JP6689534B2

JP6689534B2 - マウントフランジの端面修正方法及び切削装置

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Publication number: JP6689534B2
Application number: JP2016118167A
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Inventors: 万平田中; ジュンヨンソ; 伸太郎松岡
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Priority date: 2016-06-14
Filing date: 2016-06-14
Publication date: 2020-04-28
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Description

本発明は、切削ブレードを支持するマウントフランジの端面を修正するためのマウントフランジの端面修正方法、及びこの端面修正方法に適した切削装置に関する。

半導体ウェーハに代表される板状の被加工物を切削する切削装置では、例えば、マウントフランジと呼ばれる治具を介して回転軸となるスピンドルの先端に切削ブレードが装着される。この場合、切削ブレードに接触するマウントフランジの端面が切削の進行とともに傷付いて、端面の平坦性も徐々に低下する。

また、スピンドルに対してマウントフランジを固定した直後には、被加工物を保持する保持テーブルの保持面やスピンドルの軸心方向に対して、必ずしも端面が垂直にならない。そこで、スピンドルの軸心方向（保持テーブルの保持面）に対して端面が垂直かつ平坦になるように端面の形状を修正する端面修正と呼ばれる技術が用いられている（例えば、特許文献１参照）。

特開２０１１−１１２９９号公報

上述した端面修正の後には、例えば、端面の位置を測定するためのプローブを端面に接触させてスピンドルを回転させることで、端面が適切に修正されているか否かを判定している。しかしながら、この判定方法では、測定機器の設定や実際の測定作業等に時間が掛かり易く、また、プローブを誤って端面に衝突させて端面を傷つけることもあった。

本発明はかかる問題点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、端面の修正が完了しているか否かを適切かつ容易に判定できるマウントフランジの端面修正方法又は切削装置を提供することである。

本発明の一態様によれば、被加工物を保持するためのチャックテーブルが装着される導電性の保持テーブルと、被加工物を切削するための切削ブレードを支持する導電性のマウントフランジが先端に固定される導電性のスピンドルと、導電性の研削砥石及び導電性の支持基台を有し該保持テーブルに装着される端面修正治具と、を用いて、該切削ブレードを支持するために該マウントフランジが有する環状の端面を修正するマウントフランジの端面修正方法であって、該保持テーブルに装着された該端面修正治具の該研削砥石と、該スピンドルに固定された該マウントフランジの該端面とを、該端面の修正を開始するための基準位置に位置付ける位置付けステップと、該位置付けステップを実施した後、該スピンドルを回転させつつ該スピンドルの軸心方向へ移動させて該端面と該研削砥石とを接触させることで、該端面を該研削砥石で修正する修正ステップと、該修正ステップを実施した後、該保持テーブルと該スピンドルとの間に電圧を印加し、該スピンドルを回転させつつ該研削砥石と該端面とを接触させて、該研削砥石と該端面との接触の状態を電気的に測定する測定ステップと、該測定ステップで測定される該接触の状態が安定している場合に、該端面の修正が完了していると判定し、該接触の状態が不安定な場合に、該端面の修正が完了していないと判定する判定ステップと、該判定ステップで該端面の修正が完了していないと判定した場合に、該端面を該研削砥石で再び修正する再修正ステップと、を備えることを特徴とするマウントフランジの端面修正方法が提供される。

本発明の一態様において、該位置付けステップでは、該保持テーブルと該スピンドルとの間に電圧を印加しつつ該スピンドルと該保持テーブルとを相対的に移動させ、該研削砥石と該端面とが接触して通電する位置を該基準位置とすることが好ましい。

また、本発明の一態様によれば、被加工物を保持するためのチャックテーブルと、導電性の研削砥石及び導電性の支持基台を有する端面修正治具と、が選択的に装着される導電性の保持テーブルと、被加工物を切削するための切削ブレードを支持する導電性のマウントフランジが先端に固定される導電性のスピンドルを含む切削ユニットと、該保持テーブルに装着された該端面修正治具を用いて、該切削ブレードを支持するために該マウントフランジが有する環状の端面を修正した後に、該端面修正治具を用いて電気的に測定される該研削砥石と該端面との接触の状態に基づいて該端面の修正が完了しているか否かを判定する判定手段と、を備えることを特徴とする切削装置が提供される。

本発明の一態様に係るマウントフランジの端面修正方法では、導電性の研削砥石を有する端面修正治具を用いてマウントフランジの端面を修正した後に、スピンドルを回転させつつ研削砥石と端面とを接触させて研削砥石と端面との接触の状態を電気的に測定し、測定された接触の状態に基づいて、端面の修正が完了しているか否かを判定する。

つまり、本発明の一態様に係るマウントフランジの端面修正方法によれば、端面修正治具とは別の測定機器を用いる必要がないので、端面の修正が完了しているか否かを適切かつ容易に判定できる。また、本発明の一態様に係る切削装置によれば、このマウントフランジの端面修正方法を実施して、端面の修正が完了しているか否かを適切かつ容易に判定できる。

切削装置の構成例を模式的に示す図である。保持テーブル及び端面修正治具の構造を説明するための分解斜視図である。端面修正治具の下面側の構造を説明するための斜視図である。保持テーブルの上面に端面修正治具が装着された状態を模式的に示す斜視図である。位置付けステップを模式的に示す図である。マウントフランジの端面の高さが調整される様子を模式的に示す図である。修正ステップを模式的に示す図である。測定ステップを模式的に示す図である。図９（Ａ）は、端面の修正が適切に完了している場合の測定結果の例を模式的に示すグラフであり、図９（Ｂ）は、端面の修正が適切に完了していない場合の測定結果の例を模式的に示すグラフである。

添付図面を参照して、本発明の一態様に係る実施形態について説明する。図１は、本実施形態に係る切削装置の構成例を模式的に示す図である。

図１に示すように、切削装置２は、各構造を支持する基台４を備えている。基台４の前方の角部には、昇降可能なカセット支持台６が設けられている。カセット支持台６の上面には、複数の被加工物１１を収容する直方体状のカセット８が載せられる。なお、図１では、説明の便宜上、カセット８の輪郭のみを示している。

被加工物１１は、例えば、シリコン等の半導体材料でなる円盤状のウェーハであり、その表面側は、中央のデバイス領域と、デバイス領域を囲む外周余剰領域とに分けられている。デバイス領域は、格子状に配列された分割予定ライン（ストリート）でさらに複数の領域に区画されており、各領域には、ＩＣ、ＬＳＩ等のデバイスが形成されている。

被加工物１１の裏面側には、例えば、被加工物１１より径の大きいダイシングテープ１３が貼り付けられている。また、ダイシングテープ１３の外周部分には、環状のフレーム１５が固定されている。すなわち、被加工物１１は、ダイシングテープ１３を介してフレーム１５に支持されている。

なお、本実施形態では、シリコン等の半導体材料でなる円盤状のウェーハを被加工物１１としているが、被加工物１１の材質、形状、構造等に制限はない。例えば、ガラスやサファイア等の材料でなるセラミックス基板、樹脂基板、金属基板等を被加工物１１として用いることもできる。

カセット支持台６の側方には、Ｘ軸方向（前後方向、加工送り方向）に長い矩形の開口４ａが形成されている。この開口４ａ内には、Ｘ軸移動テーブル１０、Ｘ軸移動テーブル１０をＸ軸方向に移動させるボールネジ式のＸ軸移動機構（不図示）、及びＸ軸移動機構を覆う防塵防滴カバー１２が設けられている。

Ｘ軸移動テーブル１０の上方には、導電性を有する材料（例えば、ステンレスやアルミニウム等の金属）を用いて形成された円柱状の保持テーブル１４が設けられている。この保持テーブル１４の上面１４ａには、被加工物１１を保持するためのチャックテーブル１６と、端面修正治具１８とが選択的に装着される。

保持テーブル１４は、モータ等の回転駆動源（不図示）に連結されており、Ｚ軸方向（鉛直方向）に概ね平行な回転軸の周りに回転する。また、保持テーブル１４は、上述したＸ軸移動機構によってＸ軸方向に加工送りされる。保持テーブル１４や端面修正治具１８等の詳細については後述する。

開口４ａに隣接する位置には、被加工物１１を切削するための切削ユニット２０を支持する片持ち梁状の支持構造２２が配置されている。支持構造２２の前面上部には、切削ユニット２０をＹ軸方向（左右方向、割り出し送り方向）及びＺ軸方向（鉛直方向）に移動させる切削ユニット移動機構２４が設けられている。

切削ユニット移動機構２４は、支持構造２２の前面に配置されＹ軸方向に平行な一対のＹ軸ガイドレール２６を備えている。Ｙ軸ガイドレール２６には、切削ユニット移動機構２４を構成するＹ軸移動プレート２８がスライド可能に取り付けられている。

Ｙ軸移動プレート２８の裏面側（後面側）には、ナット部（不図示）が設けられており、このナット部には、Ｙ軸ガイドレール２６に平行なＹ軸ボールネジ３０が螺合されている。Ｙ軸ボールネジ３０の一端部には、Ｙ軸パルスモータ（不図示）が連結されている。Ｙ軸パルスモータでＹ軸ボールネジ３０を回転させれば、Ｙ軸移動プレート２８は、Ｙ軸ガイドレール２６に沿ってＹ軸方向に移動する。

Ｙ軸移動プレート２８の表面（前面）には、Ｚ軸方向に平行な一対のＺ軸ガイドレール３２が設けられている。Ｚ軸ガイドレール３２には、Ｚ軸移動プレート３４がスライド可能に取り付けられている。

Ｚ軸移動プレート３４の裏面側（後面側）には、ナット部（不図示）が設けられており、このナット部には、Ｚ軸ガイドレール３２に平行なＺ軸ボールネジ３６が螺合されている。Ｚ軸ボールネジ３６の一端部には、Ｚ軸パルスモータ３８が連結されている。Ｚ軸パルスモータ３８でＺ軸ボールネジ３６を回転させれば、Ｚ軸移動プレート３４は、Ｚ軸ガイドレール３２に沿ってＺ軸方向に移動する。

Ｚ軸移動プレート３４の下部には、切削ユニット２０が設けられている。切削ユニット２０は、導電性を有する材料で形成されたスピンドル４０（図５等参照）を備える。このスピンドル４０の先端（一端）側には、導電性を有する材料で形成された円盤状のマウントフランジ４２（図５等参照）が固定される。

マウントフランジ４２の一方側（保持テーブル１４側）には、被加工物１１を切削するための切削ブレード４４に接触する端面４２ａ（図５等参照）が設けられている。切削ブレード４４をスピンドル４０へと装着する際には、端面４２ａに切削ブレード４４の側面を接触させて、マウントフランジ４２で切削ブレード４４を保持する。

スピンドル４０の基端（他端）側には、モータ等の回転駆動源（不図示）が連結されており、スピンドル４０に装着された切削ブレード４４は、回転駆動源から伝達される力によって回転する。また、切削ユニット２０に隣接する位置には、チャックテーブル１６に保持された被加工物１１等を撮像するためのカメラ４６が設置されている。

切削ユニット移動機構２４でＹ軸移動プレート２８をＹ軸方向に移動させれば、切削ユニット２０及びカメラ４６は、Ｙ軸方向に割り出し送りされる。また、切削ユニット移動機構２４でＺ軸移動プレート３４をＺ軸方向に移動させれば、切削ユニット２０及びカメラ４６は、昇降する。

開口４ａに対してカセット支持台６と反対側の位置には、円形の開口４ｂが形成されている。開口４ｂ内には、被加工物１１を洗浄するための洗浄ユニット４８が配置されている。洗浄ユニット４８は、洗浄液等を噴射するノズル４８ａを備える。

Ｘ軸移動機構、保持テーブル１４、切削ユニット２０、切削ユニット移動機構２４、カメラ４６、洗浄ユニット４８等の構成要素は、それぞれ、制御ユニット５０に接続されている。制御ユニット５０は、被加工物１１を適切に切削できるように、上述した各構成要素を制御する。また、この制御ユニット５０は、判定部（判定手段）５０ａを有している。判定部５０ａの機能等の詳細については後述する。

この切削装置２でマウントフランジ４２の端面４２ａを修正する際には、まず、保持テーブル１４の上面１４ａに端面修正治具１８を装着する装着ステップを実施する。図２は、保持テーブル１４及び端面修正治具１８の構造を説明するための分解斜視図であり、図３は、端面修正治具１８の下面側の構造を説明するための斜視図である。

図２に示すように、円柱状に形成された保持テーブル１４の上面１４ａには、平面視で円形の凹部１４ｂが形成されている。凹部１４ｂの底には、保持テーブル１４内に形成された第１吸引路５２ａの一端側が開口している。第１吸引路５２ａの他端側には、開閉弁（不図示）等を介して吸引源（不図示）が接続されており、上面１４ａに配置されるチャックテーブル１６や端面修正治具１８等に吸引源の負圧を作用させることができる。

また、凹部１４ｂ内には、凹部１４ｂの形状に合致するＯリング５４が設けられている。Ｏリング５４は、例えば、ゴム弾性を持つ樹脂等で形成されており、凹部１４ｂに配置された状態で上面１４ａから突出する。このＯリング５４によって、保持テーブル１４の上面１４ａに配置されるチャックテーブル１６又は端面修正治具１８と、保持テーブル１４との間の気密を保つことができる。

凹部１４ｂの周囲には、第１吸引路５２ａとは別に保持テーブル１４内に形成された２つの第２吸引路５２ｂの一端側が開口している。第２吸引路５２ｂの他端側にも、開閉弁（不図示）等を介して吸引源（不図示）が接続されている。また、上面１４ａには、チャックテーブル１６や端面修正治具１８の位置を決めるための位置決め用の凹部１４ｃが形成されている。

端面修正治具１８は、導電性を有する材料を用いて保持テーブル１４に対応する大きさに形成された円盤状の支持プレート（支持基台）５６を備えている。支持プレート５６の第１面５６ａと第２面５６ｂとは、概ね平行に形成されており、端面修正治具１８を保持テーブル１４に載せると、支持プレート５６の第２面５６ｂが保持テーブル１４の上面１４ａに接触する。

図３に示すように、支持プレート５６の第２面５６ｂには、保持テーブル１４の凹部１４ｂに対応する位置、形状、及び大きさの凹部５６ｃと、保持テーブル１４の凹部１４ｃに対応する位置、形状、及び大きさの凸部５６ｄとが形成されている。保持テーブル１４に端面修正治具１８を装着する際には、支持プレート５６を保持テーブル１４に載せて、凹部１４ｂと凹部５６ｃとの位置を合わせるとともに凹部１４ｃと凸部５６ｄとの位置を合わせる。

これにより、保持テーブル１４の上面１４ａから突出するＯリング５４は、支持プレート５６の凹部５６ｃに挿入され、支持プレート５６の第２面５６ｂから突出する凸部５６ｄは、保持テーブル１４の凹部１４ｃに挿入される。その後、第１吸引路５２ａの他端側に接続された開閉弁を開いて支持プレート５６に吸引源の負圧を作用させれば、保持テーブル１４に対する位置を合わせた状態で支持プレート５６を固定できる。

支持プレート５６の第１面５６ａと第２面５６ｂとには、支持プレート５６内に形成された吸引路５８の両端が開口している。吸引路５８の第２面５６ｂ側の端の位置は、保持テーブル１４が備える第２吸引路５２ｂの一端の位置に対応している。よって、保持テーブル１４に対する位置を合わせた状態で支持プレート５６を固定すると、第２吸引路５２ｂの一端側には吸引路５８の第２面５６ｂ側が接続される。

また、支持プレート５６の第１面５６ａには、２つの凸部６０が形成されている。この凸部６０は、支持プレート５６の第１面５６ａ側に設けられる砥石固定部６２の位置を規定する。砥石固定部６２は、例えば、導電性を有する材料を用いて直方体状に形成されており、砥石固定部６２の第１面６２ａと第２面６２ｂとは、概ね平行である。

砥石固定部６２には、砥石固定部６２を第１面６２ａから第２面６２ｂにかけて貫通する平面視で矩形状の貫通穴６２ｃが形成されている。支持プレート５６に砥石固定部６２を配置する際には、砥石固定部６２を支持プレート５６に載せ、２つの凸部６０と貫通穴６２ｃとの位置を合わせて、砥石固定部６２の第２面６２ｂを支持プレート５６の第１面５６ａに接触させる。

これにより、支持プレート５６の第１面５６ａから突出する２つの凸部６０は、砥石固定部６２の貫通穴６２ｃに挿入され、支持プレート５６に対する砥石固定部６２の位置を大まかに合わせることができる。また、吸引路５８の第１面５６ａ側の端は、砥石固定部６２の第２面６２ｂによって閉じられる。

貫通穴６２ｃは、２つの凸部６０を収容した状態で、貫通穴６２ｃと凸部６０との間に隙間ができる大きさに形成されている。よって、第２吸引路５２ｂの他端側に接続された開閉弁を開いて吸引源の負圧を砥石固定部６２に作用させる前であれば、支持プレート５６の第１面５６ａに対して砥石固定部６２を平行（特に、Ｙ軸方向）に移動させて、砥石固定部６２の位置を調整できる。

砥石固定部６２の側方には、マウントフランジ４２の端面４２ａを修正するための研削砥石６４が固定されている。研削砥石６４も、導電性を有する材料を用いて形成されている。図４は、保持テーブル１４の上面１４ａに端面修正治具１８が装着された状態を模式的に示す斜視図である。なお、この装着ステップでは、第２吸引路５２ｂの他端側に接続された開閉弁を閉じておき、吸引源の負圧を砥石固定部６２に作用させない。

装着ステップの後には、研削砥石６４とマウントフランジ４２の端面４２ａとを、端面４２ａの修正を開始するための基準位置に位置付ける位置付けステップを実施する。図５は、位置付けステップを模式的に示す図である。

位置付けステップでは、例えば、保持テーブル１４をＸ軸方向に移動させて、マウントフランジ４２の端面４２ａの一部と研削砥石６４の先端面とを対面させる。次に、図５に示すように、保持テーブル１４と切削ユニット２０とを任意の速度でＹ軸方向に相対的に移動させて、マウントフランジ４２の端面４２ａを研削砥石６４の先端面に接触させる。

図５に示すように、保持テーブル１４とスピンドル４０との間には、例えば、直流電源７２と抵抗器７４とが直列に接続されている。また、保持テーブル１４、スピンドル４０、マウントフランジ４２、支持プレート５６、砥石固定部６２、及び研削砥石６４は、全て導電性を有している。

そのため、研削砥石６４の先端面にマウントフランジ４２の端面４２ａが接触し、マウントフランジ４２と研削砥石６４との間の抵抗値が下がると（マウントフランジ４２と研削砥石６４との間で通電すると）、抵抗器７４の両端に加わる電圧は増大する。よって、電圧計等でなる通電測定ユニット７６を抵抗器７４に対して並列に接続し、抵抗器７４の両端に加わる電圧を測定することで、マウントフランジ４２の端面４２ａと研削砥石６４の先端面との接触を電気的に検出できる。

通電測定ユニット７６による測定の結果は、例えば、制御ユニット５０が備える判定部５０ａへと送られる。判定部５０ａは、例えば、通電測定ユニット７６で測定された電圧が任意の閾値を超えた場合に、マウントフランジ４２の端面４２ａと研削砥石６４の先端面とが接触したと判定する。

マウントフランジ４２の端面４２ａと研削砥石６４の先端面とが接触したと判定された後には、保持テーブル１４と切削ユニット２０との相対的な移動を停止させて、第２吸引路５２ｂの他端側に接続された開閉弁を開く。これにより、吸引源の負圧を砥石固定部６２に作用させて、支持プレート５６に対する砥石固定部６２の位置を固定できる。なお、この時の研削砥石６４とマウントフランジ４２との位置が、端面４２ａの修正を開始するための基準位置となる。

支持プレート５６に対する砥石固定部６２の位置を固定した後には、マウントフランジ４２の端面４２ａの高さを調整しても良い。図６は、マウントフランジ４２の端面４２ａの高さが調整される様子を模式的に示す図である。本実施形態では、例えば、切削ユニット２０を下降させて、マウントフランジ４２の端面４２ａより内側の部分に研削砥石６４の先端面を対面させる。

なお、端面４２ａの高さの調整は、支持プレート５６に対する砥石固定部６２の位置を固定する前に行われても良い。さらに、端面４２ａに対する砥石固定部６２の高さが予め調整されている端面修正治具１８を用いる場合等には、端面４２ａの高さの調整を省略することもできる。

位置付けステップの後には、マウントフランジ４２の端面４２ａを研削砥石６４で修正する修正ステップを実施する。図７は、修正ステップを模式的に示す図である。修正ステップでは、図７に示すように、スピンドル４０を回転させつつ、マウントフランジ４２と研削砥石６４とをＸ軸方向に任意の速度で相対的に移動させる。

また、保持テーブル１４と切削ユニット２０とを任意の速度でＹ軸方向に移動させて（スピンドル４０を軸心方向へ移動させて）、マウントフランジ４２の端面４２ａを研削砥石６４に押し当てる。これにより、マウントフランジ４２の端面４２ａを研削砥石６４で研削して、Ｙ軸方向（スピンドル４０の軸心方向）に対して垂直かつ平坦に端面４２ａを修正できる。

修正ステップの後には、研削砥石６４とマウントフランジ４２の端面４２ａとの接触の状態を電気的に測定する測定ステップを実施する。図８は、測定ステップを模式的に示す図である。測定ステップでは、図８に示すように、スピンドル４０を回転させつつ、マウントフランジ４２と研削砥石６４とをＸ軸方向に任意の速度で相対的に移動させる。なお、この測定ステップの各部の動作は、修正ステップの各部の動作と同じで良い。すなわち、修正ステップと同じ動作で測定ステップを実施できる。

図８に示すように、保持テーブル１４（研削砥石６４）とスピンドル４０（マウントフランジ４２）との間には、例えば、直流電源８２と抵抗器８４とが直列に接続されている。また、保持テーブル１４、スピンドル４０、マウントフランジ４２、支持プレート５６、砥石固定部６２、及び研削砥石６４は、全て導電性を有している。

そのため、抵抗器８４の両端には、マウントフランジ４２と研削砥石６４との接触の状態に応じた電圧が加わる。よって、オシロスコープ等でなる接触状態測定ユニット８６を抵抗器８４に対して並列に接続し、抵抗器８４の両端に加わる電圧を測定することで、マウントフランジ４２の端面４２ａと研削砥石６４の先端面との接触の状態を電気的に測定できる。

接触状態測定ユニット８６による測定の結果は、例えば、制御ユニット５０が備える判定部５０ａへと送られる。図９（Ａ）は、端面４２ａの修正が適切に完了している場合の測定結果の例を模式的に示すグラフであり、図９（Ｂ）は、端面４２ａの修正が適切に完了していない場合の測定結果の例を模式的に示すグラフである。図９（Ａ）及び図９（Ｂ）では、横軸が時刻ｔを、縦軸が電圧Ｖをそれぞれ示している。マウントフランジ４２の端面４２ａと研削砥石６４の先端面とは、時刻ｔ_１から時刻ｔ_２までの期間で接触している。

測定ステップの後には、端面の修正が完了しているか否かを判定する判定ステップを実施する。判定ステップは、制御ユニット５０が備える判定部５０ａで行われる。例えば、端面４２ａの修正が適切に完了している場合には、マウントフランジ４２の端面４２ａと研削砥石６４の先端面との接触の状態が安定するので、図９（Ａ）に示すように、時刻ｔ_１から時刻ｔ_２までの期間で測定される電圧Ｖも高い値で安定する。

よって、判定部５０ａは、マウントフランジ４２の端面４２ａと研削砥石６４の先端面との接触の状態が安定している場合、すなわち、マウントフランジ４２の端面４２ａと研削砥石６４の先端面とが接触した状態で測定される電圧Ｖが高い値で安定している場合に、端面４２ａの修正が適切に完了していると判定する。

一方で、端面４２ａの修正が適切に完了していない場合には、マウントフランジ４２の端面４２ａと研削砥石６４の先端面との接触の状態が安定しないので、図９（Ｂ）に示すように、時刻ｔ_１から時刻ｔ_２までの期間で測定される電圧Ｖも安定しない。

よって、判定部５０ａは、マウントフランジ４２の端面４２ａと研削砥石６４の先端面との接触の状態が安定していない場合、すなわち、マウントフランジ４２の端面４２ａと研削砥石６４の先端面とが接触した状態で測定される電圧Ｖが安定していない場合に、端面４２ａの修正が適切に完了していないと判定する。

より具体的には、例えば、測定される電圧Ｖが時刻ｔ_１から時刻ｔ_２までの全期間で閾値（電圧）を超えている場合に、判定部５０ａは、端面４２ａの修正が適切に完了していると判定する。また、測定される電圧Ｖが時刻ｔ_１から時刻ｔ_２までの期間の一部（又は全部）で閾値を超えていない場合に、判定部５０ａは、端面４２ａの修正が適切に完了していないと判定する。判定の基準として用いられる閾値は、任意の値で良い。例えば、時刻ｔ_１から時刻ｔ_２までの期間で測定される電圧Ｖの平均値や標準偏差等を用いて、閾値を算出することもできる。

この判定ステップにおいて、端面４２ａの修正が適切に完了していると判定された場合には、例えば、マウントフランジ４２に切削ブレード４４を装着する。一方で、端面４２ａの修正が適切に完了していないと判定された場合には、端面４２ａを研削砥石６４で再び修正する再修正ステップを実施する。再修正ステップの具体的な内容は、修正ステップと同じで良い。また、再修正ステップの後には、同様の手順で端面４２ａの修正が適切に完了しているか否かを判定すると良い。

以上のように、本実施形態に係るマウントフランジの端面修正方法では、導電性の研削砥石６４を有する端面修正治具１８を用いてマウントフランジ４２の端面４２ａを修正した後に、スピンドル４０を回転させつつ研削砥石６４と端面４２ａとを接触させて研削砥石６４と端面４２ａとの接触の状態を電気的に測定し、測定された接触の状態に基づいて、端面４２ａの修正が完了しているか否かを判定する。

つまり、本実施形態に係るマウントフランジの端面修正方法によれば、端面修正治具１８とは別の測定機器を用いる必要がないので、端面４２ａの修正が完了しているか否かを適切かつ容易に判定できる。また、本実施形態に係る切削装置２によれば、このマウントフランジの端面修正方法を実施して、端面４２ａの修正が完了しているか否かを適切かつ容易に判定できる。

なお、本発明は上記実施形態の記載に限定されず、種々変更して実施可能である。例えば、上記実施形態に係る切削装置２では、直流電源８２、抵抗器８４、接触状態測定ユニット８６とは別の直流電源７２、抵抗器７４、通電測定ユニット７６を用いているが、これらは同じものでも良い。

また、上記実施形態では、電圧を測定することによってマウントフランジ４２の端面４２ａと研削砥石６４の先端面との接触を検出しているが、電流を測定することによってこの接触を検出することもできる。同様に、上記実施形態では、電圧を測定することによってマウントフランジ４２の端面４２ａと研削砥石６４の先端面との接触の状態を測定しているが、電流を測定することによってこの接触の状態を測定することもできる。

その他、上記実施形態に係る構造、方法等は、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施できる。

２切削装置
４基台
４ａ，４ｂ開口
６カセット支持台
８カセット
１０Ｘ軸移動テーブル
１２防塵防滴カバー
１４保持テーブル
１４ａ上面
１４ｂ凹部
１４ｃ凹部
１６チャックテーブル
１８端面修正治具
２０切削ユニット
２２支持構造
２４切削ユニット移動機構
２６Ｙ軸ガイドレール
２８Ｙ軸移動プレート
３０Ｙ軸ボールネジ
３２Ｚ軸ガイドレール
３４Ｚ軸移動プレート
３６Ｚ軸ボールネジ
３８Ｚ軸パルスモータ
４０スピンドル
４２マウントフランジ
４２ａ端面
４４切削ブレード
４６カメラ
４８洗浄ユニット
４８ａノズル
５０制御ユニット（制御手段）
５０ａ判定部（判定手段）
５２ａ第１吸引路
５２ｂ第２吸引路
５４Ｏリング
５６支持プレート（支持基台）
５６ａ第１面
５６ｂ第２面
５６ｃ凹部
５６ｄ凸部
５８吸引路
６０凸部
６２砥石固定部
６２ａ第１面
６２ｂ第２面
６２ｃ貫通穴
６４研削砥石
７２直流電源
７４抵抗器
７６通電測定ユニット
８２直流電源
８４抵抗器
８６接触状態測定ユニット
１１被加工物
１３ダイシングテープ
１５フレーム

Claims

被加工物を保持するためのチャックテーブルが装着される導電性の保持テーブルと、被加工物を切削するための切削ブレードを支持する導電性のマウントフランジが先端に固定される導電性のスピンドルと、導電性の研削砥石及び導電性の支持基台を有し該保持テーブルに装着される端面修正治具と、を用いて、該切削ブレードを支持するために該マウントフランジが有する環状の端面を修正するマウントフランジの端面修正方法であって、
該保持テーブルに装着された該端面修正治具の該研削砥石と、該スピンドルに固定された該マウントフランジの該端面とを、該端面の修正を開始するための基準位置に位置付ける位置付けステップと、
該位置付けステップを実施した後、該スピンドルを回転させつつ該スピンドルの軸心方向へ移動させて該端面と該研削砥石とを接触させることで、該端面を該研削砥石で修正する修正ステップと、
該修正ステップを実施した後、該保持テーブルと該スピンドルとの間に電圧を印加し、該スピンドルを回転させつつ該研削砥石と該端面とを接触させて、該研削砥石と該端面との接触の状態を電気的に測定する測定ステップと、
該測定ステップで測定される該接触の状態が安定している場合に、該端面の修正が完了していると判定し、該接触の状態が不安定な場合に、該端面の修正が完了していないと判定する判定ステップと、
該判定ステップで該端面の修正が完了していないと判定した場合に、該端面を該研削砥石で再び修正する再修正ステップと、を備えることを特徴とするマウントフランジの端面修正方法。
該位置付けステップでは、該保持テーブルと該スピンドルとの間に電圧を印加しつつ該スピンドルと該保持テーブルとを相対的に移動させ、該研削砥石と該端面とが接触して通電する位置を該基準位置とすることを特徴とする請求項１記載のマウントフランジの端面修正方法。
被加工物を保持するためのチャックテーブルと、導電性の研削砥石及び導電性の支持基台を有する端面修正治具と、が選択的に装着される導電性の保持テーブルと、
被加工物を切削するための切削ブレードを支持する導電性のマウントフランジが先端に固定される導電性のスピンドルを含む切削ユニットと、
該保持テーブルに装着された該端面修正治具を用いて、該切削ブレードを支持するために該マウントフランジが有する環状の端面を修正した後に、該端面修正治具を用いて電気的に測定される該研削砥石と該端面との接触の状態に基づいて該端面の修正が完了しているか否かを判定する判定手段と、を備えることを特徴とする切削装置。