JP2016161857A - 走査装置 - Google Patents
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Abstract
Description
第1に、MEMSミラーの副走査方向(H方向)および主走査方向(V方向)に振れる最大角度振幅を一定に制御する。
第2に、副走査方向は構造共振を使うため、その共振周波数を制御する。
第3に、スクリーン上で一定のレーザスポット径を確保するためにMEMSミラーとスクリーンの距離を一定に制御する。
図1はレーザ光を二次元走査するMEMS(micro electro mechanical systems)ミラー1の構成を示すもので、シリコン基板等の半導体基板を加工することで一体に形成されたものである。図1(a)に示すように、全体を支持する固定フレーム2は、矩形状で所定幅寸法の枠体として形成されている。固定フレーム2は、図1(a)中、XY平面に配置されているものとする。固定フレーム2の内側には可動フレーム3が設けられている。可動フレーム3は、同じくXY平面に配置され、所定幅寸法の矩形枠体である。可動フレーム3の内側にはミラー部4が設けられている。ミラー部4は、XY平面に配置された円形状をなす板で、一方側の面がレーザ光を反射するように鏡面に仕上げられた反射面とされている。
図4(a)は可動フレーム3のV軸周りの回転時の回転角度θVの時間推移を示している。ここで、可動フレーム3が振幅AV1で回転振動をしているときには、対向電極5a、5bにより構成されるV方向センサSV1は、可動フレーム3が固定フレーム2と同一平面に揃う状態つまり回転角度θVが「0」のときに最大の容量値を示すようになる。可動フレーム3が回転して回転角度θVが大きくなると、対向電極5a、5bが対向しない状態となるため、容量値はゼロになる。
なお、本発明は、上述した一実施形態のみに限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々の実施形態に適用可能であり、例えば、以下のように変形または拡張することができる。
MEMSミラー1のような二次元の走査装置に適用する場合について示したが、一次元の走査装置に適用することもできる。
Claims (7)
- 第1支持体(3)と、
前記第1支持体に第1支持軸(H軸、3a)で支持され往復回動可能な板状の走査体(4)と、
前記走査体の回動方向の第1位置において当該走査体の通過を検出する第1センサ(SH1)と、
前記走査体の回動方向の前記第1位置と異なる第2位置において当該走査体の通過を検出する第2センサ(SH3)と、
前記第1センサおよび第2センサによる前記走査体の通過検出信号の時間差から第1支持軸周り前記走査体の往復回動の振幅を算出する第1振幅検出手段(10)と
を備えたことを特徴とする走査装置。 - 請求項1に記載の走査装置において、
前記第1位置と前記第1支持軸を挟んで対向する第3位置に前記走査体の通過を検出する第3センサ(SH2)と、
前記第1センサおよび前記第3センサによる前記走査体の通過検出信号の時間差から前記第1支持軸と直交する方向への前記走査体のずれを検出する第1垂直軸ずれ検出手段(10)と
を備えたことを特徴とする走査装置。 - 請求項1または2に記載の走査装置において、
前記第1支持体と交差する方向に配置された第2支持軸(V軸、2a)で前記第1支持体を往復回動可能に支持する第2支持体(2)と、
前記第1支持体の回動方向の第3位置において当該第1支持体の通過を検出する第4センサ(SV1)と、
前記第1支持体の回動方向の前記第3位置と異なる第4位置において当該第1支持体の通過を検出する第5センサ(SV3)と、
前記第4センサおよび第5センサによる前記第1支持体の通過検出信号の時間差から前記第2支持軸周りの当該第1支持体の往復回動の振幅を算出する第2振幅検出手段(10)と
を備えたことを特徴とする走査装置。 - 請求項3に記載の走査装置において、
前記第3位置と前記第2支持軸を挟んで対向する第6位置に前記第1支持体の通過を検出する第6センサ(SV2)と、
前記第4センサおよび前記第6センサによる前記第1支持体の通過検出信号の時間差から前記第2支持軸と直交する方向への当該第1支持体のずれを検出する第2垂直軸ずれ検出手段(10)と
を備えたことを特徴とする走査装置。 - 請求項2に記載の走査装置において、
前記第1〜第3センサは、前記走査体および前記第1支持体の双方に設けられる対向電極(5a〜5c、6a〜6c)からなる静電容量式のセンサであることを特徴とする走査装置。 - 請求項4に記載の走査装置において、
前記第4〜第6センサは、前記第1支持体および前記第2支持体の双方に設けられる対向電極(7a〜7c、8a〜8c)からなる静電容量式のセンサであることを特徴とする走査装置。 - 請求項1から6の何れか一項に記載の走査装置において、
前記走査体(4)は、光源(20)からの光を反射して走査面(30)に投影する反射板を有することを特徴とする走査装置。
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- 2015-03-04 JP JP2015042342A patent/JP6369357B2/ja active Active
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