JP2016149461A - 基板処理装置および基板処理方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】対向部材保持部53の第1フランジ支持部532および第2フランジ支持部534はそれぞれ、第1の位置に位置するトッププレート51の対向部材フランジ部516の一部に下側から接して支持する。トッププレート51が第2の位置に位置する状態では、対向部材保持部移動機構57により対向部材保持部53を水平に回転することにより、第1フランジ支持部532および第2フランジ支持部534を対向部材フランジ部516から径方向外方へと離間させ、また、対向部材フランジ部516の下方に配置する。これにより、簡素な構造にてトッププレート51を保持することができるとともに、トッププレート51の状態にかかわらず、簡素な構造にて対向部材保持部53を保持位置と退避位置との間で移動することができる。
【選択図】図1
Description
9 基板
21 制御部
31 基板保持部
33 基板回転機構
43 ノズル移動機構
44 ノズル洗浄部
45 ガス供給部
51 トッププレート
53,53a 対向部材保持部
54 ラビリンス
55 対向部材昇降機構
57 対向部材保持部移動機構
90 処理空間
91 (基板の)上面
411 第1処理液ノズル
413 第1処理液供給部
414 ノズルフランジ部
415 ノズル本体
421 第2処理液ノズル
423 第2処理液供給部
511 対向部材本体
512 被保持部
514 対向部材開口
515 フランジ接続部
516 対向部材フランジ部
517 (被保持部の)上部開口
518 間隙
530 支持部移動機構
531 保持部本体
532 第1フランジ支持部
534 第2フランジ支持部
J1 中心軸
S11〜S26 ステップ
Claims (6)
- 基板を処理する基板処理装置であって、
水平状態で基板を保持する基板保持部と、
前記基板の上面に対向するとともに中央部に対向部材開口が設けられ、前記対向部材開口の周囲から上方に突出する筒状の被保持部を有する対向部材と、
前記対向部材の前記被保持部を保持する対向部材保持部と、
前記対向部材を上下方向の第1の位置と第2の位置との間で前記基板保持部に対して相対的に移動する対向部材昇降機構と、
前記被保持部の内側に位置し、前記対向部材開口を介して前記基板の前記上面に向けて処理液を吐出する処理液ノズルと、
前記上下方向を向く中心軸を中心として前記基板を前記基板保持部と共に回転する基板回転機構と、
前記対向部材保持部を前記対向部材の上方の保持位置と前記対向部材の周囲の退避位置との間で移動する対向部材保持部移動機構と、
を備え、
前記対向部材は、前記第1の位置にて前記対向部材保持部により保持されるとともに前記基板保持部から上方に離間し、前記第2の位置にて前記基板保持部により保持され、前記基板回転機構により前記基板保持部と共に回転し、
前記被保持部が、
前記中心軸を中心とする円筒状のフランジ接続部と、
前記フランジ接続部の上端部から径方向外方に広がる対向部材フランジ部と、
を備え、
前記対向部材保持部が、
前記第1の位置に位置する前記対向部材の前記対向部材フランジ部の一部に下側から接して支持する第1フランジ支持部と、
前記フランジ接続部を挟んで前記第1フランジ支持部と反対側に位置し、前記第1の位置に位置する前記対向部材の前記対向部材フランジ部の一部に下側から接して支持する第2フランジ支持部と、
前記第1フランジ支持部および前記第2フランジ支持部が取り付けられる保持部本体と、
を備え、
前記対向部材が前記第2の位置に位置する状態で、前記第1フランジ支持部および前記第2フランジ支持部を水平に移動することにより、前記対向部材フランジ部から径方向外方へと離間させ、また、前記対向部材フランジ部の下方に配置することを特徴とする基板処理装置。 - 請求項1に記載の基板処理装置であって、
前記第1フランジ支持部および前記第2フランジ支持部が前記保持部本体に固定され、
前記対向部材保持部移動機構が、前記保持部本体を水平に回転することにより、前記対向部材保持部が前記保持位置と前記退避位置との間で移動し、
前記保持部本体の回転により、前記第1フランジ支持部および前記第2フランジ支持部が、前記対向部材フランジ部から径方向外方へと離間し、また、前記対向部材フランジ部の下方に配置されることを特徴とする基板処理装置。 - 請求項1に記載の基板処理装置であって、
前記対向部材保持部が、前記第1フランジ支持部および前記第2フランジ支持部を、前記保持部本体に対して移動する支持部移動機構をさらに備え、
前記保持部本体が前記保持位置に位置した状態で、前記支持部移動機構により前記第1フランジ支持部および前記第2フランジ支持部が移動することにより、前記第1フランジ支持部および前記第2フランジ支持部が、前記対向部材フランジ部から径方向外方へと離間し、また、前記対向部材フランジ部の下方に配置されることを特徴とする基板処理装置。 - 水平状態で基板を保持する基板保持部と、前記基板の上面に対向するとともに中央部に対向部材開口が設けられ、前記対向部材開口の周囲から上方に突出する筒状の被保持部を有する対向部材と、前記対向部材の前記被保持部を保持する対向部材保持部と、前記対向部材を上下方向の第1の位置と第2の位置との間で前記基板保持部に対して相対的に移動する対向部材昇降機構と、前記被保持部の内側に位置し、前記対向部材開口を介して前記基板の前記上面に向けて処理液を吐出する処理液ノズルと、前記上下方向を向く中心軸を中心として前記基板を前記基板保持部と共に回転する基板回転機構と、を備える基板処理装置において基板を処理する基板処理方法であって、
前記基板処理装置は、前記対向部材保持部を前記対向部材の上方の保持位置と前記対向部材の周囲の退避位置との間で移動する対向部材保持部移動機構をさらに備え、
前記対向部材は、前記第1の位置にて前記対向部材保持部により保持されるとともに前記基板保持部から上方に離間し、前記第2の位置にて前記基板保持部により保持され、前記基板回転機構により前記基板保持部と共に回転し、
前記被保持部が、
前記中心軸を中心とする円筒状のフランジ接続部と、
前記フランジ接続部の上端部から径方向外方に広がる対向部材フランジ部と、
を備え、
前記対向部材保持部が、
前記第1の位置に位置する前記対向部材の前記対向部材フランジ部の一部に下側から接して支持する第1フランジ支持部と、
前記フランジ接続部を挟んで前記第1フランジ支持部と反対側に位置し、前記第1の位置に位置する前記対向部材の前記対向部材フランジ部の一部に下側から接して支持する第2フランジ支持部と、
前記第1フランジ支持部および前記第2フランジ支持部が取り付けられる保持部本体と、
を備え、
前記基板処理方法が、
a)前記対向部材を前記第1の位置から前記第2の位置へと移動する工程と、
b)前記基板、前記基板保持部および前記対向部材の回転を開始する工程と、
c)前記第1フランジ支持部および前記第2フランジ支持部を水平に移動することにより、前記対向部材フランジ部から径方向外方へと離間させる工程と、
d)前記処理液ノズルから前記処理液を前記基板に供給する工程と、
e)前記第1フランジ支持部および前記第2フランジ支持部を水平に移動することにより、前記対向部材フランジ部の下方に配置する工程と、
f)前記基板、前記基板保持部および前記対向部材の回転を停止する工程と、
g)前記対向部材を前記第2の位置から前記第1の位置へと移動する工程と、
を備えることを特徴とする基板処理方法。 - 請求項4に記載の基板処理方法であって、
前記第1フランジ支持部および前記第2フランジ支持部が前記保持部本体に固定され、
前記対向部材保持部移動機構が、前記保持部本体を水平に回転することにより、前記対向部材保持部が前記保持位置と前記退避位置との間で移動し、
前記c)工程において、前記保持部本体の回転により、前記第1フランジ支持部および前記第2フランジ支持部が、前記対向部材フランジ部から径方向外方へと離間し、
前記e)工程において、前記保持部本体の回転により、前記第1フランジ支持部および前記第2フランジ支持部が、前記対向部材フランジ部の下方に配置されることを特徴とする基板処理方法。 - 請求項4に記載の基板処理方法であって、
前記対向部材保持部が、前記第1フランジ支持部および前記第2フランジ支持部を、前記保持部本体に対して移動する支持部移動機構をさらに備え、
前記c)工程において、前記保持部本体が前記保持位置に位置した状態で、前記支持部移動機構により前記第1フランジ支持部および前記第2フランジ支持部が移動することにより、前記第1フランジ支持部および前記第2フランジ支持部が、前記対向部材フランジ部から径方向外方へと離間し、
前記e)工程において、前記保持部本体が前記保持位置に位置した状態で、前記支持部移動機構により前記第1フランジ支持部および前記第2フランジ支持部が移動することにより、前記第1フランジ支持部および前記第2フランジ支持部が、前記対向部材フランジ部の下方に配置されることを特徴とする基板処理方法。
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