JP2016134565A - 半導体装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】移動度をより向上させることが可能な半導体装置を提供する。
【解決手段】半導体装置1は、基板上に設けられた第1半導体層11と、前記第1半導体層上に設けられ、炭素がドープされた窒化物半導体を含む第2半導体層12と、前記第2半導体層上に設けられ、インジウムがドープされた窒化物半導体を含む第3半導体層13と、前記第3半導体層上に設けられ、前記第3半導体層よりバンドギャップが大きい窒化物半導体を含む第4半導体層14とを含む。第3半導体層13のインジウム濃度は、1×1018cm−3より大きくかつ1×1019cm−3より小さい。
【選択図】図1
【解決手段】半導体装置1は、基板上に設けられた第1半導体層11と、前記第1半導体層上に設けられ、炭素がドープされた窒化物半導体を含む第2半導体層12と、前記第2半導体層上に設けられ、インジウムがドープされた窒化物半導体を含む第3半導体層13と、前記第3半導体層上に設けられ、前記第3半導体層よりバンドギャップが大きい窒化物半導体を含む第4半導体層14とを含む。第3半導体層13のインジウム濃度は、1×1018cm−3より大きくかつ1×1019cm−3より小さい。
【選択図】図1
Description
本発明の実施形態は、半導体装置に係り、化合物半導体を用いた半導体装置に関する。
スイッチング電源やインバータなどの回路には、スイッチング素子やダイオードなどのパワー半導体素子が用いられ、そのパワー半導体素子には、高耐圧及び低オン抵抗が求められる。耐圧とオン抵抗との間には、素子材料で決まるトレードオフの関係があるが、窒化物半導体や炭化シリコン(SiC)などのワイドバンドギャップ半導体を素子材料として用いることで、シリコンに比べて、材料で決まるトレードオフ関係を改善でき、高耐圧化及び低オン抵抗化が可能である。
GaNやAlGaNなどの窒化物半導体を用いた素子は優れた材料特性を持っているため、高性能なパワー半導体素子を実現できる。特に、AlGaN/GaNのヘテロ構造を有するHEMT(High Electron Mobility Transistor)では、AlGaN層とGaN層との界面に、分極による高濃度の2次元電子ガスが発生するために、低オン抵抗が実現できる。
実施形態は、移動度をより向上させるとともに、電流コラプスをより低減することが可能な半導体装置を提供する。
実施形態に係る半導体装置は、基板上に設けられた第1半導体層と、前記第1半導体層上に設けられ、炭素がドープされた窒化物半導体を含む第2半導体層と、前記第2半導体層上に設けられ、インジウムがドープされた窒化物半導体を含む第3半導体層と、前記第3半導体層上に設けられ、前記第3半導体層よりバンドギャップが大きい窒化物半導体を含む第4半導体層とを具備する。前記第3半導体層のインジウム濃度は、1×1018cm−3より大きくかつ1×1019cm−3より小さい。
以下、実施形態について図面を参照して説明する。ただし、図面は模式的または概念的なものであり、各図面の寸法および比率などは必ずしも現実のものと同一とは限らない。以下に示す幾つかの実施形態は、本発明の技術思想を具体化するための装置および方法を例示したものであって、構成部品の形状、構造、配置などによって、本発明の技術思想が特定されるものではない。なお、以下の説明において、同一の機能及び構成を有する要素については、同一符号を付し、重複説明は必要な場合にのみ行う。
図1は、実施形態に係る半導体装置1の断面図である。半導体装置1は、化合物としての窒化物半導体を用いた窒化物半導体装置である。また、半導体装置1は、電界効果トランジスタ(FET)であり、具体的には、高電子移動度トランジスタ(HEMT:High Electron Mobility Transistor)である。
基板10は、例えば、(111)面を主面とするシリコン(Si)基板から構成される。基板10としては、炭化シリコン(SiC)、窒化ガリウム(GaN)、ガリウムリン(GaP)、インジウムリン(InP)、ガリウム砒素(GaAs)、又はサファイア(Al2O3)などを用いても良い。また、基板10として、絶縁層を含む基板を用いることもできる。例えば、基板10としては、SOI(Silicon On Insulator)基板を用いることができる。
バッファ層11は、基板10上に設けられる。バッファ層11は、バッファ層11上に形成される窒化物半導体層の格子定数と、基板10の格子定数との相違によって生じる歪みを緩和するとともに、バッファ層11上に形成される窒化物半導体層の結晶性を制御する機能を有する。バッファ層11は、例えば、AlXGa1−XN(0≦X≦1)から構成される。
バッファ層11は、組成比が異なる複数のAlXGa1−XNを積層して構成しても良い。バッファ層11を積層構造で構成する場合、この積層構造に含まれる複数の層の格子定数が、バッファ層11を挟む上下の層のうち下層の格子定数から上層の格子定数に向かって変化するように、積層構造の組成比を調整する。本実施形態では、図1に示すように、バッファ層11は、例えば、AlGaN層11Aと、アンドープのGaN層11Bとの積層構造から構成される。アンドープとは、意図的に不純物をドープしないことをいい、例えば、製造過程等で入り込む程度の不純物量はアンドープの範疇である。GaN層11Bの厚さは、例えば1μm程度である。
高抵抗層12は、バッファ層11上に設けられる。高抵抗層12は、半導体装置1の耐圧を向上させる機能を有する。すなわち、高抵抗層12を設けることで、高抵抗層12の抵抗に応じた電圧が高抵抗層12に印加されるため、この電圧分だけ耐圧を向上できる。高抵抗層12の抵抗は、バッファ層11の抵抗より大きく設定される。高抵抗層12は、炭素(C)がドープされたAlXInYGa1−(X+Y)N(0≦X<1、0≦Y<1、0≦X+Y<1)から構成される。本実施形態では、高抵抗層12は、例えば、炭素(C)がドープされたGaN(C−GaN)から構成される。高抵抗層12の厚さは、例えば2μm程度である。高抵抗層12の抵抗は、半導体装置1に望まれる耐圧に応じて適宜設定される。
チャネル層13は、高抵抗層12上に設けられる。チャネル層13は、トランジスタのチャネル(電流経路)が形成される層である。チャネル層13は、結晶性が良好な(高品質な)窒化物半導体から構成される。チャネル層13の具体的な構成については後述する。
バリア層14は、チャネル層13上に設けられる。バリア層14は、AlXInYGa1−(X+Y)N(0≦X<1、0≦Y<1、0≦X+Y<1)から構成される。バリア層14は、チャネル層13のバンドギャップより大きい窒化物半導体から構成される。本実施形態では、バリア層14は、例えば、アンドープのAlGaNから構成される。バリア層14としてのAlGaN層におけるAlの組成比は、例えば0.2程度である。バリア層14の厚さは、例えば30nm程度である。
なお、半導体装置1を構成する複数の半導体層は、例えばMOCVD(Metal Organic Chemical Vapor Deposition)法を用いたエピタキシャル成長により順次形成される。すなわち、半導体装置1を構成する複数の半導体層は、エピタキシャル層から構成される。
バリア層14上には、互いに離間してソース電極15及びドレイン電極16が設けられる。さらに、バリア層14上かつソース電極15及びドレイン電極16間には、ソース電極15及びドレイン電極16に離間してゲート電極17が設けられる。
ゲート電極17とバリア層14とは、ショットキー接合している。すなわち、ゲート電極17は、バリア層14とショットキー接合する材料を含むように構成される。図1に示した半導体装置1は、ショットキー障壁型HEMTである。ゲート電極17としては、例えば、Au/Niの積層構造が用いられる。“/”の左側が上層、右側が下層を表している。なお、半導体装置1は、ショットキー障壁型HEMTに限定されず、バリア層14とゲート電極17との間にゲート絶縁膜を介在させたMIS(Metal Insulator Semiconductor)型HEMTであっても良い。
ソース電極15とバリア層14とは、オーミック接触している。同様に、ドレイン電極16とバリア層14とは、オーミック接触している。すなわち、ソース電極15及びドレイン電極16の各々は、バリア層14とオーミック接触する材料を含むように構成される。ソース電極15及びドレイン電極16としては、例えば、Al/Tiの積層構造が用いられる。
チャネル層13とバリア層14とのヘテロ接合構造において、バリア層14の方がチャネル層13よりも格子定数が小さいことから、バリア層14に歪みが生じる。この歪みに起因するピエゾ効果によりバリア層14内にピエゾ分極が生じ、チャネル層13とバリア層14との界面付近に2次元電子ガス(2DEG:two-dimensional electron gas)が発生する。この2次元電子ガスが、ソース電極15及びドレイン電極16間のチャネルとなる。そして、ゲート電極17とバリア層14との接合によって生じるショットキー障壁により、ドレイン電流の制御が可能となる。また、2次元電子ガスが高い電子移動度を持つため、半導体装置1は、非常に速いスイッチング動作が可能となる。
上記のようにして、半導体装置1が構成される。半導体装置1は、例えばノーマリーオン型である。半導体装置1のオン時には、例えば、ゲート電極17に0V、ソース電極15に0V、ドレイン電極16に高電圧(例えば200V)が印加される。この時、ドレイン電極16及びソース電極15間には、チャネル層13に形成されたチャネルを介してドレイン電流が流れる。
半導体装置1のオフ時には、例えば、ゲート電極17に負電圧(例えば−15V)、ソース電極15に0V、ドレイン電極16に200Vが印加される。この時、ゲート電極17の下に伸びる空乏層の厚さが制御され、ドレイン電流が遮断される。
(チャネル層13の構成)
次に、チャネル層13の具体的な構成について説明する。チャネル層13は、GaN(窒化ガリウム)から構成される。チャネル層13の厚さは、例えば1μm程度である。さらに、チャネル層13としてのGaN層には、インジウム(In)がドープされる。インジウム(In)がドープされたGaN層(In−GaN層)において、そのインジウム濃度は、1×1018cm−3より大きくかつ1×1019cm−3より小さくなるように設定される。インジウム濃度を上記条件に設定することで、チャネル層13の結晶性が劣化するのを抑制することができる。
次に、チャネル層13の具体的な構成について説明する。チャネル層13は、GaN(窒化ガリウム)から構成される。チャネル層13の厚さは、例えば1μm程度である。さらに、チャネル層13としてのGaN層には、インジウム(In)がドープされる。インジウム(In)がドープされたGaN層(In−GaN層)において、そのインジウム濃度は、1×1018cm−3より大きくかつ1×1019cm−3より小さくなるように設定される。インジウム濃度を上記条件に設定することで、チャネル層13の結晶性が劣化するのを抑制することができる。
MOCVD法で、GaN材料をエピタキシャル成長させる際、Ga原料としてトリメチルガリウム(TMGa)の炭素分子が結晶に入ることにより、結晶内の不純物濃度が増え、バンドギャップ中のトラップ密度が高くなる。なお、成長速度が速いほど、TMGaの流量が増え、炭素不純物による結晶性の劣化が著しくなる。一方、GaNを成長させる際にインジウム(In)をドープすることにより、結晶内の炭素濃度が低下し、これにより、結晶の表面平坦性が向上する。
本実施形態では、結晶内の炭素不純物を低減するために、チャネル層13にインジウム(In)をドープする。これにより、チャネル層13の炭素濃度を低減することができる。具体的には、チャネル層13の炭素濃度は、1×1018cm−3以下に設定される。
以上詳述したように本実施形態によれば、チャネル層13にインジウム(In)をドープすることで、チャネル層13の炭素濃度を低減できる。これにより、チャネル層13の結晶性が劣化するのを抑制することができる。結果として、半導体装置1の移動度をより向上させることができる。
また、チャネル層13の不純物濃度(すなわち、炭素濃度)が低減されるため、バンドギャップ中のトラップが低減できる。これにより、電流コラプス現象(動作時にドレイン電流が低下する現象)をより低減することができ、また、チャネル層13の耐圧を向上させることができる。これにより、半導体装置1の動作特性を向上させることができる。
本願明細書において、「積層」とは、互いに接して重ねられる場合の他に、間に他の層が挿入されて重ねられる場合も含む。また、「上に設けられる」とは、直接接して設けられる場合の他に、間に他の層が挿入されて設けられる場合も含む。
本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。
1…半導体装置、10…基板、11…バッファ層、12…高抵抗層、13…チャネル層、14…バリア層、15…ソース電極、16…ドレイン電極、17…ゲート電極
Claims (4)
- 基板上に設けられた第1半導体層と、
前記第1半導体層上に設けられ、炭素がドープされた窒化物半導体を含む第2半導体層と、
前記第2半導体層上に設けられ、インジウムがドープされた窒化物半導体を含む第3半導体層と、
前記第3半導体層上に設けられ、前記第3半導体層よりバンドギャップが大きい窒化物半導体を含む第4半導体層と、
を具備し、
前記第3半導体層のインジウム濃度は、1×1018cm−3より大きくかつ1×1019cm−3より小さいことを特徴とする半導体装置。 - 前記第3半導体層の炭素濃度は、1×1018cm−3以下であることを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。
- 前記第3半導体層は、GaNからなる窒化物半導体を含むことを特徴とする請求項1又は2に記載の半導体装置。
- 前記第2半導体層は、AlXInYGa1−(X+Y)N(0≦X<1、0≦Y<1、0≦X+Y<1)からなる窒化物半導体を含むことを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の半導体装置。
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