JP2016152396A - 処理液供給装置、処理液供給方法及び記憶媒体 - Google Patents
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Abstract
Description
操作量に応じて動作が調節されることにより、前記処理液を貯留する処理液貯留部から供給される処理液の流量を調節する流量調節機構と、前記流量調節機構にて流量調節された処理液を前記基板保持部に保持された基板へ向けて吐出する供給ノズルと、を備えた処理液供給部と、
前記供給ノズルに供給される処理液の流量を検出する流量検出部と、
前記操作量の時系列サンプル値、及び前記流量検出部にて検出された流量の時系列サンプル値に対し、各々システムパラメータを乗じて得られた乗算値の和に基づいて、前記供給ノズルから供給される処理液の推算流量を得るシステムモデルを同定するために、前記システムパラメータの決定を行うシステム同定部と、
前記システム同定部にて決定されたシステムパラメータを用いて新しい前記操作量を決定し、決定された操作量を前記流量調節機構へ出力する流量制御部と、を備えたことを特徴とする。
(a)前記流量制御部は、前記供給ノズルから吐出される処理液の目標流量と、前記システム同定部にて決定されたシステムパラメータとに基づいて前記操作量を決定すること。このとき、前記基板保持部には、異なる基板が入れ替わりに保持され、前記流量制御部は、先の基板と入れ替えて前記基板保持部に保持された次の基板に対して処理液の供給を開始する際に、前記先の基板への処理液の供給を停止する際に決定された前記システムパラメータを利用して前記操作量を決定すること。
(b)前記流量制御部は、前記供給ノズルから供給される処理液の流量の目標流量と、前記流量検出部にて検出された処理液の流量との差分値に基づいて、PID制御により前記操作量を決定し、前記システム同定部にて決定されたシステムパラメータを用いて前記PID制御の制御パラメータを決定すること。このとき、前記流量制御部は、前記流量検出部にて検出された処理液の流量が予め設定した変動範囲を超えて変動した場合に、当該流量に替えて、前記変動が検出される前に決定されたシステムパラメータを用いて得られた前記推算流量から前記差分値を算出し、この差分値に基づいて前記操作量を決定すること。
(c)前記流量調節機構は、弁体の開度に応じて処理液の流量を増減する流量調節弁であること。
以下、図3を参照しながら処理液供給装置の構成について説明する。
システムパラメータを決定するアルゴリズムは、例えば最小二乗法や補助変数法などが挙げられる(例えば足立修一著、『システム同定の基礎』東京電機大学出版局(2009年度出版)参照)
例えばシステム同定部181は、数十ミリ秒〜数百ミリ秒間隔でシステムパラメータを決定し、その結果を出力する。
本例流量制御部182は、(1)システム同定部181から取得したシステムパラメータを用いたウエハWの処理開始時における流量調節弁402の開度設定、(2)ウエハWに処理液を供給している期間中の流量調節、及び(3)流量計403に異常が発生したときの処理液の流量推定を実行する。
図1、図2を用いて説明したように、本例の基板処理システム1においては、複数枚のウエハWを収容したキャリアCから、順次、ウエハWを取り出し、このウエハWを各処理ユニット16に搬入して処理液による処理を実行する。従って、各処理ユニット16においては、処理対象のウエハWが基板保持機構30に入れ替わりに保持され、各ウエハWに供給された処理液の積算量が互いに同じになるように、目標流量rにて所定時間だけ処理液が供給される
そこで本例の流量制御部182は、新たに基板保持機構30に保持されたウエハWの処理を開始する際に、先のウエハWへの処理液の供給を停止する際に用いたシステムパラメータを利用して、操作量u(流量調節弁402の開度)を決定する。
本例の処理液供給装置においては、加算部183にて、処理液の目標流量rと流量計403にて検出された検出流量yとの差分値Δy(t)=r−y(t)が算出され、この差分値が流量制御部182に入力される。例えば流量制御部182は、前記差分値に基づき、PID(Proportional-Integral-Derivative)制御により操作量を決定する。
なお、当該制御パラメータについても最新の値が流量制御部182のレジスタ内に記録され、例えば新たなウエハWの処理を開始する際に用いられる。
そして、この制御パラメータに基づいて(6)式から操作量u(u(t)=u(t−1)+Δu(t))を求め、流量調節弁402に対して出力することにより、処理液の流量調節を実行する。
システム同定部181や加算部183に検出流量yを出力する流量計403は、処理液流に含まれる気泡が通過するいわゆる「泡噛み」等により、異常値が出力される場合がある。この場合に当該異常値に基づいて、PID制御を実行すると、処理レシピ通りに処理液を供給することができず、正しい処理が実施されないおそれがある。
なお、図5〜図7の各タイムチャートにおいて、最上段のチャート(a)は、流量制御部182から出力される操作量u(流量調節弁402の開度)の時間変化を示し、中段のチャート(b)は、処理液の給断を実行する開閉弁401、404の開閉状態の変化を示している。また、下段のチャート(c)は、流量計403の検出流量の時間変化を示している。
但し、初期開度調整を行わない図6の例においても、システム同定部181にて決定したシステムパラメータを用いて制御パラメータを決定し、この制御パラメータを利用して操作量uを決めることにより、処理液の供給状態の変化や処理液供給ユニット400を構成する機器特性の変化などを踏まえ流量調節が行われるという効果は得られている。
このとき、流量計403の検出流量yが変動範囲を超えて異常値となった場合には(ステップS105;NO)、当該異常値を用いて決定したシステムパラメータの利用を停止し、それ以前に取得したシステムパラメータを用いた推算流量の算出、制御パラメータの決定を行って処理液の供給を継続する例外処理を実行する(ステップS108)。
この結果、開閉弁401、404が閉じられ(図5の時刻t3、図6の時刻t’3)、また目標流量が0となることにより流量調節弁402も閉じられる(図5の時刻t4、図6の時刻t’4)。
この例の場合には、シリンジポンプ406内のシリンジの移動速度が流量を調節するための操作量uとなる。
1 基板処理システム
16 処理ユニット
18 制御部
181 システム同定部
182 流量制御部
30 基板保持機構
4 制御装置
400、400a
処理液供給ユニット
402 流量調節弁
403 流量計
41 供給ノズル
Claims (13)
- 基板保持部に水平に保持され、鉛直軸周りに回転する処理対象の基板に対して処理液を供給する処理液供給装置において、
操作量に応じて動作が調節されることにより、前記処理液を貯留する処理液貯留部から供給される処理液の流量を調節する流量調節機構と、前記流量調節機構にて流量調節された処理液を前記基板保持部に保持された基板へ向けて吐出する供給ノズルと、を備えた処理液供給部と、
前記供給ノズルに供給される処理液の流量を検出する流量検出部と、
前記操作量の時系列サンプル値、及び前記流量検出部にて検出された流量の時系列サンプル値に対し、各々システムパラメータを乗じて得られた乗算値の和に基づいて、前記供給ノズルから供給される処理液の推算流量を得るシステムモデルを同定するために、前記システムパラメータの決定を行うシステム同定部と、
前記システム同定部にて決定されたシステムパラメータを用いて新しい前記操作量を決定し、決定された操作量を前記流量調節機構へ出力する流量制御部と、を備えたことを特徴とする処理液供給装置。 - 前記流量制御部は、前記供給ノズルから吐出される処理液の目標流量と、前記システム同定部にて決定されたシステムパラメータとに基づいて前記操作量を決定することを特徴とする請求項1に記載の処理液供給装置。
- 前記基板保持部には、異なる基板が入れ替わりに保持され、
前記流量制御部は、先の基板と入れ替えて前記基板保持部に保持された次の基板に対して処理液の供給を開始する際に、前記先の基板への処理液の供給を停止する際に決定された前記システムパラメータを利用して前記操作量を決定することを特徴とする請求項2に記載の処理液供給装置。 - 前記流量制御部は、前記供給ノズルから供給される処理液の流量の目標流量と、前記流量検出部にて検出された処理液の流量との差分値に基づいて、PID制御により前記操作量を決定し、前記システム同定部にて決定されたシステムパラメータを用いて前記PID制御の制御パラメータを決定することを特徴とする請求項1に記載の処理液供給装置。
- 前記流量制御部は、前記流量検出部にて検出された処理液の流量が予め設定した変動範囲を超えて変動した場合に、当該流量に替えて、前記変動が検出される前に決定されたシステムパラメータを用いて得られた前記推算流量から前記差分値を算出し、この差分値に基づいて前記操作量を決定することを特徴とする請求項4に記載の処理液供給装置。
- 前記流量調節機構は、弁体の開度に応じて処理液の流量を増減する流量調節弁であることを特徴とする請求項1ないし5のいずれか一つに記載の処理液供給装置。
- 基板保持部に水平に保持され、鉛直軸周りに回転する処理対象の基板に対して処理液を供給する処理液供給方法において、
操作量に応じて動作が調節される流量調節機構を用い、前記処理液を貯留する処理液貯留部から供給される処理液の流量を調節する工程と、
前記流量調節機構にて流量調節された処理液を前記基板保持部に保持された基板へ向けて吐出する工程と、
前記供給ノズルに供給される処理液の流量を検出する工程と、
前記操作量の時系列サンプル値、及び前記検出された流量の時系列サンプル値に対し、各々システムパラメータを乗じて得られた乗算値の和に基づいて、前記供給ノズルから供給される処理液の推算流量を得るシステムモデルを同定するために、前記システムパラメータを決定する工程と、
前記システムパラメータを決定する工程にて決定されたシステムパラメータを用いて新しい前記操作量を決定し、決定された操作量を前記流量調節機構へ出力する工程と、を含むことを特徴とする処理液供給方法。 - 前記操作量を決定するにあたり、前記供給ノズルから吐出される処理液の目標流量と、前記システムパラメータを決定する工程にて決定されたシステムパラメータとに基づいて前記操作量を決定することを特徴とする請求項7に記載の処理液供給方法。
- 前記基板保持部には、異なる基板が入れ替わりに保持され、
前記操作量を決定するにあたり、先の基板と入れ替えて前記基板保持部に保持された次の基板に対して処理液の供給を開始する際に、前記先の基板への処理液の供給を停止する際に用いた前記システムパラメータを利用して、前記操作量を決定することを特徴とする請求項8に記載の処理液供給方法。 - 前記操作量を決定するにあたり、前記供給ノズルから供給される処理液の流量の目標流量と、前記検出された処理液の流量との差分値に基づいて、PID制御により前記操作量を決定し、前記システム同定部にて決定されたシステムパラメータを用いて前記PID制御の制御パラメータを決定することを特徴とする請求項7に記載の処理液供給方法。
- 前記操作量を決定するにあたり、前記検出された処理液の流量が予め設定した変動範囲を超えて変動した場合に、当該流量に替えて、前記変動が検出される前に決定されたシステムパラメータを用いて得られた前記推算流量から前記差分値を算出し、この差分値に基づいて前記制御パラメータを決定することを特徴とする請求項10に記載の処理液供給方法。
- 前記流量調節機構は、弁体の開度に応じて処理液の流量を増減する流量調節弁であることを特徴とする請求項7ないし11のいずれか一つに記載の処理液供給方法。
- 基板保持部に水平に保持され、鉛直軸周りに回転する処理対象の基板に対して処理液を供給する処理液供給装置に用いられるコンピュータプログラムを格納したコンピュータ読取可能な記憶媒体であって、
前記コンピュータプログラムは、請求項7ないし12のいずれか一つに記載された処理液供給方法を実行させるようにステップが組まれていることを特徴とする記憶媒体。
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