ、(メタ)アクリロイル基を有する化合物と反応している必要はない。
上記官能基含有アクリルポリマーは、例えば、官能基含有(メタ)アクリルモノマーを含有するモノマー混合物を重合又は共重合させて得られる。このときの重合方法は特に限定されず、例えば、溶液重合(沸点重合又は定温重合)、乳化重合、懸濁重合、塊状重合等の従来公知の方法が挙げられる。
上記官能基含有(メタ)アクリルモノマーは特に限定されず、例えば、4−ヒドロキシブチル(メタ)アクリレート、グリセロールモノ(メタ)アクリレート、1,6−ヘキサンジオール(メタ)アクリレート、ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、ポリプロピレングリコールモノ(メタ)アクリレート等の水酸基含有(メタ)アクリルモノマーや、N−メチル(メタ)アクリルアミド等のアミド基含有(メタ)アクリルモノマーや、(メタ)アクリロイルオキシエチルイソシアネート、メタ−イソプロぺニル−α,α−ジメチルベンジルイソシアネート、(メタ)アクリロイルイソシアネート、アリルイソシアネート等のイソシアネート基含有(メタ)アクリルモノマーや、グリシジル(メタ)アクリレート等のエポキシ基含有(メタ)アクリルモノマーや、(メタ)アクリル酸等のカルボキシル基含有(メタ)アクリルモノマーや、(メタ)アクリル酸アミノエチル等のアミノ基含有(メタ)アクリルモノマー等が挙げられる。これらの官能基含有(メタ)アクリルモノマーは、単独で用いてもよく、2種以上を併用してもよい。
上記モノマー混合物は、上記官能基含有(メタ)アクリルモノマーに加えて、例えば、N−ビニルピロリドン、N−ビニルカプロラクタム、N−アクリロイルモルフォリン、アクリロニトリル、スチレン、酢酸ビニル等のビニル化合物;メチル(メタ)アクリレート、エチル(メタ)アクリレート、プロピル(メタ)アクリレート、n−ブチル(メタ)アクリレート、tert−ブチル(メタ)アクリレート、2−エチルヘキシル(メタ)アクリレート、n−オクチル(メタ)アクリレート、イソオクチル(メタ)アクリレート、イソノニル(メタ)アクリレート、イソミリスチル(メタ)アクリレート、ステアリル(メタ)アクリレート等の(メタ)アクリル酸アルキルエステル;シクロヘキシル(メタ)アクリレート、イソボルニル(メタ)アクリレート、ベンジル(メタ)アクリレート、2−ブトキシエチル(メタ)アクリレート、2−フェノキシエチル(メタ)アクリレート、テトラヒドロフルフリル(メタ)アクリレート等を含有していてもよい。これらのモノマーは、単独で用いてもよく、2種以上を併用してもよい。
上記官能基と反応可能であり、かつ、(メタ)アクリロイル基を有する化合物として、例えば、カルボキシル基、水酸基、エポキシ基、アミノ基、イソシアネート基、アミド基等の官能基を有し、かつ、(メタ)アクリロイル基を有する化合物が挙げられる。具体的には例えば、次の(1)〜(5)の場合が挙げられる。
(1)水酸基含有アクリルポリマーに対しては、アミド基、イソシアネート基、エポキシ基及びカルボキシル基からなる群より選択される少なくとも1つを有し、かつ、(メタ)アクリロイル基を有する化合物を反応させればよい。
(2)カルボキシル基含有アクリルポリマーに対しては、エポキシ基又はイソシアネート基を有し、かつ、(メタ)アクリロイル基を有する化合物を反応させればよい。
(3)エポキシ基含有アクリルポリマーに対しては、カルボキシル基又はアミド基を有し、かつ、(メタ)アクリロイル基を有する化合物を反応させればよい。
(4)アミノ基含有アクリルポリマーに対しては、エポキシ基を有し、かつ、(メタ)アクリロイル基を有する化合物を反応させればよい。
(5)イソシアネート基含有アクリルポリマーに対しては、水酸基又はカルボキシル基を有し、かつ、(メタ)アクリロイル基を有する化合物を反応させればよい。
(1)水酸基含有アクリルポリマーに対しては、アミド基、イソシアネート基、エポキシ基及びカルボキシル基からなる群より選択される少なくとも1つを有し、かつ、(メタ)アクリロイル基を有する化合物を反応させればよい。
(2)カルボキシル基含有アクリルポリマーに対しては、エポキシ基又はイソシアネート基を有し、かつ、(メタ)アクリロイル基を有する化合物を反応させればよい。
(3)エポキシ基含有アクリルポリマーに対しては、カルボキシル基又はアミド基を有し、かつ、(メタ)アクリロイル基を有する化合物を反応させればよい。
(4)アミノ基含有アクリルポリマーに対しては、エポキシ基を有し、かつ、(メタ)アクリロイル基を有する化合物を反応させればよい。
(5)イソシアネート基含有アクリルポリマーに対しては、水酸基又はカルボキシル基を有し、かつ、(メタ)アクリロイル基を有する化合物を反応させればよい。
上記側鎖に(メタ)アクリロイル基を有するアクリルポリマーの重量平均分子量(Mw)は特に限定されないが、好ましい下限は1万、好ましい上限は100万である。上記重量平均分子量が1万未満であると、電子部品実装用接着剤の硬化物が脆くなり、耐リフロー性が低下することがある。上記重量平均分子量が100万を超えると、電子部品実装用接着剤の粘度が高くなりすぎ、製膜性が低下したり、実装時にはんだ接合部への樹脂(接着剤)の噛み込みが起きやすくなったりすることがある。上記重量平均分子量のより好ましい下限は10万、より好ましい上限は80万である。
なお、重量平均分子量(Mw)は、ゲルパミエーションクロマトグラフィ(GPC)法によりポリスチレン換算分子量として測定される。具体的には、重量平均分子量(Mw)は、アクリルポリマーをテトラヒドロフラン(THF)によって50倍希釈して得られた希釈液をフィルターで濾過し、得られた濾液を用いてGPC法によりポリスチレン換算分子量として測定される。GPC法では、例えば、2690 Separations Model(Waters社製)等を使用できる。
なお、重量平均分子量(Mw)は、ゲルパミエーションクロマトグラフィ(GPC)法によりポリスチレン換算分子量として測定される。具体的には、重量平均分子量(Mw)は、アクリルポリマーをテトラヒドロフラン(THF)によって50倍希釈して得られた希釈液をフィルターで濾過し、得られた濾液を用いてGPC法によりポリスチレン換算分子量として測定される。GPC法では、例えば、2690 Separations Model(Waters社製)等を使用できる。
上記多官能(メタ)アクリレートモノマーとしては、例えば、トリメチロールプロパンジ(メタ)アクリレート、トリメチロールエタンジ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールジ(メタ)アクリレート、ジトリメチロールプロパンジ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールジ(メタ)アクリレート等の2官能(メタ)アクリレートモノマーや、エトキシ化イソシアヌル酸トリ(メタ)アクリレート、トリメチロールエタントリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート等の3官能(メタ)アクリレートモノマーや、ジトリメチロールプロパンテトラ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート等の4官能(メタ)アクリレートモノマーや、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート等の5官能(メタ)アクリレートモノマーや、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート等の6官能(メタ)アクリレートモノマー等が挙げられる。更に、多官能ウレタン(メタ)アクリレート化合物や多官能ポリエステル(メタ)アクリレート化合物等も用いることができる。これらの多官能(メタ)アクリレートモノマーは、単独で用いてもよく、2種以上を併用してもよい。
なお、本明細書中、1分子中に(メタ)アクリレート部分に加えてエポキシ基を有する化合物は「多官能(メタ)アクリレート化合物」には含まず、後述する「エポキシ樹脂」であるものとする。
なお、本明細書中、1分子中に(メタ)アクリレート部分に加えてエポキシ基を有する化合物は「多官能(メタ)アクリレート化合物」には含まず、後述する「エポキシ樹脂」であるものとする。
上記多官能(メタ)アクリレートモノマーの含有量は特に限定されないが、上記側鎖に(メタ)アクリロイル基を有するアクリルポリマー100重量部に対する好ましい下限は20重量部、好ましい上限は300重量部である。上記多官能(メタ)アクリレートモノマーの含有量がこの範囲内であれば、より確実にラジカル重合反応により硬化し、ボイドの発生を抑制することができる。上記含有量のより好ましい下限は25重量部、より好ましい上限は250重量部である。
上記ラジカル重合開始剤としては、ラジカル重合に一般的に用いられる重合開始剤を用いることができるが、熱ラジカル重合開始剤が好ましい。上記熱ラジカル重合開始剤として、例えば、アゾ化合物、過酸化物等が挙げられる。これらの熱ラジカル重合開始剤は、単独で用いてもよく、2種以上を併用してもよい。なお、アゾ化合物の場合、反応時にアウトガスとして窒素が発生し、硬化物中にボイドとして残存することがあることから、過酸化物がより好適に用いられる。
上記過酸化物として、例えば、ケトンパーオキサイド、パーオキシケタール、ハイドロパーオキサイド、ジアルキルパーオキサイド、ジアシルパーオキサイド、パーオキシエステル、パーオキシジカーボネート等が挙げられる。
本発明の電子部品実装用接着剤が、DSC測定したときに153〜190℃に反応ピークを有するようにするためには、上記ラジカル重合開始剤の種類の選択が特に重要である。即ち、1分間半減期温度が180〜300℃であるラジカル重合開始剤を選択して用いることが好ましい。より好ましくは、1分間半減期温度が230〜280℃であるラジカル重合開始剤である。
上記1分間半減期温度が180〜300℃であるラジカル重合開始剤の市販品としては、例えば、パーヘキシン25B(1分間半減期温度が194℃)、パーブチルH69(1分間半減期温度が261℃)(以上、日油社製)等が挙げられる。
本発明の電子部品実装用接着剤が、DSC測定したときに153〜190℃に反応ピークを有するようにするためには、上記ラジカル重合開始剤の配合量も重要である。上記ラジカル重合開始剤の含有量は、上記側鎖に(メタ)アクリロイル基を有するアクリルポリマー100重量部に対する好ましい下限が0.01重量部、好ましい上限が1重量部である。上記ラジカル重合開始剤の配合量がこの範囲内であれば、充分なラジカル硬化性を発揮しながら、DSC測定したときの反応ピークを所期の範囲内に調整することができる。上記含有量のより好ましい下限は0.02重量部、より好ましい上限は0.1重量部である。
本発明の電子部品実装用接着剤は、更に、エポキシ樹脂を含有することが好ましい。エポキシ樹脂を含有することにより、電子部品実装用接着剤の接合信頼性及び耐熱性がより高くなり、耐リフロー性が向上する。
上記エポキシ樹脂は特に限定されないが、上記側鎖に(メタ)アクリロイル基を有するアクリルポリマーと上記多官能(メタ)アクリレートモノマーとの反応系に取り込まれることから、1分子中にエポキシ基と(メタ)アクリロイル基とを有するエポキシ化合物を含有することが好ましい。
なお、本明細書中、1分子中にエポキシ基と(メタ)アクリロイル基とを有する化合物はすべて「エポキシ樹脂」であるものとみなし、この場合、1分子中の(メタ)アクリロイル基の数は特に限定されない。
なお、本明細書中、1分子中にエポキシ基と(メタ)アクリロイル基とを有する化合物はすべて「エポキシ樹脂」であるものとみなし、この場合、1分子中の(メタ)アクリロイル基の数は特に限定されない。
上記1分子中にエポキシ基と(メタ)アクリロイル基とを有するエポキシ化合物として、例えば、一般的に使用されるエポキシ樹脂のエポキシ基を、部分的に(メタ)アクリル基に変換又は変性した化合物等が挙げられる。
上記一般的に使用されるエポキシ樹脂は特に限定されず、例えば、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、ジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂、ナフタレン型エポキシ樹脂等が挙げられる。また、上記1分子中にエポキシ基と(メタ)アクリロイル基とを有するエポキシ化合物として、4−ヒドロキシブチルアクリレートグリシジルエーテル等を用いることもできる。これらの1分子中にエポキシ基と(メタ)アクリロイル基とを有するエポキシ化合物は、単独で用いてもよく、2種以上を併用してもよい。
上記一般的に使用されるエポキシ樹脂は特に限定されず、例えば、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、ジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂、ナフタレン型エポキシ樹脂等が挙げられる。また、上記1分子中にエポキシ基と(メタ)アクリロイル基とを有するエポキシ化合物として、4−ヒドロキシブチルアクリレートグリシジルエーテル等を用いることもできる。これらの1分子中にエポキシ基と(メタ)アクリロイル基とを有するエポキシ化合物は、単独で用いてもよく、2種以上を併用してもよい。
上記1分子中にエポキシ基と(メタ)アクリロイル基とを有するエポキシ化合物としては、例えば、エポキシ基導入アクリル系ポリマー等のポリマーを用いることもできる。
また、上記1分子中にエポキシ基と(メタ)アクリロイル基とを有するエポキシ化合物と、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂等、ジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂、ナフタレン型エポキシ樹脂等の一般的なエポキシ樹脂とを併用してもよい。
上記エポキシ樹脂の含有量は特に限定されないが、電子部品実装用接着剤中の好ましい下限が30重量%、好ましい上限が70重量%である。上記含有量が30重量%未満であると、電子部品実装用接着剤の接合信頼性又は耐熱性が低下することがある。上記含有量が70重量%を超えると、実装後の冷却過程でボイドが発生しやすくなることがある。
本発明の電子部品実装用接着剤が上記エポキシ樹脂を含有する場合には、更に、エポキシ硬化剤を含有することが好ましい。
上記エポキシ硬化剤は特に限定されず、従来公知のエポキシ硬化剤を上記エポキシ樹脂に合わせて適宜選択することができ、例えば、酸無水物系硬化剤、フェノール系硬化剤、アミン系硬化剤、ジシアンジアミド等の潜在性硬化剤、カチオン系触媒型硬化剤、イミダゾール系硬化剤、3級アミン系硬化促進剤等が挙げられる。これらのエポキシ硬化剤は、単独で用いてもよく、2種以上を併用してもよい。なかでも、硬化速度、硬化物の物性等を調整しやすいことから、酸無水物系硬化剤が好ましく、硬化速度、硬化物の物性等の調整をするための反応系の制御をしやすいことから、イミダゾール系硬化剤が好ましい。
上記エポキシ硬化剤は特に限定されず、従来公知のエポキシ硬化剤を上記エポキシ樹脂に合わせて適宜選択することができ、例えば、酸無水物系硬化剤、フェノール系硬化剤、アミン系硬化剤、ジシアンジアミド等の潜在性硬化剤、カチオン系触媒型硬化剤、イミダゾール系硬化剤、3級アミン系硬化促進剤等が挙げられる。これらのエポキシ硬化剤は、単独で用いてもよく、2種以上を併用してもよい。なかでも、硬化速度、硬化物の物性等を調整しやすいことから、酸無水物系硬化剤が好ましく、硬化速度、硬化物の物性等の調整をするための反応系の制御をしやすいことから、イミダゾール系硬化剤が好ましい。
上記酸無水物系硬化剤のうち、市販品として、例えば、YH−306、YH−307(以上、三菱化学社製、常温(25℃)で液状)、YH−309(三菱化学社製、常温(25℃)で固体)等が挙げられる。これらの酸無水物系硬化剤は、単独で用いてもよく、2種以上を併用してもよい。
上記イミダゾール系硬化剤は特に限定されず、例えば、フジキュアー7000、フジキュアー7001、フジキュアー7002(以上、T&K TOKA社製、常温(25℃)で液状)、イミダゾールの1位をシアノエチル基で保護した1−シアノエチル−2−フェニルイミダゾール、イソシアヌル酸で塩基性を保護したイミダゾール系硬化剤(商品名「2MA−OK」、四国化成工業社製、常温(25℃)で固体)、2MZ、2MZ−P、2PZ、2PZ−PW、2P4MZ、C11Z−CNS、2PZ−CNS、2PZCNS−PW、2MZ−A、2MZA−PW、C11Z−A、2E4MZ−A、2MAOK−PW、2PZ−OK、2MZ−OK、2PHZ、2PHZ−PW、2P4MHZ、2P4MHZ−PW、2E4MZ・BIS、VT、VT−OK、MAVT、MAVT−OK(以上、四国化成工業社製)等が挙げられる。これらのイミダゾール系硬化剤は、単独で用いてもよく、2種以上を併用してもよい。
上記イミダゾール系硬化剤は特に限定されず、例えば、フジキュアー7000、フジキュアー7001、フジキュアー7002(以上、T&K TOKA社製、常温(25℃)で液状)、イミダゾールの1位をシアノエチル基で保護した1−シアノエチル−2−フェニルイミダゾール、イソシアヌル酸で塩基性を保護したイミダゾール系硬化剤(商品名「2MA−OK」、四国化成工業社製、常温(25℃)で固体)、2MZ、2MZ−P、2PZ、2PZ−PW、2P4MZ、C11Z−CNS、2PZ−CNS、2PZCNS−PW、2MZ−A、2MZA−PW、C11Z−A、2E4MZ−A、2MAOK−PW、2PZ−OK、2MZ−OK、2PHZ、2PHZ−PW、2P4MHZ、2P4MHZ−PW、2E4MZ・BIS、VT、VT−OK、MAVT、MAVT−OK(以上、四国化成工業社製)等が挙げられる。これらのイミダゾール系硬化剤は、単独で用いてもよく、2種以上を併用してもよい。
上記エポキシ硬化剤の含有量は特に限定されず、エポキシ基と等量反応するエポキシ硬化剤を用いる場合、上記エポキシ硬化剤の含有量は、電子部品実装用接着剤中に含まれるエポキシ基の総量に対する好ましい下限が60当量、好ましい上限が110当量である。上記含有量が60当量未満であると、上記エポキシ樹脂を充分に硬化させることができないことがある。上記含有量が110当量を超えても、特に電子部品実装用接着剤の硬化性には寄与せず、過剰なエポキシ硬化剤が揮発することによってボイドの原因となることがある。上記含有量のより好ましい下限は70当量、より好ましい上限は100当量である。
本発明の電子部品実装用接着剤は、更に、無機フィラーを含有することが好ましい。無機フィラーを含有することにより、電子部品実装用接着剤の硬化物の機械的強度及び耐熱性がより高くなり、また、硬化物の線膨張係数が低下して、接合信頼性がより高くなる。
上記無機フィラーは特に限定されず、例えば、シリカ、アルミナ、窒化アルミニウム、窒化ホウ素、窒化珪素、炭化珪素、酸化マグネシウム、酸化亜鉛等が挙げられる。なかでも、流動性に優れることから球状シリカが好ましく、メチルシランカップリング剤、フェニルシランカップリング剤、ビニルシランカップリング剤、(メタ)アクリルシランカップリング剤等で表面処理された球状シリカがより好ましい。表面処理された球状シリカを用いることで、電子部品実装用接着剤の製膜性を高めることができる。
上記無機フィラーの平均粒子径は特に限定されないが、電子部品実装用接着剤の透明性、流動性、接合信頼性等の観点から、0.01〜1μm程度が好ましい。
上記無機フィラーは単独で使用してもよいし、複数種の無機フィラーを混合して使用してもよい。
上記無機フィラーは単独で使用してもよいし、複数種の無機フィラーを混合して使用してもよい。
上記無機フィラーの含有量は特に限定されないが、電子部品実装用接着剤中の好ましい下限が10重量%、好ましい上限が70重量%である。上記含有量が10重量%未満であると、電子部品実装用接着剤の硬化物の強度又は接合信頼性が低下することがある。上記含有量が70重量%を超えると、電子部品実装用接着剤の製膜性が低下することがある。上記含有量のより好ましい下限は20重量%、より好ましい上限は60重量%である。
本発明の電子部品実装用接着剤は、更に、(メタ)アクリル基を有するシランカップリング剤を含有することが好ましい。(メタ)アクリル基を有するシランカップリング剤を含有することにより、シリコン等からなる半導体ウエハ又はチップに対する電子部品実装用接着剤の接着力が高まり、リフロー等の過酷な熱湿条件下においても半導体ウエハ又はチップとの接着界面での剥離又はパッケージクラックが発生せず、高い接合信頼性を得ることができる。
上記(メタ)アクリル基を有するシランカップリング剤として、例えば、3−メタクリロキシプロピルメチルジメトキシシラン、3−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、3−メタクリロキシプロピルメチルジエトキシシラン、3−メタクリロキシプロピルトリエトキシシラン、3−アクリロキシプロピルトリメトキシシラン等が挙げられる。これらの(メタ)アクリル基を有するシランカップリング剤は、単独で用いてもよく、2種以上を併用してもよい。
上記(メタ)アクリル基を有するシランカップリング剤の含有量は特に限定されないが、電子部品実装用接着剤中の好ましい下限が0.05重量%、好ましい上限が5重量%である。上記含有量が0.05重量%未満であると、リフロー等の過酷な熱湿条件下において半導体ウエハ又はチップと電子部品実装用接着剤との接着界面での剥離又はパッケージクラックが発生することがある。上記含有量が5重量%を超えても、電子部品実装用接着剤の接着力及び耐湿熱性の向上に寄与しない。上記含有量のより好ましい下限は0.1重量%、より好ましい上限は3重量%である。
本発明の電子部品実装用接着剤は、必要に応じて、更に、希釈剤、チキソトロピー付与剤、溶媒、無機イオン交換体、ブリード防止剤、チタネート系カップリング剤、タッキファイヤー等の密着性付与剤、ゴム粒子等の応力緩和剤等のその他の添加剤を含有してもよい。
本発明の電子部品実装用接着剤を製造する方法は特に限定されず、例えば、上記側鎖に(メタ)アクリロイル基を有するアクリルポリマー、多官能(メタ)アクリレートモノマー及びラジカル重合開始剤に、必要に応じてその他の成分を所定量配合して混合する方法等が挙げられる。
上記混合の方法は特に限定されず、例えば、ホモディスパー、万能ミキサー、バンバリーミキサー、ニーダー等を使用する方法が挙げられる。
上記混合の方法は特に限定されず、例えば、ホモディスパー、万能ミキサー、バンバリーミキサー、ニーダー等を使用する方法が挙げられる。
本発明の電子部品実装用接着剤の用途は特に限定されないが、フリップチップ実装に用いられることで、ボイドの抑制効果を有しながら、はんだ濡れ性を改善して、高い接続信頼性を発揮できる。
なかでも、本発明の電子部品実装用接着剤からなる接着剤層を有するフリップチップ実装用接着フィルムを、基板又は半導体チップに予め貼付しておき、加熱により電極接合と接着剤の硬化とを同時に行って半導体チップを実装することが好ましい。
本発明の電子部品実装用接着剤からなる接着剤層を有するフリップチップ実装用接着フィルムもまた、本発明の1つである。
なかでも、本発明の電子部品実装用接着剤からなる接着剤層を有するフリップチップ実装用接着フィルムを、基板又は半導体チップに予め貼付しておき、加熱により電極接合と接着剤の硬化とを同時に行って半導体チップを実装することが好ましい。
本発明の電子部品実装用接着剤からなる接着剤層を有するフリップチップ実装用接着フィルムもまた、本発明の1つである。
本発明の電子部品実装用接着剤の厚みは特に限定されないが、好ましい下限は5μm、好ましい上限は60μmであり、より好ましい下限は10μm、より好ましい上限は50μmである。
本発明のフリップチップ実装用接着フィルムを製造する方法は特に限定されず、例えば、上記側鎖に(メタ)アクリロイル基を有するアクリルポリマーと、上記多官能(メタ)アクリレートモノマーと、上記ラジカル重合開始剤とに、必要に応じてその他の成分と溶媒とを所定量配合して混合し、得られた接着剤溶液を離型フィルム上に塗工し、乾燥させてフィルムを製造する方法等が挙げられる。
本発明のフリップチップ実装用接着フィルムを製造する方法は特に限定されず、例えば、上記側鎖に(メタ)アクリロイル基を有するアクリルポリマーと、上記多官能(メタ)アクリレートモノマーと、上記ラジカル重合開始剤とに、必要に応じてその他の成分と溶媒とを所定量配合して混合し、得られた接着剤溶液を離型フィルム上に塗工し、乾燥させてフィルムを製造する方法等が挙げられる。
本発明によれば、電子部品の実装工程時のボイドの発生を抑制でき、かつ、高い接続信頼性でフリップチップ実装を行うことができる電子部品実装用接着剤、及び、該電子部品実装用接着剤からなる接着剤層を有するフリップチップ実装用接着フィルムを提供することができる。
以下に実施例を挙げて本発明の態様を更に詳しく説明するが、本発明はこれら実施例にのみ限定されるものではない。
(実施例1〜7、比較例1〜4)
(1)フリップチップ実装用接着フィルムの作製
材料として下記のものを用いた。表1に記載の配合組成に従って、各材料を溶媒としてのメチルエチルケトン(MEK)に添加し、ホモディスパーを用いて攪拌混合することにより接着剤溶液を製造した。得られた接着剤溶液を、アプリケーターを用いて離型PETフィルム上に乾燥後の厚みが30μmとなるように塗工し、乾燥させることにより、フリップチップ実装用接着フィルムを製造した。使用時まで、得られた接着剤層の表面を離型PETフィルム(保護フィルム)で保護した。
(1)フリップチップ実装用接着フィルムの作製
材料として下記のものを用いた。表1に記載の配合組成に従って、各材料を溶媒としてのメチルエチルケトン(MEK)に添加し、ホモディスパーを用いて攪拌混合することにより接着剤溶液を製造した。得られた接着剤溶液を、アプリケーターを用いて離型PETフィルム上に乾燥後の厚みが30μmとなるように塗工し、乾燥させることにより、フリップチップ実装用接着フィルムを製造した。使用時まで、得られた接着剤層の表面を離型PETフィルム(保護フィルム)で保護した。
(側鎖に(メタ)アクリロイル基を有するアクリルポリマー)
TA−146:新中村化学社製、アクリル基を導入したメチルメタクリレート/ブチルアクリレート/ヒドロキシエチルメタクリレート共重合体ポリマー、二重結合当量1.5meq/g、Mw20万。
(多官能(メタ)アクリレートモノマー)
DCP−A:共栄社製、ジシクロペンタジエン型ジアクリレート。
(エポキシ樹脂)
EA−7310:新中村化学社製、エポキシ基含有アクリレート化合物(クレゾールノボラック型エポキシアクリレート)。
G−2050M:日油社製、エポキシ基導入アクリル系ポリマー、エポキシ当量2.9meq/g、Mw20万。
(ラジカル重合開始剤)
パーヘキシン25B:日油社製、1分間半減期温度194℃。
パーブチルH69:日油社製、1分間半減期温度261℃。
パークミルD:日油社製、1分間半減期温度175℃。
パーヘキシルZ:日油社製、1分間半減期温度160℃。
(エポキシ硬化剤)
フジキュア7000:T&K TOKA社製、イミダゾール系エポキシ硬化剤。
(無機フィラー)
SSP−01PT:トクヤマ社製。
TA−146:新中村化学社製、アクリル基を導入したメチルメタクリレート/ブチルアクリレート/ヒドロキシエチルメタクリレート共重合体ポリマー、二重結合当量1.5meq/g、Mw20万。
(多官能(メタ)アクリレートモノマー)
DCP−A:共栄社製、ジシクロペンタジエン型ジアクリレート。
(エポキシ樹脂)
EA−7310:新中村化学社製、エポキシ基含有アクリレート化合物(クレゾールノボラック型エポキシアクリレート)。
G−2050M:日油社製、エポキシ基導入アクリル系ポリマー、エポキシ当量2.9meq/g、Mw20万。
(ラジカル重合開始剤)
パーヘキシン25B:日油社製、1分間半減期温度194℃。
パーブチルH69:日油社製、1分間半減期温度261℃。
パークミルD:日油社製、1分間半減期温度175℃。
パーヘキシルZ:日油社製、1分間半減期温度160℃。
(エポキシ硬化剤)
フジキュア7000:T&K TOKA社製、イミダゾール系エポキシ硬化剤。
(無機フィラー)
SSP−01PT:トクヤマ社製。
(2)半導体パッケージの製造
先端部がはんだからなるバンプが50μmピッチでペリフェラル状に形成されたウエハ(WALTS−TEG MB50−0101JY、はんだ溶融点235℃、ウォルツ社製)を用意した。接着フィルムの片面の保護フィルムを剥がし、真空ラミネーター(ATM−812M、タカトリ社製)を用いて、ステージ温度80℃、真空度100Paでウエハのバンプが形成された面に接着フィルムを貼り合わせた。
接着フィルムの他面の離型PETフィルムを剥がし、露出した接着剤面に、研削用保護テープ(エレップホルダーBT3100P、日東電工社製)をラミネートした。次いで、研削装置(DFG8560、ディスコ社製)を用いて、厚みが100μmとなるまでウエハの裏面を研削した。ウエハの研削した面にダイシングテープを貼り付け、研削用保護テープを剥離した。その後、ダイシング装置(DFD651、ディスコ社製)を用いて、送り速度20mm/秒でウエハをダイシングして、厚みが30μmの接着剤層が付着した接着剤層付き半導体チップ(7.6mm×7.6mm)を得た。
Ni/Au電極を有する基板(WALTS−KIT MB50−0101JY、ウォルツ社製)を用意した。フリップチップボンダ(FC−3000、東レエンジニアリング社製)を用いて、ボンディングステージ温度100℃の条件下で、120℃接触で280℃まで2秒かけて昇温し、280℃、0.8MPaで2秒間荷重をかけ、得られた接着剤層付き半導体チップを基板上に熱圧着した。その後、常圧190℃オーブンで30分間保持することにより、接着剤層を完全に硬化させて、半導体パッケージを得た。
先端部がはんだからなるバンプが50μmピッチでペリフェラル状に形成されたウエハ(WALTS−TEG MB50−0101JY、はんだ溶融点235℃、ウォルツ社製)を用意した。接着フィルムの片面の保護フィルムを剥がし、真空ラミネーター(ATM−812M、タカトリ社製)を用いて、ステージ温度80℃、真空度100Paでウエハのバンプが形成された面に接着フィルムを貼り合わせた。
接着フィルムの他面の離型PETフィルムを剥がし、露出した接着剤面に、研削用保護テープ(エレップホルダーBT3100P、日東電工社製)をラミネートした。次いで、研削装置(DFG8560、ディスコ社製)を用いて、厚みが100μmとなるまでウエハの裏面を研削した。ウエハの研削した面にダイシングテープを貼り付け、研削用保護テープを剥離した。その後、ダイシング装置(DFD651、ディスコ社製)を用いて、送り速度20mm/秒でウエハをダイシングして、厚みが30μmの接着剤層が付着した接着剤層付き半導体チップ(7.6mm×7.6mm)を得た。
Ni/Au電極を有する基板(WALTS−KIT MB50−0101JY、ウォルツ社製)を用意した。フリップチップボンダ(FC−3000、東レエンジニアリング社製)を用いて、ボンディングステージ温度100℃の条件下で、120℃接触で280℃まで2秒かけて昇温し、280℃、0.8MPaで2秒間荷重をかけ、得られた接着剤層付き半導体チップを基板上に熱圧着した。その後、常圧190℃オーブンで30分間保持することにより、接着剤層を完全に硬化させて、半導体パッケージを得た。
<評価>
実施例、比較例で得られたフリップチップ実装用接着フィルム及び半導体パッケージについて以下の評価を行った。結果を表1に示した。
実施例、比較例で得られたフリップチップ実装用接着フィルム及び半導体パッケージについて以下の評価を行った。結果を表1に示した。
(1)反応ピーク温度の測定
フリップチップ実装用接着フィルムについて、示差走査熱量計(セイコー電子工業社製、DSC−6200R)を用いて測定温度30〜300℃、昇温10℃/minの条件で測定を行い、反応ピークの温度を求めた。
フリップチップ実装用接着フィルムについて、示差走査熱量計(セイコー電子工業社製、DSC−6200R)を用いて測定温度30〜300℃、昇温10℃/minの条件で測定を行い、反応ピークの温度を求めた。
(2)はんだ接合性評価
研磨機を用いて半導体パッケージを断面研磨し、マイクロスコープを用いて電極接合の状態を観察した。このとき、図1(a)に示したように、はんだが基板の電極の側面の一部にまで濡れ広がっていることが認められた場合を「○」、図1(b)に示したように、はんだが電極の側面にまでは濡れ広がっておらず、はんだが横方向に押し広げられていることが認められた場合を「×」と評価した。
研磨機を用いて半導体パッケージを断面研磨し、マイクロスコープを用いて電極接合の状態を観察した。このとき、図1(a)に示したように、はんだが基板の電極の側面の一部にまで濡れ広がっていることが認められた場合を「○」、図1(b)に示したように、はんだが電極の側面にまでは濡れ広がっておらず、はんだが横方向に押し広げられていることが認められた場合を「×」と評価した。
(3)ボイド評価
超音波探査映像装置(C−SAM D9500、日本バーンズ社製)を用いて半導体パッケージを観察し、ボイドの有無を評価した。半導体チップの接着面積に対するボイド発生部分の面積が0.5%未満であった場合を「〇」、半導体チップの接着面積に対するボイド発生部分の面積が0.5%以上1%未満であった場合を「△」、半導体チップの接着面積に対するボイド発生部分の面積が1%以上であった場合を「×」とした。なお、評価は、n数を5個として、半導体チップの接着面積に対するボイド発生部分の面積が最も小さかった半導体パッケージについて行った。
超音波探査映像装置(C−SAM D9500、日本バーンズ社製)を用いて半導体パッケージを観察し、ボイドの有無を評価した。半導体チップの接着面積に対するボイド発生部分の面積が0.5%未満であった場合を「〇」、半導体チップの接着面積に対するボイド発生部分の面積が0.5%以上1%未満であった場合を「△」、半導体チップの接着面積に対するボイド発生部分の面積が1%以上であった場合を「×」とした。なお、評価は、n数を5個として、半導体チップの接着面積に対するボイド発生部分の面積が最も小さかった半導体パッケージについて行った。
(4)接続信頼性評価
半導体パッケージを85℃、60RH%に168時間放置して吸湿させた後、はんだリフロー炉(プレヒート150℃×100秒、リフロー[最高温度260℃])に4回通過させた。n数を20個として、半導体チップの基板からの剥離が発生した半導体パッケージの個数を確認した。20個の半導体パッケージのうち、剥離が発生した半導体パッケージが0個であった場合を「◎」、1〜3個であった場合を「○」、4〜20個であった場合を「×」とした。ただし、比較例1〜4については、接合不良により接続信頼性の評価は行わなかった。
半導体パッケージを85℃、60RH%に168時間放置して吸湿させた後、はんだリフロー炉(プレヒート150℃×100秒、リフロー[最高温度260℃])に4回通過させた。n数を20個として、半導体チップの基板からの剥離が発生した半導体パッケージの個数を確認した。20個の半導体パッケージのうち、剥離が発生した半導体パッケージが0個であった場合を「◎」、1〜3個であった場合を「○」、4〜20個であった場合を「×」とした。ただし、比較例1〜4については、接合不良により接続信頼性の評価は行わなかった。
本発明によれば、電子部品の実装工程時のボイドの発生を抑制でき、かつ、高い接続信頼性でフリップチップ実装を行うことができる電子部品実装用接着剤、及び、該電子部品実装用接着剤からなる接着剤層を有するフリップチップ実装用接着フィルムを提供することができる。
1 基板
11 基板の電極
2 半導体チップ
21 半導体チップの電極
3 はんだ
11 基板の電極
2 半導体チップ
21 半導体チップの電極
3 はんだ
Claims (5)
- (メタ)アクリレート化合物とラジカル重合開始剤とを含有し、示差走査熱量計(DSC)を用いて測定温度30〜300℃、昇温10℃/minの条件で測定したときに、153〜190℃に反応ピークを有することを特徴とする電子部品実装用接着剤。
- (メタ)アクリレート化合物は、側鎖に(メタ)アクリロイル基を有するアクリルポリマーと多官能(メタ)アクリレートモノマーとを含有することを特徴とする請求項1記載の電子部品実装用接着剤。
- 更に、エポキシ樹脂を含有することを特徴とする請求項1又は2記載の電子部品実装用接着剤。
- エポキシ樹脂の含有量が30〜70重量%であることを特徴とする請求項3記載の電子部品実装用接着剤。
- 請求項1、2、3又は4記載の電子部品実装用接着剤からなる接着剤層を有することを特徴とするフリップチップ実装用接着フィルム。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015061210A JP2016181612A (ja) | 2015-03-24 | 2015-03-24 | 電子部品実装用接着剤及びフリップチップ実装用接着フィルム |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015061210A JP2016181612A (ja) | 2015-03-24 | 2015-03-24 | 電子部品実装用接着剤及びフリップチップ実装用接着フィルム |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016181612A true JP2016181612A (ja) | 2016-10-13 |
Family
ID=57132723
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015061210A Pending JP2016181612A (ja) | 2015-03-24 | 2015-03-24 | 電子部品実装用接着剤及びフリップチップ実装用接着フィルム |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2016181612A (ja) |
-
2015
- 2015-03-24 JP JP2015061210A patent/JP2016181612A/ja active Pending
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6475612B2 (ja) | 電子部品実装用接着剤及びフリップチップ実装用接着フィルム | |
JP7384168B2 (ja) | 半導体装置の製造方法及び半導体ウエハ加工用接着フィルム | |
CN106471077B (zh) | 粘接膜和使用了粘接膜的半导体封装体 | |
JP6398619B2 (ja) | 先供給型アンダーフィル材、電子部品装置及び電子部品装置の製造方法 | |
JP7196839B2 (ja) | 半導体用フィルム状接着剤、基材付きフィルム状接着剤、半導体用フィルム状接着剤の製造方法、半導体装置の製造方法及び半導体装置 | |
JP5118956B2 (ja) | 電子部品用接着剤 | |
JP6593628B2 (ja) | 先供給型アンダーフィル材、その硬化物、それを用いた電子部品装置及びその製造方法 | |
JP5754072B2 (ja) | 粘接着剤組成物、回路部材接続用粘接着剤シート及び半導体装置の製造方法 | |
WO2014010258A1 (ja) | 半導体封止用アクリル樹脂組成物とそれを用いた半導体装置およびその製造方法 | |
JP2015032637A (ja) | 電子部品装置の製造方法及び電子部品装置 | |
JP6638380B2 (ja) | 先供給型アンダーフィル材及びその硬化物、並びに電子部品装置及びその製造方法 | |
JP6438267B2 (ja) | 電子部品実装用接着剤及びフリップチップ実装用接着フィルム | |
JP2016178104A (ja) | アンダーフィル材、電子部品装置の製造方法及び電子部品装置 | |
JP2016181612A (ja) | 電子部品実装用接着剤及びフリップチップ実装用接着フィルム | |
JP6631238B2 (ja) | 先供給型アンダーフィル材、先供給型アンダーフィル材の硬化物、電子部品装置及び電子部品装置の製造方法 | |
JP2017117864A (ja) | 先供給型アンダーフィル材及びその硬化物、並びに電子部品装置及びその製造方法 | |
TW202028391A (zh) | 半導體用膜狀接著劑、半導體裝置及其製造方法 | |
JP6844680B2 (ja) | 先供給型アンダーフィル材、先供給型アンダーフィル材の硬化物、電子部品装置及び電子部品装置の製造方法 | |
JP6844685B2 (ja) | 先供給型アンダーフィル材及びその硬化物、並びに電子部品装置及びその製造方法 | |
JP6707856B2 (ja) | 先供給型アンダーフィル材、電子部品装置の製造方法、及び電子部品装置 | |
JP6597845B2 (ja) | 先供給型アンダーフィル材、電子部品装置及び電子部品装置の製造方法 | |
JP6492628B2 (ja) | アンダーフィル材、電子部品装置の製造方法及び電子部品装置 | |
JP6459402B2 (ja) | 先供給型アンダーフィル材、電子部品装置及び電子部品装置の製造方法 | |
JP2022043572A (ja) | 半導体装置の製造方法 |