JP2016138051A - 新規なグリコールウリル類とその利用 - Google Patents
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Abstract
Description
で表されるアリル/グリシジルグリコールウリル類が提供される。
で表されるアリルグリコールウリル類をエピクロロヒドリンと反応させることを特徴とする前記一般式(I)で表されるアリル/グリシジルグリコールウリル類の製造方法が提供される。
本発明による新規なアリル/グリシジルグリコールウリル類は、一般式(I)
で表される。
(1)一般式(Ia)
で表される1−アリル−3,4,6−トリグリシジルグリコールウリル類、
(2)一般式(Ib)
で表される1,3−ジアリル−4,6−ジグリシジルグリコールウリル類、
(3)一般式(Ic)
で表される1,4−ジアリル−3,6−ジグリシジルグリコールウリル類、及び
(4)一般式(Id)
で表される1,3,4−トリアリル−6−グリシジルグリコールウリル類が提供される。
1−アリル−3,4,6−トリグリシジルグリコールウリル、
1−アリル−3,4,6−トリグリシジル−3a−メチルグリコールウリル、
1−アリル−3,4,6−トリグリシジル−3a,6a−ジメチルグリコールウリル、
1−アリル−3,4,6−トリグリシジル−3a,6a−ジフェニルグリコールウリル
等を挙げることができる。
1,3−ジアリル−4,6−ジグリシジルグリコールウリル、
1,3−ジアリル−4,6−ジグリシジル−3a−メチルグリコールウリル、
1,3−ジアリル−4,6−ジグリシジル−3a,6a−ジメチルグリコールウリル、
1,3−ジアリル−4,6−ジグリシジル−3a,6a−ジフェニルグリコールウリル
等を挙げることができる。
1,4−ジアリル−3,6−ジグリシジルグリコールウリル、
1,4−ジアリル−3,6−ジグリシジル−3a−メチルグリコールウリル、
1,4−ジアリル−3,6−ジグリシジル−3a,6a−ジメチルグリコールウリル、
1,4−ジアリル−3,6−ジグリシジル−3a,6a−ジフェニルグリコールウリル
等を挙げることができる。
1,3,4−トリアリル−6−グリシジルグリコールウリル、
1,3,4−トリアリル−6−グリシジル−3a−メチルグリコールウリル、
1,3,4−トリアリル−6−グリシジル−3a,6a−ジメチルグリコールウリル、
1,3,4−トリアリル−6−グリシジル−3a,6a−ジフェニルグリコールウリル
等を挙げることができる。
本発明による前記一般式(I)で表されるアリル/グリシジルグリコールウリル類はそれぞれ、一般式(II)
で表されるアリルグリコールウリル類にエピクロロヒドリンを反応させて、その窒素原子上の水素原子をすべて、グリシジル基と置換することによって得ることができる。
で表される1−アリルグリコールウリル類、一般式(IIb)
で表される1,3−ジアリルグリコールウリル類、一般式(IIc)
で表される1,4−ジアリルグリコールウリル類、及び一般式(IId)
で表される1,3,4−トリアリルグリコールウリル類を、必要に応じて適宜の溶媒中、エピクロロヒドリンと反応させることによって得ることができる。
前記一般式(II)で表されるアリルグリコールウリル類のうち、R1及びR2がいずれも水素原子であるアリルグリコールウリル類、即ち、1−アリルグリコールウリル、1,3−ジアリルグリコールウリル、1,4−ジアリルグリコールウリル及び1,3,4−トリアリルグリコールウリルはそれぞれ、通常、下記の第1工程と第2工程によって得ることができる。
本発明によるボールグリッドアレイ半導体封止用エポキシ樹脂組成物は、前記一般式(I)で表されるアリル/グリシジルグリコールウリル類と共に、硬化剤と無機質充填剤を含む。
(a)少なくとも上記アリル/グリシジルグリコールウリル類エポキシ樹脂、
(b)少なくとも上記アリル/グリシジルグリコールウリル類モノエポキシドと第2のエポキシ樹脂、及び
(c)少なくとも上記アリル/グリシジルグリコールウリル類モノエポキシド
から選ばれる少なくとも1種と共に、硬化剤と無機質充填剤を含む。
本発明による光半導体素子封止用エポキシ樹脂組成物は、前記一般式(I)で表されるアリル/グリシジルグリコールウリル類を含み、更に、ガラスフィラー、硬化剤、硬化促進剤、硬化触媒、ポリエステル樹脂、オルガノシロキサン、ゴム粒子及び添加剤から選ばれる少なくとも1種の成分を含む。
(a)少なくとも上記アリル/グリシジルグリコールウリル類エポキシ樹脂、
(b)少なくとも上記アリル/グリシジルグリコールウリル類モノエポキシドと第2のエポキシ樹脂、及び
(c)少なくとも上記アリル/グリシジルグリコールウリル類モノエポキシド
から選ばれる少なくとも1種を含み、更に、ガラスフィラー、硬化剤、硬化促進剤、硬化触媒、ポリエステル樹脂、オルガノシロキサン、ゴム粒子及び添加剤から選ばれる少なくとも1種の成分を含む。
本発明による光半導体素子封止用エポキシ樹脂組成物は、成分(1)として、好ましくは、アリル/グリシジルグリコールウリル類エポキシ樹脂を含み、又はアリル/グリシジルグリコールウリル類モノエポキシドと第2のエポキシ樹脂を含む。
成分(2)のガラスフィラーとしては、従来、知られているガラスフィラーを使用することができ、特に、限定されるものではないが、例えば、ガラスビーズ、ガラスフレーク、ガラスパウダー、ミルドガラス、ガラス繊維、ガラス繊維布(例えば、ガラスクロスやガラス不織布)等を挙げることができる。なかでも、充填率を高くしやすく、耐吸湿リフロー性と耐熱衝撃性を向上させやすい点から、ガラスビーズ、ガラスフレーク、ガラスパウダー等が好ましい。
本発明による光半導体素子封止用エポキシ樹脂組成物は、成分(3)として、硬化剤を含んでいてもよい。硬化剤は、エポキシ樹脂を硬化させる働きを有する化合物であり、従来、エポキシ樹脂用硬化剤として知られているものを適宜に用いることができる。
本発明による光半導体素子封止用エポキシ樹脂組成物は、成分(4)として、硬化促進剤を含んでいてもよい。硬化促進剤は、エポキシ樹脂を硬化剤にて硬化させる際に、その硬化の速度を促進する機能を有する化合物である。
本発明による光半導体素子封止用エポキシ樹脂組成物は、成分(5)として、硬化触媒を含んでいてもよい。硬化触媒は、エポキシ樹脂の硬化反応を開始させ、及び/又は硬化反応を促進する機能を有する化合物である。硬化触媒としては、特に限定されるものではないが、紫外線照射又は加熱処理を施すことによって、カチオン種を発生して重合を開始させるカチオン触媒(カチオン重合開始剤)を挙げることができる。硬化触媒は、1種のみを単独で、又は2種以上を組み合わせて使用することができる。
本発明による光半導体素子封止用エポキシ樹脂組成物は、成分(6)として、ポリエステル樹脂を含むことが好ましい。ポリエステル樹脂を含むことによって、特に、硬化物の耐熱性と耐光性が向上して、光半導体装置の光度低下が抑制される傾向がある。脂環式ポリエステル樹脂は、脂環構造(脂肪族環構造)を少なくとも有するポリエステル樹脂である。特に、硬化物の耐熱性と耐光性向上の観点から、脂環式ポリエステル樹脂は、主鎖に脂環(脂環構造)を有する脂環式ポリエステル樹脂であることが好ましい。
本発明による光半導体素子封止用エポキシ樹脂組成物は、成分(7)として、オルガノシロキサン類を含んでもよい。
本発明による光半導体素子封止用エポキシ樹脂組成物は、成分(8)として、ゴム粒子を含んでいてもよい。ゴム粒子としては、例えば、粒子状NBR(アクリロニトリル−ブタジエンゴム)、反応性末端カルボキシル基NBR(CTBN)、メタルフリーNBR、粒子状SBR(スチレン−ブタジエンゴム)等のゴム粒子を挙げることができる。
本発明による光半導体素子封止用エポキシ樹脂組成物は、上述した種々の成分に加えて、本発明の効果を損なわない範囲内で、成分(9)として、その他の種々の添加剤を含有していてもよい。
本発明によるアンダーフィルとして用いられる半導体封止用エポキシ樹脂組成物は、前記一般式(I)で表されるアリル/グリシジルグリコールウリル類と硬化剤を含んでなるものである。
(a)少なくとも上記アリル/グリシジルグリコールウリル類エポキシ樹脂、
(b)少なくとも上記アリル/グリシジルグリコールウリル類モノエポキシドと第2のエポキシ樹脂、及び
(c)少なくとも上記アリル/グリシジルグリコールウリル類モノエポキシド
から選ばれる少なくとも1種と硬化剤を含んでなるものである。
本発明によるレジスト下層膜形成用エポキシ樹脂組成物は、前記一般式(I)で表されるアリル/グリシジルグリコールウリル類又は前記一般式(I)で表されるアリル/グリシジルグリコールウリル類と酸無水物の反応物を含み、且つ、架橋剤及び溶剤を含んでなるものである。
(a)少なくとも上記アリル/グリシジルグリコールウリル類エポキシ樹脂を含み、又は
(b)少なくとも上記アリル/グリシジルグリコールウリル類モノエポキシドと共に第2のエポキシ樹脂の混合物を含み、又は
(c)少なくとも上記アリル/グリシジルグリコールウリル類モノエポキシドを含み、又は、
(d)前記一般式(I)で表されるアリル/グリシジルグリコールウリル類と酸無水物の反応物を含む。
本発明による光学デバイス用シリコーン樹脂組成物は、
(A)アルケニル基を有する有機化合物、
(B)1分子中に少なくとも3つ以上のヒドロシリル基を有する化合物および
(C)ヒドロシリル化触媒からなる硬化性組成物であって、
上記(A)成分として、前記一般式(I)で表されるアリル/グリシジルグリコールウリル類を含む。
本発明による光学デバイス用シリコーン樹脂組成物において、上記アルケニル基を有する有機化合物は、前記一般式(I)で表されるアリル/グリシジルグリコールウリル類を含むことが必須であり、ここに、上記一般式(I)で表されるアリル/グリシジルグリコールウリル類とは、前述した一般式(Ia)〜(Id)で表されるアリル/グリシジルグリコールウリル類の少なくとも1種を意味する。
本発明によるシリコーン樹脂組成物において、(B)成分は、主に硬化剤として使用されるものであり、分子中に少なくとも3つ以上のヒドロシリル基を有するオルガノシロキサンであれば、特に、限定されることなく、種々のものが用いられる。
ヒドロシリル化触媒は、特に、限定されることなく、従来、知られているものが適宜に用いられる。
本発明による光学デバイス用シリコーン樹脂組成物は、その保存安定性を改良するため、又は製造過程でのヒドロシリル化反応の反応性を調整するために、硬化遅延剤を含むことができる。硬化遅延剤としては、脂肪族不飽和結合を有する化合物、有機リン化合物、有機イオウ化合物、窒素含有化合物、スズ系化合物、有機過酸化物等を挙げることができ、これらを併用してもよい。
本発明による光学デバイス用シリコーン樹脂組成物は、被着体に対するすぐれた接着性を有するように、接着付与剤を含むことができる。接着付与剤の具体例として、例えば、シランカップリング剤、ほう素系カップリング剤、チタン系カップリング剤、アルミニウム系カップリング剤等を挙げることができる。
本発明の効果を損なわない範囲において、本発明による光学デバイス用シリコーン樹脂組成物は、これを硬化してなる硬化物に対して、タック性や密着性を付与する目的で種々の添加剤を含むことができる。用いる添加剤は、その種類において、特に限定されるものではないが、硬化物からのブリードを抑制する観点からは、アルケニル基又はヒドロシリル基を有する化合物であって、ヒドロシリル化による硬化時に(A)成分又は(B)成分と化学結合を形成できる化合物を用いることが好ましい。
本発明による光学デバイス用シリコーン樹脂組成物は、耐熱性と耐光性にすぐれると共に、硬化後の硬化収縮が小さい硬化物を与えることができ、種々の基材に対する接着性にもすぐれるので、そのような硬化物は、種々の光学デバイスの樹脂層として用いることができる。
本発明による光学デバイス用シリコーン樹脂組成物を樹脂層とする光学デバイスとしては、発光ダイオード、各種受光素子、表示ディスプレイ、太陽電池等が例示される。
以下において、40%グリオキサール溶液、アリル尿素、尿素及びベンジルトリメチルアンモニウムクロリドは和光純薬工業(株)製、エピクロロヒドリンはダイソー(株)製を用いた。尚、実施例において用いた1,3−ジアリル尿素は特開平10−251214号公報に記載の方法によって合成した。
(1−アリルグリコールウリルの合成)
温度計を備えた200mLフラスコに尿素3.0g(50mmol)、40%グリオキサール溶液11.6g(80mmol)及び水5.0gを入れた。得られた溶液に4N水酸化ナトリウム水溶液を加えて、そのpHを9.0に調整した後、80℃にて3時間撹拌した。得られた反応混合物にアリル尿素5.0g(50mmol)、36%塩酸21.7g(217mmol)及び水10.2gを加えた後、30℃にて24時間撹拌した。次いで、得られた反応混合物に1N水酸化ナトリウム溶液を加えて中和した後、クロロホルム30mLで抽出操作を行った。同様の抽出操作を更に2回行った後、得られた有機層を減圧下で濃縮した。得られた濃縮物をシリカゲルクロマトグラフィー(クロロホルム/メタノール=15/1(容量比))にて精製して、1−アリルグリコールウリル0.6gを白色固体として得た。収率7%。
(1,3−ジアリルグリコールウリルの合成)
温度計を備えた100mLフラスコに40%グリオキサール溶液8.7g(60mmol)、14%水酸化ナトリウム水溶液1.3g、尿素3.0g(50mmol)及び水1.0gを入れ、70℃で3時間撹拌した。得られた溶液を室温まで冷却した後、1,3−ジアリル尿素2.8g(20mmol)、水5.0g及び36%塩酸2.5g(25mmol)を加え、室温で18時間撹拌した。得られた反応溶液に45%水酸化ナトリウム水溶液を加えて中和した後、濾過し、水3.3gにて洗浄し、乾燥して、1,3−ジアリルグリコールウリル3.8gを白色固体として得た。収率86%。
(1,4−ジアリルグリコールウリルの合成)
温度計を備えた100mLフラスコにアリル尿素5.0g(50mmol)、40%グリオキサール溶液3.6g(25mmol)、p−トルエンスルホン酸一水和物1.9g(10mmol)及び水20.0gを入れ、30℃にて24時間撹拌した。得られた反応混合物に1N水酸化ナトリウム水溶液を加えて中和した後、クロロホルム25mLで抽出操作を行った。同様の抽出操作を更に2回行った後、得られた有機層を減圧下で濃縮した。得られた濃縮物をアセトン17mLで洗浄した後、乾燥して1,4−ジアリルグリコールウリル2.1gを白色固体として得た。収率37%。
(1,3,4−トリアリルグリコールウリルの合成)
温度計を備えた200mLフラスコにアリル尿素5.0g(50mmol)、40%グリオキサール溶液11.6g(80mmol)及び水5.0gを入れた。得られた溶液に4N水酸化ナトリウム水溶液を加えて、溶液のpHを9.0に調整した後、80℃にて3時間撹拌した。得られた反応混合物に1,3−ジアリル尿素7.0g(50mmol)、36%塩酸21.7g(217mmol)及び水10.2g加え、30℃にて24時間撹拌した。得られた反応混合物に1N水酸化ナトリウム水溶液を加えて中和した後、クロロホルム75mLで抽出操作を行った。同様の抽出操作を更に1回行った後、得られた有機層を減圧下で濃縮した。得られた濃縮物をシリカゲルクロマトグラフィー(酢酸エチル)にて精製し、1,3,4−トリアリルグリコールウリル2.6gを無色油状物として得た。収率20%。
(1−アリル−3,4,6−トリグリシジルグリコールウリルの合成)
温度計を備えた200mLフラスコに1−アリルグリコールウリル9.1g(50mmol)、エピクロロヒドリン55.5g(600mmol)、ジメチルスルホキシド12.5g及び水酸化カリウム11.2g(200mmol)を加え、25℃にて3時間撹拌した。次いで、得られた反応混合物を減圧下で濃縮した。
(1,3−ジアリル−4,6−ジグリシジルグリコールウリルの合成)
温度計を備えた300mLフラスコに1,3−ジアリルグリコールウリル11.1g(50mmol)、エピクロロヒドリン277.6g(3000mmol)、ベンジルトリメチルアンモニウムクロリド0.5g(2.5mmol)及び水酸化ナトリウム4.6g(115mmol)を加え、25℃にて18時間撹拌した。
(1,4−ジアリル−3,6−ジグリシジルグリコールウリルの合成)
温度計を備えた100mLフラスコに1,4−ジアリルグリコールウリル11.1g(50mmol)、エピクロロヒドリン46.3g(500mmol)、ジメチルスルホキシド11.1g及び水酸化カリウム8.4g(150mmol)を入れ、25℃にて3時間撹拌した。
(1,3,4−トリアリル−6−グリシジルグリコールウリルの合成)
温度計を備えた100mLフラスコに1,3,4−トリアリルグリコールウリル13.1g(50mmol)、エピクロロヒドリン46.3g(500mmol)、ジメチルスルホキシド13.1g及び水酸化カリウム5.0g(150mmol)を入れ、25℃にて3時間撹拌した。
実施例5〜8及び比較例1
(1)エポキシ化合物またはエポキシ樹脂
1−アリル−3,4,6−トリグリシジルグリコールウリル(以下、「エポキシ樹脂A」という。)
1,3−ジアリル−4,6−ジグリシジルグリコールウリル(以下、「エポキシ樹脂B」という。)
下記式(7)で表されるビフェニル型エポキシ樹脂(以下、「エポキシ樹脂C」という。)
下記式(8)で表されるフェノール樹脂
表1に示す量の前記エポキシ樹脂A、B及び/又はCを硬化剤180重量部、硬化促進剤トリフェニルホスフィン3重量部、離型剤酸化ポリエチレンワックス7重量部、シランカップリング剤3−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン5重量部、無機質充填剤として球状溶融シリカ粉末(平均粒径13.2μm)2000重量部、カーボンブラック(三菱化学(株)製#3030B)15重量部及び難燃剤として三酸化アンチモン(Sb2O3)3.3重量部をロール混練機を用いて80〜170℃にて溶融混練した後、冷却し、粉砕し、更に、タブレット状に打錠して、実施例5〜8及び比較例1としての樹脂組成物を調製した。
粘弾性測定装置(レオメトリック社製 固体粘弾性測定装置「RSAII」、二重カレンチレバー法、周波数1Hz、昇温速度3℃/分)を用いて、上記樹脂組成物のガラス転移温度を測定した。
シリコンチップ(寸法10mm×10mm×厚さ0.325mm)をガラスエポキシ基板上に等間隔となるように、銀(Ag)ペーストを使用して実装し、プレス機(TOWA社製)にて前記樹脂組成物を用いて封止した。プレス機の金型温度は175℃とし、封止条件はトランスファースピード1.5mm/秒、クランプ圧1960N、トランスファー圧49N、キュア時間90秒間とした。尚、ガラスエポキシ基板を封止した樹脂層の厚みは450μmである。続いて、パッケージを175℃で5時間加熱し、加熱後のパッケージについて、温度可変レーザー3次元装置(ティーテック社製)を用いて観察し、パッケージの反り量を測定した。
(光半導体素子封止用樹脂組成物)
(1)主原料
(イ)アリル/グリシジルグリコールウリル類
1,3−ジアリル−4,6−ジグリシジルグリコールウリル
(ロ)エポキシ樹脂
脂環式エポキシ化合物((株)ダイセル製、製品名「セロキサイド2021P」)
(ハ)ガラスフィラー
ガラスフィラー(日本フリット(株)製、製品名「ガラスビーズCF0018WB15C」)
(ニ)硬化剤
4−メチルヘキサヒドロ無水フタル酸/ヘキサヒドロ無水フタル酸(新日本理化(株)製、製品名「リカシッドMH−700」)
(ホ)硬化促進剤
特殊アミン(サンアプロ(株)製、製品名「U−CAT18X」)
(イ)通電試験(高温通電試験)
光半導体装置の全光束を全光束測定機を使用して測定し、これを「0時間の全光束」とした。続いて、85℃にて100時間加熱しながら、光半導体装置に30mAの電流を流した後の全光束を測定し、これを「100時間後の全光束」とした。
光度保持率(%):
〔100時間後の全光束(Im)〕/〔0時間の全光束(Im)〕×100
(ロ)はんだ耐熱性試験
光半導体装置を30℃/70%RHの条件にて192時間静置して加湿処理を行った。次いで、この光半導体装置をリフロー炉に入れ、下記加熱条件にて加熱処理を行った。その後、この光半導体装置を室温環境下に取り出して放冷した後、再度リフロー炉に入れて同条件で加熱処理を行った。即ち、光半導体装置は下記の加熱条件による2回の熱履歴を有する。
(1)予備加熱:150〜190℃にて60〜120秒間
(2)予備加熱後の本加熱:217℃以上(最高温度260℃)にて、60〜150秒間
(但し、予備加熱から本加熱に移行する際の昇温速度は最大で3℃/秒に制御した。)
続いて、デジタルマイクロスコープ(キーエンス社製、製品名「VHX−900」)を使用して光半導体装置を観察し、硬化物におけるクラック(長さが90μm以上)の発生の有無と、電極剥離(電極表面からの硬化物の剥離)の発生の有無を確認した。尚、試験はn=2で行った。
光半導体装置に対し、−40℃の雰囲気下に30分間曝露し、続いて、120℃の雰囲気下に30分間曝露する工程を1サイクルとした熱衝撃を、熱衝撃試験機を使用して200サイクル分与えた。その後、デジタルマイクロスコープ(キーエンス社製、製品名「VHX−900」)を使用して光半導体装置を観察し、硬化物におけるクラック(長さが90μm以上)の発生の有無を確認した。尚、試験はn=2で行った。
(エポキシ樹脂組成物の調製及び光半導体装置の作製)
表2に示す組成にてグリコールウリル類とガラスフィラー(製品名「ガラスビーズCF0018WB15C」)とを自公転式攪拌装置(シンキー(株)製、製品名「あわとり練太郎AR−250」)を使用して、均一に混合、脱泡した。
次の項(イ)〜(ニ)に示した基準を全て満たす場合を「良好(○と表記)」と判定し、これ以外の場合を「不良(×と表記)」と判定した。
(イ)通電試験:光度保持率が90%以上
(ロ)はんだ耐熱性試験:硬化物に長さが90μm以上のクラックが発生した光半導体装置の個数が0個
(ハ)はんだ耐熱性試験:電極剥離が発生した光半導体装置の個数が0個
(ニ)熱衝撃試験:硬化物に長さが90μm以上のクラックが発生した光半導体装置の個数が0個
実施例9と同様にして、表2に示した組成のエポキシ樹脂組成物を調製し、光半導体素子が該組成物の硬化物により封止された光半導体装置を作製した。
実施例12〜15及び比較例3
(1)樹脂組成物の調製
エポキシ樹脂として表3に示す量の1,3−ジアリル−4,6−ジグリシジルグリコールウリル又は1,4−ジアリル−3,6−ジグリシジルグリコールウリルとビスフェノールF型エポキシ樹脂(新日鉄住金化学(株)製、YDF8170C)を硬化剤4,4’−ジアミノ−3,3’−ジエチルジフェニルメタン(日本化薬(株)製、カヤハードA−A)50重量部、無機充填剤としてエポキシ表面処理シリカフィラー(アドマテックス(株)製、SE5200SEE、平均粒径2μm)200重量部、硬化促進剤として2−フェニル−4−メチル−5−ヒドロキシメチルイミダゾール(四国化成工業(株)製、2P4MHZ)2重量部、コアシェルゴム(コアはシリコーンゴム、シェルはアクリル樹脂、平均粒径0.3μm)10重量部、反応性希釈剤としてポリプロピレングリコールジグリシジルエーテル(エポキシ当量320、全塩素量1000ppm)20重量部及びシランカップリング剤3−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン(信越化学工業(株)製、KBM403)2重量部をロールミルにて用いて混錬して、実施例12〜15及び比較例3としての半導体封止用樹脂組成物を調製した。
上記樹脂組成物の粘度をブルックフィールド粘度計を用いて、25℃/50rpmの条件にて測定した。
(ロ)ガラス転移温度
上記樹脂組成物を150℃/1時間加熱硬化し、得られた硬化物について、TMA法によりガラス転移温度(Tg)を測定した。測定装置としては、ブルカーASX製TMA4000SAを用いた。
(ハ)耐吸湿リフロー性
PHASE2E175(日立超LSIシステムズ社製)をフリップチップ実装させたJKIT TypeIII基板(日立超LSIシステムズ社製)(サイズ30mm×50mm×0.7mm、ダイサイズ10mm×10mm×0.7mm、PIパッシベーションダイ、Sn−3Ag−0.5Cuバンプ、バンプピッチ175μm)の間に、前記操作により得られた樹脂組成物を注入し、150℃/1時間加熱硬化させた後、抵抗値を測定した。次に、リフロー処理(260℃)を行った後、85℃/85%の条件で24時間放置した。その後、再びリフロー処理を3回行った後、抵抗値の測定および剥離状態の観察を行い、下記の基準で耐吸湿リフロー性の評価を行った。
前述したと同様の方法によって吸湿リフロー処理を行った基板を125℃/30分間と−55℃/30分間の加熱/冷却を1000回実施した後、基板上のフィレットクラックを観察し、下記の基準で耐フィレットクラック性の評価を行った。
(1)溶剤耐性試験
レジスト下層膜形成用樹脂組成物をスピンコーターでシリコンウェハ上に塗布し、ホットプレート上、205℃で60秒間加熱し、硬化させて、塗布膜を形成した。この塗布膜の膜厚を光干渉膜厚計(ナノメトリクス社製、「ナノスペックAFT5100」)を用いて測定し、これを初期膜厚とした。
レジスト下層膜形成用樹脂組成物をスピンコーターでシリコンウェハ上に1500rpm/60秒の条件にて塗布し、ホットプレート上、205℃で60秒間加熱した。この操作を3回繰り返して、レジスト下層膜を厚膜化した後、ドライエッチング装置(日本サイエンティフィック社製、「RIEシステムES401」)を用いて、ドライエッチングガスとしてCF4を使用して、レジスト下層膜のドライエッチング速度(単位時間当たりの膜厚の減少量)を測定した。
1−アリル−3,4,6−トリグリシジルグリコールウリル4.20g、エポキシ基と反応するテトラブロモフタル酸無水物7.00g、エチルトリフェニルホスホニウムブロマイド0.14g及びプロピレングリコールモノメチルエーテル45.3gを混合し、撹拌しながら、12時間加熱還流して、反応生成物を含む溶液を得た。この溶液に陽イオン交換樹脂(ムロマチテクノス(株)製、「ダウエックス(登録商標)550A」)10.00g、陰イオン交換樹脂(オルガノ(株)製、「アンバーライト(登録商標)15JWET」)10.00gを加えて、室温で8時間イオン交換処理をした。得られた化合物のGPC分析を行ったところ、標準ポリスチレン換算にて重量平均分子量1500であった。
1,3−ジアリル−4,6−ジグリシジルグリコールウリル6.02g、エポキシ基と反応するテトラブロモフタル酸無水物7.00g、エチルトリフェニルホスホニウムブロマイド0.14g及びプロピレングリコールモノメチルエーテル45.3gを混合し、撹拌しながら、12時間加熱還流して、反応生成物を含む溶液を得た。この溶液に陽イオン交換樹脂(ムロマチテクノス(株)製、「ダウエックス(登録商標)550A」)10.00g、陰イオン交換樹脂(オルガノ(株)製、「アンバーライト(登録商標)15JWET」)10.00gを加えて、室温で8時間イオン交換処理をした。得られた化合物のGPC分析を行ったところ、標準ポリスチレン換算にて重量平均分子量900であった。
1,3,5−トリス−(2,3−エポキシプロピル)イソシアヌル酸(日産化学工業(株)製、「TEPIC(登録商標)−SS」)3.59g、テトラブロモフタル酸無水物7.00g、エチルトリフェニルホスホニウムブロマイド0.14g及びプロピレングリコールモノメチルエーテル45.3gを混合し、撹拌しながら、12時間加熱還流して、反応生成物を含む溶液を得た。この溶液に陽イオン交換樹脂(ムロマチテクノス(株)製、「ダウエックス(登録商標)550A」)10.00g、陰イオン交換樹脂(オルガノ(株)製、「アンバーライト(登録商標)15JWET」)10.00gを加えて、室温で8時間イオン交換処理をした。得られた化合物のGPC分析を行ったところ、標準ポリスチレン換算にて重量平均分子量700であった。
上記合成例1で得た化合物1.20gを含むプロピレングリコールモノメチルエーテル溶液7.00g、テトラメトキシメチルグリコールウリル(日本サイテックインダストリーズ(株)製、「POWDERLINK(登録商標)1174」)0.29g、5−スルホサリチル酸0.03g、プロピレングリコールモノメチルエーテル20.00g及びプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート11.05gを混合し、溶液として、レジスト下層膜形成用樹脂組成物を調製した。
合成例2で得た化合物1.20gを含むプロピレングリコールモノメチルエーテル溶液7.00g、テトラメトキシメチルグリコールウリル(日本サイテックインダストリーズ(株)製、「POWDERLINK(登録商標)1174」)0.29g、5−スルホサリチル酸0.03g、プロピレングリコールモノメチルエーテル20.00g及びプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート11.05gを混合し、溶液として、レジスト下層膜形成用樹脂組成物を調製した。
合成例3で得た化合物1.20gを含むプロピレングリコールモノメチルエーテル溶液7.00g、テトラメトキシメチルグリコールウリル(日本サイテックインダストリーズ(株)製、「POWDERLINK(登録商標)1174」)0.29g、5−スルホサリチル酸0.03g、プロピレングリコールモノメチルエーテル11.05g及びプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート8.32gを混合して、溶液として、レジスト下層膜形成用樹脂組成物を調製した。
(1)接着性試験
3ccの硬化性組成物をバーコーターを使用して膜厚40〜60μmになるように、10×10cmのガラス基板上に塗布し、対流式オーブンにて150℃、1時間硬化させて、試験用硬化物を作製した。この硬化物を使用して、JIS 5600−5−6準拠にてクロスカット試験を行い、同規格の判定基準に従い、接着性を分類0〜5までの6段階にて判定した。
硬化性組成物を3mm厚みのテフロン製スペーサーを2枚のガラス基板で挟み込んで作製した型に流し込み、80℃で3時間及び150℃で2時間の各条件にて段階的に加熱を行って試験用硬化物(3mm厚)を作製した。この硬化物を対流式オーブンにて120℃/100時間加熱した後、400nmにおける光線透過率を測定し、下式により保持率を算出した。
前述した耐熱性試験の場合と同様にして、試験用硬化物を作製し、この硬化物を汎用ミル(IKA社製、M20)で0.5mm以下に粉砕した後、DSCでガラス転移温度(Tg)を測定した。
メタリングウェザーメーター(スガ試験機(株)製)を使用して、放射照度0.53kW/m2にて積算放射照度50MJ/m2まで照射した後、照射前後の外観の変化の有無を観察した。変化がない場合は良好(○)とし、着色等の変化があった場合を不良(×)とした。
撹拌装置、冷却管及び滴下漏斗を取り付けた5L容量の二口フラスコにトルエン500gと1,3,5,7−テトラメチルシクロテトラシロキサン350gを入れ、120℃のオイルバス中で加熱撹拌した。得られた溶液に1,3−ジアリル−4,6−ジグリシジルグリコールウリル100g、トルエン200g及び白金ビニルシロキサン錯体のキシレン溶液(白金として3重量%含有)0.4mLからなる混合溶液を50分間かけて滴下した。得られた溶液をそのまま6時間加温、撹拌した。1−エチニル−1−シクロヘキサノール0.8mgを加えた後、未反応の1,3,5,7−テトラメチルシクロテトラシロキサンとトルエンを減圧留去して、変性体1として反応生成物220gを得た。
撹拌装置、冷却管及び滴下漏斗を取り付けた5L容量の二口フラスコにトルエン500gと1,3,5,7−テトラメチルシクロテトラシロキサン350gを入れ、120℃のオイルバス中で加熱撹拌した。得られた溶液に1,3,4−トリアリル−6−グリシジルグリコールウリル100g、トルエン200g及び白金ビニルシロキサン錯体のキシレン溶液(白金として3重量%含有)0.4mLからなる混合溶液を50分間かけて滴下した。得られた溶液をそのまま6時間加温、撹拌した。1−エチニル−1−シクロヘキサノール0.8mgを加えた後、未反応の1,3,5,7−テトラメチルシクロテトラシロキサンとトルエンを減圧留去して、変性体2として反応生成物220gを得た。
撹拌装置、冷却管、滴下漏斗を取り付けた5L容量の二口フラスコにトルエン200gと1,1,3,3−テトラメチルジシロキサン195gを入れ、120℃のオイルバス中で加熱撹拌した。得られた溶液にトリアリルイソシアヌレート82g、トルエン100g及び白金ビニルシロキサン錯体のキシレン溶液(白金として3重量%含有)0.3mLからなる混合溶液を50分間かけて滴下した。得られた溶液をそのまま6時間加温、撹拌した。1−エチニル−1−シクロヘキサノール0.6mgを加えた後、未反応の1,1,3,3−テトラメチルジシロキサンを減圧留去して、変性体3を反応生成物710gとして得た。
表5に示す配合比(重量部)にて、成分A、B及びCを配合し、硬化性組成物を調製して、評価試験を行った。得られた結果を表5に示す。
Claims (22)
- 請求項3に記載のボールグリッドアレイ半導体封止用エポキシ樹脂組成物を用いて半導体素子を封止してなる半導体装置。
- 請求項5に記載の光半導体素子封止用エポキシ樹脂組成物を用いて光半導体素子を樹脂封止してなる光半導体装置。
- 前記アリル/グリシジルグリコールウリル類を除くエポキシ化合物を含む請求項7に記載のアンダーフィルとして用いられる半導体封止用エポキシ樹脂組成物。
- 無機充填剤、硬化促進剤、コアシェルゴム及び反応性希釈剤を含む請求項7又は8に記載のアンダーフィルとして用いられる半導体封止用エポキシ樹脂組成物。
- 更に、架橋触媒を含む請求項10に記載のリソグラフィー用レジスト下層膜形成用エポキシ樹脂組成物。
- 転写パターンを形成する加工対象膜を有する基板上に、請求項10又は11に記載のレジスト下層膜形成用エポキシ樹脂組成物を塗布し、ベークして、レジスト下層膜を形成し、次いで、上記レジスト下層膜上にレジストを被覆して、上記レジストを被覆した基板にKrFエキシマレーザー、ArFエキシマレーザー、極端紫外線及び電子線から選ばれる放射線を照射し、その後、現像して、レジストパターンを形成し、上記レジストパターンをマスクとしてドライエッチングを行って、上記基板上にパターンを転写して半導体素子を作製する方法。
- 前記(B)成分が
(a)アルケニル基を少なくとも2つ有する有機化合物((B−1)成分)と
(b)1分子中に少なくとも2つのヒドロシリル基を有する鎖状及び/又は環状のオルガノハイドロジェンシロキサン((B−2)成分)とを
ヒドロシリル化反応させることにより得られる有機変性オルガノシロキサン類((B−3)成分)である請求項13に記載の光学デバイス用シリコーン樹脂組成物。 - 前記(B−1)成分がポリブタジエン、シクロペンタジエン、ジビニルビフェニル、ビスフェノールAジアリレート、トリビニルシクロヘキサン、トリアリルイソシアヌレート、メチルジアリルイソシアヌレート及び前記アリル/グリシジルグリコールウリル類からなる群より選ばれる少なくとも1種である請求項14に記載の光学デバイス用シリコーン樹脂組成物。
- 前記(B−2)成分が分子中に少なくとも2つのヒドロシリル基を有する環状及び/又は鎖状のオルガノシロキサンである請求項14に記載の光学デバイス用シリコーン樹脂組成物。
- 前記(B−2)成分が分子中に少なくとも2つのヒドロシリル基を有する環状ポリオルガノシロキサンである請求項14に記載の光学デバイス用シリコーン樹脂組成物。
- 請求項13から17のいずれかに記載の光学デバイスシリコーン樹脂組成物を硬化してなる硬化物。
- 請求項18に記載の硬化物を樹脂層として含む光学デバイス。
- 前記樹脂層が発光ダイオードの封止剤である請求項19に記載の光学デバイス。
- 前記樹脂層が発光ダイオードのチップコート剤である請求項19に記載の光学デバイス。
- 前記樹脂層が発光ダイオードのダイボンド剤である請求項19に記載の光学デバイス。
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