JP2009225503A - 多自由度駆動装置 - Google Patents
多自由度駆動装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2009225503A JP2009225503A JP2008064576A JP2008064576A JP2009225503A JP 2009225503 A JP2009225503 A JP 2009225503A JP 2008064576 A JP2008064576 A JP 2008064576A JP 2008064576 A JP2008064576 A JP 2008064576A JP 2009225503 A JP2009225503 A JP 2009225503A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vibrators
- vibrator
- drive
- moving body
- output characteristics
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Abstract
【解決手段】複数の振動子11〜13が、複数のパラメータα,β,γにそれぞれ設定された値に基づいて生成された駆動電圧VA,VBで駆動され、移動体10が移動される。このときの移動体10の移動方向および移動量は、制御部50により、位置センサ21〜23の出力値に基づいて検出される。そして、制御部50は、検出された移動体10の移動方向および移動量に基づいて、振動子11〜13のそれぞれの出力特性間に差異があるか否かを判別する。ここで、振動子11〜13のそれぞれの出力特性間に差異があると判別された場合、振動子11〜13のそれぞれの出力特性が揃うように、少なくとも1つの振動子に対するパラメータ例えばパラメータγに設定された値を変更する。
【選択図】図5
Description
図1は本発明の第1の実施の形態に係る多自由度駆動装置を示す平面図である。図2は図1の多自由度駆動装置の側面図である。
また、移動体10のθ方向へ回転角をθrとすると、回転角θrは、以下の(2)式により求められる。
また、移動体10のX方向への移動量をDxとすると、移動量Dxは、以下の(3)式により求められる。
これらの(1)〜(3)式を用いて、移動体10の移動方向(X,Y,θの方向)、その移動方向への移動量および移動速度を求めることができる。
次に、本発明の第2の実施の形態について図13〜図16を参照しながら説明する。図13は本発明の第2の実施の形態において周波数f3および電圧値V3の駆動電圧VA,VBで振動子11〜13を駆動して移動体10をθ方向へ回転させる際に制御される各振動子11〜13の駆動電圧VA,VB間の位相差を示す図である。図14は各振動子11〜13にそれぞれ印加される駆動電圧VA,VB間の位相差と速度との関係を示す図である。図15は各振動子11〜13にそれぞれ印加される駆動電圧VA,VB間の周波数と速度との関係を示す図である。図16は振動子11,12に印加する周波数f3および電圧値V3の駆動電圧VA,VB間のとき、ある動作をさせて制御したときの位相差と振動子13に印加する周波数f4および電圧値V3の駆動電圧VA,VB間のとき、ある動作をさせて制御したときの位相差をそれぞれ示す図である。本実施の形態は、上記第1の実施の形態の構成と同じ構成を有し、本実施の形態の説明においては、同じ符号を用いる。
次に、本発明の第3の実施の形態について図17および図18を参照しながら説明する。図17は本発明の第3の実施の形態に係る多自由度駆動装置において各振動子12,13の出力特性が一致しているか否かの判別を行う際の各振動子11〜13の駆動状態を示す図である。図18は振動子12,13にそれぞれ印加する駆動電圧VA,VBの位相差の制御量を示す図である。本実施の形態は、上記第1の実施の形態の構成と同じ構成を有し、本実施の形態の説明においては、同じ符号を用いる。
次に、本発明の第4の実施の形態について図19を参照しながら説明する。図19は本発明の第4の実施の形態に係る多自由度駆動装置において各振動子12,13の出力特性が一致しているか否かの判別を行う際の各振動子11〜13の駆動状態を示す図である。本実施の形態は、上記第1の実施の形態の構成と同じ構成を有し、本実施の形態の説明においては、同じ符号を用いる。
11,12,13 振動子
21,22,23 位置センサ
31,32,33 スケール部
50 制御部
51 駆動部
53,54,55 駆動パル発生器
56,57,58 スイッチング回路
59 電源回路
Claims (5)
- 複数のパラメータにそれぞれ設定された値に基づいて生成された駆動電圧により駆動される複数の振動子および前記振動子のそれぞれにより多方向へ移動可能なように前記振動子のそれぞれと接触される移動体とを備える多自由度駆動装置であって、
前記移動体の移動方向および該移動方向への移動量を検出する検出手段と、
前記振動子のそれぞれが対応する駆動電圧で駆動された際の前記検出手段により検出された前記移動体の移動方向および移動量に基づいて、前記振動子のそれぞれの出力特性に差異があるか否かを判別する判別手段と、
前記判別手段により前記振動子のそれぞれの出力特性に差異があると判別された場合、前記振動子のそれぞれの出力特性が揃うように、少なくとも1つの振動子に対する複数のパラメータのうち、対応するパラメータに設定された値を変更する変更手段と
を備えることを特徴とする多自由度駆動装置。 - 前記変更手段により前記設定された値が変更されるパラメータは、前記駆動電圧の周波数を規定するための値が設定されるパラメータおよび前記駆動電圧の電圧値を規定するための値が設定されるパラメータのいずれか一方のパラメータであることを特徴とする請求項1に記載の多自由度駆動装置。
- 複数のパラメータにそれぞれ設定された値に基づいて生成された駆動電圧により駆動される複数の振動子および前記振動子のそれぞれにより多方向へ移動可能なように前記振動子のそれぞれと接触される移動体を備え、前記複数のパラメータは、対応する振動子の駆動に応じて可変される値が設定される第1のパラメータと該第1のパラメータと異なる第2のパラメータとを含む多自由度駆動装置であって、
前記振動子のそれぞれが対応する駆動電圧で駆動された際の前記振動子のそれぞれに対する前記1つのパラメータの前記可変された値に基づいて、前記振動子のそれぞれの出力特性に差異があるか否かを判別する判別手段と、
前記判別手段により前記振動子のそれぞれの出力特性に差異があると判別された場合、前記駆動された振動子のそれぞれの出力特性が揃うように、少なくとも1つの振動子に対する複数のパラメータに含まれる前記第2のパラメータに設定された値を変更する変更手段と
を備えることを特徴とする多自由度駆動装置。 - 前記第1のパラメータは、前記駆動電圧のA相およびB相間の位相差を規定するための値が設定されるパラメータであり、前記第2のパラメータは、前記駆動電圧の周波数を規定するための値が設定されるパラメータおよび前記駆動電圧の電圧値を規定する値が設定されるパラメータのいずれか一方のパラメータであることを特徴とする請求項3に記載の多自由度駆動装置。
- 請求項1または請求項3に記載の多自由度駆動装置を備える撮像装置であって、
前記移動体に撮像素子が搭載されていることを特徴とする撮像装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008064576A JP5264225B2 (ja) | 2008-03-13 | 2008-03-13 | 多自由度駆動装置及びこれを備える撮像装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008064576A JP5264225B2 (ja) | 2008-03-13 | 2008-03-13 | 多自由度駆動装置及びこれを備える撮像装置 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012224046A Division JP5627655B2 (ja) | 2012-10-09 | 2012-10-09 | 多自由度駆動装置 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009225503A true JP2009225503A (ja) | 2009-10-01 |
JP2009225503A5 JP2009225503A5 (ja) | 2011-04-21 |
JP5264225B2 JP5264225B2 (ja) | 2013-08-14 |
Family
ID=41241704
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008064576A Active JP5264225B2 (ja) | 2008-03-13 | 2008-03-13 | 多自由度駆動装置及びこれを備える撮像装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5264225B2 (ja) |
Cited By (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011200085A (ja) * | 2010-03-23 | 2011-10-06 | Canon Inc | 振動型駆動装置 |
JP2011259618A (ja) * | 2010-06-09 | 2011-12-22 | Canon Inc | 複数の振動子を用いた振動型アクチュエータの制御装置並びに調整方法、振動型アクチュエータ、及びそれを用いたレンズユニット並びに光学機器 |
JP2012044832A (ja) * | 2010-08-23 | 2012-03-01 | Canon Inc | 振動波駆動装置及び画像振れ補正装置 |
JP2013046507A (ja) * | 2011-08-25 | 2013-03-04 | Canon Inc | 振動型駆動装置とその移動体の製造方法 |
US8669723B2 (en) | 2010-06-07 | 2014-03-11 | Canon Kabushiki Kaisha | Control apparatus of vibration-type actuator and control method of vibration-type actuator |
EP2706390A2 (en) | 2012-09-10 | 2014-03-12 | Canon Kabushiki Kaisha | Control device, actuator including control device, image blur correction device, replacement lens, imaging device and automatic stage |
JP2014067016A (ja) * | 2012-09-10 | 2014-04-17 | Canon Inc | 制御装置、制御装置を備えるアクチュエータ、画像振れ補正装置、交換用レンズ、撮像装置、及び自動ステージ |
JP2017104014A (ja) * | 2017-03-13 | 2017-06-08 | キヤノン株式会社 | 振動型アクチュエータの駆動装置及び駆動制御方法 |
WO2018012443A1 (ja) * | 2016-07-14 | 2018-01-18 | 株式会社村田製作所 | 圧電トランス |
WO2018037858A1 (ja) * | 2016-08-24 | 2018-03-01 | 株式会社村田製作所 | 圧電トランス |
US10031316B2 (en) | 2014-05-14 | 2018-07-24 | Canon Kabushiki Kaisha | Vibration type driving apparatus, interchangeable lens and imaging apparatus including vibration type driving apparatus, and method for adjusting vibration type driving apparatus |
US10186990B2 (en) | 2016-12-07 | 2019-01-22 | Canon Kabushiki Kaisha | Driving apparatus that drives moving body in multiple directions, control method therefor, storage medium, and electronic apparatus |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6391713A (ja) * | 1986-10-06 | 1988-04-22 | Canon Inc | 超音波型駆動装置 |
JPS6430471A (en) * | 1987-07-24 | 1989-02-01 | Canon Kk | Two-dimensional driving device |
JPH06237584A (ja) * | 1992-12-16 | 1994-08-23 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 超音波モータの速度制御方法及び速度制御装置 |
JP2006121841A (ja) * | 2004-10-22 | 2006-05-11 | Konica Minolta Photo Imaging Inc | 駆動装置、撮像装置 |
-
2008
- 2008-03-13 JP JP2008064576A patent/JP5264225B2/ja active Active
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6391713A (ja) * | 1986-10-06 | 1988-04-22 | Canon Inc | 超音波型駆動装置 |
JPS6430471A (en) * | 1987-07-24 | 1989-02-01 | Canon Kk | Two-dimensional driving device |
JPH06237584A (ja) * | 1992-12-16 | 1994-08-23 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 超音波モータの速度制御方法及び速度制御装置 |
JP2006121841A (ja) * | 2004-10-22 | 2006-05-11 | Konica Minolta Photo Imaging Inc | 駆動装置、撮像装置 |
Cited By (20)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8344593B2 (en) | 2010-03-23 | 2013-01-01 | Canon Kabushiki Kaisha | Vibration type driving apparatus |
JP2011200085A (ja) * | 2010-03-23 | 2011-10-06 | Canon Inc | 振動型駆動装置 |
US9479087B2 (en) | 2010-06-07 | 2016-10-25 | Canon Kabushiki Kaisha | Control apparatus of vibration-type actuator and control method of vibration-type actuator |
US8669723B2 (en) | 2010-06-07 | 2014-03-11 | Canon Kabushiki Kaisha | Control apparatus of vibration-type actuator and control method of vibration-type actuator |
US9853576B2 (en) | 2010-06-07 | 2017-12-26 | Canon Kabushiki Kaisha | Control apparatus of vibration-type actuator and control method of vibration-type actuator |
JP2011259618A (ja) * | 2010-06-09 | 2011-12-22 | Canon Inc | 複数の振動子を用いた振動型アクチュエータの制御装置並びに調整方法、振動型アクチュエータ、及びそれを用いたレンズユニット並びに光学機器 |
JP2012044832A (ja) * | 2010-08-23 | 2012-03-01 | Canon Inc | 振動波駆動装置及び画像振れ補正装置 |
JP2013046507A (ja) * | 2011-08-25 | 2013-03-04 | Canon Inc | 振動型駆動装置とその移動体の製造方法 |
JP2014067016A (ja) * | 2012-09-10 | 2014-04-17 | Canon Inc | 制御装置、制御装置を備えるアクチュエータ、画像振れ補正装置、交換用レンズ、撮像装置、及び自動ステージ |
US9715124B2 (en) | 2012-09-10 | 2017-07-25 | Canon Kabushiki Kaisha | Control device, actuator including control device, image blur correction device, interchangeable lens, image pickup apparatus, and automatic stage |
US9823630B2 (en) | 2012-09-10 | 2017-11-21 | Canon Kabushiki Kaisha | Control device, actuator including control device, image blur correction device, replacement lens, imaging device and automatic stage |
US20140074297A1 (en) * | 2012-09-10 | 2014-03-13 | Canon Kabushiki Kaisha | Control device, actuator including control device, image blur correction device, replacement lens, imaging device and automatic stage |
EP2706390A2 (en) | 2012-09-10 | 2014-03-12 | Canon Kabushiki Kaisha | Control device, actuator including control device, image blur correction device, replacement lens, imaging device and automatic stage |
US10031316B2 (en) | 2014-05-14 | 2018-07-24 | Canon Kabushiki Kaisha | Vibration type driving apparatus, interchangeable lens and imaging apparatus including vibration type driving apparatus, and method for adjusting vibration type driving apparatus |
US11195984B2 (en) | 2016-07-14 | 2021-12-07 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Piezoelectric transformer |
WO2018012443A1 (ja) * | 2016-07-14 | 2018-01-18 | 株式会社村田製作所 | 圧電トランス |
WO2018037858A1 (ja) * | 2016-08-24 | 2018-03-01 | 株式会社村田製作所 | 圧電トランス |
US11233190B2 (en) | 2016-08-24 | 2022-01-25 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Piezoelectric transformer |
US10186990B2 (en) | 2016-12-07 | 2019-01-22 | Canon Kabushiki Kaisha | Driving apparatus that drives moving body in multiple directions, control method therefor, storage medium, and electronic apparatus |
JP2017104014A (ja) * | 2017-03-13 | 2017-06-08 | キヤノン株式会社 | 振動型アクチュエータの駆動装置及び駆動制御方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5264225B2 (ja) | 2013-08-14 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5264225B2 (ja) | 多自由度駆動装置及びこれを備える撮像装置 | |
JP5506552B2 (ja) | 振動型アクチュエータの制御装置及び振動型アクチュエータの制御方法 | |
US11349413B2 (en) | Method for closed-loop motion control for an ultrasonic motor | |
US10326383B2 (en) | Method and device for controlling a piezoelectric motor | |
JP5184909B2 (ja) | 揺動体装置及び光偏向装置 | |
JP2009017636A (ja) | 超音波モータの駆動方法 | |
JP4794901B2 (ja) | 振動型アクチュエータの駆動システムおよびその駆動方法 | |
JP5627655B2 (ja) | 多自由度駆動装置 | |
JP5792951B2 (ja) | 振動型アクチュエータの制御装置 | |
JP2007074829A (ja) | 振動アクチュエータ | |
JP2017173622A (ja) | 揺動体装置の制御装置 | |
US20110064470A1 (en) | Light deflector device and image forming apparatus | |
JP4865354B2 (ja) | 振動型アクチュエータ | |
JP5534668B2 (ja) | 駆動装置及び駆動方法 | |
US6492760B1 (en) | Actuator | |
JP5349199B2 (ja) | 角速度センサ | |
JP5843911B2 (ja) | 装置及び振動型アクチュエータの駆動方法 | |
JP6971785B2 (ja) | 駆動装置、その制御方法、およびプログラム、並びに電子機器 | |
JP2013013218A (ja) | 圧電アクチュエーターの駆動方法 | |
JP4208753B2 (ja) | 振動型駆動装置の制御装置、振動型駆動装置の制御方法、振動型駆動装置の制御プログラム | |
JP2011254659A (ja) | 振動型アクチュエータの制御装置及び制御方法 | |
JP2012055111A (ja) | 振動型駆動装置の制御装置および振動型駆動装置の出力特性検出方法 | |
JP2007049881A (ja) | 駆動装置 | |
JP5621662B2 (ja) | 圧電モーターの制御方法及び圧電モーター | |
JP4461736B2 (ja) | アクチュエータの駆動装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110304 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20110304 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20120731 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120807 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20121009 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20130402 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20130430 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 5264225 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |