JP2016108601A - 治具及び治具生産方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 メッキ処理を行うために工作物を保持するメッキ治具1であって、工作物は、例えば角形チップのような柱状のものであり、工作物を収納する内部空間を有する枠体3と、枠体3の内部空間において工作物の柱状の側面を押さえる保持部5及び7を備える。メッキ治具1は、金属製であり、導電性を有する。導電性を有するため、例えば側面給電を可能にする。また、メッキ治具1は、硬度が異なる複数の金属が多層になったものであり、厚さ等を変更することにより、容易にヤング率等を容易に調整することが可能である。
【選択図】 図1
Description
Claims (7)
- メッキ処理を行うために工作物を保持する治具であって、
前記工作物は、柱状のものであり、
前記工作物を収納する内部空間を有する枠体と、
前記枠体の前記内部空間において前記柱状の側面を押さえる導電性の保持部を備える治具。 - 前記枠体の前記内部空間において前記工作物の側面の第1部分を押さえる第1保持部と、
前記枠体の前記内部空間において前記工作物の側面の前記第1部分とは異なる第2部分を押さえる第2保持部を備える請求項1記載の治具。 - 前記第1保持部及び前記第2保持部は、それぞれ、弾性を有し、一か所で前記枠体に接続するものであり、
前記枠体の前記内部空間において位置が変わることにより前記第1保持部及び前記第2保持部の少なくとも一方を変形させて共に移動させる移動部を備え、
前記第1保持部及び前記第2保持部は、
変形していない状態では前記枠体との間に前記工作物よりも狭い空間とし、
前記移動部が移動することにより前記枠体との間に前記工作物よりも広い空間にして、前記工作物を押さえることが可能なものである、請求項2記載の治具。 - 前記枠体及び前記保持部は、硬度が異なる複数の金属による多層のものである、請求項1から3のいずれかに記載の治具。
- 前記工作物は、側面に通電部を有するチップであり、
前記保持部は、取り付け電極であり、前記通電部を押さえることにより、前記工作物に対して側面給電が可能である、請求項1から4のいずれかに記載の治具。 - 前記工作物は、側面に平面である部分を有するものであり、
前記保持部は、前記平面である部分を押さえる、請求項1から5のいずれかに記載の治具。 - メッキ処理を行うために工作物を保持する金属製の治具を生産するための治具生産方法であって、
前記工作物は、柱状であり、
前記治具は、
前記工作物を収納する内部空間を有する枠体と、
前記枠体の前記内部空間において前記工作物の側面を押さえる保持部を備えるものであり、
基板上に前記治具の前記枠体及び前記保持部のパターンを形成するパターニング工程と、
前記パターンを用いて電鋳して前記枠体及び前記保持部を作成する電鋳工程と、
前記パターン及び前記基板を除去して前記治具を生成する除去工程を含む治具生産方法。
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Citations (4)
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---|---|---|---|---|
JPH0165860U (ja) * | 1987-10-22 | 1989-04-27 | ||
JPH05222590A (ja) * | 1992-02-07 | 1993-08-31 | Ebara Corp | 半導体ウエハの鍍金治具 |
JP2004076022A (ja) * | 2002-06-21 | 2004-03-11 | Ebara Corp | 基板ホルダ及びめっき装置 |
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JPH0165860U (ja) * | 1987-10-22 | 1989-04-27 | ||
JPH05222590A (ja) * | 1992-02-07 | 1993-08-31 | Ebara Corp | 半導体ウエハの鍍金治具 |
JP2004076022A (ja) * | 2002-06-21 | 2004-03-11 | Ebara Corp | 基板ホルダ及びめっき装置 |
US20130042454A1 (en) * | 2011-08-15 | 2013-02-21 | Jingbin Feng | Lipseals and contact elements for semiconductor electroplating apparatuses |
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