JP2016161564A - 光学検査に用いる自動調光方法及びその光学検査装置 - Google Patents
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Abstract
Description
本発明の第1実施形態に係る光学検査装置は、照射光源セット(横方向照射光光源201及び前方向照射光光源203を含む)、撮像セット300及び制御セット100を含む。制御セット100は、撮像セット300及び照射光源セット(図示せず)と接続され、照射光源セットの光強度を制御し、撮像セット300がキャプチャした画像データを受信する。光学検査装置が様々な種類の被測定回路基板500間で光源照射の自動調整を行う際、制御セット100の作動により本発明の自動調光方法を実行する。図2の前方向照射光光源203を操作する際、2つの横方向照射光光源201が同一平面上に配置されている関係により、撮像セット300の撮像範囲が遮られることを防ぐことができる。
続いて、図3Aを参照する。図3Aは、本発明の第2実施形態に係る光学検査に用いる自動調光方法を示す流れ図である。図3Aに示すように、本発明は、メタルラインが回路基板検査の主要項目であることに基づき、調光ステップにおいて以下のステップを行い、メタルラインのキャプチャした画像を好適化する照射光調整構成を得る。
(1)ソルダーマスクの明るい領域種類とソルダーマスクの暗い領域種類との間の輝度の違いの程度で判定する。
(2)金属種類と文字種類との間の輝度の違いの程度で判定する。
(3)ソルダーマスクの明るい領域種類及びソルダーマスクの暗い領域種類の最大値と、文字種類との間の輝度の違いの程度で判定する。
(4)金属種類と、ソルダーマスクの明るい領域種類及びソルダーマスクの暗い領域種類の最大値間での輝度の違いの程度で判定する。
続いて、図3Bを参照する。図3Bは、本発明の第3実施形態に係る光学検査に用いる自動調光方法を示す流れ図である。図3Bに示すように、図3Aのステップに続いて、再び2回目の調光ステップを行い、前方光第2の調整ステップS303を行った後、照射光調整構成が記録される前(ステップS400)に、さらにステップS310〜S313を行う。
ステップS311:2回目の横方向光調整ステップを行い、被測定回路基板に横方向で入射される横方向照射光を提供し、初期の照射強度の調整は、選定された種類の調光領域内で行い、その際にキャプチャされた画像中の画像輝度値を2回目の第1の目標区間値内になるように調整し、2回目の第1の目標区間値の最大数値が第1の目標区間値の最大数値より大きく(金属種類を例にとると、この2回目の第1の目標区間値は例えば140〜160であり、この数値は輝度値範囲が0〜255であり、この数値は、横方向光照射及び前方光照射されると重畳して得られる数値を指す)、2回目の横方向光照射構成の設定値を得る。
ステップS312:2回目の第1の前方光調整ステップを行い、2回目の横方向光照射構成の設定値の照射が維持され(即ち、2回目の第2の目標区間値が第2の目標区間値に等しい)、被測定回路基板に入射される前方向照射光を提供し、前方向照射光の初期の照射強度の調整は、選定した種類の調光領域内で行い、その際にキャプチャした画像中の画像輝度値が2回目の第2の目標区間値内になるように調整し(金属種類の場合、この2回目の第2の目標区間値は例えば160〜180であり、この数値は、輝度値範囲が0〜255である場合を例とし、横方向光照射及び前方光照射下で重畳して得られる数値である)、2回目の第1の前方光照射構成の設定値を得て、かつ、2回目の横方向光照射構成及び2回目の第1の前方向光照射構成の設定値では、何れか2つの種類の調光領域間の画像データの輝度値をキャプチャし、対応した輝度の違いの程度を得る。
ステップS313:2回目の第2の前方向光調整ステップを行い、2回目の横方向光照射構成の設定値の照射を維持し(即ち、2回目の第3の目標区間値は、第3の目標区間値に等しい)、前方向照射光をさらに調整して2回目の第1の前方向光照射構成の設定値より高い前方向光照射を提供し、前方向光照射のさらなる調整を、選定された種類の調光領域内で行い、その際にキャプチャした画像中の画像輝度値を2回目の第3の目標区間値内になるように調整し(金属種類にとって、この2回目の第3の目標区間値は、例えば180〜200であり、この数値は、輝度値範囲が0〜255である場合を例にし、横方向光照射及び前方向光照射において重畳して得られた数値である)、2回目の第2の前方向光照射構成の設定値を得て、かつ、横方向光照射構成及び2回目の第2の前方向光照射構成の設定値の何れか2つの種類の調光領域間の画像データの輝度値をキャプチャし、対応した輝度の違いの程度を得る。
(2)金属種類と文字種類との間の輝度の違いの程度で判定する。
(3)ソルダーマスクの明るい領域種類及びソルダーマスクの暗い領域種類の最大値と、文字種類との間の輝度の違いの程度で判定する。
(4)金属種類と、ソルダーマスクの明るい領域種類及びソルダーマスクの暗い領域種類の最大値との間の輝度の違いの程度で判定する。
201 横方向照射光光源
203 前方向照射光光源
220 横方向照射光
300 撮像セット
500 被測定回路基板
Claims (9)
- 光学検査装置により多種類の被測定回路基板間で照射光源の自動調整を行う、光学検査に用いる自動調光方法であって、
種類を変更した後の被測定回路基板上の画像データをキャプチャするステップと、
金属種類、文字種類及びソルダーマスク種類のうちの少なくとも2つを含む少なくとも1つの調光領域及びそれに対応した種類を、画像データに基づいて設定する調光領域設定ステップと、
調光ステップを行い、第1種の単純な横方向照射光と、第2種の横方向照射光と前方向照射光とを組み合わせた2つの種類の構成で照射を行い、選定した調光領域の種類を基準とし、かつ、各照射構成によりその際にキャプチャした、選定した種類の調光領域の画像データと、選定した種類の調光領域に予め記憶した輝度閾値の基準データとを比べ、照射光の強弱を調整してから、横方向照射光と前方向照射光とを同時に照射する構成により、キャプチャした何れか2つの種類の調光領域間の画像データの輝度値に基づき、対応した輝度の違いの程度を得て、照射光調整構成を選定するステップと、
照射光調整構成を記憶し、同じ種類の回路基板の検査を行う際に用いるステップと、を含むことを特徴とする光学検査に用いる自動調光方法。 - 調光ステップは、
被測定回路基板に横方向で入射する横方向照射光を提供し、初期の照射強度の調整は、選定した種類の調光領域内で行われ、その際にキャプチャした画像中の画像輝度値が第1の目標区間値内に達すると横方向光照射構成の設定値を得る、横方向光調整ステップと、
横方向光照射構成の設定値を維持しながら照射を行い、被測定回路基板に前方向で入射する前方向照射光を提供し、前方向照射光の初期の照射強度の調整を、選定した種類の調光領域内で行い、その際にキャプチャした画像中の画像輝度値が第2の目標区間値に達するように調整し、第1の前方向光照射構成の設定値を得て、横方向光照射構成と第1の前方向光照射構成の設定値の何れか2つの種類の調光領域間の画像データの輝度値をキャプチャし、対応した輝度の違いの程度を得る、前方向調整ステップと、
横方向光照射構成の設定値を維持しながら照射を行い、前方向照射光をさらに調整し、第1の前方向光照射構成の設定値より高い前方向照射光を提供し、前方向照射光のさらなる調整を選定した種類の調光領域内で行い、その際にキャプチャした画像中の画像輝度値が第3の目標区間値内になるように調整し、第2の前方向光照射構成の設定値を得て、かつ、横方向光照射構成及び第2の前方向光照射構成の設定値のうちの何れか2つの種類の調光領域間の画像データの輝度値をキャプチャし、対応した輝度の違いの程度を得て、照射光調整構成を選定する、第2の前方向光調整ステップと、を含むことを特徴とする請求項1に記載の光学検査に用いる自動調光方法。 - 調光領域の種類は、金属種類、文字種類、ソルダーマスクの明るい領域種類及びソルダーマスクの暗い領域種類の4種類を含み、
照射光調整構成を選定するステップにおいて、横方向光照射構成及び第1の前方向光照射構成の設定値と、横方向光照射構成及び第2の前方向光照射構成の設定値とのうちの1つを照射光調整構成として判定し、
(1)ソルダーマスクの明るい領域種類とソルダーマスクの暗い領域種類との間の輝度の違いの程度で判定、
(2)金属種類と文字種類との間の輝度の違いの程度で判定、
(3)ソルダーマスクの明るい領域種類及びソルダーマスクの暗い領域種類の最大値と、文字種類との間の輝度の違いの程度で判定、
(4)金属種類と、ソルダーマスクの明るい領域種類及びソルダーマスクの暗い領域種類の最大値間での輝度の違いの程度で判定、の判定規則に基づいて順番に判定し、違いの程度の結果が同じである場合、その次の判定規則に基づいて判定し、違いの程度の結果が相違する場合、違いの程度が大きな方の構成設定値を照射光調整構成として用いることを特徴とする請求項2に記載の光学検査に用いる自動調光方法。 - 調光ステップにおいて、
第2の前方向光調整ステップの後で、かつ、照射光調整構成を選定するステップの前に、
全ての照明構成をオフするステップと、
被測定回路基板に横方向で入射する横方向照射光を提供し、初期の照射強度の調整は、選定された種類の調光領域内で行われ、その際にキャプチャされた画像中の画像輝度値を2回目の第1の目標区間値内になるように調整し、2回目の横方向光照射構成の設定値を得る、2回目の横方向光調整ステップと、
2回目の横方向光照射構成の設定値が維持される照射において、被測定回路基板に入射される前方向照射光をさらに提供し、選定した種類の調光領域内で前方向照射光の初期の照射強度を調整し、その際にキャプチャした画像中の画像輝度値を2回目の第2の目標区間値内になるように調整し、2回目の第1の前方光照射構成の設定値を得て、かつ、2回目の横方向光照射構成及び2回目の第1の前方向光照射構成の設定値の何れか2つの種類の調光領域間の画像データの輝度値をキャプチャし、対応した輝度の違いの程度を得る、2回目の前方光調整ステップと、
2回目の横方向光照射構成の設定値が維持される照射において、前方向照射光を調整し、2回目の第1の前方向光照射構成の設定値より高い前方向照射光を提供し、選定された種類の調光領域内で前方向照射光のさらなる調整を行い、その際にキャプチャした画像中の画像輝度値を2回目の第3の目標区間値内になるように調整し、2回目の第2の前方向光照射構成の設定値を得て、かつ、横方向光照射構成及び2回目の第2の前方向光照射構成の設定値において、何れか2つの種類の調光領域間の画像データの輝度値をキャプチャし、対応した輝度の違いの程度を得て、照射光調整構成を選定する、2回目の第2の前方向光調整ステップと、を行い、
2回目の第1の目標区間値の最大数値は、第1の目標区間値の最大数値より大きく、
2回目の第2の目標区間値は、第2の目標区間値に等しく、
2回目の第3の目標区間値は、第3の目標区間値に等しいことを特徴とする請求項2に記載の光学検査に用いる自動調光方法。 - 調光領域の種類は、金属種類、文字種類、ソルダーマスクの明るい領域種類及びソルダーマスクの暗い領域種類の4つを含み、
照射光調整構成を選定するステップにおいて、横方向光照射構成及び第1の前方向光照射構成の設定値、横方向光照射構成及び第2の前方向光照射構成の設定値、2回目の横方向光照射構成及び2回目の第1の前方向光照射構成の設定値、2回目の横方向光照射構成及び2回目の第2の前方向光照射構成の設定値のうちの1つを照射光調整構成として判定し、
(1)ソルダーマスクの明るい領域種類とソルダーマスクの暗い領域種類との間の輝度の違いの程度で判定、
(2)金属種類と文字種類との間の輝度の違いの程度で判定、
(3)ソルダーマスクの明るい領域種類及びソルダーマスクの暗い領域種類の最大値と、文字種類との間の輝度の違いの程度で判定、
(4)金属種類と、ソルダーマスクの明るい領域種類及びソルダーマスクの暗い領域種類の最大値との間の輝度の違いの程度で判定、の判定規則に基づいて順番に判定し、違いの程度の結果が同じである場合、その次の判定規則に基づいて判定し、違いの程度の結果が相違する場合、違いの程度が大きな方の構成設定値を照射光調整構成として用いることを特徴とする請求項4に記載の光学検査に用いる自動調光方法。 - 選定した調光領域の種類は金属種類であることを特徴とする請求項1乃至5の何れか1項に記載の光学検査に用いる自動調光方法。
- 各照射構成がその際にキャプチャした対応した少なくとも1つの調光領域のうちの1つの画像データと、選定した種類の調光領域の予め記憶した輝度閾値の基準データとを比べるステップにおいて、画像データ中の赤外線波長帯域の画像データを比べることを特徴とする請求項6に記載の光学検査に用いる自動調光方法。
- 調光領域設定ステップにおいて、利用者の画定に基づき、少なくとも1つの調光領域と、それに対応した種類とを設定することを特徴とする請求項6に記載の光学検査に用いる自動調光方法。
- 照射光源セット、撮像セット及び制御セットを備えた光学検査装置であって、
制御セットは、照射光源セットの光強度を制御し、撮像セットがキャプチャした画像データを受信し、
光学検査装置が多種類の被測定回路基板間で照射する光源の自動調整を行う際、制御セットが作動して請求項1乃至8の何れか1項に記載の光学検査に用いる自動調光方法を実行することを特徴とする光学検査装置。
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