JP2016166832A - 熱流束センサ - Google Patents
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Abstract
Description
本発明の第1実施形態にかかる熱流束センサS1について、図1、図2を参照して述べる。この熱流束センサS1は、用途を限定するものではないが、たとえば自動車などの車両に搭載され、エンジンルーム内のケーシング等から気流への熱流束を測定するものとして、適用される。
上記した例では、第1の検出部21と第2の検出部22とでは、基板厚さdを異ならせることによって熱抵抗Rを異ならせたものであった。これに対して、基板中央側の第1の検出部21と基板周辺側の第2の検出部22とでは、基板厚さdを一定として基板を構成する絶縁性材料の熱伝導率λを異ならせることによって熱抵抗Rを異ならせたものであってもよい。
本発明の第2実施形態にかかる熱流束センサS2は、図4に示されるように、センサ基板10を平面円形とし、中央側の第1の検出部21も平面円形としている。本実施形態においても、センサによる熱抵抗Rが無い場合における真の熱流束Q0を検出信号として得ることができることは、もちろんである。
本発明の第3実施形態にかかる熱流束センサS3は、図5に示されるように、センサ基板10を平面六角形とし、中央側の第1の検出部21も平面六角形としている。本実施形態においても、センサによる熱抵抗Rが無い場合における真の熱流束Q0を検出信号として得ることができることは、もちろんである。
本発明の第4実施形態にかかる熱流束センサS4は、図6に示されるように、センサ基板10を平面八角形とし、中央側の第1の検出部21も平面八角形としている。本実施形態においても、センサによる熱抵抗Rが無い場合における真の熱流束Q0を検出信号として得ることができることは、もちろんである。
なお、上記各実施形態では、基板厚さdを変えて熱抵抗Rを異ならせる場合、中央側に位置する第1の検出部21と周辺部に位置する第2の検出部22とでは、第1の検出部21の方が厚いものであったが、これとは逆に第2の検出部22の方が厚いものであってもよい。つまり、第1の検出部21と第2の検出部22とは、基板厚さdが異なることで厚さ方向の熱抵抗Rが異なっていればよい。
11 センサ基板の表面
12 センサ基板の他面
21 第1の検出部
22 第2の検出部
Y1 流体
Claims (3)
- 表面(11)上に熱を有する流体(Y1)が流れることにより厚さ方向に熱流束が発生し、この熱流束により生じる前記表面と裏面(12)との間の温度差に起因して、ゼーベック効果による起電力が発生するようになっているセンサ基板(10)と、
前記センサ基板に設けられ、前記起電力を前記熱流束の検出信号として検出する検出部(21、22)と、を備える熱流束センサであって、
前記検出部は、第1の検出部(21)と、前記センサ基板の厚さ方向の熱抵抗が前記第1の検出部とは異なる第2の検出部(22)と、よりなるものであり、
前記第1の検出部にて検出された第1の検出信号と前記第2の検出部にて検出された第2の検出信号とから演算を行い、前記センサ基板による熱抵抗分をキャンセルした信号を求め、当該キャンセルした信号を出力するようにしたことを特徴とする熱流センサ。 - 前記第1の検出部と前記第2の検出部とでは、前記センサ基板の厚さが異なることによって前記熱抵抗が異なっているものであり、
前記第1の検出部における前記センサ基板の厚さをd1、前記第1の検出信号をQ1とし、前記第2の検出部における前記センサ基板の厚さをd2、前記第2の検出信号をQ2として、
当該2個の値(d1、Q1)および(d2、Q2)から決まる、前記センサ基板の厚さと前記検出信号との負の比例関係から、前記センサ基板の厚さを0としたときの検出信号を、当該2個の値を用いて直線外挿することにより求め、当該求められた信号を前記キャンセルした信号として出力することを特徴とする請求項1に記載の熱流センサ。 - 前記第1の検出部と前記第2の検出部とでは、前記センサ基板の構成材料の熱伝導率が異なることによって前記熱抵抗が異なっているものであり、
前記第1の検出部における前記センサ基板の熱抵抗をR1、前記第1の検出信号をQ1とし、前記第2の検出部における前記センサ基板の熱抵抗をR2、前記第2の検出信号をQ2として、
当該2個の値(R1、Q1)および(R2、Q2)から決まる、前記センサ基板の熱抵抗と前記検出信号との負の比例関係から、前記センサ基板の熱抵抗を0としたときの検出信号を、当該2個の値を用いて直線外挿することにより求め、当該求められた信号を前記キャンセルした信号として出力することを特徴とする請求項1に記載の熱流センサ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015047441A JP6421655B2 (ja) | 2015-03-10 | 2015-03-10 | 熱流束センサ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2015047441A JP6421655B2 (ja) | 2015-03-10 | 2015-03-10 | 熱流束センサ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JP2016166832A true JP2016166832A (ja) | 2016-09-15 |
JP6421655B2 JP6421655B2 (ja) | 2018-11-14 |
Family
ID=56898419
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015047441A Active JP6421655B2 (ja) | 2015-03-10 | 2015-03-10 | 熱流束センサ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6421655B2 (ja) |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2018205180A (ja) * | 2017-06-06 | 2018-12-27 | 株式会社Soken | 液位検知装置、燃料電池システム |
WO2019097910A1 (ja) * | 2017-11-16 | 2019-05-23 | 株式会社デンソー | 熱流束センサおよび熱量計測装置 |
WO2019159838A1 (ja) | 2018-02-13 | 2019-08-22 | Ntn株式会社 | 軸受装置およびスピンドル装置 |
WO2020050129A1 (ja) | 2018-09-03 | 2020-03-12 | Ntn株式会社 | 軸受装置 |
JP2020193932A (ja) * | 2019-05-30 | 2020-12-03 | 株式会社デンソー | 熱伝達率センサ |
KR20210125012A (ko) | 2019-02-12 | 2021-10-15 | 에누티에누 가부시기가이샤 | 베어링 장치 및 스핀들 장치 |
WO2022059573A1 (ja) | 2020-09-16 | 2022-03-24 | Ntn株式会社 | 軸受装置 |
CN117110371A (zh) * | 2023-10-23 | 2023-11-24 | 沧州市建设工程质量检测中心有限责任公司 | 一种建筑节能检测的热力传导测试设备 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5510510A (en) * | 1978-07-10 | 1980-01-25 | Asahi Chem Ind Co Ltd | Measuring method for heat flow |
JPS55160824A (en) * | 1979-06-04 | 1980-12-15 | Asahi Chem Ind Co Ltd | Method of measuring heat flow and device therefor |
JP2013228269A (ja) * | 2012-04-25 | 2013-11-07 | Nippon Soken Inc | 熱流束測定装置及び熱流束測定方法 |
-
2015
- 2015-03-10 JP JP2015047441A patent/JP6421655B2/ja active Active
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5510510A (en) * | 1978-07-10 | 1980-01-25 | Asahi Chem Ind Co Ltd | Measuring method for heat flow |
JPS55160824A (en) * | 1979-06-04 | 1980-12-15 | Asahi Chem Ind Co Ltd | Method of measuring heat flow and device therefor |
JP2013228269A (ja) * | 2012-04-25 | 2013-11-07 | Nippon Soken Inc | 熱流束測定装置及び熱流束測定方法 |
Cited By (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2018205180A (ja) * | 2017-06-06 | 2018-12-27 | 株式会社Soken | 液位検知装置、燃料電池システム |
WO2019097910A1 (ja) * | 2017-11-16 | 2019-05-23 | 株式会社デンソー | 熱流束センサおよび熱量計測装置 |
JP2019090756A (ja) * | 2017-11-16 | 2019-06-13 | 株式会社デンソー | 熱流束センサおよび熱量計測装置 |
WO2019159838A1 (ja) | 2018-02-13 | 2019-08-22 | Ntn株式会社 | 軸受装置およびスピンドル装置 |
KR20210053908A (ko) | 2018-09-03 | 2021-05-12 | 엔티엔 가부시키가이샤 | 베어링 장치 |
WO2020050129A1 (ja) | 2018-09-03 | 2020-03-12 | Ntn株式会社 | 軸受装置 |
KR20210125012A (ko) | 2019-02-12 | 2021-10-15 | 에누티에누 가부시기가이샤 | 베어링 장치 및 스핀들 장치 |
DE112020000770T5 (de) | 2019-02-12 | 2021-10-28 | Ntn Corporation | Lagervorrichtung und Spindelvorrichtung |
JP2020193932A (ja) * | 2019-05-30 | 2020-12-03 | 株式会社デンソー | 熱伝達率センサ |
JP7127613B2 (ja) | 2019-05-30 | 2022-08-30 | 株式会社デンソー | 熱伝達率センサ |
WO2022059573A1 (ja) | 2020-09-16 | 2022-03-24 | Ntn株式会社 | 軸受装置 |
KR20230066570A (ko) | 2020-09-16 | 2023-05-16 | 에누티에누 가부시기가이샤 | 베어링 장치 |
CN117110371A (zh) * | 2023-10-23 | 2023-11-24 | 沧州市建设工程质量检测中心有限责任公司 | 一种建筑节能检测的热力传导测试设备 |
CN117110371B (zh) * | 2023-10-23 | 2023-12-19 | 沧州市建设工程质量检测中心有限责任公司 | 一种建筑节能检测的热力传导测试设备 |
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Publication number | Publication date |
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JP6421655B2 (ja) | 2018-11-14 |
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A621 | Written request for application examination |
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|
A977 | Report on retrieval |
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
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