JP2011176146A - プラズマ処理装置 - Google Patents
プラズマ処理装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2011176146A JP2011176146A JP2010039379A JP2010039379A JP2011176146A JP 2011176146 A JP2011176146 A JP 2011176146A JP 2010039379 A JP2010039379 A JP 2010039379A JP 2010039379 A JP2010039379 A JP 2010039379A JP 2011176146 A JP2011176146 A JP 2011176146A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- plasma processing
- processing apparatus
- circular
- plasma
- waveguide
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Plasma Technology (AREA)
- Drying Of Semiconductors (AREA)
Abstract
【解決手段】反射波が有っても、マイクロ波の円偏波化が行える円偏波発生器を用いてプラズマ処理の軸対称性を高めるため、円矩形変換器402の円形導波管405側にスタブ403および404を設け、スタブ403および404は円柱状で先端部は半球状とした。
【選択図】図5
Description
(1)静磁界との併用による場合、電子サイクロトロン共鳴現象を、円偏波を用いない場合に比べて効率的に起こすことができ、高密度化できる。
(2)プラズマ分布の軸対称性が向上することにより、均一なプラズマ処理を得ることができる。
102 自動整合機
103 方形導波管
104 円矩形変換器
105 円形導波管
106 空洞共振部
107 マイクロ波導入窓
108 シャワープレート
109 処理ガスの供給系
110 プラズマ処理室
111 被処理基板
112 基板電極
113 自動整合機
114 バイアス電源
115 静磁界発生装置
116 バルブ
117 コンダクタンス可変バルブ
118 真空排気ポンプ
119 アイソレータ
120 圧力計
202 誘電体板
201 入射側円形導波管
204 マイクロ波電界ベクトル
205 誘電体板202の表面に対する法線方向の電界成分
206 誘電体板表面の接線方向成分
401 方形導波管部
402 整合用導波管
403、404 スタブ
405 円形導波管
Claims (9)
- 電磁波によりプラズマを発生し、
該電磁波を円偏波化する機能を有し、
円偏波化された電磁波により軸対称性の良いプラズマを発生させ、
被処理基板に対して軸対称性の良いプラズマ処理を行うプラズマ処理装置において、
該電磁波の円偏波化阻害要因の抑制を保障する機能を有する該電磁波の円偏波化機構を有することを特徴とするプラズマ処理装置。 - 請求項1記載のプラズマ処理装置において、
該電磁波の円偏波化阻害要因がプラズマ処理室の負荷変動であることを特徴とするプラズマ処理装置。 - 請求項1または2記載のプラズマ処理装置において、
該円偏波化阻害要因の抑制を保障する機能が複数のモードで導波路中を伝播する電磁波の伝播特性調整機能であることを特徴とするプラズマ処理装置。 - 請求項3記載のプラズマ処理装置において、
電磁波の伝播特性調整機能がスタブであることを特徴とするプラズマ処理装置。 - 請求項4記載のプラズマ処理装置において、
複数のスタブが互いの中心軸が直交するように配置されて円形導波管内の中心に向けて挿入されることを特徴とするプラズマ処理装置。 - 請求項4記載のプラズマ処理装置において、
前記複数のスタブはそれぞれ円柱状で先端部は半球状であることを特徴とするプラズマ処理装置。 - 請求項4記載のプラズマ処理装置において、
前記複数のスタブの前記円形導波管内への挿入長が調整可能であることを特徴とするプラズマ処理装置。 - 請求項4記載のプラズマ処理装置において、
円形導波管内の中心に向けて挿入される複数のスタブの中心軸の角度が調整可能であることを特徴とするプラズマ処理装置。 - 請求項4記載のプラズマ処理装置において、
円形導波管内の中心に向けて挿入される3本以上のスタブが円周上に等間隔で配置されることを特徴とするプラズマ処理装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010039379A JP5663175B2 (ja) | 2010-02-24 | 2010-02-24 | プラズマ処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010039379A JP5663175B2 (ja) | 2010-02-24 | 2010-02-24 | プラズマ処理装置 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011176146A true JP2011176146A (ja) | 2011-09-08 |
JP2011176146A5 JP2011176146A5 (ja) | 2013-04-04 |
JP5663175B2 JP5663175B2 (ja) | 2015-02-04 |
Family
ID=44688745
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010039379A Active JP5663175B2 (ja) | 2010-02-24 | 2010-02-24 | プラズマ処理装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5663175B2 (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016018657A (ja) * | 2014-07-08 | 2016-02-01 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | プラズマ処理装置およびプラズマ処理方法 |
JP2016096091A (ja) * | 2014-11-17 | 2016-05-26 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | プラズマ処理装置 |
JP2016162990A (ja) * | 2015-03-05 | 2016-09-05 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | プラズマ処理装置 |
WO2023248347A1 (ja) * | 2022-06-21 | 2023-12-28 | 株式会社日立ハイテク | プラズマ処理装置および加熱装置 |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102322536B (zh) | 2011-09-05 | 2012-11-07 | 上海鸿润科技有限公司 | 阀芯组件及采用该阀芯组件的阀门 |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003110312A (ja) * | 2001-09-28 | 2003-04-11 | Tokyo Electron Ltd | 整合器およびプラズマ処理装置 |
-
2010
- 2010-02-24 JP JP2010039379A patent/JP5663175B2/ja active Active
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003110312A (ja) * | 2001-09-28 | 2003-04-11 | Tokyo Electron Ltd | 整合器およびプラズマ処理装置 |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016018657A (ja) * | 2014-07-08 | 2016-02-01 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | プラズマ処理装置およびプラズマ処理方法 |
JP2016096091A (ja) * | 2014-11-17 | 2016-05-26 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | プラズマ処理装置 |
US9583314B2 (en) | 2014-11-17 | 2017-02-28 | Hitachi High-Technologies Corporation | Plasma processing apparatus |
JP2016162990A (ja) * | 2015-03-05 | 2016-09-05 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | プラズマ処理装置 |
WO2023248347A1 (ja) * | 2022-06-21 | 2023-12-28 | 株式会社日立ハイテク | プラズマ処理装置および加熱装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5663175B2 (ja) | 2015-02-04 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US5111111A (en) | Method and apparatus for coupling a microwave source in an electron cyclotron resonance system | |
JP5663175B2 (ja) | プラズマ処理装置 | |
JP2010050046A (ja) | プラズマ処理装置 | |
TWI469696B (zh) | 電漿處理裝置 | |
JP4099074B2 (ja) | プラズマ処理装置およびプラズマ処理方法 | |
US8216420B2 (en) | Plasma processing apparatus | |
Dey et al. | Penetration and screening of perpendicularly launched electromagnetic waves through bounded supercritical plasma confined in multicusp magnetic field | |
JP6442242B2 (ja) | プラズマ処理装置 | |
Guittienne et al. | Towards an optimal antenna for helicon waves excitation | |
JP2012190899A (ja) | プラズマ処理装置 | |
JP2011077292A (ja) | プラズマ処理装置 | |
JP4678905B2 (ja) | プラズマ処理装置 | |
JP2012049353A (ja) | プラズマ処理装置 | |
JP4600928B2 (ja) | マイクロ波方向性結合器、プラズマ発生装置及びプラズマ処理装置 | |
Dey et al. | Experimental investigation of microwave interaction with magnetoplasma in miniature multipolar configuration using impedance measurements | |
JP5667368B2 (ja) | プラズマ処理装置 | |
JP4900768B2 (ja) | プラズマ発生装置及びプラズマ処理装置 | |
Kamataki et al. | Coexistence of collisional drift and flute wave instabilities in bounded linear ECR plasma | |
Kim et al. | Computational characterization of a new inductively coupled plasma source for application to narrow gap plasma processes | |
JP2017027869A (ja) | プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法 | |
JP6470515B2 (ja) | プラズマ処理装置およびプラズマ処理方法 | |
JP4017098B2 (ja) | プラズマ発生装置及びプラズマ処理装置 | |
WO2023248347A1 (ja) | プラズマ処理装置および加熱装置 | |
JP5382958B2 (ja) | プラズマ発生装置及びプラズマ処理装置 | |
Daoman et al. | Experimental investigation of the electromagnetic effect and improvement of the plasma radial uniformity in a large-area, very-high frequency capacitive argon discharge |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130220 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20130220 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20131011 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20131022 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20131211 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20140415 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140710 |
|
A911 | Transfer of reconsideration by examiner before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20140722 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20140902 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20141020 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20141125 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20141208 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5663175 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |