JP2016137530A - 加工方法及び加工装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】円錐に沿った外周面を有するワークの加工に関して、加工効率を向上させる。【解決手段】円すいころ7の外周面8を加工するために、円すいころ7を回転させ、外周面8に対して砥石11を接触させた状態で、この砥石11を外周面8に沿って外周面8の母線に平行な方向に振動させる。そして、円すいころ7の内の、径が大きい大径外周面側に沿って砥石11が振動方向に移動する際の移動速度を、径が小さい小径外周面側に沿って砥石11が振動方向に移動する際の移動速度よりも低くして、砥石11を振動させる。【選択図】 図1
Description
本発明は、円錐に沿った外周面を有するワーク(例えば、円すいころ)に対して超仕上げ加工を行うための加工方法、及び加工装置に関する。
従来、ワークに対して超仕上げ加工を行うために、回転しているワークの加工対象面に砥石を接触させつつ、その砥石を振動させている。例えば、円すいころ軸受の円すいころをワークとする場合、その外周面に対して超仕上げ加工が行われる。この場合、回転する円すいころの外周面に砥石を接触させつつ、その砥石を外周面の母線に平行な方向に沿って振動させる。
このような超仕上げ加工を行うための加工装置として、図8に示すものがある。この加工装置は、砥石91を振動させるための機構として、ベース材95、モータ92、モータ92により回転する偏心カム93、砥石91を保持する砥石台98、及び砥石台98を搭載している可動体94を備えている。可動体94は、ベース材95において往復移動可能として支持されており、偏心カム93の回転運動を可動体94の往復運動に変換することで砥石91を振動させている。このような偏心カム93を用いて砥石91を振動させる構成を備えている加工装置として、特許文献1に記載のものがある。
前記加工装置の場合、砥石91を振動させる動力源はモータ92であり、この砥石91の振動は、モータ92をインバータ制御することで実現される。なお、このモータ92の回転数を制御することにより、砥石91の振動の周波数を調整することが可能である。
前記のような加工装置において、砥石91による円すいころ90の加工効率を向上させるための技術的手段として、円すいころ90の回転数を高める、砥石91の振動数を高める、円すいころ90に対する砥石91の接触圧を高めるという手段が考えられる。しかし、これらの各手段を採用したり、これらの手段を組み合わせたりしても、加工効率の向上には限界がある。
そこで、本発明は、円錐に沿った外周面を有するワークの加工に関して、加工効率を向上させることのできる新たな技術的手段を提供することを目的とする。
本発明は、円錐に沿った外周面を有するワークを回転させ、当該外周面に対して砥石を接触させた状態で、当該砥石を当該外周面に沿って当該外周面の母線に平行な方向に振動させて、当該ワークを加工する方法であって、前記ワークの内の、径が大きい大径外周面側に沿って前記砥石が振動方向に移動する際の移動速度を、径が小さい小径外周面側に沿って前記砥石が振動方向に移動する際の移動速度よりも低くして、当該砥石を振動させる。
回転するワークの外周面に対して砥石を接触させた状態で、この砥石を振動させワークを加工するために、ワークと接触する砥石面は円弧形状であり、しかも、ワークの大径外周面側と接触可能な部分と小径外周面側と接触可能な部分とで、前記円弧形状の半径が異なる。そして、振動する砥石が、ワークの大径外周面側へ移動すると、ワークとの接触面積が広く、小径外周面側へ移動すると、ワークとの接触面積が狭くなる。そこで、砥石とワークとの接触面積が広くなる大径外周面側に沿って砥石が振動方向に移動する際の移動速度を低くすることにより、砥石とワークとの間で接触面積が広くなっている状態の時間を長くすることができる。このように、砥石とワークとの間で接触面積が広くなっている状態の時間を長くすることで、ワークの加工が促進され、加工効率の向上が可能となる。
また、前記加工方向では、前記砥石が前記大径外周面側のストロークエンドを折り返す時間を、当該砥石が前記小径外周面側のストロークエンドを折り返す時間よりも長くして、当該砥石を振動させるのが好ましい。
この場合、砥石とワークとの間で接触面積が広くなっている状態の時間を長くすることができ、加工効率の向上が可能となる。
この場合、砥石とワークとの間で接触面積が広くなっている状態の時間を長くすることができ、加工効率の向上が可能となる。
また、本発明の加工装置は、円錐に沿った外周面を有するワークを当該ワークの中心線回りに回転させる回転機構、前記外周面に接触させる砥石、及び、前記砥石を前記ワークの外周面に沿って当該外周面の母線に平行な方向に振動させる振動機構、を備え、前記振動機構は、前記砥石を振動させる動力源となる駆動部と、当該駆動部の制御を行う制御部と、を有し、前記制御部は、前記ワーク内の、径が大きい大径外周面側に沿って前記砥石が振動方向に移動する際の移動速度を、径が小さい小径外周面側に沿って前記砥石が振動方向に移動する際の移動速度よりも低くして、当該砥石を振動させるための制御を行う。
回転するワークの外周面に対して砥石を接触させた状態で、この砥石を振動させワークを加工するために、ワークと接触する砥石面は円弧形状であり、しかも、ワークの大径外周面側と接触可能な部分と小径外周面側と接触可能な部分とで、前記円弧形状の半径が異なる。そして、振動する砥石が、ワークの大径外周面側へ移動すると、ワークとの接触面積が広く、小径外周面側へ移動すると、ワークとの接触面積が狭くなる。そこで、砥石とワークとの接触面積が広くなる大径外周面側に沿って砥石が振動方向に移動する際の移動速度を低くすることにより、砥石とワークとの間で接触面積が広くなっている状態の時間を長くすることができる。このように、砥石とワークとの間で接触面積が広くなっている状態の時間を長くすることで、ワークの加工が促進され、加工効率の向上が可能となる。
また、前記駆動部は、サーボモータ又はリニアモータであるのが好ましく、この場合、前記制御部は、サーボモータ又はリニアモータを制御することで、砥石を振動させるための制御を行うことができる。
本発明によれば、砥石とワークとの間で接触面積が広くなっている状態の時間を長くすることにより、ワークの加工が促進され、加工効率を向上させることができ、この結果、加工時間の短縮化が可能となる。
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
図1は、本発明の加工装置の実施の一形態の一部を示す斜視図である。この加工装置10は、円錐に沿った外周面を有するワークを超仕上げ加工するための装置であり、本実施形態では、ワークが、円すいころ軸受の転動体として用いられる円すいころ7である場合について説明する。この加工装置10は、回転する円すいころ7に対して砥石11を押し付けながら振動させて、円すいころ7の外周面8を超仕上げ加工する。砥石11を振動させる方向は、円すいころ7の外周面8の砥石11との接触部における母線に平行な方向である。
図1は、本発明の加工装置の実施の一形態の一部を示す斜視図である。この加工装置10は、円錐に沿った外周面を有するワークを超仕上げ加工するための装置であり、本実施形態では、ワークが、円すいころ軸受の転動体として用いられる円すいころ7である場合について説明する。この加工装置10は、回転する円すいころ7に対して砥石11を押し付けながら振動させて、円すいころ7の外周面8を超仕上げ加工する。砥石11を振動させる方向は、円すいころ7の外周面8の砥石11との接触部における母線に平行な方向である。
この加工装置10は、砥石11を振動させるための機構として、フレーム39、モータ20、モータ20により回転する第1偏心カム21、砥石11を保持する砥石台12、砥石台12が取り付けられている第1アクチュエーター15、この第1アクチュエーター15を昇降させる第2アクチュエーター16、及び第1と第2のアクチュエーター15,16を搭載している第1可動部材13を備えている。本実施形態のモータ20は、サーボモータである。
第1可動部材13は、フレーム39においてガイド部14により往復直線移動可能として支持されており、第1偏心カム21の回転運動が第1可動部材13の往復直線運動に変換される構成となっている。第1可動部材13が矢印X1,X2方向に往復直線運動することにより、この第1可動部材13に搭載されている砥石11を振動させることができる。ガイド部14が第1可動部材13を移動可能として支持する方向が、砥石11の振動方向となる。
第1アクチュエーター15は、砥石11を円すいころ7に押し付けるための推力を生じさせる機能を有している。第2アクチュエーター16は、後述するローラ28,29により保持されている円すいころ7に対して、砥石11の高さ方向の位置決めを行う機能を有している。これら第1アクチュエーター15及び第2アクチュエーター16は、例えばエアシリンダ又は油圧シリンダからなる。
また、加工装置10は、更に、前記モータ20により回転する第2偏心カム22、カウンタウエイト23、及びカウンタウエイト23が取り付けられている第2可動部材24を備えている。第2可動部材24は、フレーム39においてガイド部25により往復直線移動可能として支持されており、第2偏心カム22の回転運動が第2可動部材24の往復直線運動に変換される構成となっている。このように第2可動部材24が矢印x1,x2方向に往復直線運動することにより、この第2可動部材24と一体となってカウンタウエイト23が往復直線運動する。
第1偏心カム21と第2偏心カム22とは回転位相が180度異なっており、砥石11等を搭載する第1可動部材13の振動を打ち消すことを目的として、第2偏心カム22によりカウンタウエイト23が往復直線運動する構成となっている。
以上より、加工装置10は、モータ20と、第1偏心カム21と、第1可動部材13と、ガイド部14とを含む振動機構17を備えており、この振動機構17により、砥石11を、円すいころ7の外周面8に沿って、この外周面8の母線に平行な方向に振動させることができる構成が得られる。
本実施形態の加工装置10では、前記モータ20が砥石11を振動させる動力源となり、そして、前記振動機構17には、更に、このモータ20の制御を行う制御部18が含まれる。制御部18は、プログラマブルロジックデバイス等からなる。制御部18の機能については、後に説明する。
本実施形態の加工装置10では、前記モータ20が砥石11を振動させる動力源となり、そして、前記振動機構17には、更に、このモータ20の制御を行う制御部18が含まれる。制御部18は、プログラマブルロジックデバイス等からなる。制御部18の機能については、後に説明する。
加工装置10は、更に、円すいころ7を回転させる回転機構30を備えている。本実施形態の回転機構30は、一対のローラ28,29を有している。これらローラ28,29の上に円すいころ7は載った状態となり、円すいころ7を、円すいころ7の中心回りに回転させると共に、この円すいころ7を支持することができる。そして、超仕上げ加工の際、ローラ28,29上の円すいころ7に対して砥石11を押し付けた状態とする。本実施形態では、ローラ28,29の回転速度は一定としている。
ローラ28,29はモータ31,32により回転し、これにより、円すいころ7は自身の中心線回りに回転することができる。本実施形態のモータ31,32は、サーボモータである。
図2は、砥石11、円すいころ7、及びローラ28(29)の模式図である。本実施形態では、円すいころ7の外周面8に接触させる砥石11は、その外周面8の母線の方向の長さよりも短く構成されている。
図2に示す模式図では、振動する砥石11が振動中心(振幅の中心)に位置している状態を示している。この状態から、砥石11は、円すいころ7の径が大きい大径外周面41側(図2において左側)と、これとは反対側である円すいころ7の径が小さい小径外周面42側(図2において右側)との内の一方側へ移動し、その後、他方側へ移動し、これが繰り返される。砥石11が大径外周面41側のストロークエンドへ移動した状態を図3(A)に示し、砥石11が小径外周面42側のストロークエンドへ移動した状態を図3(B)に示している。
砥石11について説明する。
図4は、大径外周面41側のストロークエンドへ移動した砥石11、及び円すいころ7の横断面図であり、(A)は図3(A)の矢印Z1における断面図であり、(B)は図3(A)の矢印Z2における断面図である。図5は、小径外周面42側のストロークエンドへ移動した砥石11、及び円すいころ7の横断面図であり、(A)は図3(B)の矢印Z3における断面図であり、(B)は図3(B)の矢印Z4における断面図である。
図4は、大径外周面41側のストロークエンドへ移動した砥石11、及び円すいころ7の横断面図であり、(A)は図3(A)の矢印Z1における断面図であり、(B)は図3(A)の矢印Z2における断面図である。図5は、小径外周面42側のストロークエンドへ移動した砥石11、及び円すいころ7の横断面図であり、(A)は図3(B)の矢印Z3における断面図であり、(B)は図3(B)の矢印Z4における断面図である。
砥石11は、円錐形状(円錐台形状)を有している円すいころ7の外周面8に押し付けられ、この外周面8を超仕上げ加工するために、円すいころ7との接触面(以下、砥石面11aという)の形状は、凹円弧形状となっている(図4、図5参照)。更に、図3(A)(B)に示すように、砥石11は円すいころ7の外周面8に沿って振動することから、砥石面11aは、円すいころ7の大径外周面41側と接触可能な部分(大径用部51)と、小径外周面42側と接触可能な部分(小径用部52)とで、前記凹円弧形状の半径が異なる。大径用部51の半径R1は、小径用部52の半径R2よりも大きくなっている(R1>R2)。
そして、図3(A)に示す、砥石11が大径外周面41側のストロークエンドへ移動した状態では、図4(A)(B)に示すように、大径用部51及び小径用部52の双方において砥石面11aが、円すいころ7の外周面8に面接触した状態にある。
これに対して、図3(B)に示す、砥石11が小径外周面42側のストロークエンドへ移動した状態では、図5(A)(B)に示すように、砥石面11aは円すいころ7の外周面8に面接触していない(線接触した状態となる)。
つまり、振動する砥石11が、円すいころ7の大径外周面41側へ移動すると、円すいころ7との接触面積が広くなり(図3(A)及び図4(A)(B)参照)、振動する砥石11が、小径外周面42側へ移動すると、円すいころ7との接触面積が狭くなる(図3(B)及び図5(A)(B)参照)。
これに対して、図3(B)に示す、砥石11が小径外周面42側のストロークエンドへ移動した状態では、図5(A)(B)に示すように、砥石面11aは円すいころ7の外周面8に面接触していない(線接触した状態となる)。
つまり、振動する砥石11が、円すいころ7の大径外周面41側へ移動すると、円すいころ7との接触面積が広くなり(図3(A)及び図4(A)(B)参照)、振動する砥石11が、小径外周面42側へ移動すると、円すいころ7との接触面積が狭くなる(図3(B)及び図5(A)(B)参照)。
制御部18の機能について説明する。
図6は、円すいころ7の外周面8に対する砥石11の移動軌跡K1を説明する図である。この図6では、円すいころ7の外周面8を平面に展開した一部を示しており、矢印Rは、外周面8の周方向に沿った方向を示しており、矢印Yは外周面8の母線方向、つまり振動方向を示している。図6の左側が大径外周面41側であり、図6の右側が小径外周面42側である。
図6は、円すいころ7の外周面8に対する砥石11の移動軌跡K1を説明する図である。この図6では、円すいころ7の外周面8を平面に展開した一部を示しており、矢印Rは、外周面8の周方向に沿った方向を示しており、矢印Yは外周面8の母線方向、つまり振動方向を示している。図6の左側が大径外周面41側であり、図6の右側が小径外周面42側である。
図6に示すように、砥石11は外周面8の母線(矢印Y)に平行な方向に沿って振動(往復移動)する。そして、円すいころ7は回転することから相対的に砥石11は矢印R方向に移動することとなる。
そこで、砥石11が小径外周面42側(図6の右側)へ移動しストロークエンドS1に達し反対方向へ移動する際の砥石11の移動速度(平均速度)V1は高いのに対して、これとは反対に、砥石11が大径外周面41側(図6の左側)へ移動しストロークエンドS2に達し反対方向へ移動する際の砥石11の移動速度(平均速度)V2は低い(V1>V2)。なお、前記移動速度V1,V2は、振動方向の速度である。
このため、砥石11が大径外周面41側を加工する状態(図3(A)参照)では、小径外周面42側を加工する状態(図3(B)参照)と比較すると、円すいころ7に対して砥石11は振動方向にゆっくりと進む。
そこで、砥石11が小径外周面42側(図6の右側)へ移動しストロークエンドS1に達し反対方向へ移動する際の砥石11の移動速度(平均速度)V1は高いのに対して、これとは反対に、砥石11が大径外周面41側(図6の左側)へ移動しストロークエンドS2に達し反対方向へ移動する際の砥石11の移動速度(平均速度)V2は低い(V1>V2)。なお、前記移動速度V1,V2は、振動方向の速度である。
このため、砥石11が大径外周面41側を加工する状態(図3(A)参照)では、小径外周面42側を加工する状態(図3(B)参照)と比較すると、円すいころ7に対して砥石11は振動方向にゆっくりと進む。
つまり、砥石11が大径外周面41側のストロークエンドS2を折り返す時間を、砥石11が小径外周面42側のストロークエンドS1を折り返す時間よりも長くして、砥石11を振動させている。
なお、図3及び図6において、両側のストロークエンドS1,S2間の距離を、砥石11の振動ストローク(全ストローク)Lと定義すると、前記「ストロークエンドS2を折り返す時間」は、ストロークエンドS2を中心としてその両側の前記振動ストロークLの10%の範囲(図6においてΔP1の範囲)を移動するために要する時間である。そして、前記移動速度V1を、このストローク範囲(ΔP1)における砥石11の振動方向の平均速度と定義することができる。
また、前記「ストロークエンドS1を折り返す時間」は、ストロークエンドS1を中心としてその両側の前記振動ストロークLの10%のストローク範囲(図6においてΔP2の範囲)を移動するために要する時間である。そして、前記移動速度V2を、このストローク範囲(ΔP2)における砥石11の振動方向の平均速度と定義することができる。なお、ストローク範囲についてΔP1=ΔP2である。
なお、図3及び図6において、両側のストロークエンドS1,S2間の距離を、砥石11の振動ストローク(全ストローク)Lと定義すると、前記「ストロークエンドS2を折り返す時間」は、ストロークエンドS2を中心としてその両側の前記振動ストロークLの10%の範囲(図6においてΔP1の範囲)を移動するために要する時間である。そして、前記移動速度V1を、このストローク範囲(ΔP1)における砥石11の振動方向の平均速度と定義することができる。
また、前記「ストロークエンドS1を折り返す時間」は、ストロークエンドS1を中心としてその両側の前記振動ストロークLの10%のストローク範囲(図6においてΔP2の範囲)を移動するために要する時間である。そして、前記移動速度V2を、このストローク範囲(ΔP2)における砥石11の振動方向の平均速度と定義することができる。なお、ストローク範囲についてΔP1=ΔP2である。
ここで、図7は、従来技術を示す説明図であり、砥石91(図8参照)の移動軌跡K2を示している。従来、砥石91を振動させる動力源となるモータ92は三相モータであり、このモータ92をインバータ制御して、円すいころ90の大径外周面90a側に沿って砥石91が移動する際の移動速度V2(図7参照)と、小径外周面90a側に沿って砥石91が移動する際の移動速度V1(図7参照)とを同じとしている。したがって、図7に示すように、従来の砥石91の移動軌跡K2は、単調なサインカーブを描く。
これに対して、本実施形態の加工装置10の場合、砥石11の移動軌跡K1は、図6に示すように、大径外周面41側で周期が長くなるようなサインカーブを描く。
これに対して、本実施形態の加工装置10の場合、砥石11の移動軌跡K1は、図6に示すように、大径外周面41側で周期が長くなるようなサインカーブを描く。
本実施形態のように、振動方向の砥石11の移動速度の調整(V1>V2)は、制御部18(図1参照)によって行われる。つまり、モータ20は砥石11を振動させるための駆動部として機能し、制御部18はこのモータ20の制御を行う。具体的に説明すると、モータ20はサーボモータであり、このモータ20の出力軸20aの回転と、砥石11の振動方向の位置とが対応付けられており、制御部18は、砥石11の振動方向の位置に応じてモータ20の回転速度を制御する。この結果、円すいころ7の外周面8の内の、小径外周面42側に沿って砥石11が移動する際には、モータ20の回転速度を高め、円すいころ7の外周面8の内の、大径外周面41側に沿って砥石11が移動する際には、モータ20の回転速度を低下させる制御を行う。これにより、図6に示す軌跡K1を描いて砥石11は振動することができる。
なお、モータ20は、サーボモータに限られるものではなく、リニアモータであってもよい。リニアモータの場合、リニアエンコーダ等の位置検出機構が共に設けられている必要がある。
なお、モータ20は、サーボモータに限られるものではなく、リニアモータであってもよい。リニアモータの場合、リニアエンコーダ等の位置検出機構が共に設けられている必要がある。
以上より、本実施形態の加工装置10により行われる円すいころ7の加工方法は、円錐に沿った外周面8を有する円すいころ7を一定速度で回転させ、この外周面8に対して砥石11を接触させた状態で、この砥石11を、外周面8に沿って、外周面8の母線に平行な方向に振動させる。そして、制御部18によって、円すいころ7の大径外周面41側に沿って砥石11が振動方向に移動する際の移動速度V2を、円すいころ7の小径外周面42側に沿って砥石11が振動方向に移動する際の移動速度V1よりも低くして(V1>V2)、砥石11を振動させるための制御が行われる。
前記のとおり、回転する円すいころ7の外周面8に対して砥石11を接触させた状態で、この砥石11を振動させ円すいころ7を加工するために、円すいころ7と接触する砥石面11aは凹円弧形状であり(図4、図5参照)、しかも、円すいころ7の大径外周面41側と接触可能な大径用部51と小径外周面42側と接触可能な小径用部52とで、凹円弧形状の半径が異なる。そして、振動する砥石11が、大径外周面41側へ移動すると(図3(A)参照)、円すいころ7との接触面積が広くなり(図4参照)、小径外周面42側へ移動すると(図3(B)参照)、円すいころ7との接触面積が狭くなる(図5参照)。
そこで、本実施形態では、砥石11と円すいころ7との間の接触面積が広くなる大径外周面41側に沿って砥石11が振動方向に移動する際の移動速度V1を低くする(小さくする)ことにより、砥石11と円すいころ7との間で接触面積が広くなっている状態の時間を長くすることができる。このように、砥石11と円すいころ7との間で接触面積が広くなっている状態の時間を長くすることにより、円すいころ7の加工が促進され、加工効率の向上が可能となる。
このように円すいころ7と砥石11との間の接触面積が広くなっている状態で、砥石11に穏やかな振動動作を行わせることで、円すいころ7への加工効率を向上させることができる。そして、円すいころ7の加工効率が向上することにより、加工時間の短縮化が可能となり円すいころ7の生産性が向上する。
なお、砥石11による円すいころ7の加工効率を向上させるための技術的手段として、円すいころ7の回転数を高める、砥石11の振動数を高める、円すいころ7に対する砥石11の接触圧を高めるという手段があり、これらの手段のうちの少なくとも一つと、前記実施形態(図6参照)で説明した大径外周面41側に沿って砥石11が振動方向に移動する際の移動速度V2を低くするという技術的手段とを組み合わせてもよい。
また、本発明の加工装置は、図示する形態に限らず本発明の範囲内において他の形態のものであってもよい。例えば、振動機構17は、図示した構成以外であってもよい。
また、前記実施形態では、超仕上げ加工を行う対象となるワークを、円すいころ7とする場合について説明したが、ワークはその他のものであってもよく、例えば、転がり軸受の外輪であってもよく、この場合、外輪の軌道面を超仕上げ加工する。
また、前記実施形態では、超仕上げ加工を行う対象となるワークを、円すいころ7とする場合について説明したが、ワークはその他のものであってもよく、例えば、転がり軸受の外輪であってもよく、この場合、外輪の軌道面を超仕上げ加工する。
7:円すいころ(ワーク) 8:外周面 10:加工装置
11:砥石 17:振動機構 18:制御部
20:モータ(駆動部) 30:回転機構 41:大径外周面
42:小径外周面 S1,S2:ストロークエンド V1,V2:移動速度
11:砥石 17:振動機構 18:制御部
20:モータ(駆動部) 30:回転機構 41:大径外周面
42:小径外周面 S1,S2:ストロークエンド V1,V2:移動速度
Claims (4)
- 円錐に沿った外周面を有するワークを回転させ、当該外周面に対して砥石を接触させた状態で、当該砥石を当該外周面に沿って当該外周面の母線に平行な方向に振動させて、当該ワークを加工する方法であって、
前記ワークの内の、径が大きい大径外周面側に沿って前記砥石が振動方向に移動する際の移動速度を、径が小さい小径外周面側に沿って前記砥石が振動方向に移動する際の移動速度よりも低くして、当該砥石を振動させる、加工方法。 - 前記砥石が前記大径外周面側のストロークエンドを折り返す時間を、当該砥石が前記小径外周面側のストロークエンドを折り返す時間よりも長くして、当該砥石を振動させる請求項1に記載の加工方法。
- 円錐に沿った外周面を有するワークを当該ワークの中心線回りに回転させる回転機構、前記外周面に接触させる砥石、及び、前記砥石を前記ワークの外周面に沿って当該外周面の母線に平行な方向に振動させる振動機構、を備え、
前記振動機構は、前記砥石を振動させる動力源となる駆動部と、当該駆動部の制御を行う制御部と、を有し、
前記制御部は、前記ワーク内の、径が大きい大径外周面側に沿って前記砥石が振動方向に移動する際の移動速度を、径が小さい小径外周面側に沿って前記砥石が振動方向に移動する際の移動速度よりも低くして、当該砥石を振動させるための制御を行う、加工装置。 - 前記駆動部は、サーボモータ又はリニアモータである請求項3に記載の加工装置。
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