JP2016132045A - 加工装置 - Google Patents
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Abstract
Description
4 基台
4a 開口
6 チャックテーブル
6a 保持面
8 X軸移動機構(チャックテーブル移動手段)
10 防塵防滴カバー
12 X軸移動テーブル
14 ナット部
16 X軸ボールネジ
18 支持構造
18a 脚部
18b 梁部
20 YZ軸移動機構
22 Y軸ガイドレール
24 Y軸移動プレート
26 Y軸ボールネジ
28 Y軸パルスモータ
30 Z軸ガイドレール
32 Z軸移動プレート
34 Z軸ボールネジ
36 Z軸パルスモータ
38 旋削ユニット(加工手段、旋削加工手段)
40 スピンドルハウジング
42 回転スピンドル
44 ホイールマウント
46 旋削ホイール(加工工具)
46a ホイール基台
46b バイト(切り刃)
48 加工液供給ユニット
50 洗浄ユニット(洗浄手段)
52 洗浄ノズル
54 洗浄液供給経路
56 洗浄液供給源
58 気体供給経路
60 気体供給源
62 支持構造
64 ハイトゲージ
66 本体部
66a 混合流体噴射口
68 支持部
11 被加工物
F 混合流体
Claims (3)
- 板状の被加工物に加工を施す加工装置であって、
被加工物を搬入又は搬出する搬入搬出領域と被加工物を加工する加工領域との間を移動可能に構成され被加工物を保持する保持面を備えたチャックテーブルと、
該チャックテーブルを該搬入搬出領域と該加工領域との間で移動させるチャックテーブル移動手段と、
回転スピンドル、該回転スピンドルを回転可能に保持するスピンドルハウジング、及び該回転スピンドルの先端に取り付けられ該チャックテーブルに保持された被加工物を加工する加工工具を備えた加工手段と、
該搬入搬出領域と該加工領域との間を移動する該チャックテーブルの移動経路上に配設され、該チャックテーブルに保持された被加工物の表面を洗浄する洗浄手段と、を備え、
該洗浄手段は、
気体と洗浄液との混合流体を噴射する洗浄ノズルと、
該洗浄ノズルに洗浄液を供給する洗浄液供給源に接続する洗浄液供給経路と、
該洗浄ノズルに気体を供給する気体供給源に接続する気体供給経路と、を有し、
該洗浄ノズルは、該チャックテーブルに保持された状態で該移動経路上を移動して該洗浄ノズルの下方を通過する被加工物の該移動経路に垂直な方向の幅全体に該混合流体を噴射することを特徴とする加工装置。 - 該洗浄ノズルは、
被加工物の該幅以上の長さを有する本体部と、
該本体部の被加工物に対向する面に沿って形成され、被加工物の該幅以上の長さを有する溝状の混合流体噴射口と、
該本体部を支持する支持部と、を備え、
該混合流体噴射口から被加工物に向けて該混合流体を帯状に噴射することを特徴とする請求項1に記載の加工装置。 - 該加工手段は、板状の被加工物に旋削加工を施す旋削加工手段であり、
該チャックテーブルの該移動経路上には、該洗浄ノズルの該搬出入領域側に隣接して被加工物の上面高さを測定するハイトゲージが配設されていることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の加工装置。
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2015
- 2015-01-16 JP JP2015006440A patent/JP2016132045A/ja active Pending
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