JP2016162990A - プラズマ処理装置 - Google Patents
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Abstract
Description
図1は、本実施の形態によるエッチング装置における構成の一例を示す説明図である。この図1のエッチング装置は、マイクロ波ECR(Electron Cyclotron Resonance)エッチング装置からなる。
図2は、図1の位相板307および導波管308における一例を示す断面図である。図2(a)は、位相板307および導波管308における上面側の断面を示しており、図2(b)は、位相板307および導波管308における正面側の断面を示している。また、位相板307および導波管308によって円偏波生成用立体回路が構成される。
図4は、図2の位相板307における分割面に設けられた複数個の突起部307aの拡大図である。この図4は、突起部307aの形状および該突起部307aを位相板307の分割面に設ける上での必要条件を示している。
図5は、図2の位相板307によるノイズの抑制作用を示す説明図である。
図7は、本発明者の検討による位相板を多角形型として膜厚モニタを併用した際に生じる課題を説明する図である。
302 光源用光ファイバ
303 白色光源
304 光干渉モニタ
305 コイル
306 反射光検出用光ファイバ
307 位相板
307a 突起部
308 導波管
309 誘電体窓
310 被処理基板
311 電極
312 マッチング回路
313 高周波電源
314 直流電源
315 高周波フィルタ回路
316 エッチング処理室
405 突起部
503 光学吸収膜
504 傾斜面
504a 傾斜面
Claims (10)
- プラズマ処理を行う処理室と、
前記処理室内にプラズマを生成する高周波電源と、
前記処理室内に設けられ、プラズマ処理を行う試料を載置する試料台と、
前記処理室に前記高周波電源が生成したマイクロ波を伝送する導波管と、
前記導波管に設けられ、前記マイクロ波を円偏波化する位相部と、
前記試料台に載置された前記試料の膜厚を光学的にモニタする膜厚モニタと、
を有し、
前記位相部は、光路形成面に複数の突起部がそれぞれ形成された2つの位相板よりなり、
2つの前記位相板は、前記光路形成面がそれぞれ対向するように配置される、プラズマ処理装置。 - 請求項1記載のプラズマ処理装置において、
2つの前記位相板は、少なくとも前記膜厚モニタの光路となる空間が形成される間隔があけられている、プラズマ処理装置。 - 請求項1記載のプラズマ処理装置において、
前記突起部は、前記膜厚モニタの光路に対して垂直な段差面および前記段差面に対して傾斜した傾斜面を有する三角柱の形状からなり、
前記傾斜面は、前記段差面に対して前記位相板の材質と前記マイクロ波の導波路の屈折率とにより決まる臨界角を有する、プラズマ処理装置。 - 請求項1記載のプラズマ処理装置において、
2つの前記位相板は、石英からなる、プラズマ処理装置。 - 請求項1記載のプラズマ処理装置において、
2つの前記位相板は、前記光路形成面に対向する外側面に、前記膜厚モニタにより発信された光あるいは前記試料に反射された光の再反射を吸収する光学吸収膜を有する、プラズマ処理装置。 - 請求項1記載のプラズマ処理装置において、
前記膜厚モニタは、
前記試料の膜厚をモニタする白色光を発信する第1の光ファイバと、
前記試料からの反射光を検出する第2の光ファイバと、
前記第2の光ファイバが検出した反射光から干渉光強度を測定する光干渉モニタと、
を有し、
前記位相板は、前記第2の光ファイバの受光面を遮らないように配置される、プラズマ処理装置。 - プラズマ処理を行う処理室と、
前記処理室内にプラズマを生成する高周波電源と、
前記処理室内に設けられ、プラズマ処理を行う試料を載置する試料台と、
前記処理室に前記高周波電源が生成したマイクロ波を伝送する導波管と、
前記導波管に設けられ、前記マイクロ波を円偏波化する位相部と、
前記試料台に載置された前記試料の膜厚を光学的にモニタする膜厚モニタと、
を有し、
前記位相部は、光路形成面をそれぞれ有し、前記光路形成面が相互に対向するように設けられた2つの位相板よりなり、
2つの前記位相板は、前記光路形成面に前記膜厚モニタにおける光路の上流側から下流側にかけて3つの突起部が形成され、
前記突起部は、前記光路の上流側から下流側に向けて、前記膜厚モニタにおける光路幅を狭くする方向に傾斜した傾斜面と前記光路に対して直交する段差面とを有する三角柱の形状からなる、プラズマ処理装置。 - 請求項7記載のプラズマ処理装置において、
2つの前記位相板は、前記光路形成面に対向する外側面に、前記膜厚モニタにより発信された光あるいは前記試料に反射された光の再反射を吸収する光学吸収膜を有する、プラズマ処理装置。 - 請求項7記載のプラズマ処理装置において、
2つの前記位相板は、石英からなる、プラズマ処理装置。 - 請求項7記載のプラズマ処理装置において、
前記突起部は、前記膜厚モニタの光路に対して垂直な段差面および前記段差面に対して傾斜した傾斜面を有する三角柱の形状からなり、
前記傾斜面は、前記段差面に対して前記位相板の材質と前記マイクロ波の導波路の屈折率とにより決まる臨界角を有する、プラズマ処理装置。
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