JP2016114006A - クライオポンプ、クライオポンプの制御方法、及び冷凍機 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (7)
- クライオパネルと、
前記クライオパネルを冷却する冷凍機であって、前記冷凍機を駆動する冷凍機モータと、前記冷凍機モータの運転周波数を制御する冷凍機インバータと、を備える冷凍機と、
室温から標準運転温度へと前記クライオパネルの温度を低下させるクールダウン運転を実行するよう前記冷凍機を制御する制御部と、を備え、
前記制御部は、
運転周波数上限を有する運転周波数範囲内において前記冷凍機モータの運転周波数を決定し該運転周波数を前記冷凍機インバータに出力する運転周波数決定部と、
前記クールダウン運転中に前記クライオパネルの温度低下に基づいて前記運転周波数上限を低下させる上限調整部と、を備えることを特徴とするクライオポンプ。 - 室温を含む第1温度領域についての第1周波数上限と、前記標準運転温度を含み前記第1温度領域より低い第2温度領域についての前記第1周波数上限より小さい第2周波数上限と、を含む周波数上限プロファイルを記憶する記憶部をさらに備え、
前記上限調整部は、前記周波数上限プロファイルに従って前記運転周波数上限を変更することを特徴とする請求項1に記載のクライオポンプ。 - 前記第1温度領域と前記第2温度領域との境界温度は、200K以下の温度であることを特徴とする請求項2に記載のクライオポンプ。
- 前記第1周波数上限から前記第2周波数上限への低下量は、前記第1周波数上限の25%以内であることを特徴とする請求項2または3に記載のクライオポンプ。
- 前記クライオポンプは、第1標準運転温度に冷却される第1クライオパネルと、前記第1標準運転温度より低い第2標準運転温度に冷却される第2クライオパネルと、前記第1クライオパネルの温度を測定する第1温度センサと、前記第2クライオパネルの温度を測定する第2温度センサと、を備え、
前記制御部は、前記第1温度センサによって測定された前記第1クライオパネルの温度と前記第2温度センサによって測定された前記第2クライオパネルの温度のうち低いほうを選択する測定温度選択部を備え、
前記上限調整部は、前記測定温度選択部によって選択された測定温度を使用することを特徴とする請求項1から4のいずれかに記載のクライオポンプ。 - クライオポンプの制御方法であって、
前記クライオポンプは、クライオパネルと、前記クライオパネルを冷却する冷凍機であって前記冷凍機を駆動する冷凍機モータと前記冷凍機モータの運転周波数を制御する冷凍機インバータとを備える冷凍機と、を備え、
前記方法は、
室温から標準運転温度へと前記クライオパネルの温度を低下させるクールダウン運転を実行することと、
前記クールダウン運転中に前記クライオパネルの温度低下に基づいて前記冷凍機モータの運転周波数上限を低下させることと、
前記運転周波数上限を有する運転周波数範囲内において前記冷凍機モータの運転周波数を決定することと、
決定された運転周波数を前記冷凍機インバータに出力することと、を備えることを特徴とする方法。 - 冷却ステージを備える膨張機であって、前記膨張機を駆動する膨張機モータと、前記膨張機モータの運転周波数を制御する膨張機インバータと、を備える膨張機と、
室温から標準運転温度へと前記冷却ステージの温度を低下させるクールダウン運転を実行するよう前記膨張機を制御する制御部と、を備え、
前記制御部は、
運転周波数上限を有する運転周波数範囲内において前記膨張機モータの運転周波数を決定し該運転周波数を前記膨張機インバータに出力する運転周波数決定部と、
前記クールダウン運転中に前記冷却ステージの温度低下に基づいて前記運転周波数上限を低下させる上限調整部と、を備えることを特徴とする冷凍機。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014255028A JP6410589B2 (ja) | 2014-12-17 | 2014-12-17 | クライオポンプ、クライオポンプの制御方法、及び冷凍機 |
TW104141293A TWI600832B (zh) | 2014-12-17 | 2015-12-09 | Cryogenic pump, cryogenic pump control method and freezer |
KR1020150176134A KR101721171B1 (ko) | 2014-12-17 | 2015-12-10 | 크라이오펌프, 크라이오펌프의 제어 방법, 및 냉동기 |
CN201510939517.1A CN105715510B (zh) | 2014-12-17 | 2015-12-15 | 低温泵、低温泵的控制方法以及制冷机 |
US14/971,693 US10125755B2 (en) | 2014-12-17 | 2015-12-16 | Cryopump, control method of cryopump, and cryocooler |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014255028A JP6410589B2 (ja) | 2014-12-17 | 2014-12-17 | クライオポンプ、クライオポンプの制御方法、及び冷凍機 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016114006A true JP2016114006A (ja) | 2016-06-23 |
JP6410589B2 JP6410589B2 (ja) | 2018-10-24 |
Family
ID=56128897
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014255028A Active JP6410589B2 (ja) | 2014-12-17 | 2014-12-17 | クライオポンプ、クライオポンプの制御方法、及び冷凍機 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10125755B2 (ja) |
JP (1) | JP6410589B2 (ja) |
KR (1) | KR101721171B1 (ja) |
CN (1) | CN105715510B (ja) |
TW (1) | TWI600832B (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2021534364A (ja) * | 2018-08-08 | 2021-12-09 | オックスフォード インストルメンツ ナノテクノロジー ツールス リミテッド | ノイズ低減方法 |
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- 2015-12-09 TW TW104141293A patent/TWI600832B/zh active
- 2015-12-10 KR KR1020150176134A patent/KR101721171B1/ko active IP Right Grant
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---|---|
CN105715510A (zh) | 2016-06-29 |
US10125755B2 (en) | 2018-11-13 |
US20160177934A1 (en) | 2016-06-23 |
CN105715510B (zh) | 2017-10-20 |
KR20160073917A (ko) | 2016-06-27 |
TW201623794A (zh) | 2016-07-01 |
TWI600832B (zh) | 2017-10-01 |
JP6410589B2 (ja) | 2018-10-24 |
KR101721171B1 (ko) | 2017-03-29 |
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