JP2016136686A - フィルタ装置 - Google Patents

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Abstract

【課題】回路構成の簡略化、小型化及び低損失化を図るフィルタ装置を提供する。【解決手段】ローパスフィルタ4とハイパスフィルタ5とを直列に接続し、ローパスフィルタは、共振周波数及び反共振周波数を有する第1の音響共振子11a〜11cと、信号ラインとグラウンド電位との間に接続された第1のインダクタ12a、12bと、第1のインダクタに直列接続の第1の容量素子13a、13bとを有する。ハイパスフィルタは、第2のインダクタ21a、21bと、第2のインダクタに並列接続の第2の容量素子22a、22bと、第2の音響共振子23a〜23cとを有する。通過帯域の低域側に、第1の音響共振子11a〜11cの反共振周波数による第1の減衰域が設けられ、通過帯域の高域側に、第2の音響共振子23a〜23cの共振周波数による第2の減衰域が設けられている。【選択図】図1

Description

本発明は、通過帯域と複数の減衰帯域とを有するフィルタ装置に関する。
下記の特許文献1に記載のフィルタ装置では、LCフィルタに、SAW共振子が組み合わされている。SAW共振子によりトラップが設けられている。
他方、下記の特許文献2には、圧電体層にLiNbOを用いた弾性表面波装置が開示されている。圧電体層にLiNbOを用いた弾性表面波装置では、SH波の高次モードがスプリアスとなって通過帯域内に現れる旨が記載されている。そのため、損失が大きくなることが指摘されている。
特開2012−257050号公報 WO2007/097186 A1
例えば、特許文献1に記載のように、SAW共振子を用いて2つの周波数帯域でトラップを設ける必要がある場合には、トラップ回路をカスケード接続しなければならなかった。そのため、損失が大きくなり、かつフィルタ装置の寸法が大きくなりがちであった。
他方、特許文献2に記載のように、従来、SH波の高次モードは、損失を増大させるスプリアスとなることが知られていた。そのため、SH波の高次モードは抑制されるべきと考えられていた。
本発明の目的は、集中定数素子と、音響共振器とを組み合わせたフィルタ装置であって、回路構成の簡略化、フィルタ装置の小型化及び低損失化を図り得るフィルタ装置を提供することにある。
本発明に係るフィルタ装置では、入力端子と、出力端子と、前記入力端子と前記出力端子との間に接続されたローパスフィルタと、前記入力端子と前記出力端子との間において、前記ローパスフィルタと直列に接続されたハイパスフィルタとを備え、前記ローパスフィルタが、前記入力端子と前記出力端子とを結ぶ信号ラインに設けられており、共振周波数及び反共振周波数を有する第1の音響共振子と、前記信号ラインとグラウンド電位との間に接続された第1のインダクタと、前記第1のインダクタと直列に接続されており、前記第1のインダクタと共に第1のLC共振回路を構成している第1の容量素子と、を有し、前記ハイパスフィルタが、前記信号ラインに設けられた第2のインダクタと、前記第2のインダクタに並列に接続されており、前記第2のインダクタと共に第2のLC共振回路を構成している第2の容量素子と、前記信号ラインと前記グラウンド電位との間に接続されており、共振周波数及び反共振周波数を有する第2の音響共振子とを有し、通過帯域の低域側に、前記第1の音響共振子の反共振周波数による第1の減衰域が設けられ、通過帯域の高域側に、前記第2の音響共振子の共振周波数による第2の減衰域が設けられており、前記第1の減衰域よりも低周波数側に、前記第1のLC共振回路の共振周波数による第3の減衰域が設けられており、前記第2の減衰域よりも高域側に、前記第2のLC共振回路の共振周波数による第4の減衰域が設けられている。
本発明に係るフィルタ装置のある特定の局面では、前記第1の減衰域と前記第3の減衰域との間に第2の通過帯域が設けられている。この場合には、第1の通過帯域に加えて、第2の通過帯域を有するフィルタ装置を提供することができる。
本発明に係るフィルタ装置の他の特定の局面では、前記第2の減衰域と前記第4の減衰域との間に第3の通過帯域が設けられている。この場合には、さらに第3の通過帯域を有するフィルタ装置を提供することができる。
本発明に係るフィルタ装置の別の特定の局面では、前記第1の音響共振子が、弾性波共振子である。
本発明に係るフィルタ装置の他の特定の局面では、前記第1の音響共振子が、LiNbOからなる圧電体層と、該圧電体層の一面に設けられたIDT電極とを有する弾性表面波共振子である。この場合には、反共振周波数により高周波数側のロスを低減(容量のQが高いため)することができる。
本発明に係るフィルタ装置の他の特定の局面では、前記弾性波共振子のSH波による応答が前記第1の減衰域に位置している。この場合には、第1の音響共振子で構成されるトラップにおける減衰量を効果的に高めることができる。また、減衰帯域の幅を広げることが可能となる。さらに、回路数や共振子を増大させることなく減衰量を大きくすることができる。
本発明に係るフィルタ装置の別の特定の局面では、前記弾性波共振子のSH波の高調波によるスプリアスが、前記第2の減衰域に位置している。この場合には、SH波の高調波によるスプリアスを利用して第2の減衰域の減衰量をより効果的に大きくすることができる。すなわち、不必要であったSH波の高調波を利用して、第2の減衰域の減衰特性の改善を図ることが可能である。
本発明に係るフィルタ装置の他の特定の局面では、前記第2の音響共振子が、弾性波共振子である。
本発明に係るフィルタ装置の別の特定の局面では、前記第2の音響共振子が、LiTaOからなる圧電体層と、該圧電体層の一方面に設けられたIDT電極とを有する弾性表面波共振子である。この場合には、LiTaOはLiNbOよりも安価であるため、コストを低減することができる。また、LiTaOを用いた弾性表面波共振子では、共振周波数よりも低域側において不要波が生じ難く、損失も小さい。従って、安定な容量特性を利用することができる。よって、より一層の低損失化を図ることができる。
本発明によれば、4つの減衰域を有するフィルタ装置において、低損失化、小型化及び回路構成の簡略化を図ることが可能となる。
本発明の第1の実施形態に係るフィルタ装置の回路図である。 本発明の第1の実施形態のフィルタ装置のフィルタ特性を示す図である。 第1の音響共振子としてのLiNbOからなる圧電体層を有する弾性表面波共振子の略図的正面断面図である。 第2の音響共振子としてのLiTaOからなる圧電体層を有する弾性表面波共振子の略図的正面断面図である。 本発明の第1の実施形態において、第1の音響共振子としてのLiNbOからなる圧電体層を有する弾性表面波共振子のインピーダンス−周波数特性を示す図である。 本発明の第1の実施形態において、第2の音響共振子としてのLiTaOからなる圧電体層を有する弾性表面波共振子のインピーダンス−周波数特性を示す図である。 第1の実施形態のフィルタ特性において、第1,第2の音響共振子の共振周波数または反共振周波数と、減衰域との関係を示す図である。 本発明の第2の実施形態に係るフィルタ装置の回路図である。 本発明の第3の実施形態に係るフィルタ装置のフィルタ特性を示す図である。
以下、図面を参照しつつ、本発明の具体的な実施形態を説明することにより、本発明を明らかにする。
なお、本明細書に記載の各実施形態は、例示的なものであり、異なる実施形態間において、構成の部分的な置換または組み合わせが可能であることを指摘しておく。
図1は、本発明の第1の実施形態に係るフィルタ装置の回路図である。
フィルタ装置1は、入力端子2と出力端子3とを有する。入力端子2と出力端子3との間には、ローパスフィルタ4と、ハイパスフィルタ5とが直列に接続されている。
ローパスフィルタ4は、入力端子2と出力端子3とを結ぶ信号ラインに設けられた第1の音響共振子11a,11b,11cを有する。第1の音響共振子11a,11b,11cは、共振周波数及び反共振周波数を有する音響共振子である。本実施形態では、第1の音響共振子11a,11b,11cは、弾性表面波共振子からなる。
ローパスフィルタ4においては、第1の音響共振子11aと第1の音響共振子11bとの間の接続点と、グラウンド電位との間に、第1のインダクタ12aが接続されている。第1のインダクタ12aに直列に第1の容量素子13aが接続されている。第1の音響共振子11bと第1の音響共振子11cとの間の接続点と、グラウンド電位との間にも、第1のインダクタ12b及び第1の容量素子13bが接続されている。
他方、ハイパスフィルタ5は、信号ラインに設けられた第2のインダクタ21a,21bを有する。第2のインダクタ21a,21bに並列に、第2の容量素子22a,22bが接続されている。
他方、ハイパスフィルタ5においては、信号ラインとグラウンド電位との間に第2の音響共振子23a〜23cが設けられている。より具体的には、第2のインダクタ21aの入力端側と、グラウンド電位との間に、第2の音響共振子23aが接続されている。第2のインダクタ21aと第2のインダクタ21bとの間の接続点と、グラウンド電位との間に、第2の音響共振子23bが接続されている。第2のインダクタ21bの出力端と、グラウンド電位との間に、第2の音響共振子23cが接続されている。第2の音響共振子23a〜23cは、共振周波数及び反共振周波数を有する音響共振子であり、本実施形態では弾性表面波共振子からなる。
図2は、第1の実施形態のフィルタ装置1のフィルタ特性を示す図である。図2に示すように、第1〜第4の減衰域f1〜f4が設けられている。すなわち、通過帯域Pの低域側に、第1の減衰域f1が設けられており、通過帯域Pの高域側に第2の減衰域f2が設けられている。さらに、第1の減衰域f1よりも低周波数側に、第3の減衰域f3が設けられている。第2の減衰域f2よりも高域側に、第4の減衰域f4が設けられている。フィルタ装置1の特徴は、第1〜第4の減衰域f1〜f4が上記回路構成により設けられていることにある。
より具体的には、第1の音響共振子11a〜11cの反共振周波数が、第1の減衰域f1に位置しており、それによって、第1の減衰域f1における減衰量が確保されている。
他方、第2の音響共振子23a〜23cの共振周波数が、第2の減衰域f2に位置している。すなわち、第2の音響共振子23a〜23cにより、第2の減衰域f2における減衰量が十分大きくされている。
他方、第1のインダクタ12a,12bと、第1の容量素子13a,13bとで構成されるLC共振回路の共振周波数が第3の減衰域f3に位置している。
また、第2のインダクタ21a,21bと、第2の容量素子22a,22bとを有するLC共振回路の共振周波数が、第4の減衰域f4に位置している。それによって、第1の減衰域f1と第2の減衰域f2の間に通過帯域が形成されており、かつ上記第1〜第4の減衰域f1〜f4が形成されている。
さらに、本実施形態では、第1の音響共振子11a〜11cにおけるSH波の高次モードを利用して、第2の減衰域f2の減衰量がより一層高められている。これを、以下においてより詳細に説明する。
図3は、第1の音響共振子11aの略図的正面断面図である。第1の音響共振子11aは、圧電体層31と、圧電体層31の片面に設けられたIDT電極32とを有する。圧電体層31は、LiNbOからなる。特に図示はしないが、IDT電極32の弾性表面波伝搬方向両側に反射器が設けられている。それによって、入力と出力とをそれぞれ1つ有する弾性表面波共振子が構成されている。IDT電極32を覆うようにSiO膜33が設けられている。このSiO膜33によって、IDT電極32が保護されている。
第1の音響共振子11b,11cも第1の音響共振子11aと同様に構成されている。
図5は、この第1の音響共振子11aのインピーダンス−周波数特性を示す図である。LiNbOからなる圧電体層31を有するため、矢印Aで示すSH波の基本モードの応答に加え、矢印Bで示すSH波の高次モードによる応答が現れていることがわかる。SiO膜33の膜厚を変えることにより、矢印BのSH波の高次モードの周波数はシフトする。
第1の音響共振子11aの基本モードの反共振周波数のインピーダンス値を利用して、前述した第1の減衰域f1が設けられている。他方、矢印Bで示すSH波の高次モードは、従来、弾性波フィルタでは、特許文献2に記載のようにスプリアスとなるため、その抑制が図られていた。
これに対して、本実施形態では、上記矢印Bで示すSH波の高次モードが、第2の減衰域f2に位置している。そのため、第2の音響共振子23a〜23cの共振周波数における第2の音響共振子23a〜23cのインピーダンスによる弾性波フィルタの減衰量だけでなく、第1の音響共振子11a,11b,11cのSH波の高次モードの応答によっても、弾性波フィルタの減衰量が大きくされている。
SH波の高次モードを利用することにより減衰量の拡大を図ることができるので、回路の次数や共振器の数を増やすことなく、減衰量を大きくすることができる。よって、小型化及び低損失化を進めることができる。
なお、第1の音響共振子11a〜11cにおける周波数特性の調整は、IDT電極の材料及び膜厚で調整することができる。すなわち、SH波の基本モードと高次モードとの周波数間隔についても、IDT電極の材料や膜厚で調整することができる。さらに、圧電体層31上に、SiOなどの誘電体層を形成し、その誘電体層の膜厚によっても、高次モードのレベルの大きさ等を調整することができる。具体的には、誘電体層を厚くすれば、高次モードのレベルを高めることができる。よって、図5に示したように、第1,第2の減衰域f1,f2に、それぞれ、SH波の基本モード及び高次モードを位置させることができる。
図4は、第2の音響共振子23aを示す略図的正面断面図である。第2の音響共振子23b,23cは第2の音響共振子23aと同様に構成されている。
図4に示すように、圧電体層34上に、IDT電極35が形成されている。圧電体層34はLiTaOからなる。IDT電極35を覆うようにSiO膜36が設けられている。
LiTaOを圧電体層として用いた第2の音響共振子23aのインピーダンス−周波数特性を図6に示す。図6から明らかなように、LiTaOを圧電体層として用いた第2の音響共振子23aでは、SH波の基本モードの応答が現れるが、高次モードによる応答は観察されないことがわかる。この第2の音響共振子23aの共振周波数が、前述したように第2の減衰域f2を構成している。
第1,第2の音響共振子11a〜11c,23a〜23cのインピーダンス−周波数特性と、上記フィルタ特性との関係を、図7を参照して説明する。
図7のD−Eは、図5のD−Eで示す周波数域に相当する。すなわち、Dは反共振周波数における周波数位置を示す。EはSH波の高次モードにおける反共振周波数の周波数位置を示す。
他方、図7のFは、図6のFの周波数位置を示す。すなわち、Fは、第2の音響共振子23aの共振周波数の周波数位置を示す。
図7から明らかなように、第1の音響共振子11a〜11cにより、第1の減衰域f1が形成される。第2の減衰域f2は、第2の音響共振子23aの共振周波数のインピーダンスと、図5に示した第1の音響共振子11aのSH波の高次モードの反共振周波数のインピーダンスとにより実現される。
よって、本実施形態のフィルタ装置1では、例えば、ミドルバンドセルラー帯(1710〜2170MHz)を通過帯域とする携帯電話機用のフィルタとして好適に用いられる。セルラーバンドのセルラー帯のすぐ低域側には、GPS帯(1559〜1608MHz)が位置し、すぐ高域側にはISM2.4GHz帯(2400〜2483MHz)が存在する。GPS帯よりも低い周波数域に、ローバンドセルラー帯(699〜960MHz)が存在し、ISM2.4GHz帯よりも高域側に、WLAN(IEEE802.11a)の通信帯域(5150〜5850MHz)が存在する。フィルタ装置1によれば、第1の減衰域f1及び第2の減衰域f2により、GPS帯のトラップ及びISM2.4GHz帯の信号を減衰させるトラップを形成することができる。また、上記第3の減衰域f3及び第4の減衰域f4により、上記ローバンドセルラー帯及びWLAN帯を減衰域とすることができる。
図8は、第2の実施形態のフィルタ装置41を示す回路図である。フィルタ装置41では、ローパスフィルタ4において、第1の容量素子13a,13bに代えて音響共振子42a,42bが用いられている。また、ハイパスフィルタ5においては、第2の容量素子22a,22bに代えて、音響共振子43a,43bが用いられている。第2の実施形態のフィルタ装置41のその他の構成は第1の実施形態のフィルタ装置1と同様である。従って、同一部分については、同一の参照番号を付することにより、第1の実施形態の説明を援用することとする。
音響共振子42a,42bは、共振周波数と反共振周波数とを有する音響共振子であり、音響共振子42a,42bは、共振周波数及び反共振周波数以外の周波数帯域における音響共振子42a,42bが有する容量により、第1の容量素子として用いられている。この音響共振子42a,42bの容量と第1のインダクタ12a,12bとによる第1のLC共振の共振周波数により、第3の減衰域f3が構成されている。また、音響共振子42a,42bの共振周波数は、第2の音響共振子23a〜23cと同様に、第2の減衰域f2に位置している。従って、第2の減衰域f2における減衰量をより一層大きくすることができる。
同様に、第2の容量素子としての音響共振子43a,43bの反共振周波数は、第1の音響共振子11a〜11cと同様に、第1の減衰域に位置している。従って、第1の減衰域f1における減衰量をより一層大きくすることが可能とされている。
音響共振子43a,43bの容量と、第2のインダクタ21a,21bとのLC共振子の共振周波数が、第4の減衰域f4に位置している。
フィルタ装置41のように第1,第2の容量素子を、共振周波数と反共振周波数とを有する音響共振子で構成してもよい。それによって、上記のように、減衰域の減衰量の拡大をより一層図ることができる。もっとも、素子構造の簡略化を果たすには、第1,第2の容量素子は、共振子でなく、コンデンサにより構成することが望ましい。
なお、フィルタ装置1では、第1の音響共振子11a〜11cがLiNbO基板を用いて、第2の音響共振子23a〜23cがLiTaOを用いて構成されていた。しかし、本発明は、この組み合わせに限定されるものではない。すなわち、第2の音響共振子23a〜23cにおいて、SH波の高次モードが現れることを許容すれば、第2の音響共振子23a〜23cも、LiNbOを用いて構成してもよい。その場合には、第1の音響共振子11a〜11cと第2の音響共振子23a〜23cとLiNbO基板を用いて構成することができる。
また、第1の音響共振子11a〜11cをLiTaOからなる圧電体層を用いて形成してもよい。その場合には、SH波による減衰量の拡大を図ることはできない。もっとも、第1の音響共振子11a〜11cと、第2の音響共振子23a〜23cを、全ての音響共振子を単一の圧電体層を用いて構成することができる。
圧電体層の材料にLiTaOを用いた場合、圧電体層の材料にLiNbOを用いた場合に比べて安価であるため、フィルタ装置のコストの低減を図ることができる。また、LiTaOからなる圧電体層に設けられる第1の音響共振子11a〜11cの共振周波数よりも低域側においては、不要波が生じ難い。従って、比較的安定な容量特性を有するため、フィルタ装置1の低損失化を図ることができる。
なお、第1及び第2の実施形態では、第1の音響共振子11a〜11c及び第2の音響共振子23a〜23cを用いたが、第1,第2の音響共振子の数は特に限定されない。同様に、第1のインダクタ12a,12b、第1の容量素子13a,13b、第2のインダクタ21a,21b及び第2の容量素子22a,22bの数についても特に限定されない。
なお、第1の音響共振子11a〜11c及び第2の音響共振子23a〜23cとして、弾性表面波共振子以外の弾性波共振子を用いてもよい。例えば、弾性境界波共振子を用いてもよい。また、シリコンウェハ等の担体の一部に圧電体層が薄膜形成された圧電薄膜を伝搬するバルク波を利用した圧電薄膜共振子を用いてもよい。さらに、単板型あるいは積層型の圧電共振子のような様々な圧電共振子を用いてもよい。
また、フィルタ装置1では、1つの通過帯域と、4つの減衰域f1〜f4が形成されていたが、図9に示す第3の実施形態としてのフィルタ装置のフィルタ特性のように、第1〜第3の通過帯域P1〜P3を設けてもよい。すなわち、第1の減衰域f1と第3の減衰域f3との間に第2の通過帯域P2を設け、第1の減衰域f1と第2の減衰域f2との間に第1の通過帯域P1を配置してもよい。さらに、第2の減衰域f2の高域側に第3の通過帯域P3を設けてもよい。
1…フィルタ装置
2…入力端子
3…出力端子
4…ローパスフィルタ
5…ハイパスフィルタ
11a〜11c…第1の音響共振子
12a,12b…第1のインダクタ
13a,13b…第1の容量素子
21a,21b…第2のインダクタ
22a,22b…第2の容量素子
23a〜23c…第2の音響共振子
31…圧電体層
32…IDT電極
33…SiO
34…圧電体層
35…IDT電極
36…SiO
41…フィルタ装置
42a,42b,43a,43b…音響共振子
f1〜f4…第1〜第4の減衰域
P1〜P3…第1〜第3の通過帯域

Claims (9)

  1. 入力端子と、
    出力端子と、
    前記入力端子と前記出力端子との間に接続されたローパスフィルタと、
    前記入力端子と前記出力端子との間において、前記ローパスフィルタと直列に接続されたハイパスフィルタとを備え、
    前記ローパスフィルタが、前記入力端子と前記出力端子とを結ぶ信号ラインに設けられており、共振周波数及び反共振周波数を有する第1の音響共振子と、前記信号ラインとグラウンド電位との間に接続された第1のインダクタと、前記第1のインダクタと直列に接続されており、前記第1のインダクタと共に第1のLC共振回路を構成している第1の容量素子と、
    を有し、
    前記ハイパスフィルタが、前記信号ラインに設けられた第2のインダクタと、前記第2のインダクタに並列に接続されており、前記第2のインダクタと共に第2のLC共振回路を構成している第2の容量素子と、前記信号ラインと前記グラウンド電位との間に接続されており、共振周波数及び反共振周波数を有する第2の音響共振子とを有し、通過帯域の低域側に、前記第1の音響共振子の反共振周波数による第1の減衰域が設けられ、通過帯域の高域側に、前記第2の音響共振子の共振周波数による第2の減衰域が設けられており、
    前記第1の減衰域よりも低周波数側に、前記第1のLC共振回路の共振周波数による第3の減衰域が設けられており、
    前記第2の減衰域よりも高域側に、前記第2のLC共振回路の共振周波数による第4の減衰域が設けられている、フィルタ装置。
  2. 前記第1の減衰域と前記第3の減衰域との間に第2の通過帯域が設けられている、請求項1に記載のフィルタ装置。
  3. 前記第2の減衰域と前記第4の減衰域との間に第3の通過帯域が設けられている、請求項1または2に記載のフィルタ装置。
  4. 前記第1の音響共振子が、弾性波共振子である、請求項1〜3のいずれか1項に記載のフィルタ装置。
  5. 前記第1の音響共振子が、LiNbOからなる圧電体層と、該圧電体層の一面に設けられたIDT電極とを有する弾性表面波共振子である、請求項4に記載のフィルタ装置。
  6. 前記弾性波共振子のSH波による応答が前記第1の減衰域に位置している、請求項5に記載のフィルタ装置。
  7. 前記弾性波共振子のSH波の高調波によるスプリアスが、前記第2の減衰域に位置している、請求項5に記載のフィルタ装置。
  8. 前記第2の音響共振子が、弾性波共振子である、請求項1〜7のいずれか1項に記載のフィルタ装置。
  9. 前記第2の音響共振子が、LiTaOからなる圧電体層と、該圧電体層の一方面に設けられたIDT電極とを有する弾性表面波共振子である、請求項8に記載のフィルタ装置。
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