JP2016134461A - プラズマ処理方法およびプラズマ処理装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】真空容器内部の処理室内に配置された試料台上に処理対象のウエハを配置し、前記処理室内にプラズマ形成用の第1の高周波電力による電界を供給してプラズマを形成し、前記試料台内部に配置された電極にバイアス電位形成用の第2の高周波電力を供給して前記ウエハ上面の膜を処理するプラズマ処理方法であって、前記第1及び第2の高周波電力のうち少なくとも何れかは、各々所定の期間だけ所定の複数の振幅になる変化を所定の周期で繰り返すものであり、前記膜の処理中に、前記少なくとも何れかの高周波電力の前記周期、前記期間の比率及び振幅のうちで前記振幅の所定の大きさを最後に増加させる、または前記振幅の所定の大きさを最初に減少させて当該高周波電力の供給を変化させる工程を備えたプラズマ処理方法。
【選択図】 図2
Description
202…ターボ分子ポンプ
203…ソース電源
204…ソース整合器
205…バイアス電源
206…バイアス整合器
207…制御器
208…パルス発生器
209…平板アンテナ
210…シャワープレート
211…処理台
212…ガス導入口
213…コイル
214…ウエハ
215…プラズマ。
Claims (8)
- 真空容器内部の処理室内に配置された試料台上に処理対象のウエハを配置し、前記処理室内にプラズマ形成用の第1の高周波電力による電界を供給してプラズマを形成し、前記試料台内部に配置された電極にバイアス電位形成用の第2の高周波電力を供給して前記ウエハ上面の膜を処理するプラズマ処理方法であって、
前記第1及び第2の高周波電力のうち少なくとも何れかは、各々所定の期間だけ所定の複数の振幅になる変化を所定の周期で繰り返すものであり、
前記膜の処理中に、前記少なくとも何れかの高周波電力の前記周期、前記期間の比率及び振幅のうちで前記振幅の所定の大きさを最後に増加させる、または前記振幅の所定の大きさを最初に減少させて当該高周波電力の供給を変化させる工程を備えたプラズマ処理方法。
- 請求項1に記載のプラズマ処理方法であって、
前記工程において前記少なくとも何れかの高周波電力の前記周期、比率のうち先に何れか一方を減少させ後に他方を増大させるプラズマ処理方法。
- 請求項1に記載のプラズマ処理方法であって、
前記工程において前記少なくとも何れかの高周波電力の前記周期を増大させて後に前記比率を増大させるプラズマ処理方法。
- 請求項1に記載のプラズマ処理方法であって、
前記工程において前記少なくとも何れかの高周波電力の前記比率を減少させて後に前記周期を減少させるプラズマ処理方法。
- 真空容器内部に配置された処理室と、この処理室内に配置され上面に処理対象のウエハが配置される試料台とを備え、前記処理室内にプラズマ形成用の第1の高周波電力による電界を供給してプラズマを形成し、前記試料台内部に配置された電極にバイアス電位形成用の第2の高周波電力を供給して前記ウエハ上面の膜を処理するプラズマ処理装置であって、
前記第1及び第2の高周波電力のうち少なくとも何れかは、各々所定の期間だけ所定の複数の振幅になる変化を所定の周期で繰り返すものであり、
前記膜の処理中に、前記少なくとも何れかの高周波電力の前記周期、前記期間の比率及び振幅のうちで前記振幅の所定の大きさを最後に増加させる、または前記振幅の所定の大きさを最初に減少させて当該高周波電力の供給を変化させる制御部を備えたプラズマ処理装置。
- 請求項5に記載のプラズマ処理装置であって、
前記制御部が前記少なくとも何れかの高周波電力の前記周期、比率のうち先に何れか一方を減少させ後に他方を増大させるプラズマ処理装置。
- 請求項5に記載のプラズマ処理装置であって、
前記制御部が前記少なくとも何れかの高周波電力の前記周期を増大させて後に前記比率を増大させるプラズマ処理装置。
- 請求項5に記載のプラズマ処理装置であって、
前記制御部が前記少なくとも何れかの高周波電力の前記比率を減少させて後に前記周期を減少させるプラズマ処理装置。
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