JP2016152746A - 振動型アクチュエータおよびその制御方法、光学機器 - Google Patents
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Abstract
Description
本発明の目的は、振動型アクチュエータの駆動において制御性を向上させることである。
図1から図8を参照して、本発明の第1の実施形態について説明する。図1は、本実施形態の超音波モータ10の基本的な構成を説明するための図である。図1(A)は平面図、図1(B)は正面図である。図1(C)および図1(D)はそれぞれ異なる方向から見た場合の側面図である。図1(E)は底面図である。超音波モータ10は、振動板1と圧電素子2を備える。
・振動板1の短辺方向(Y方向)の曲げ振動に係る1次の固有振動モード(以下、第1のモードという)。
・振動板1の長辺方向(X方向)の曲げ振動に係る2次の固有振動モード(以下、第2のモードという)。
突起部1a,1bは第1のモードの腹(図1(E)におけるX参照)の近傍であって、かつ、第2のモードの節(図1(E)におけるY1およびY2参照)の近傍に設けられる。図1(E)にY1とY2で示す各位置はY方向の中心線Y0に関して対称である。
位置検出部51は振動板1の相対位置を検出し、検出信号を位相差制御部52の位置偏差算出部61に出力する。位置検出部51は、例えば光学式のエンコーダ等を備え、振動板1の位置情報を検出する。位置検出部51における検出手段の種類および測定原理の如何は問わない。位相差制御部52は、位置検出部51によって検出された位置情報に応じて、圧電素子2の分極領域2a,2bへの入力電圧の位相差を制御する。位相差制御部52は、位置検出部51によって検出された位置が、目標位置に近づくように位相差を制御する。位相差とは、図示しない外部電源から圧電素子2の分極領域2a,2bへのそれぞれ入力される電圧の位相差である。位相差制御部52にてフィードバック制御が行われる。
以上説明した通り、比較例の位相差制御では、低速度領域の駆動において不感帯の影響によって駆動が不安定化する可能性があり、所望の制御特性が得られない場合がある。そこで、その解決策として、図7および図8を参照して、本実施形態の位相差制御法について説明する。
次に、本発明の第2の実施形態を説明する。本実施形態では、振動板1の加速度に応じて第2の位相差領域Dの範囲を変化させる点で第1の実施形態と相違する。以下では、第1の実施形態の場合と同一の構成要素については既に使用した符号と同一の符号を用いることで、それらの詳細な説明を省略して主に相違点を説明する。このような説明の省略については、後述する実施形態でも同じである。
次に、本発明の第3の実施形態を説明する。本実施形態では、振動板1の傾きおよび移動方向に応じて第2の位相差領域Dの範囲を変化させることが第1の実施形態との相違点である。
以上、本発明の好ましい実施形態について説明したが、本発明はこれらの実施形態に限定されず、その要旨の範囲内で種々の変形および変更が可能である。
2 圧電素子
3 摩擦部材
4 振動板保持部材
10 超音波モータ
20 リニア駆動装置
52 位相差制御部
Claims (8)
- 振動部材および該振動部材に固定された圧電素子を用いる振動型アクチュエータであって、
前記振動部材と接触して当該振動部材に対して相対的に移動する摩擦部材と、
前記摩擦部材に対する前記振動部材の相対的な位置情報を取得して前記圧電素子の駆動を制御する制御手段と、を備え、
前記圧電素子は、複数の分極領域を有しており、
前記制御手段は、前記複数の分極領域にそれぞれ印加する電圧の位相差を制御する場合、第1の位相差領域にて前記位相差を設定する第1の制御と、前記第1の位相差領域よりも範囲が狭い第2の位相差領域にて前記位相差を設定する第2の制御を行うことを特徴とする振動型アクチュエータ。 - 前記制御手段は、駆動開始時に前記第1の制御を行い、駆動停止時に前記第2の制御を行うことを特徴とする請求項1に記載の振動型アクチュエータ。
- 前記制御手段は、前記位置情報を用いて算出される、前記振動部材と前記摩擦部材との相対的な移動における加速度の情報により、前記第2の位相差領域の範囲を変更することを特徴とする請求項1または2に記載の振動型アクチュエータ。
- 前記制御手段は、重力方向に対する前記振動部材の傾きの情報により、前記第2の位相差領域の範囲を変更することを特徴とする請求項1または2に記載の振動型アクチュエータ。
- 前記第2の位相差領域の範囲は、前記第1の位相差領域の範囲から、位相差または該位相差の絶対値が下限値より小さい範囲を除いた範囲であることを特徴とする請求項1から4のいずれか1項に記載の振動型アクチュエータ。
- 前記振動部材は、平板部および該平板部に設けられた突起部を有する振動板であり、前記突起部が前記摩擦部材と接触することを特徴とする請求項1から5のいずれか1項に記載の振動型アクチュエータ。
- 請求項1から6のいずれか1項に記載の振動型アクチュエータを備え、
前記振動型アクチュエータにより光学部材を駆動することを特徴とする光学機器。 - 振動部材と、
前記振動部材に固定された、複数の分極領域を有する圧電素子と、
前記振動部材と接触して当該振動部材に対して相対的に移動する摩擦部材と、
前記摩擦部材に対する前記振動部材の相対的な位置情報を取得して前記圧電素子の駆動を制御する制御手段を備える振動型アクチュエータの制御方法であって、
前記摩擦部材に対する前記振動部材の相対的な位置情報を前記制御手段が取得するステップと、
前記制御手段が、前記複数の分極領域にそれぞれ印加する電圧の位相差を制御する制御ステップと、を有し、
前記制御ステップは、
第1の位相差領域にて前記位相差を設定する第1の制御を行うステップと、
前記第1の位相差領域よりも範囲が狭い第2の位相差領域にて前記位相差を設定する第2の制御を行うステップを有することを特徴とする振動型アクチュエータの制御方法。
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US11689120B2 (en) | 2020-12-23 | 2023-06-27 | Canon Kabushiki Kaisha | Control apparatus, control method, and driving apparatus of vibration type actuator |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2004297982A (ja) * | 2003-03-28 | 2004-10-21 | Seiko Epson Corp | 圧電アクチュエータの駆動装置、駆動方法、時計、および電子機器 |
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JP2010233316A (ja) * | 2009-03-26 | 2010-10-14 | Olympus Corp | 超音波モータ |
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2015
- 2015-02-19 JP JP2015030515A patent/JP6448406B2/ja active Active
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