KR101675339B1 - 광학 검사에 이용되는 자동 조광 방법 및 그 광학 검사 장치 - Google Patents

광학 검사에 이용되는 자동 조광 방법 및 그 광학 검사 장치 Download PDF

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Abstract

회로기판의 검사 품질이 안정된, 광학 검사에 이용되는 자동 조광 방법 및 그 광학 검사 장치를 제공한다.
광학 검사 장치에 의해 다양한 종류의 피측정 회로기판 사이에서 조사 광원의 자동 조정을 행하는, 광학 검사에 이용되는 자동 조광 방법은, 종류를 변경한 후의 피측정 회로기판상의 화상 데이터를 캡쳐하는 단계(S100)와, 금속 종류, 문자 종류 및 솔더마스크 종류 중 적어도 2개를 포함하는 적어도 1개의 조광 영역 및 그것에 대응하는 종류를, 화상 데이터에 근거하여 설정하는 조광 영역 설정 단계(S200)와, 캡쳐한 어느 2개의 종류의 조광 영역간의 화상 데이터의 휘도값에 근거하여, 대응하는 휘도의 차이의 정도를 얻어 조사광 조정 구성을 선정하는 단계(S300)와, 조사광 조정 구성을 기억하고, 같은 종류의 회로기판의 검사를 행할 때에 이용되는 단계(S400)를 포함한다.

Description

광학 검사에 이용되는 자동 조광 방법 및 그 광학 검사 장치{AUTOMATIC LIGHT CONTROL METHOD AND OPTICAL INSPECTION APPARATUS THEREOF FOR OPTICAL INSPECTION}
본 발명은, 광학 검사에 이용되는 자동 조광(調光) 방법 및 그 광학 검사 장치에 관한 것으로, 특히, 다양한 피측정 회로기판에 대하여 조사(照射) 광원 구성의 자동 최적화를 행하는 자동 조광 방법 및 자동 조광 방법을 사용하는 광학 검사 장치에 관한 것이다.
자동 광학 검사 장치(AOI)는, 플렉시블(flexible) 회로기판 또는 경식(硬式) 회로기판의 검사에서 매우 중요한 역할을 담당하고 있다. 예를 들면, 각종 회로기판의 제조 공정에서는, 정밀한 자동 광학 검사에 의해 회로기판의 우열을 판별하여 품질 관리를 행한다.
자동 광학 검사는, 광학 검사 장치의 동작에 의해 행해지며, 검사 과정에서 회로기판으로 광선을 조사하고, 회로기판이 조사된 후의 화상을 촬상장치가 촬상하여 하자(瑕疵)의 유무를 판단한다. 이 때문에, 광학 검사 장치의 조명 장치가 제공하는 광원 품질은 검사에서 상당한 영향을 가지며, 광원 품질이 이상적이지 않거나 종래 사용되었던 구성이 다르거나 할 경우, 검사 결과가 검사 데이터의 오차에 의해 부정확해지거나 제품의 품질이 불안정해져 버릴 수 있다.
종래, 광학 검사 장치의 광원 장치의 조사 구성(즉, 각 조사광의 강약 제어)은, 경험자의 수작업에 의해 행해지거나 유사한 회로기판의 조사 구성을 적용하여 행해졌는데, 이러한 설정에서는 표준화된 공정제어를 거치지 않고, 휴먼 에러(human error)에 의해 수율이 떨어지는 동시에, 피측정 회로기판의 종류가 늘어난 경우, 그것에 따라 조사 구성을 자주 변경해야 하며, 수작업으로 설정을 차례대로 조정할 경우, 시간이 걸리는 동시에, 각 장치 사이에서의 검사기준을 균일화할 수 없으며, 이러한 결점에 의해 검사완료된 제품의 품질을 안정시키는 것은 곤란하였다.
본 발명의 목적은, 회로기판의 검사 품질이 안정된, 광학 검사에 이용되는 자동 조광 방법 및 그 광학 검사 장치를 제공하는 데 있다.
본 발명의 또 하나의 목적은, 다양한 종류의 회로기판에 대해서 광선 조사 구성의 자동 조광을 행하는, 광학 검사에 이용되는 자동 조광 방법 및 그 광학 검사 장치를 제공하는 데 있다.
상기 과제를 해결하기 위해서, 본 발명의 제1 형태에 따르면, 광학 검사 장치에 의해 다양한 종류의 피측정 회로기판 사이에서 조사 광원의 자동 조정을 행하는, 광학 검사에 이용되는 자동 조광 방법으로서, 종류를 변경한 후의 피측정 회로기판상의 화상 데이터를 캡쳐(capture)하는 단계와, 금속 종류, 문자 종류 및 솔더마스크(solder mask) 종류 중 적어도 2개를 포함하는 적어도 1개의 조광 영역 및 그것에 대응하는 종류를, 화상 데이터에 근거하여 설정하는 조광 영역 설정 단계와, 조광 단계를 행하고, 횡방향(橫方向) 조사광의 구성과, 횡방향 조사광과 전방향(前方向) 조사광을 조합시킨 구성으로 조사를 행하며, 선정한 조광 영역의 종류를 기준으로 하고, 또한, 각 조사 구성에 의해 그 때에 캡쳐한, 선정한 종류의 조광 영역의 화상 데이터와, 선정한 종류의 조광 영역에 미리 기억된 휘도임계치의 기준 데이터와를 비교하여 조사광의 강약을 조정한 후, 횡방향 조사광과 전방향 조사광을 동시에 조사하는 구성에 의해, 캡쳐한 어느 2개의 종류의 조광 영역간의 화상 데이터의 휘도값에 근거하여 대응하는 휘도의 차이의 정도를 얻어 조사광 조정 구성을 선정하는 단계와, 조사광 조정 구성을 기억하고, 같은 종류의 회로기판의 검사를 행할 때에 이용되는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 광학 검사에 이용되는 자동 조광 방법이 제공된다.
조광 단계는, 피측정 회로기판에 횡방향으로 입사하는 횡방향 조사광을 제공하고, 초기의 조사 강도의 조정은 선정한 종류의 조광 영역내에서 행해지며, 그 때에 캡쳐한 화상 중의 화상휘도값이 제1 목표구간값내에 달하면 횡방향 광 조사 구성의 설정값을 얻는 횡방향 광 조정 단계와, 횡방향 광 조사 구성의 설정값을 유지하면서 조사를 행하고, 피측정 회로기판에 전방향으로 입사하는 전방향 조사광을 제공하며, 전방향 조사광의 초기의 조사 강도의 조정은 선정한 종류의 조광 영역내에서 행하고, 그 때에 캡쳐한 화상 중의 화상휘도값이 제2 목표구간값에 달하도록 조정하여, 제1 전방향 광조사 구성의 설정값을 얻고, 횡방향 광조사 구성과 제1 전방향 광조사 구성의 설정값 중 어느 2개의 종류의 조광 영역간의 화상 데이터의 휘도값을 캡쳐하여, 대응하는 휘도의 차이의 정도를 얻는 전방향 조정 단계와, 횡방향 광 조사 구성의 설정값을 유지하면서 조사를 행하고, 전방향 조사광을 다시 조정하여, 제1 전방향 광조사 구성의 설정값보다 높은 전방향 조사광을 제공하며, 전방향 조사광의 새로운 조정은 선정한 종류의 조광 영역내에서 행하고, 그 때에 캡쳐한 화상 중의 화상휘도값이 제3 목표구간값내가 되도록 조정하여, 제2 전방향 광조사 구성의 설정값을 얻고, 또한, 횡방향 광 조사 구성 및 제2 전방향 광 조사 구성의 설정값 중 어느 2개의 종류의 조광 영역간의 화상 데이터의 휘도값을 캡쳐하여, 대응하는 휘도의 차이의 정도를 얻어 조사광 조정 구성을 선정하는, 제2 전방향 광 조정 단계를 포함하는 것이 바람직하다.
조광 영역의 종류는, 금속 종류, 문자 종류, 솔더마스크의 밝은 영역 종류 및 솔더마스크의 어두운 영역 종류의 4종류를 포함하고, 조사광 조정 구성을 선정하는 단계에 있어서, 횡방향 광 조사 구성 및 제1 전방향 광 조사 구성의 설정값과, 횡방향 광 조사 구성 및 제2 전방향 광 조사 구성의 설정값 중 1개를 조사광 조정 구성으로서 판정하며, (1)솔더마스크의 밝은 영역 종류와 솔더마스크의 어두운 영역 종류간의 휘도의 차이의 정도로 판정, (2)금속 종류와 문자 종류간의 휘도의 차이의 정도로 판정, (3)솔더마스크의 밝은 영역 종류 및 솔더마스크의 어두운 영역 종류의 최대값과, 문자 종류와의 사이의 휘도의 차이의 정도로 판정, (4)금속 종류와, 솔더마스크의 밝은 영역 종류 및 솔더마스크의 어두운 영역 종류의 최대값과의 사이에서의 휘도의 차이의 정도로 판정이라는 판정 규칙에 근거하여 차례로 판정하여, 차이의 정도의 결과가 같은 경우에는 그 다음 판정 규칙에 근거하여 판정하고, 차이의 정도의 결과가 다른 경우에는 차이의 정도가 큰 쪽의 구성 설정값을 조사광 조정 구성으로서 이용하는 것이 바람직하다.
조광 단계에 있어서, 제2 전방향 광 조정 단계 후에, 또한, 조사광 조정 구성을 선정하는 단계 전에, 모든 조명 구성을 오프하는 단계와, 피측정 회로기판에 횡방향으로 입사하는 횡방향 조사광을 제공하고, 초기의 조사 강도의 조정은 선정된 종류의 조광 영역내에서 행해지며, 그 때에 캡쳐된 화상 중의 화상휘도값이 2회째의 제1 목표구간값내가 되도록 조정하여, 2회째의 횡방향 광조사 구성의 설정값을 얻는, 2회째의 횡방향 광 조정 단계와, 2회째의 횡방향 광 조사 구성의 설정값이 유지되는 조사에 있어서, 피측정 회로기판에 입사되는 전방향 조사광을 다시 제공하고, 선정한 종류의 조광 영역내에서 전방향 조사광의 초기의 조사 강도를 조정하며, 그 때에 캡쳐한 화상 중의 화상휘도값이 2회째의 제2의 목표구간값내가 되도록 조정하여, 2회째의 제1 전방향 광 조사 구성의 설정값을 얻고, 또한, 2회째의 횡방향 광 조사 구성 및 2회째의 제1 전방향 광 조사 구성의 설정값 중 어느 2개의 종류의 조광 영역간의 화상 데이터의 휘도값을 캡쳐하여, 대응하는 휘도의 차이의 정도를 얻는, 2회째의 전방향 광 조정 단계와, 2회째의 횡방향 광 조사 구성의 설정값이 유지되는 조사에 있어서, 전방향 조사광을 조정하고, 2회째의 제1 전방향 광 조사 구성의 설정값보다 높은 전방향 조사광을 제공하며, 선정된 종류의 조광 영역내에서 전방향 조사광의 새로운 조정을 행하고, 그 때에 캡쳐한 화상 중의 화상휘도값이 2회째의 제3 목표구간값내가 되도록 조정하여, 2회째의 제2 전방향 광 조사 구성의 설정값을 얻고, 또한, 횡방향 광 조사 구성 및 2회째의 제2 전방향 광 조사 구성의 설정값에 있어서, 어느 2개의 종류의 조광 영역간의 화상 데이터의 휘도값을 캡쳐하여, 대응하는 휘도의 차이의 정도를 얻어 조사광 조정 구성을 선정하는, 2회째의 제2 전방향 광 조정 단계를 행하고, 2회째의 제1 목표구간값의 최대수치는 제1 목표구간값의 최대수치보다 크고, 2회째의 제2 목표구간값은 제2 목표구간값과 동일하며, 2회째의 제3 목표구간값은 제3 목표구간값과 동일한 것이 바람직하다.
조광 영역의 종류는, 금속 종류, 문자 종류, 솔더마스크의 밝은 영역 종류 및 솔더마스크의 어두운 영역 종류의 4개를 포함하고, 조사광 조정 구성을 선정하는 단계에 있어서, 횡방향 광 조사 구성 및 제1 전방향 광 조사 구성의 설정값, 횡방향 광 조사 구성 및 제2 전방향 광 조사 구성의 설정값, 2회째의 횡방향 광 조사 구성 및 2회째의 제1 전방향 광 조사 구성의 설정값, 2회째의 횡방향 광 조사 구성 및 2회째의 제2 전방향 광 조사 구성의 설정값 중 1개를 조사광 조정 구성으로서 판정하며, (1)솔더마스크의 밝은 영역 종류와 솔더마스크의 어두운 영역 종류간의 휘도의 차이의 정도로 판정, (2)금속 종류와 문자 종류간의 휘도의 차이의 정도로 판정, (3)솔더마스크의 밝은 영역 종류 및 솔더마스크의 어두운 영역 종류의 최대값과, 문자 종류와의 사이의 휘도의 차이의 정도로 판정, (4)금속 종류와, 솔더마스크의 밝은 영역 종류 및 솔더마스크의 어두운 영역 종류의 최대값과의 사이의 휘도의 차이의 정도로 판정이라는 판정 규칙에 근거하여 차례로 판정하여, 차이의 정도의 결과가 같은 경우에는 그 다음 판정 규칙에 근거하여 판정하고, 차이의 정도의 결과가 다른 경우에는 차이의 정도가 큰 쪽의 구성 설정값을 조사광 조정 구성으로서 사용하는 것이 바람직하다.
선정한 조광 영역의 종류는 금속 종류인 것이 바람직하다.
각 조사 구성이 그 때에 캡쳐한 대응하는 적어도 1개의 조광 영역 중 1개의 화상 데이터와, 선정한 종류의 조광 영역의 미리 기억한 휘도임계치의 기준 데이터와를 비교하는 단계에 있어서, 화상 데이터 중의 적외선 파장 대역의 화상 데이터를 비교하는 것이 바람직하다.
조광 영역 설정 단계에 있어서, 이용자의 획정(劃定)에 근거하여, 적어도 1개의 조광 영역과 그것에 대응하는 종류를 설정하는 것이 바람직하다.
상기 과제를 해결하기 위해서, 본 발명의 제2 형태에 따르면, 조사 광원 세트, 촬상 세트 및 제어 세트를 갖춘 광학 검사 장치로서, 제어 세트는, 조사 광원 세트의 광강도를 제어하고, 촬상 세트가 캡쳐한 화상 데이터를 수신하며, 광학 검사 장치가 다양한 종류의 피측정 회로기판 사이에서 조사하는 광원의 자동 조정을 행할 때, 제어 세트가 작동하여 본 발명의 제1 형태의 광학 검사에 이용되는 자동 조광 방법을 실행하는 것을 특징으로 하는 광학 검사 장치가 제공된다.
본 발명의 광학 검사에 이용되는 자동 조광 방법 및 그 광학 검사 장치는, 각 조광 영역의 종류 설정과, 횡방향 광, 횡방향 광 및 전방향 광의 2개의 종류를 순차 조사하는 구성에 의해, 대응하는 조광 처리를 행하고, 광학 검사 장치가 다른 종류의 피측정 회로기판에 대하여 조사 광원 구성의 자동 최적화를 행하는 동시에, 검사를 받는 회로기판이 표준화된 조건 하에서 검사를 행하여, 회로기판의 품질을 일정하게 유지할 수 있다.
도 1은 본 발명의 제1 실시형태에 따른 광학 검사에 이용되는 자동 조광 방법을 나타내는 흐름도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시형태에 따른 광학 검사 장치를 나타내는 모식도이다.
도 3a는 본 발명의 제2 실시형태에 따른 광학 검사에 이용되는 자동 조광 방법을 나타내는 흐름도이다.
도 3b는 본 발명의 제3 실시형태에 따른 광학 검사에 이용되는 자동 조광 방법을 나타내는 흐름도이다.
이하, 본 발명의 실시형태에 대해서 도면에 근거하여 설명한다. 또한, 이것에 의해 본 발명이 한정되는 것은 아니다.
도 1 및 도 2를 참조한다. 도 1은 본 발명의 제1 실시 형태에 따른 광학 검사에 이용되는 자동 조광 방법을 나타내는 흐름도이다. 도 2는 본 발명의 일 실시형태에 따른 광학 검사 장치를 나타내는 모식도이다.
(제1 실시형태)
본 발명의 제1 실시형태에 따른 광학 검사 장치는, 조사 광원 세트(횡방향 조사광 광원(201) 및 전방향 조사광 광원(203)을 포함함), 촬상 세트(300) 및 제어 세트(100)를 포함한다. 제어 세트(100)는, 촬상 세트(300) 및 조사 광원 세트(도시 생략)와 접속되고, 조사 광원 세트의 광강도를 제어하며, 촬상 세트(300)가 캡쳐한 화상 데이터를 수신한다. 광학 검사 장치가 다양한 종류의 피측정 회로기판(500) 사이에서 광원 조사의 자동 조정을 행할 때, 제어 세트(100)의 작동에 의해 본 발명의 자동 조광 방법을 실행한다. 도 2의 전방향 조사광 광원(203)을 조작할 때, 2개의 횡방향 조사광 광원(201)이 동일한 평면상에 배치되어 있는 관계에 의해, 촬상 세트(300)의 촬상 범위가 차단되는 것을 막을 수 있다.
본 발명의 일 실시형태에 따른 자동 조광 방법은, 우선, 종류를 변경한 후에 피측정 회로기판의 화상 데이터를 캡쳐하고, 조광 영역 및 그것에 대응하는 종류의 설정을 행한다. 조광 영역 및 그것에 대응하는 종류의 설정은, 이용자의 획정에 근거하여 조광 영역과 그것에 대응하는 종류를 설정하거나, 혹은 조광 전에 캡쳐한 화상 데이터와, 회로기판상의 각 종류가 갖는 화상 특징(예를 들면, 메탈라인(metal line)상의 광반사가 적외선 파장 대역의 화상으로 최고 휘도를 얻음)과에 근거하여, 제어 세트(100)에 의해 회로기판상의 대응하는 다양한 종류의 조광 영역을 식별하며, 화상품질이 바람직한 영역을 선택하여, 후속의 조광 공정을 행한다. 이하의 실시형태에서는 이용자가 수동으로 선택하는 방식을 예로 설명한다.
도 1을 참조한다. 도 1에 도시한 바와 같이, 본 발명의 일 실시형태에 따른 자동 조광 방법은 이하의 단계(S100∼S400)를 포함한다.
단계(S100): 다양한 종류의 회로기판의 검사의 교환 지령을 수신했는지의 여부를 판정하고, 판정 결과가 「예」인 경우에는 다음 단계(S200)로 진행되고, 판정 결과가 「아니오」인 경우에는 다음 단계(S101)로 진행되어, 현상의 조사 구성을 유지한다.
단계(S200): 회로기판의 종류를 교환한 후, 피측정 회로기판상의 각 조광 영역의 종류 설정을 수신한다. 여기서 종류 설정은, 회로기판의 표면에 있는 각종 구성에 의해 정의되고, 예를 들면, 도선(導線)으로서 이용할 금속 종류, 문자가 인쇄된 문자 종류 및 각종 컬러의 솔더마스크의 솔더마스크 종류가 포함된다. 일반적으로, 회로기판상에 형성된 메탈라인은 OSP(Organic Solderability Preservative)에 의해 피복되고, 주석 도금 또는 화학 니켈금 방식에 의해 형성된다. 회로기판상에 인쇄되는 문자의 색은 백색, 흑색 또는 그 밖의 색이다. 솔더마스크의 색은 녹색, 청색, 백색, 적색 등이다. 조작자는, 자동 조광을 행할 회로기판을 교환한 후, 촬상 세트(300)가 캡쳐한 화상 데이터를 제어 세트(100)의 스크린(도시 생략)으로 표시하고, 제어 세트(100)의 입력 인터페이스(예를 들면, 마우스, 키보드 등)에 의해 선택하여, 조광을 행할 각 조광 영역을 획정하고, 조광 영역이 제어 세트(100) 중에서 설정되어, 조광 영역의 종류 설정(예를 들면, 전술한 금속 종류, 문자 종류 또는 솔더마스크 종류)을 행한다.
조광 영역 및 그 종류의 설정에는 적어도 2조(組) 선택된다. 예를 들면, 금속 종류, 문자 종류 및 솔더마스크 종류 중 적어도 2개의 종류를 선택하여 조광 단계를 행한다. 예를 들면, 솔더마스크 종류는, 솔더마스크의 밝은 영역 종류(솔더마스크 아래에는 메탈라인층이 형성되어 있음)와, 솔더마스크의 어두운 영역 종류(솔더마스크 아래에는 메탈라인층이 형성되어 있지 않음)로 나눌 수 있기 때문에, 조광 단계에 의해 적어도 양자간의 화상 데이터를 확실하게 식별할 수 있다. 즉, 화상 데이터는, 다른 조광 영역의 종류간의 휘도값이 소정의 목표값에 근거하여 검사 시스템에 의해 구분되고, 조광 기준을 일치시키지 않으면, 피측정 회로기판을 균일한 조건 하에서 검사할 수 없었다. 또한 예를 들면, 일반적인 회로 검사에는, 금속 종류 및 솔더마스크 종류를 이용하여 설정해야 하고, 회로기판의 검사는, 메탈라인이 정확하게 형성되어 있기 때문에, 시스템은 회로기판상의 메탈라인에 의해 메탈라인에 가까운 영역(일반적으로 솔더마스크 종류)과, 메탈라인의 화상의 차이의 정도와를 확실하게 식별할 수 있는데, 그 차이가 클수록 식별은 용이해지는 것이 일반적이다. 그러나, 상술한 것은 단순한 하나의 예이고, 이것에 의해 제한을 받는 것은 아니며, 그 밖의 종류에 의해 회로기판의 검사를 설정하는 것도 본 발명의 범위에 포함된다.
이어서, 단계(S300)에서 조광 단계를 행한다. 이 조광 단계에서는, 횡방향 조사광과, 횡방향 조사광과 전방향 조사광의 조합의 구성으로 조사를 행하고, 이미 선정한 조광 영역의 종류를 기준으로 하여(통상은 금속 종류이고, 이하, 금속 종류에 의해 설명함) 행한다. 즉, 각 조사 구성에 의해 그 때에 캡쳐한 대응하는 금속 종류의 조광 영역의 화상 데이터에 근거하여, 금속 종류의 조광 영역의 미리 기억한 휘도임계치의 기준 데이터에 의해 조광을 행한다. 바꿔 말하면, 휘도임계치의 표준 데이터와 비교하여, 소정의 조정 범위내에서 조사광의 강약을 조정한다. 계속해서, 횡방향 조사광과 전방향 조사광을 동시에 조사하는 구성 하에서, 캡쳐한 어느 2개의 종류(예를 들면, 금속 종류 및 솔더마스크 종류)의 조광 영역간의 화상 데이터의 휘도값에 근거하여, 대응하는 휘도의 차이의 정도를 얻어서 조사광 조정 구성을 선정한다.
예를 들면, 금속 종류의 조광 영역에 있어서, 촬상한 화상 중에서 메탈라인을 확실하게 식별하고, 이 영역내의 금속 반사광의 최소 광강도값을 다른 종류의 조광 영역의 최대 반사광의 강도값보다 높게 하고, 적외선 파장 대역을 판단 조건으로서 사용하는 것이 바람직하다. 또한 예를 들면, 흰문자를 솔더마스크 중에서 확실하게 식별하기 위해서, 녹색의 솔더마스크를 조합시킬 경우, 청색광 파장 대역의 광강도값에 의해 검시(檢視)를 행한다. 청색의 솔더마스크를 조합시킬 경우에는 녹색광 파장 대역의 광강도값에 의해 검시를 행한다. 적색의 솔더마스크를 조합시킬 경우에는 녹색광(우선) 또는 청색광 파장 대역의 광강도값에 의해 검시를 행한다. 흑색문자를 솔더마스크 중에서 확실하게 식별하기 위해서, 녹색의 솔더마스크와 조합시킬 경우에는 녹색광(우선) 또는 청색광 파장 대역의 광강도값에 의해 검시를 행한다. 청색의 솔더마스크를 조합시킬 경우에는 청색광 파장 대역의 광강도값에 의해 검시를 행한다. 적색의 솔더마스크를 조합시킬 경우에는 녹색광(우선) 또는 청색광 파장 대역의 광강도값에 의해 검시를 행한다.
계속해서 단계(S400)에 있어서, 조사광 조정 구성을 기억하고, 동일한 종류의 회로기판의 검사를 행할 때에 이용한다.
여기서, 본 발명의 자동 조광은, 횡방향 광 조사 구성과 전방향 광 조사 구성의 다양한 조합의 설정값은, 다른 종류의 조광 영역간의 휘도의 차이의 정도가 최대가 되는 상황에서(즉, 차이의 수치의 절대값이 최대임), 조사광 조정 구성을 결정할 수 있다.
(제2 실시형태)
계속해서, 도 3a를 참조한다. 도 3a는, 본 발명의 제2 실시형태에 따른 광학검사에 이용되는 자동 조광 방법을 나타내는 흐름도이다. 도 3a에 도시한 바와 같이, 본 발명은, 메탈라인이 회로기판 검사의 주요 항목인 것에 근거하여, 조광 단계에 있어서 이하의 단계를 행하고, 메탈라인이 캡쳐한 화상을 최적화하는 조사광 조정 구성을 얻는다.
우선, 광이 조사되지 않은 전제 하에서 횡방향 광의 조정 단계(S301)를 행하고, 피측정 회로기판에 횡방향으로부터 입사되는 횡방향 조사광(220)을 제공하며, 그 초기의 조사 강도의 조정은, 선정한 종류의 조광 영역(예를 들면, 금속 종류)내에서, 횡방향의 조사광을 그 때에 캡쳐한 화상 중의 화상휘도값이 제1 목표구간값내가 되도록 조정하여(금속 종류에서는, 이 제1 목표구간값이 예를 들면 120∼140이고, 이 수치의 휘도값 범위가 0∼255를 예로 설명함), 횡방향의 광조사 구성의 설정값(즉, 횡방향 조사광은, 상술한 조건을 만족시키기 위해서 조정된 출력값임)을 얻는다.
계속해서, 전방향의 광의 조정 단계(S302)를 행하고, 횡방향 광 조사 구성의 설정값을 유지하면서 조사하여, 피측정 회로기판에 전방향으로 입사되는 전방향 조사광을 제공한다. 전방향 조사광의 초기의 조사 강도의 조정은, 선정한 종류의 조광 영역내에서 행해지고, 그 때에 캡쳐한 화상 중의 화상휘도값이 제2 목표구간값내가 되도록 조정하여(금속 종류에서는, 이 제2 목표구간값은 예를 들면 160∼180이고, 이 수치는 휘도값 범위가 0∼255을 예로 들어, 횡방향 광 조사 및 전방향 광 조사가 중첩되어 얻어진 수치를 나타냄), 제1 전방향 광 조사 구성의 설정값(즉, 전방향 조사광은, 상술한 조건을 만족시키기 위해서 조정된 출력값임)을 얻고, 횡방향 광 조사 구성 및 제1 전방향 광 조사 구성의 설정값에 있어서, 어느 2개의 종류의 조광 영역간의 화상 데이터의 휘도값을 캡쳐하여, 대응하는 휘도의 차이의 정도를 얻는다.
전술한 2개의 단계를 행하면, 1조의 전방향 광 및 횡방향 광의 설정값을 찾아서 조사광 조정 구성으로서 이용할 수 있는데, 도 3a에 도시한 바와 같이, 전방향 광의 제2 조정 단계(S303)를 더 포함하는 것이 바람직하고, 단계(S303)에서는, 횡방향 광 조사 구성의 설정값의 조사를 유지하고, 전방향 조사광을 조정하여 제1 전방향 광 조사 구성의 설정값보다 높은 전방향 조사광을 제공한다. 전방향 조사광의 새로운 조정은 선정한 종류의 조광 영역내에서 행하고, 그 때에 캡쳐한 화상 중의 화상휘도값이 제3 목표구간값내가 되도록 조정하여(금속 종류에서는, 이 제2 목표구간값은 예를 들면 180∼200이고, 이 수치는 휘도값 범위가 0∼255를 예로 들면, 횡방향 광 조사 및 전방향 광 조사 하에서 중첩되어 얻어진 수치를 나타냄), 제2 전방향 광 조사 구성의 설정값을 얻고, 또한, 횡방향 광 조사 구성 및 제2 전방향 광 조사 구성의 설치값 하에서, 어느 2개의 종류의 조광 영역간의 화상 데이터의 휘도값을 캡쳐하여, 대응하는 휘도의 차이의 정도를 얻는다.
광 조사 조정 구성을 선정하는 공정에 있어서, 예를 들면, 조광 영역의 종류는 금속 종류, 문자 종류, 솔더마스크의 밝은 영역 종류 및 솔더마스크의 어두운 영역 종류의 4개를 포함하고, 조사광 조정 구성을 선정하는 단계에 있어서, 횡방향 광 조사 구성 및 제1 전방향 광 조사 구성의 설정값과, 횡방향 광 조사 구성 및 제2 전방향 광 조사 구성의 설정값 중에서 1개를 선택하여 조사광 조정 구성으로 판정한다. 판정 규칙의 순서는 이하 (1)∼(4)이고, 차이의 정도의 결과가 같은 경우에는 다음 규칙에 근거하여 판정하고, 차이의 정도의 결과가 다른 경우에는 차이의 정도가 큰 쪽의 구성 설정값을 조사광 조정 구성으로서 사용한다.
(1)솔더마스크의 밝은 영역 종류와 솔더마스크의 어두운 영역 종류간의 휘도의 차이의 정도로 판정한다.
(2)금속 종류와 문자 종류간의 휘도의 차이의 정도로 판정한다.
(3)솔더마스크의 밝은 영역 종류 및 솔더마스크의 어두운 영역 종류의 최대값과, 문자종류와의 사이의 휘도의 차이의 정도로 판정한다.
(4)금속 종류와, 솔더마스크의 밝은 영역 종류 및 솔더마스크의 어두운 영역종류의 최대값과의 사이에서의 휘도의 차이의 정도로 판정한다.
예를 들면, 횡방향 광 조사 구성 및 제1 전방향 광 조사 구성의 설정값의 경우, 제1 규칙에서는 수치가 10이다. 횡방향 광 조사 구성 및 제2 전방향 광 조사 구성의 설정값의 경우에서도 제1 규격에서는 수치가 10이고, 양자가 같은(혹은, 차이가 일정 범위내에 있는) 경우, 제2 규칙에 의해 판단한다. 횡방향 광 조사 구성과 제1 전방 광조사 구성의 설정값의 경우, 제2 규격에서는 수치가 32이다. 횡방향 광 조사 구성과 제2 전방향 광 조사 구성의 설정값의 경우, 수치가 30이고, 큰 듯한 수치가 얻어진다. 이것에 의해, 조사광 조정 구성은 「횡방향 광 조사 구성 및 제1 전방향 광 조사 구성의 설정값」을 선정하여, 차이의 정도가 큰 구성의 설정값을 조사광 조정 구성으로서 이용한다.
(제3 실시형태)
계속해서, 도 3b를 참조한다. 도 3b는, 본 발명의 제3 실시형태에 따른 광학검사에 이용되는 자동 조광 방법을 나타내는 흐름도이다. 도 3b에 도시한 바와 같이, 도 3a의 단계에 이어서, 다시 2회째의 조광 단계를 행하고, 전방향 광의 제2 조정 단계(S303)를 행한 후, 조사광 조정 구성이 기록되기 전(단계S400)에, 다시 단계(S310∼S313)를 행한다.
단계(S310): 모든 조명 구성을 오프한다.
단계(S311): 2회째의 횡방향 광의 조정 단계를 행하고, 피측정 회로기판에 횡방향으로 입사되는 횡방향 조사광을 제공하며, 초기의 조사 강도의 조정은 선정된 종류의 조광 영역내에서 행하고, 그 때에 캡쳐된 화상 중의 화상휘도값이 2회째의 제1 목표구간값내가 되도록 조정하여, 2회째의 제1 목표구간값의 최대수치가 제1 목표구간값의 최대수치보다 크고(금속 종류를 예로 들면, 이 2회째의 제1 목표구간값은 예를 들면 140∼160이고, 이 수치는 휘도값 범위가 0∼255이며, 이 수치는 횡방향 광 조사 및 전방향 광 조사 하에서 중첩되어 얻어지는 수치를 나타냄), 2회째의 횡방향 광 조사 구성의 설정값을 얻는다.
단계(S312): 2회째의 제1 전방향 광 조정 단계를 행하고, 2회째의 횡방향 광 조사 구성의 설정값의 조사가 유지되어(즉, 2회째의 제2 목표구간값이 제2 목표구간값과 동일함), 피측정 회로기판에 입사되는 전방향 조사광을 제공하고, 전방향 조사광의 초기의 조사 강도의 조정은 선정한 종류의 조광 영역내에서 행하며, 그 때에 캡쳐한 화상 중의 화상휘도값이 2회째의 제2 목표구간값내가 되도록 조정하여(금속 종류의 경우, 이 2회째의 제2 목표구간값은 예를 들면 160∼180이고, 이 수치는 휘도값 범위가 0∼255인 경우를 예로 들어 횡방향 광 조사 및 전방향 광 조사 하에서 중첩되어 얻어지는 수치임), 2회째의 제1 전방향 광 조사 구성의 설정값을 얻고, 또한, 2회째의 횡방향 광 조사 구성 및 2회째의 제1 전방향 광 조사 구성의 설정값에서는, 어느 2개의 종류의 조광 영역간의 화상 데이터의 휘도값을 캡쳐하여, 대응하는 휘도의 차이의 정도를 얻는다.
단계(S313): 2회째의 제2 전방향 광 조정 단계를 행하고, 2회째의 횡방향 광 조사 구성의 설정값의 조사를 유지하여(즉, 2회째의 제3 목표구간값은 제3 목표구간값과 동일함), 전방향 조사광을 다시 조정하여 2회째의 제1 전방향 광 조사 구성의 설정값보다 높은 전방향 광 조사를 제공하고, 전방향 광 조사의 새로운 조정은 선정된 종류의 조광 영역내에서 행하며, 그 때에 캡쳐한 화상 중의 화상휘도값이 2회째의 제3 목표구간값내가 되도록 조정하여(금속 종류에서는, 이 2회째의 제3 목표구간값은 예를 들면 180∼200이고, 이 수치는 휘도값 범위가 0∼255인 경우를 예로 들어, 횡방향 광 조사 및 전방향 광 조사에 있어서 중첩되어 얻어지는 수치임), 2회째의 제2 전방향 광 조사 구성의 설정값을 얻고, 또한, 횡방향 광 조사 구성 및 2회째의 제2 전방향 광 조사 구성의 설정값 중 어느 2개의 종류의 조광 영역간의 화상 데이터의 휘도값을 캡쳐하여, 대응하는 휘도의 차이의 정도를 얻는다.
2회째의 제1 목표구간값의 최대수치는 제1 목표구간값의 최대수치보다 크다. 2회째의 제2 목표구간값의 최대수치는 2회째의 제2 목표구간값의 최대수치 이상이다. 2회째의 제3 목표구간값의 최대수치는 2회째의 제3 목표구간값의 최대수치 이상이다. 바람직하게는, 2회째의 제2 목표구간값의 최대수치는 2회째의 제2 목표구간값의 최대수치와 동일하다(또는 범위구간과 동일함). 2회째의 제3 목표구간값의 최대수치는 2회째의 제3 목표구간값의 최대수치와 동일하다(또는 범위구간과 동일함).
마찬가지로, 조광 영역의 종류는, 예를 들면 금속 종류, 문자 종류, 솔더마스크의 밝은 영역 종류 및 솔더마스크의 어두운 영역 종류의 4개를 포함하고, 조사광 조정 구성을 선정하는 단계에 있어서, 횡방향 광 조사 구성 및 제1 전방향 광 조사 구성의 설정값, 횡방향 광 조사 구성 및 제2 전방향 광 조사 구성의 설정값, 2회째의 횡방향 광 조사 구성 및 2회째의 제1 전방향 광 조사 구성의 설정값, 2회째의 횡방향 광 조사 구성 및 2회째의 제2 전방향 광 조사 구성의 설정값 중 1개를 조사광 조정 구성으로서 판정한다. 판정 규칙의 순서는 이하 (1)∼(4)이고, 차이의 정도의 결과가 같은 경우에는 다음 규칙에 근거하여 판정하고, 차이의 정도의 결과가 다른 경우에는 차이의 정도가 큰 쪽의 구성 설정값을 조사광 조정 구성으로서 이용한다.
(1)솔더마스크의 밝은 영역 종류와 솔더마스크의 어두운 영역 종류간의 휘도의 차이의 정도로 판정한다.
(2)금속 종류와 문자 종류간의 휘도의 차이의 정도로 판정한다.
(3)솔더마스크의 밝은 영역 종류 및 솔더마스크의 어두운 영역 종류의 최대값과, 문자 종류와의 사이의 휘도의 차이의 정도로 판정한다.
(4)금속 종류와, 솔더마스크의 밝은 영역 종류 및 솔더마스크의 어두운 영역종류의 최대값과의 사이의 휘도의 차이의 정도로 판정한다.
또한, 금속 종류의 조광 영역은, 각 조사 구성이 그 때에 캡쳐한 대응하는 적어도 1개의 조광 영역 중 1개의 화상 데이터와, 선정한 종류의 조광 영역의 미리 기억한 휘도임계치의 기준 데이터와를 비교하는 단계에 있어서, 화상 데이터 중의 「적외선 파장 대역」의 화상 데이터를 비교한다.
상술한 바와 같이, 본 발명의 광학 검사에 이용되는 자동 조광 방법 및 그 광학 검사 장치는, 캡쳐한 화상 중에서 대표하는 광강도값을 이용하여 자동 조광을 행하고, 다른 종류의 영역을 최적화하여, 검사를 받는 회로기판을 균일한 조건하에서 검사하기 때문에, 회로기판의 품질을 균일하게 유지할 수 있다.
해당 분야의 기술을 숙지하는 것을 이해할 수 있도록, 본 발명의 바람직한 실시형태를 전술한 바와 같이 개시했지만, 이것들은 결코 본 발명을 한정하는 것은 아니다. 본 발명의 주지와 영역을 벗어나지 않는 범위내에서 각종 변경이나 수정을 추가할 수 있다. 따라서, 본 발명의 특허청구범위는 이러한 변경이나 수정을 포함시켜서 넓게 해석되어야 한다.
100 : 제어 세트 201 : 횡방향 조사광 광원
203 : 전방향 조사광 광원 220 : 횡방향 조사광
300 : 촬상 세트 500 : 피측정 회로기판

Claims (9)

  1. 광학 검사 장치에 의해 다양한 종류의 피측정 회로기판 사이에서 조사 광원의 자동 조정을 행하는, 광학 검사에 이용되는 자동 조광 방법으로서,
    종류를 변경한 후의 피측정 회로기판상의 화상 데이터를 캡쳐하는 단계와,
    금속 종류, 문자 종류 및 솔더마스크 종류 중 적어도 2개를 포함하는 적어도 1개의 조광 영역 및 그것에 대응하는 종류를, 화상 데이터에 근거하여 설정하는 조광 영역 설정 단계와,
    조광 단계를 행하고, 횡방향 조사광의 구성과, 상기 횡방향 조사광 및 전방향 조사광의 조합의 구성으로 조사를 행하며, 선정한 조광 영역의 종류를 기준으로 하고, 또한, 각 조사 구성에 의해 그 때에 캡쳐한, 선정한 종류의 조광 영역의 화상 데이터와, 선정한 종류의 조광 영역에 미리 기억된 휘도임계치의 기준 데이터와를 비교하여 조사광의 강약을 조정한 후, 상기 횡방향 조사광과 상기 전방향 조사광을 동시에 조사하는 구성에 의해, 캡쳐한 어느 2개의 종류의 조광 영역간의 화상 데이터의 휘도값에 근거하여 대응하는 휘도의 차이의 정도를 얻어 조사광 조정 구성을 선정하는 단계와,
    조사광 조정 구성을 기억하고, 같은 종류의 회로기판의 검사를 행할 때에 이용되는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 광학 검사에 이용되는 자동 조광 방법.
  2. 제 1 항에 있어서,
    조광 단계는,
    피측정 회로기판에 횡방향으로 입사하는 상기 횡방향 조사광을 제공하고, 초기의 조사 강도의 조정은 선정한 종류의 조광 영역내에서 행해지며, 그 때에 캡쳐한 화상 중의 화상휘도값이 제1 목표구간값내에 달하면 횡방향 광 조사 구성의 설정값을 얻는 횡방향 광 조정 단계와,
    상기 횡방향 광 조사 구성의 설정값을 유지하면서 조사를 행하고, 피측정 회로기판에 전방향으로 입사하는 상기 전방향 조사광을 제공하며, 상기 전방향 조사광의 초기의 조사 강도의 조정은 선정한 종류의 조광 영역내에서 행하고, 그 때에 캡쳐한 화상 중의 화상휘도값이 제2 목표구간값에 달하도록 조정하여, 제1 전방향 광조사 구성의 설정값을 얻고, 상기 횡방향 광조사 구성의 설정값과 상기 제1 전방향 광조사 구성의 설정값 중 어느 2개의 종류의 조광 영역간의 화상 데이터의 휘도값을 캡쳐하여, 대응하는 휘도의 차이의 정도를 얻는 전방향 조정 단계와,
    상기 횡방향 광 조사 구성의 설정값을 유지하면서 조사를 행하고, 상기 전방향 조사광을 다시 조정하여, 상기 제1 전방향 광조사 구성의 설정값보다 높은 전방향 조사광을 제공하고, 상기 전방향 조사광의 새로운 조정은 선정한 종류의 조광 영역내에서 행하며, 그 때에 캡쳐한 화상 중의 화상휘도값이 제3 목표구간값내가 되도록 조정하여, 제2 전방향 광조사 구성의 설정값을 얻고, 또한, 상기 횡방향 광 조사 구성의 설정값 및 상기 제2 전방향 광 조사 구성의 설정값 중 어느 2개의 종류의 조광 영역간의 화상 데이터의 휘도값을 캡쳐하여, 대응하는 휘도의 차이의 정도를 얻어 조사광 조정 구성을 선정하는, 제2 전방향 광 조정 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 광학 검사에 이용되는 자동 조광 방법.
  3. 제 2 항에 있어서,
    조광 영역의 종류는, 금속 종류, 문자 종류, 솔더마스크의 밝은 영역 종류 및 솔더마스크의 어두운 영역 종류의 4종류를 포함하고,
    조사광 조정 구성을 선정하는 단계에 있어서, 상기 횡방향 광 조사 구성의 설정값 및 상기 제1 전방향 광 조사 구성의 설정값과, 상기 횡방향 광 조사 구성의 설정값 및 상기 제2 전방향 광 조사 구성의 설정값 중 1개를 조사광 조정 구성으로서 판정하며,
    (1)솔더마스크의 밝은 영역 종류와 솔더마스크의 어두운 영역 종류간의 휘도의 차이의 정도로 판정,
    (2)금속 종류와 문자 종류간의 휘도의 차이의 정도로 판정,
    (3)솔더마스크의 밝은 영역 종류 및 솔더마스크의 어두운 영역 종류의 최대값과, 문자 종류와의 사이의 휘도의 차이의 정도로 판정,
    (4)금속 종류와, 솔더마스크의 밝은 영역 종류 및 솔더마스크의 어두운 영역 종류의 최대값과의 사이에서의 휘도의 차이의 정도로 판정이라는 판정 규칙에 근거하여 차례로 판정하여, 차이의 정도의 결과가 같은 경우에는 그 다음 판정 규칙에 근거하여 판정하고, 차이의 정도의 결과가 다른 경우에는 차이의 정도가 큰 쪽의 구성 설정값을 조사광 조정 구성으로서 이용하는 것을 특징으로 하는 광학 검사에 이용되는 자동 조광 방법.
  4. 제 2 항에 있어서,
    조광 단계에 있어서,
    상기 제2 전방향 광 조정 단계 후에, 또한, 조사광 조정 구성을 선정하는 단계 전에,
    모든 조명 구성을 오프하는 단계와,
    피측정 회로기판에 횡방향으로 입사하는 상기 횡방향 조사광을 제공하고, 초기의 조사 강도의 조정은 선정된 종류의 조광 영역내에서 행해지며, 그 때에 캡쳐된 화상 중의 화상휘도값이 2회째의 제1 목표구간값내가 되도록 조정하여, 2회째의 횡방향 광조사 구성의 설정값을 얻는, 2회째의 횡방향 광 조정 단계와,
    상기 2회째의 횡방향 광 조사 구성의 설정값이 유지되는 조사에 있어서, 피측정 회로기판에 입사되는 상기 전방향 조사광을 다시 제공하고, 선정한 종류의 조광 영역내에서 상기 전방향 조사광의 초기의 조사 강도를 조정하며, 그 때에 캡쳐한 화상 중의 화상휘도값이 2회째의 제2의 목표구간값내가 되도록 조정하여, 2회째의 제1 전방향 광 조사 구성의 설정값을 얻고, 또한, 상기 2회째의 횡방향 광 조사 구성의 설정값 및 상기 2회째의 제1 전방향 광 조사 구성의 설정값 중 어느 2개의 종류의 조광 영역간의 화상 데이터의 휘도값을 캡쳐하여, 대응하는 휘도의 차이의 정도를 얻는, 2회째의 전방향 광 조정 단계와,
    상기 2회째의 횡방향 광 조사 구성의 설정값이 유지되는 조사에 있어서, 전방향 조사광을 조정하고, 상기 2회째의 제1 전방향 광 조사 구성의 설정값보다 높은 전방향 조사광을 제공하며, 선정된 종류의 조광 영역내에서 전방향 조사광의 새로운 조정을 행하고, 그 때에 캡쳐한 화상 중의 화상휘도값이 2회째의 제3 목표구간값내가 되도록 조정하여, 2회째의 제2 전방향 광 조사 구성의 설정값을 얻고, 또한, 상기 횡방향 광 조사 구성의 설정값 및 상기 2회째의 제2 전방향 광 조사 구성의 설정값에 있어서, 어느 2개의 종류의 조광 영역간의 화상 데이터의 휘도값을 캡쳐하여, 대응하는 휘도의 차이의 정도를 얻어, 조사광 조정 구성을 선정하는, 2회째의 제2 전방향 광 조정 단계를 행하고,
    상기 2회째의 제1 목표구간값의 최대수치는 상기 제1 목표구간값의 최대수치보다 크고,
    상기 2회째의 제2 목표구간값은 상기 제2 목표구간값과 동일하며,
    상기 2회째의 제3 목표구간값은 상기 제3 목표구간값과 동일한 것을 특징으로 하는 광학 검사에 이용되는 자동 조광 방법.
  5. 제 4 항에 있어서,
    조광 영역의 종류는, 금속 종류, 문자 종류, 솔더마스크의 밝은 영역 종류 및 솔더마스크의 어두운 영역 종류의 4개를 포함하고,
    조사광 조정 구성을 선정하는 단계에 있어서, 상기 횡방향 광 조사 구성의 설정값 및 상기 제1 전방향 광 조사 구성의 설정값, 상기 횡방향 광 조사 구성의 설정값 및 상기 제2 전방향 광 조사 구성의 설정값, 상기 2회째의 횡방향 광 조사 구성의 설정값 및 상기 2회째의 제1 전방향 광 조사 구성의 설정값, 상기 2회째의 횡방향 광 조사 구성의 설정값 및 상기 2회째의 제2 전방향 광 조사 구성의 설정값 중 1개를 조사광 조정 구성으로서 판정하며,
    (1)솔더마스크의 밝은 영역 종류와 솔더마스크의 어두운 영역 종류간의 휘도의 차이의 정도로 판정,
    (2)금속 종류와 문자 종류간의 휘도의 차이의 정도로 판정,
    (3)솔더마스크의 밝은 영역 종류 및 솔더마스크의 어두운 영역 종류의 최대값과, 문자 종류와의 사이의 휘도의 차이의 정도로 판정,
    (4)금속 종류와, 솔더마스크의 밝은 영역 종류 및 솔더마스크의 어두운 영역 종류의 최대값과의 사이의 휘도의 차이의 정도로 판정이라는 판정 규칙에 근거하여 차례로 판정하여, 차이의 정도의 결과가 같은 경우에는 그 다음 판정 규칙에 근거하여 판정하고, 차이의 정도의 결과가 다른 경우에는 차이의 정도가 큰 쪽의 구성 설정값을 조사광 조정 구성으로서 사용하는 것을 특징으로 하는 광학 검사에 이용되는 자동 조광 방법.
  6. 제 1 항에 있어서,
    선정한 조광 영역의 종류는 금속 종류인 것을 특징으로 하는 광학 검사에 이용되는 자동 조광 방법.
  7. 제 6 항에 있어서,
    각 조사 구성이 그 때에 캡쳐한 대응하는 적어도 1개의 조광 영역 중 1개의 화상 데이터와, 선정한 종류의 조광 영역의 미리 기억한 휘도임계치의 기준 데이터와를 비교하는 단계에 있어서, 화상 데이터 중의 적외선 파장 대역의 화상 데이터를 비교하는 것을 특징으로 하는 광학 검사에 이용되는 자동 조광 방법.
  8. 제 6 항에 있어서,
    조광 영역 설정 단계에 있어서, 이용자의 획정에 근거하여, 적어도 1개의 조광 영역과 그것에 대응하는 종류를 설정하는 것을 특징으로 하는 광학 검사에 이용되는 자동 조광 방법.
  9. 조사 광원 세트, 촬상 세트 및 제어 세트를 갖춘 광학 검사 장치로서,
    제어 세트는, 조사 광원 세트의 광강도를 제어하고, 촬상 세트가 캡쳐한 화상 데이터를 수신하며,
    광학 검사 장치가 다양한 종류의 피측정 회로기판 사이에서 조사하는 광원의 자동 조정을 행할 때, 제어 세트가 작동하여 제 1 항 내지 제 8 항 중 어느 한 항에 기재된 광학 검사에 이용되는 자동 조광 방법을 실행하는 것을 특징으로 하는 광학 검사 장치.
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