JP2016134542A - レーザアニール装置 - Google Patents
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Abstract
Description
パルスレーザビームを出力するレーザ光源と、
前記レーザ光源から出力された前記パルスレーザビームの経路上に配置され、前記パルスレーザビームのビーム断面を矩形に整形する第1のアパーチャと、
加工対象物を保持するステージと、
前記第1のアパーチャの透過領域を前記加工対象物の表面に結像させる結像光学系と、
前記第1のアパーチャから前記加工対象物までの前記パルスレーザビームの経路上に配置され、矩形の透過領域を有する第2のアパーチャと
を有し、
前記第2のアパーチャの透過領域が、前記第1のアパーチャで回折した0次以外の1つの高次回折光によって形成される環状の明部の内側の縁を含み、外側の縁よりも内側に配置されることにより、前記明部の一部分が遮光されているレーザアニール装置が提供される。
10A 第1の表面
10B 第2の表面
11 ガードリング
12 絶縁膜
13 ショットキ電極
14 表面電極
15 素子構造
16 金属膜
17 金属シリサイド膜
18 基板
19 パルスレーザビーム
20 レーザ光源
22 パワー調整器
25 第1のアパーチャ
26 結像光学系
27 第2のアパーチャ
28 折り返しミラー
30 ステージ
31 移動機構
32 基台
35 入射領域
37 主走査方向
38 副走査方向
40 制御装置
50 0次回折光による明部
51 1次回折光による明部
52 2次回折光による明部
55 凹部
221 半波長板
222 ビームスプリッタ
223 四分の一波長板
224、225 ビームダンパ
251 第1のアパーチャの透過領域
261 コリメートレンズ
262 対物レンズ
271 第2のアパーチャの透過領域
351、352、353、354 入射領域
Claims (5)
- パルスレーザビームを出力するレーザ光源と、
前記レーザ光源から出力された前記パルスレーザビームの経路上に配置され、前記パルスレーザビームのビーム断面を矩形に整形する第1のアパーチャと、
加工対象物を保持するステージと、
前記第1のアパーチャの透過領域を前記加工対象物の表面に結像させる結像光学系と、
前記第1のアパーチャから前記加工対象物までの前記パルスレーザビームの経路上に配置され、矩形の透過領域を有する第2のアパーチャと
を有し、
前記第2のアパーチャの透過領域が、前記第1のアパーチャで回折した0次以外の1つの高次回折光によって形成される環状の明部の内側の縁を含み、外側の縁よりも内側に配置されることにより、前記明部の一部分が遮光されているレーザアニール装置。 - 一部分が遮光されている前記明部は、1次回折光または2次回折光によるものである請求項1に記載のレーザアニール装置。
- 前記明部を通過する前記パルスレーザビームの光エネルギのうち30%以上70%以下の光エネルギが前記第2のアパーチャによって遮光される請求項1または2に記載のレーザアニール装置。
- 前記結像光学系は、
前記第1のアパーチャを透過した前記パルスレーザビームをコリメートするコリメートレンズと、
前記コリメートレンズでコリメートされた前記パルスレーザビームを収束する対物レンズと
を含み、
前記第2のアパーチャは、前記コリメートレンズと前記対物レンズとの間の前記パルスレーザビームの経路上に配置されている請求項1乃至3のいずれか1項に記載のレーザアニール装置。 - さらに、
前記加工対象物の表面において前記パルスレーザビームの入射領域が移動するように前記パルスレーザビームの経路及び前記ステージの一方を他方に対して移動させる移動機構と、
前記レーザ光源及び前記移動機構を制御する制御装置と
を有し、
前記制御装置は、前記加工対象物の表面に形成される前記第1のアパーチャの矩形の像の1つの辺に平行な方向に前記加工対象物を移動させながら、前記レーザ光源から前記パルスレーザビームを出力することにより、レーザアニールを行う請求項1乃至4のいずれか1項に記載のレーザアニール装置。
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