JP2016115727A - 半導体装置 - Google Patents
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- H01L2224/32245—Disposition the layer connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being metallic
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- H01L2224/48221—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
- H01L2224/48245—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being metallic
- H01L2224/48247—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being metallic connecting the wire to a bond pad of the item
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Abstract
【課題】 過熱検出をより精度良く行うことが可能な半導体装置を提供する。【解決手段】 半導体装置1は、支持部材10と、支持部材10上に設けられ、過熱検出回路21を備えた半導体チップ20と、半導体チップ20上に設けられ、パワー半導体素子を備えた半導体チップ30と、支持部材10、半導体チップ20、及び半導体チップ30を封止する封止部材70とを含む。過熱検出回路21は、半導体チップ30の下に配置される。【選択図】 図2
Description
本発明の実施形態は、半導体装置に係り、パワー半導体デバイスを備えた半導体装置に関する。
スイッチング電源やインバータなどの回路には、スイッチング素子やダイオードなどのパワー半導体素子を備えたパワー半導体デバイスが用いられる。また、パワー半導体デバイスと、これを制御するコントローラとを一つのパッケージの中に備えた半導体装置が知られている。
実施形態は、過熱検出をより精度良く行うことが可能な半導体装置を提供する。
実施形態に係る半導体装置は、支持部材と、前記支持部材上に設けられ、過熱検出回路を備えた第1半導体チップと、前記第1半導体チップ上に設けられ、パワー半導体素子を備えた第2半導体チップと、前記支持部材、前記第1半導体チップ、及び前記第2半導体チップを封止する封止部材とを具備する。前記過熱検出回路は、前記第2半導体チップの下に配置される。
以下、実施形態について図面を参照して説明する。ただし、図面は模式的または概念的なものであり、各図面の寸法および比率などは必ずしも現実のものと同一とは限らない。以下に示す幾つかの実施形態は、本発明の技術思想を具体化するための装置および方法を例示したものであって、構成部品の形状、構造、配置などによって、本発明の技術思想が特定されるものではない。なお、以下の説明において、同一の機能及び構成を有する要素については、同一符号を付し、重複説明は必要な場合にのみ行う。
以下の実施形態は、電界効果トランジスタを含むパワー半導体デバイスを備えた第1半導体チップと、パワー半導体デバイスを制御するコントローラを備えた第2半導体チップとを、1つのパッケージに収容した半導体装置について開示する。
[第1実施形態]
[1−1]半導体装置の構成
図1は、第1実施形態に係る半導体装置1の平面図である。図2は、図1のA−A’線に沿った半導体装置1の断面図である。半導体装置1は、支持部材(ダイパッド)10、半導体チップ20、半導体チップ30、リード端子群50、ボンディングワイヤ群60、及び封止部材70を備える。
[1−1]半導体装置の構成
図1は、第1実施形態に係る半導体装置1の平面図である。図2は、図1のA−A’線に沿った半導体装置1の断面図である。半導体装置1は、支持部材(ダイパッド)10、半導体チップ20、半導体チップ30、リード端子群50、ボンディングワイヤ群60、及び封止部材70を備える。
ダイパッド10は、半導体チップ20、30を支持及び固定するとともに、放熱部材として機能する。ダイパッド10としては、熱伝導率の高い材料(例えば金属)が用いられ、銅(Cu)、銅(Cu)を含む合金、又は鉄(Fe)を含む合金などが用いられる。
半導体チップ20は、ダイパッド10上に設けられ、接着剤(図示せず)によってダイパッド10に固定される。半導体チップ20は、マイクロコンピュータなどを含むコントローラを備え、このコントローラは、半導体チップ30の動作を制御する。半導体チップ20は、過熱検出回路21、及びパッド群22、23を備える。パッド群22、23は、半導体チップ20の上面に露出している。パッド群22は、リード端子群50との電気的接続に用いられ、パッド群23は、半導体チップ30との電気的接続に用いられる。
半導体チップ30は、半導体チップ20上に設けられ、接着剤40によって半導体チップ20に固定される。すなわち、半導体装置1は、半導体チップ20上に半導体チップ30を積層したチップスタック型MCP(Multi-Chip Package)である。半導体チップ30の底面(パッドが形成される面と反対面)は、半導体チップ20の上面(パッドが形成される面)と向き合うように配置される。例えば、半導体チップ30のサイズは、半導体チップ20のサイズより小さい。
半導体チップ30は、電源(電力)の変換及び制御を行うパワー半導体デバイスを備える。パワー半導体デバイスは、一般的に、通常の(低電圧用の)MOSFET(Metal Oxide Semiconductor Field Effect Transistor)に比べて、発熱量が大きい。パワー半導体デバイスとしては、パワーMOSFET、HEMT(High Electron Mobility Transistor)、IGBT(Insulated Gate Bipolar Transistor)、及びダイオードなどが挙げられる。パワー半導体デバイスは、例えば、窒化ガリウム(GaN)などの窒化物半導体、及び/又は炭化ケイ素(SiC)などを用いて構成される。図1では、半導体チップ30をPW−Trと表記している。
半導体チップ30は、パッド群31、32を備える。パッド群31、32は、半導体チップ30の上面に露出している。パッド群31は、半導体チップ20との電気的接続に用いられ、パッド群32は、リード端子群50との電気的接続に用いられる。
ここで、半導体チップ20が備える過熱検出回路21は、半導体チップ30により近い位置に配置され、具体的には、半導体チップ30の下に配置される。過熱検出回路21は、その全体が半導体チップ20と半導体チップ30とが平面視において重なる領域内に配置されることが望ましい。なお、過熱検出回路21は、少なくともその一部が半導体チップ20と半導体チップ30とが平面視において重なる領域内に配置されていても良い。また、過熱検出回路21は、半導体チップ20の上面近傍に配置される。過熱検出回路21の詳細については後述する。
半導体チップ20と半導体チップ30とを接着する接着剤40は、熱伝導率の高い材料で構成することが望ましい。接着剤40は、導電性材料をバインダーに混合して構成される。導電性材料としては、金属(金属粉)が用いられ、例えば、金(Au)、銀(Ag)、及び銅(Cu)などが用いられる。バインダーとしては、例えば、エポキシ樹脂などの有機バインダーが用いられる。また、接着剤40として、銀ペースト、又はエポキシ樹脂を用いても良い。
リード端子群50は、ダイパッド10の周囲に設けられ、半導体チップ20及び半導体チップ30と、外部回路との電気的接続に用いられる。リード端子群50としては、例えば、銅(Cu)、銅(Cu)を含む合金、又は鉄(Fe)を含む合金などが用いられる。リード端子群50は、前述したダイパッド10とともに、リードフレームを構成する。
ボンディングワイヤ群60は、半導体チップ20とリード端子群50との電気的接続、半導体チップ30とリード端子群50との電気的接続、及び半導体チップ20と半導体チップ30との電気的接続に用いられる。ボンディングワイヤ群60としては、例えば、金(Au)、銅(Cu)、又はアルミニウム(Al)などが用いられる。
封止部材70は、ダイパッド10、半導体チップ20、半導体チップ30、リード端子群50、及びボンディングワイヤ群60を封止する。封止部材70は、モールド樹脂から構成され、例えば、エポキシ樹脂などが用いられる。
[1−2]半導体装置の回路構成
次に、半導体装置1の回路構成について説明する。図3は、第1実施形態に係る半導体装置1のブロック図である。
次に、半導体装置1の回路構成について説明する。図3は、第1実施形態に係る半導体装置1のブロック図である。
半導体チップ(コントローラ)20は、過熱検出回路21、駆動回路(ドライバ)24−1、24−2、及び過電流保護回路25−1、25−2を備える。半導体チップ(パワー半導体デバイス)30は、トランジスタTr1、Tr2を備える。パッド群22は、パッド22−1〜22−5を備える。パッド群32は、パッド32−1〜32−3を備える。
図3の構成例において、トランジスタTr1、Tr2は、ハーフブリッジ回路に使用されるスイッチング素子である。トランジスタTr1、Tr2は、例えば、高耐圧のNチャネルMOSFET(パワーMOSFET)から構成される。図3には、トランジスタTr1、Tr2として、NチャネルMOSFETを図示している。なお、半導体チップ30が備えるパワー半導体素子の数及び種類については、任意に設計可能である。
トランジスタTr1のドレインは、パッド32−1に電気的に接続され、トランジスタTr1のソースは、パッド32−2に電気的に接続される。トランジスタTr1のゲートは、駆動回路24−1の出力に電気的に接続される。また、トランジスタTr1のソースは、過電流保護回路25−1の入力に電気的に接続される。
トランジスタTr2のドレインは、パッド32−2に電気的に接続され、トランジスタTr2のソースは、パッド32−3に電気的に接続される。トランジスタTr2のゲートは、駆動回路24−2の出力に電気的に接続される。また、トランジスタTr2のソースは、過電流保護回路25−2の入力に電気的に接続される。
過熱検出回路21は、半導体チップ30の温度を検出するとともに、半導体チップ30の温度が閾値温度を超えたか否かを判定する。具体的には、過熱検出回路21は、半導体チップ30が発生した熱が過熱検出回路21に伝わる際の温度を検出する。過熱検出回路21の閾値温度は、半導体チップ30の仕様に応じて適宜設定される。過熱検出回路21は、過熱検出信号を駆動回路24−1、24−2に供給する。また、過熱検出回路21の出力は、パッド22−5に電気的に接続される。例えば、過熱検出回路21は、半導体チップ30の温度が閾値を超えた場合に、過熱検出信号をローレベルからハイレベルに遷移させる。
過熱検出回路21は、温度特性を有する素子を備える。温度特性を有する素子としては、例えば、ダイオード、又は抵抗素子などが挙げられる。過熱検出回路21にダイオード(pn接合ダイオード)を用いた場合、ダイオードに一定電流を流すと、自身の周囲温度に応じて順方向電圧VFが変化する。よって、ダイオードの順方向電圧VFと基準電圧とを比較することで、過熱検出を行うことができる。
過電流保護回路25−1は、トランジスタTr1に流れる電流を検出するとともに、トランジスタTr1に流れる電流が閾値電流を超えたか否かを判定する。過電流保護回路25−1の閾値電流は、半導体チップ30の仕様に応じて適宜設定される。過電流保護回路25−1は、過電流検出信号を駆動回路24−1に供給する。例えば、過電流保護回路25−1は、トランジスタTr1に流れる電流が閾値電流を超えた場合に、過電流検出信号をローレベルからハイレベルに遷移させる。過電流保護回路25−2は、トランジスタTr2の過電流保護を行う。過電流保護回路25−2の構成は、過電流保護回路25−1と同じである。
駆動回路24−1は、パッド22−2に電気的に接続される。また、駆動回路24−1は、過熱検出回路21から過熱検出信号を受け、過電流保護回路25−1から過電流検出信号を受ける。駆動回路24−1は、パッド22−2に入力された制御信号に基づいて、トランジスタTr1のゲート電圧を制御することで、トランジスタTr1のオン/オフを制御する。また、駆動回路24−1は、過熱検出信号及び/又は過電流検出信号がアサートされた場合に、トランジスタTr1をオフさせる。
駆動回路24−2は、パッド22−3、過熱検出回路21、及び過電流保護回路25−2に電気的に接続される。駆動回路24−2は、トランジスタTr2を駆動する。駆動回路24−2の構成は、駆動回路24−1と同じである。
[1−3]動作
次に、上記のように構成された半導体装置1の動作について説明する。
駆動回路24−1は、パッド22−2に入力された制御信号がアサートされると、トランジスタTr1をオンさせ、パッド22−2に入力された制御信号がネゲートされると、トランジスタTr1をオフさせる。同様に、駆動回路24−2は、パッド22−3に入力された制御信号がアサートされると、トランジスタTr2をオンさせ、パッド22−3に入力された制御信号がネゲートされると、トランジスタTr2をオフさせる。このような動作により、半導体装置1は、例えば、自身に供給される電源の制御を行うことが可能である。
次に、上記のように構成された半導体装置1の動作について説明する。
駆動回路24−1は、パッド22−2に入力された制御信号がアサートされると、トランジスタTr1をオンさせ、パッド22−2に入力された制御信号がネゲートされると、トランジスタTr1をオフさせる。同様に、駆動回路24−2は、パッド22−3に入力された制御信号がアサートされると、トランジスタTr2をオンさせ、パッド22−3に入力された制御信号がネゲートされると、トランジスタTr2をオフさせる。このような動作により、半導体装置1は、例えば、自身に供給される電源の制御を行うことが可能である。
半導体装置1が動作している間は、半導体チップ30が発熱し、半導体チップ30の温度が上昇する。過熱検出回路21は、半導体チップ30の温度を検出している。過熱検出回路21は、半導体チップ30の温度が閾値温度を超えた場合、過熱検出信号をアサートする。駆動回路24−1、24−2はそれぞれ、アサートされた過熱検出信号を受けると、トランジスタTr1、Tr2をオフさせる。これにより、熱に起因して半導体チップ30が破壊又は劣化するのを抑制することができる。
ここで、図1及び図2に示すように、過熱検出回路21は、半導体チップ30の下に配置される。このため、過熱検出回路21は、半導体チップ30の温度をより精度良く検出できる。これにより、過熱検出回路21による過熱検出動作をより精度良く行うことができる。
一方、過熱検出回路21は、半導体チップ30の温度が閾値温度以下になった場合、過熱検出信号をネゲートする。駆動回路24−1、24−2はそれぞれ、ネゲートされた過熱検出回路を受けると、パッドから送られる制御信号に応じてトランジスタTr1、Tr2のオン/オフを制御する。
また、過電流保護回路25−1は、トランジスタTr1に流れる電流を検出している。過電流保護回路25−1は、トランジスタTr1に流れる電流が閾値電流を超えた場合、過電流検出信号をアサートする。駆動回路24−1は、アサートされた過電流検出信号を受けると、トランジスタTr1をオフさせる。過電流保護回路25−2の動作は、過電流保護回路25−1と同じである。これにより、過電流に起因して半導体チップ30が破壊又は劣化するのを抑制することができる。
[1−4]第1実施形態の効果
電源のスイッチングや整流を行うパワー半導体デバイスは、動作中における発熱量が大きい。パワー半導体デバイスの温度が上昇すると、半導体層が劣化したり、絶縁破壊が発生する可能性が高くなり、結果として、熱に起因してパワー半導体デバイスが破壊又は劣化してしまう。そこで、パワー半導体デバイスを備えた半導体装置では、パワー半導体デバイスを制御するコントローラが過熱検出回路を備え、コントローラによるパワー半導体デバイスの過熱検出が行われる。過熱検出機能を有する半導体装置には、例えば、パワー半導体デバイス及びコントローラを横に並べて平面的に実装し、パッケージ化されたプレーン型MCPが用いられる。
電源のスイッチングや整流を行うパワー半導体デバイスは、動作中における発熱量が大きい。パワー半導体デバイスの温度が上昇すると、半導体層が劣化したり、絶縁破壊が発生する可能性が高くなり、結果として、熱に起因してパワー半導体デバイスが破壊又は劣化してしまう。そこで、パワー半導体デバイスを備えた半導体装置では、パワー半導体デバイスを制御するコントローラが過熱検出回路を備え、コントローラによるパワー半導体デバイスの過熱検出が行われる。過熱検出機能を有する半導体装置には、例えば、パワー半導体デバイス及びコントローラを横に並べて平面的に実装し、パッケージ化されたプレーン型MCPが用いられる。
しかし、プレーン型MCPは、サイズが大きく、チップ間の配線長が長くなる。プレーン型MCPを用いた半導体装置は、寄生インダクタンスが大きくなるため、動作周波数を上げることができない。また、パワー半導体デバイスと過熱検出回路を備えたコントローラとを平面的に実装した場合、パワー半導体デバイス及び過熱検出回路間の距離が長くなってしまう。半導体装置は、過熱検出回路におけるパワー半導体デバイスの温度検出の精度が低くなるため、熱破壊を防止できない可能性がある。
そこで、第1実施形態に係る半導体装置1では、過熱検出回路21を備えた半導体チップ(コントローラ)20上に半導体チップ(パワー半導体デバイス)30を配置する。また、過熱検出回路21は、半導体チップ30の下に配置される。よって、半導体チップ30及び過熱検出回路21間の距離が近くなる。これにより、過熱検出回路21によって半導体チップ30の温度をより精度良く検出することが可能となり、半導体チップ20の過熱検出機能をより精度良く行うことが可能な半導体装置1を実現できる。この結果、熱に起因して半導体装置1が破壊又は劣化するのを抑制できる。
また、半導体装置1は、半導体チップ20上に半導体チップ30を積層したチップスタック型MCPから構成される。これにより、半導体装置1のサイズを小さくすることが可能となる。
また、半導体チップ20と半導体チップ30とを接続するボンディングワイヤ60の長さを短くすることができる。これにより、配線の低インダクタンス化が可能となり、高周波動作が可能となる。
なお、第1実施形態では、2個の半導体チップを積層している。しかし、これに限定されず、半導体チップを3個以上積層してチップスタック型MCPを構成しても良い。この場合、パワー半導体デバイスを備える半導体チップの下に過熱検出回路21を配置することで、前述した効果を得ることができる。
[第2実施形態]
第2実施形態では、半導体チップ(コントローラ)20及び半導体チップ(パワー半導体デバイス)30をフリップチップ実装により接続して半導体装置1を構成している。さらに、半導体チップ30上に放熱部材(ヒートシンク)11を設けることで、半導体チップ30の放熱効率を向上させるようにしている。
第2実施形態では、半導体チップ(コントローラ)20及び半導体チップ(パワー半導体デバイス)30をフリップチップ実装により接続して半導体装置1を構成している。さらに、半導体チップ30上に放熱部材(ヒートシンク)11を設けることで、半導体チップ30の放熱効率を向上させるようにしている。
図4は、第2実施形態に係る半導体装置1の平面図である。図5は、図4のB−B’線に沿った半導体装置1の断面図である。半導体装置1は、ヒートシンク11を備える。
半導体チップ20上には、バンプ群33、34を介して半導体チップ30がフリップフロップ実装される。すなわち、半導体チップ20の上面(パッドが形成される面)と、半導体チップ30の上面(パッドが形成される面)とが向き合うようにして、半導体チップ20と半導体チップ30とがバンプ群33、34を介して電気的に接続される。バンプ群33、34としては、例えば、金(Au)、銀(Ag)、錫(Sn)、又はこれらのいずれかを含む合金などが用いられる。
バンプ群33は、半導体チップ30のパッド群31(図示せず)に電気的に接続されるとともに、半導体チップ20のパッド群23(図示せず)に電気的に接続される。バンプ群34は、半導体チップ30のパッド群32(図示せず)に電気的に接続されるとともに、配線(図示せず)を介して半導体チップ20のパッド群26に電気的に接続される。半導体チップ20のパッド群26、ボンディングワイヤ群60を介してリード端子群50に電気的に接続される。
半導体チップ30の底面には、接着剤40を介してヒートシンク11が設けられる。ヒートシンク11は、半導体チップ30の熱を放出する機能を有する。ヒートシンク11としては、熱伝導率の高い材料(金属)が用いられ、銅(Cu)、銅(Cu)を含む合金、又は鉄(Fe)を含む合金などが用いられる。ヒートシンク11は、例えば、ダイパッド10と概略同じサイズを有する。接着剤40は、第1実施形態で説明した接着剤と同じ材料から構成される。
封止部材70は、ダイパッド10、ヒートシンク11、半導体チップ20、半導体チップ30、バンプ群33、34、リード端子群50、及びボンディングワイヤ群60を封止する。
以上詳述したように第2実施形態では、半導体チップ20及び半導体チップ30をフリップチップ実装し、さらに、半導体チップ30の底面に接着剤40を介してヒートシンク11を設けている。これにより、半導体装置1の放熱効率を向上できる。この結果、熱に起因して半導体装置1が破壊又は劣化するのを抑制できる。
また、フリップチップ実装を適用することで、ボンディングワイヤ60の本数を第1実施形態に比べて少なくできる。これにより、第1実施形態に比べて寄生インダクタンスを低減できるため、高周波動作が可能な半導体装置1を実現できる。
さらに、第1実施形態と同様に、過熱検出回路21は、半導体チップ30の下に配置される。これにより、過熱検出回路21は、半導体チップ30の温度をより精度良く検出することが可能となり、半導体チップ20の過熱検出をより精度良く行うことが可能な半導体装置1を実現できる。
本願明細書において、「積層」とは、互いに接して重ねられる場合の他に、間に他の層が挿入されて重ねられる場合も含む。また、「上に設けられる」とは、直接接して設けられる場合の他に、間に他の層が挿入されて設けられる場合も含む。
本発明は、上記実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲内で、構成要素を変形して具体化することが可能である。さらに、上記実施形態には種々の段階の発明が含まれており、1つの実施形態に開示される複数の構成要素の適宜な組み合わせ、若しくは異なる実施形態に開示される構成要素の適宜な組み合わせにより種々の発明を構成することができる。例えば、実施形態に開示される全構成要素から幾つかの構成要素が削除されても、発明が解決しようとする課題が解決でき、発明の効果が得られる場合には、これらの構成要素が削除された実施形態が発明として抽出されうる。
1…半導体装置、10…支持部材、11…ヒートシンク、20…半導体チップ、21…過熱検出回路、22,23,26,31,32…パッド、24…駆動回路、25…過電流保護回路、30…半導体チップ、33,34…バンプ、40…接着剤、50…リード端子、60…ボンディングワイヤ、70…封止部材
Claims (7)
- 支持部材と、
前記支持部材上に設けられ、過熱検出回路を備えた第1半導体チップと、
前記第1半導体チップ上に設けられ、パワー半導体素子を備えた第2半導体チップと、
前記支持部材、前記第1半導体チップ、及び前記第2半導体チップを封止する封止部材と、
を具備し、
前記過熱検出回路は、前記第2半導体チップの下に配置されることを特徴とする半導体装置。 - 前記第2半導体チップのパッドが形成される面と反対面は、前記第1半導体チップのパッドが形成される面と向き合うように配置されることを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。
- 前記第1半導体チップと前記第2半導体チップとを接着する接着剤をさらに具備し、
前記接着剤は、金属を含むことを特徴とする請求項2に記載の半導体装置。 - 前記第1半導体チップ及び前記第2半導体チップは、複数のバンプを介してフリップチップ実装されることを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。
- 前記第2半導体チップ上に設けられた放熱部材をさらに具備することを特徴とする請求項4に記載の半導体装置。
- 前記第2半導体チップと前記放熱部材とを接着する接着剤をさらに具備し、
前記接着剤は、金属を含むことを特徴とする請求項5に記載の半導体装置。 - 前記過熱検出回路は、前記第1半導体チップのうち前記第2半導体チップと向き合う面に配置されることを特徴とする請求項1乃至6のいずれかに記載の半導体装置。
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