JP2016143761A - 圧電素子駆動回路、及び、ロボット - Google Patents
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Abstract
【解決手段】圧電素子駆動回路は、厚みが0.05μm以上20μm以下の圧電体と、圧電体を挟む2つの電極と、をそれぞれ有するN個(Nは2以上の整数)の圧電素子110が直列に接続された圧電素子列400と、圧電素子列400に、交流成分と直流成分とを含む電圧を供給する第1発生回路340と、圧電素子列400のうちの隣接する2つの圧電素子110の間の(N−1)個の接続点のうちのM個(Mは1以上の整数)の接続点に、直流成分を含む電圧を供給する第2発生回路350と、を備える。
【選択図】図6
Description
この圧電素子駆動回路によれば、複数の圧電素子が直列に接続されているので、圧電素子全体の静電容量を低減できる。また、隣接する圧電素子の間の接続点に直流成分を含む電圧を供給するので、直列に接続された圧電素子のうちの一部の圧電素子に過大な電圧が掛かってしまう現象を抑制でき、圧電素子全体の実効的な静電容量を低減して圧電体駆動回路の消費電力を低減できる。
この構成によれば、(N−1)個の接続点に互いに異なる電圧値を有する電圧を供給するので、直列に接続された圧電素子のうちの一部の圧電素子に過大な電圧が掛かってしまう現象を更に防止でき、圧電素子全体の実効的な静電容量を低減して圧電体駆動回路の消費電力を低減できる。
この構成によれば、圧電素子の間の接続点の電圧を安定させることができるので、圧電素子全体の実効的な静電容量を更に低減して消費電力を低減できる。
この構成によれば、M個の接続点を介して駆動回路に逆流する交流成分をインダクターによって低減することができる。
この構成によれば、M個の接続点に与える電圧を容易に生成できる。
この構成によれば、M個の接続点に与える電圧を容易に生成できる。
この構成によれば、抵抗素子列に流れる交流電流を低減できるので、消費電力を更に低減できる。
図1(A)は、本発明の第1実施形態における圧電駆動装置10の概略構成を示す平面図であり、図1(B)はそのB−B断面図である。圧電駆動装置10は、振動板200と、振動板200の両面(第1面211と第2面212)にそれぞれ配置された2つの圧電振動体100とを備える。2つの圧電振動体100は、振動板200を中心として対称に配置されている。2つの圧電振動体100は同じ構成を有しているので、以下では特に断らない限り、振動板200の上側にある圧電振動体100の構成を説明する。
(1)面積の効果:本実施形態の圧電素子110の第1電極130、第2電極150の面積は、先行技術(特開2004−320979号公報)の図7に示されている圧電素子の第1電極、第2電極の面積と比較して、半分である。静電容量は電極の面積に比例するので、圧電素子の静電容量は、1/2となる。
図6は、比較例と第1実施形態の圧電素子駆動回路の構成を示す説明図である。図6(A)に示す比較例の圧電素子駆動回路は、駆動電圧発生回路340と、駆動電圧発生回路340に接続された圧電素子列400で構成されている。駆動電圧発生回路340は、交流成分と直流成分Vbiasとを含む駆動電圧Vinを圧電素子列400に供給する。圧電素子列400は、複数の圧電素子110の直列接続であり、図6(A)の例では4つの圧電素子110で構成されている。但し、圧電素子列400は、N個(Nは2以上の整数)の圧電素子110の直列接続として構成することが可能である。前述した図1及び図3との関連で言えば、図6(A)の圧電素子列400は、例えば、図3において直列に接続されている1グループの圧電素子110a1,110a2,110d1,110d2に対応する。4つの圧電素子110は、静電容量C1〜C4を有するキャパシターと等価である。なお、これらの静電容量C1〜C4は互いに異なる値であっても良いが、互いに等しいことが好ましい。以下では、主として、複数の圧電素子110の静電容量C1〜C4が互いに等しい場合について説明する。
Vdc1=Vbias×1/4 …(1a)
Vdc2=Vbias×2/4 …(1b)
Vdc3=Vbias×3/4 …(1c)
ΔVj=Vbias/{Σ(1/Ci)×Cj} …(2)
ここで、ΔVjはj番目(j=1〜N)の圧電素子の両端における電圧差、Σ(1/Ci)はN個の圧電端子の静電容量Ci(i=1〜N)の逆数の和、Cjはj番目の圧電素子の静電容量である。
<条件1>
各インダクタンスLjのインピーダンス(=2πf・Lj)が、1kΩ以上(ここで、fは駆動電圧Vinの交流成分の周波数)
<条件2>
各インダクタンスLjのインピーダンス(=2πf・Lj)が、圧電素子列400を構成する複数の圧電素子110の静電容量Ciのうちの最小値Cminに対応するインピーダンス(=1/(2πf・Cmin))の10倍以上
図10は、本発明の第5の実施形態としての圧電駆動装置10bの断面図であり、第1実施形態の図1(B)に対応する図である。この圧電駆動装置10bでは、圧電振動体100が、図1(B)とは上下を逆にした状態で振動板200に配置されている。すなわち、ここでは、第2電極150c1,150c2,150d1,150d2が振動板200に近く、基板120が振動板200から最も遠くなるように配置されている。なお、図10においても、図1(B)と同様に、第1電極130a1,130a2,130b1,130b2,130c1,130c2,130d1,130d2,130e1,130e2,130e3,130e4と、第2電極150a1,150a2,150b1,150b2,150c1,150c2,150d1,150d2,150e1,150e2,150e3,150e4と、駆動回路との間の電気的接続のための配線(又は配線層及び絶縁層)とは、図示が省略されている。この圧電駆動装置10bも、第1実施形態と同様な効果を達成することができる。
上述した圧電駆動装置10は、共振を利用することで被駆動体に対して大きな力を与えることができるものであり、各種の装置に適用可能である。圧電駆動装置10は、例えば、ロボット(電子部品搬送装置(ICハンドラー)も含む)、投薬用ポンプ、時計のカレンダー送り装置、印刷装置(例えば紙送り機構。ただし、ヘッドに利用される圧電駆動装置では、振動板を共振させないので、ヘッドには適用不可である。)等の各種の機器における駆動装置として用いることが出来る。以下、代表的な実施の形態について説明する。
なお、この発明は上記の実施例や実施形態に限られるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において種々の態様において実施することが可能であり、例えば次のような変形も可能である。
上記実施形態では、基板120の上に第1電極130と圧電体140と第2電極150とが形成されていたが、基板120を省略して、振動板200の上に第1電極130と圧電体140と第2電極150とを形成するようにしてもよい。
上記実施形態では、振動板200の両面に圧電振動体100を設けていたが、振動板200の一方の面のみに圧電振動体100を設けるようにしても良い。但し、振動板200の両面にそれぞれ圧電振動体100を設けるようにすれば、振動板200をその平面内で屈曲した蛇行形状に変形させることがより容易である点で好ましい。
20…突起部
50…ローター
51…中心
100…圧電振動体
110…圧電素子
120…基板
130…第1電極
140…圧電体
150…第2電極
151,152…配線
200…振動板
210…振動体部
211…第1面
212…第2面
220…接続部
230…取付部
240…ネジ
300…駆動回路
310,312,314,320…配線
340…駆動電圧発生回路(第1発生回路)
350…素子間電圧発生回路(第2発生回路)
352…分圧回路
400…圧電素子列
2000…ロボットハンド
2003…把持部
2010…アーム
2012…リンク部
2020…関節部
2022…手首回動部
2050…ロボット
2200…送液ポンプ
2202…カム
2202A…突起部
2211…リザーバー
2212…チューブ
2213…フィンガー
2222…ローター
2223…減速伝達機構
2230…ケース
Claims (8)
- 圧電素子駆動回路であって、
厚みが0.05μm以上20μm以下の圧電体と、前記圧電体を挟む2つの電極と、をそれぞれ有するN個(Nは2以上の整数)の圧電素子が直列に接続された圧電素子列と、
前記圧電素子列に、交流成分と直流成分とを含む電圧を供給する第1発生回路と、
前記圧電素子列のうちの隣接する2つの圧電素子の間の(N−1)個の接続点のうちのM個(Mは1以上の整数)の接続点に、直流成分を含む電圧を供給する第2発生回路と、
を備える圧電素子駆動回路。 - 請求項1に記載の圧電素子駆動回路であって、
前記Mは前記(N−1)に等しく、
前記第2発生回路は、前記(N−1)個の接続点に、異なる電圧値を有する電圧を供給する、圧電素子駆動回路。 - 請求項1又は2に記載の圧電素子駆動回路であって、
前記第2発生回路が供給する電圧は直流電圧である、圧電素子駆動回路。 - 請求項1〜3のいずれか一項に記載の圧電素子駆動回路であって、
前記第2発生回路と前記M個の接続点との間に接続されたインダクターを備える、圧電素子駆動回路。 - 請求項1〜4のいずれか一項に記載の圧電素子駆動回路であって、
前記第2発生回路は、前記第1発生回路が供給する電圧を分圧することによって、前記M個の接続点に供給する電圧を生成する分圧回路を備える、圧電素子駆動回路。 - 請求項5に記載の圧電素子駆動回路であって、
前記分圧回路は、複数の抵抗素子が直列に接続された抵抗素子列を含む、圧電素子駆動回路。 - 請求項6に記載の圧電素子駆動回路であって、
前記分圧回路は、前記抵抗素子列に直列に接続されたインダクターを含む、圧電素子駆動回路。 - 複数のリンク部と
前記複数のリンク部を接続する関節部と、
前記圧電素子を用いて前記複数のリンク部を前記関節部で回動させる請求項1〜7のいずれか一項に記載の圧電素子駆動回路と、
を備えるロボット。
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