JP2016138773A - 温度センサ - Google Patents
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Abstract
Description
上記特許文献1には、感熱素子として ビードサーミスタやチップサーミスタの他に、アルミナ等の絶縁基板の一面に感熱膜が形成された薄膜サーミスタが採用されている。
すなわち、特許文献3に記載の技術では、薄く柔軟性が高い利点があるが、絶縁性フィルムを測定対象物に接触させて温度測定を行う場合、ポリイミドフィルム等の樹脂フィルムでは集熱性が比較的低く、絶縁性フィルム上に形成した薄膜サーミスタ部に熱が伝わり難い場合があった。
なお、絶縁性フィルムの裏面全体を金属膜で覆う場合や金属基板を貼り付ける場合では、測定対象物から伝わった熱が絶縁性フィルムの裏面全体に逃げてしまい温度測定の精度や応答性が低くなるが、本発明では、集熱膜が絶縁性フィルムの裏面に部分的又は局所的にパターン形成されることで、熱の逃げを抑制し、対向する薄膜サーミスタ部に積極的に伝熱することができ、高い温度測定の精度や応答性を得ることができる。特に、本発明では、集熱膜を接触面とすることで、小さい測定対象物や測定箇所等、ピンポイントで温度測定を行う必要がある場合に好適である。
また、集熱膜が部分的または局所的であると共に金属板よりも薄く柔軟性を有するため、絶縁性フィルムの柔軟性を損なうことがない。したがって、測定対象物の曲面などに沿って集熱膜を接触させることもでき、多様な形状の測定対象物に対して効率的に集熱を図ることが可能になる。
すなわち、この温度センサでは、集熱膜が金属膜であるので、ポリイミド等の絶縁性フィルムに比べて高い熱伝導率によって高い集熱効果が得られる。
すなわち、この温度センサでは、集熱膜が少なくとも表面にCu薄膜を有しているので、高い熱伝導性を有するCu薄膜によって、より正確な温度測定が可能になる。
すなわち、この温度センサでは、集熱膜の外形状が、薄膜サーミスタ部の外形状以上かつ一対の櫛型電極の外形状以下に設定されているので、集熱膜で集熱された熱を対向する薄膜サーミスタ部全体に伝えることができると共に、集熱膜が一対の櫛型電極の外形状を超えた大きさでないことにより、必要以上に熱が広がって逃げることがなく、効率的に集熱することが可能になる。なお、薄膜サーミスタ部の外側で絶縁性フィルムの表面に直接形成された櫛型電極の部分にも、対向した集熱膜から熱が伝わり、この熱が櫛型電極を介して薄膜サーミスタ部にも伝わることで、高い集熱性が得られる。
すなわち、本発明に係る温度センサによれば、絶縁性フィルムの裏面であって薄膜サーミスタ部の直下に絶縁性フィルムよりも熱伝導率の高い材料でパターン形成された集熱膜を備えているので、集熱膜を測定対象物に接触させることで、高い集熱性を得ることができ、より正確な温度測定が可能になる。
したがって、本発明の温度センサによれば、絶縁性フィルムと薄い集熱膜とによってフレキシブルな面接触が可能であると共に、高い集熱性によってピンポイントで正確な温度測定ができ、複写機やプリンタ等の加熱ローラの温度用として好適である。
また、集熱膜7の外形状は、薄膜サーミスタ部3の外形状以上かつ一対の櫛型電極4の外形状以下に設定されている。本実施形態では、集熱膜7が薄膜サーミスタ部3と平面視で中心を同じくして正方形状にパターン形成されているが、その大きさは一対の櫛型電極4の外形状と同じに設定されている。
また、一対のリードフレームを、絶縁性フィルム2の表面に導電性樹脂接着剤等の接着剤により接着すると共に一対のパターン電極5に接続させてもよい。
一対の櫛型電極4は、互いに対向状態に配されて交互に櫛部4aが並んだ櫛型パターンとされている。
上記保護膜6は、絶縁性樹脂膜等であり、例えば厚さ20μmのポリイミド膜が採用される。
本実施形態の温度センサ1の製造方法は、絶縁性フィルム2の表面に薄膜サーミスタ部3をパターン形成する薄膜サーミスタ部形成工程と、互いに対向した一対の櫛型電極4を薄膜サーミスタ部3上に配して絶縁性フィルム2の表面に一対のパターン電極5をパターン形成する電極形成工程と、絶縁性フィルム2の裏面に集熱膜7を形成する集熱膜形成工程と、絶縁性フィルム2の表面に保護膜6を形成する保護膜形成工程とを有している。
次に、成膜した電極層の上にレジスト液をバーコーターで塗布した後、110℃で1分30秒プリベークを行い、露光装置で感光後、現像液で不要部分を除去し、150℃で5分のポストベークにてパターニングを行う。その後、不要な電極部分を市販のAuエッチャント及びCrエッチャントの順番でウェットエッチングを行い、図2に示すように、レジスト剥離にて所望の櫛型電極4及びパターン電極5を形成する。
また、複数の温度センサ1を同時に作製する場合、絶縁性フィルム2の大判シートに複数の薄膜サーミスタ部3、櫛型電極4、パターン電極5、焦熱膜7及び保護膜6を上述のように形成した後に、大判シートから各温度センサ1に切断する。
また、集熱膜7の外形状が、薄膜サーミスタ部3の外形状以上かつ一対の櫛型電極4の外形状以下に設定されているので、集熱膜7で集熱された熱を対向する薄膜サーミスタ部3全体に伝えることができると共に、集熱膜7が一対の櫛型電極4の外形状を超えた大きさでないことにより、必要以上に熱が広がって逃げることがなく、効率的に集熱することが可能になる。なお、薄膜サーミスタ部3の外側で絶縁性フィルム2の表面に直接形成された櫛型電極4の部分にも、対向した集熱膜7から熱が伝わり、この熱が櫛型電極4を介して薄膜サーミスタ部3にも伝わることで、高い集熱性が得られる。
Claims (4)
- 絶縁性フィルムと、
該絶縁性フィルムの表面にサーミスタ材料でパターン形成された薄膜サーミスタ部と、
前記薄膜サーミスタ部の上及び下の少なくとも一方に複数の櫛部を有して互いに対向してパターン形成された一対の櫛型電極と、
前記一対の櫛型電極に接続され前記絶縁性フィルムの表面にパターン形成された一対のパターン電極と、
前記絶縁性フィルムの裏面であって前記薄膜サーミスタ部の直下に前記絶縁性フィルムよりも熱伝導率の高い材料でパターン形成された集熱膜とを備えていることを特徴とする温度センサ。 - 請求項1に記載の温度センサにおいて、
前記集熱膜が、金属膜であることを特徴とする温度センサ。 - 請求項1又は2に記載の温度センサにおいて、
前記集熱膜が、少なくとも表面にCu薄膜を有していることを特徴とする温度センサ。 - 請求項1から3のいずれか一項に記載の温度センサにおいて、
前記集熱膜の外形状が、前記薄膜サーミスタ部の外形状以上かつ前記一対の櫛型電極の外形状以下に設定されていることを特徴とする温度センサ。
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